JP3117369U - フォトマスク基板用輸送ケース - Google Patents

Abstract

【課題】地球環境を保護しつつ、フォトマスク基板を効率よくかつ安全に輸送することが可能なフォトマスク基板用輸送ケースの提供を目的とする。
【解決手段】マスクケースを収容する箱状本体２と、箱状本体２の側板の一部であり、マスクケース９の搬入・搬出を行うための扉用正面板３と、扉用正面板３の下部に設けられ、扉用正面板３を箱状本体２に回動自在に連結する回動手段４とを具備し、マスクケース９の搬入・搬出を行う際、扉用正面板３が開方向に回動され床と当接すると、床と箱状本体２の底板との間に搬送斜面３３を形成し、かつ、マスクケース９を収容する際、扉用正面板３が閉方向に回動されると、マスクケース９が保持部６及び保持部６２に挟持される。
【選択図】 図１

Description

本考案は、フォトマスク基板用輸送ケースに関し、特に、液晶ディスプレイパネル（ＬＣＤＰ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等の製造工程で使用する、大型のフォトマスク基板を輸送するためのフォトマスク基板用輸送ケースに関する。

近年、ＬＣＤＰやＰＤＰ等の表示装置の製造工程において、パネル面付数の増加が製造コスト低減の手法として一般化され、パネル用マザー基板のサイズが大型化する傾向にある。これにともない、ＬＣＤＰやＰＤＰ等の表示装置の製造工程においては、パターン転写に用いられるフォトマスク基板も大型化する傾向にある。また、上記大型化されたフォトマスク基板は、空路又は航路を用いて輸送される際、輸送時の衝撃から保護するために、緩衝材や木枠で梱包された状態で輸送されてきた。

（従来例）
次に、フォトマスク基板を木枠で梱包する方法について説明する。
フォトマスク基板は、まず、図４に示すキャスター９１の設けられたマスクケース９に立てた状態で収容される。通常、この作業は、工場のクリーンルーム内で行われ、取手９２を介して横倒しされたマスクケース９に、フォトマスク基板を収容してから、マスクケース９が起こされ、クリーンルームの外へ搬送される。この際、マスクケース９は、キャスター９１によって、容易に搬送される。

次に、フォトマスク基板を収容したマスクケース９は、工場の梱包室や荷捌き室において、紙又はプラスチック製のダンボール箱に、発泡スチロールなどの緩衝材とともに収容される。ここで、フォトマスク基板は、トラックによる国内輸送の場合には、通常、上記ダンボール箱に収容された状態で輸送される。これに対し、空路又は航路を用いて輸送される場合には、ダンボール箱に収容された状態で、輸送会社の木枠梱包工場に搬送される。木枠梱包工場では、まず、木枠に発泡スチロールなどの緩衝材を敷き、この緩衝材の上に上記ダンボール箱を載置し、続いて、マスクケースと木枠の間に緩衝材を詰め、さらに、マスクケースの上面にも緩衝材を敷き詰めてから、木枠の上蓋が取り付けられる。

ところで、フォトマスク基板は、非常に高額であることから、マスクケース９，ダンボール箱内の緩衝材，ダンボール箱，木枠内の緩衝材及び木枠によって、厳重に梱包される。
このため、たとえば、フォトマスク基板が、高さ（縦寸法）１２２０ｍｍ，長さ（横寸法）１４００ｍｍ，幅（厚さ）１３ｍｍの場合、マスクケースが、高さ１５００ｍｍ，長さ１７００ｍｍ，幅３００ｍｍであり、マスクケースを収容する木枠は、高さ２．２ｍ，長さ２．５ｍ，幅２ｍとなる。

たとえば、特許文献１には、緩衝材であるスチロールや木枠箱を使用しないで、段積み可能な梱包強度の高いスチール枠箱と、軽量で安価な段ボール箱の利点を互いに活かした新規な梱包ケースの技術が開示されている。
この技術によれば、ほぼ正方形に近い被梱包物を、木枠箱を使用しないで梱包することができる。
特開２００４−１１５０８１号公報

しかしながら、上述したように、一辺が約１ｍを超えるフォトマスク基板を、緩衝材とともにダンボール箱に入れ、さらに緩衝材及び木枠で梱包して輸送しようとした場合、木枠の高さ及び長さ寸法がマスク基板の約８割増の寸法、すなわち、一辺が２ｍ近い寸法となり、輸送費用が高額になるといった問題があった。
また、フォトマスク基板が角形平板状といった特殊な形状であることから、大量の梱包資材が必要であり、ダンボール箱，緩衝材及び木枠などの梱包資材費用のコストダウンを図ることができないといった問題があった。さらに、ダンボール箱，緩衝材及び木枠などの梱包資材は、大量のごみを発生させるので、地球環境を保護する、あるいは、限りある資源を大切に使用しようとする運動に逆行している。
さらに、工場内でマスクケースをダンボール箱に梱包し、続いて、木枠梱包工場にてダンボール箱を梱包しなければならないため、作業効率が悪いといった問題や、輸送後にこれらを開梱する作業性が悪いといった問題があった。

本考案は、上記諸問題を解決すべく、地球環境を保護しつつ、フォトマスク基板を効率よくかつ安全に輸送することが可能なフォトマスク基板用輸送ケースの提供を目的とする。

この目的を達成するために、本考案のフォトマスク基板用輸送ケースは、キャスターの設けられたマスクケースに収容されたフォトマスク基板を、輸送するためのフォトマスク基板用輸送ケースであって、前記マスクケースの主表面と直交する方向の位置決めを、所定の隙間を有する状態で行うとともに、このマスクケースに加わる衝撃を吸収する位置決め部、及び、床との間に所定高さの隙間を形成する脚部を有し、前記マスクケースを収容する箱状本体と、前記箱状本体の一部であり、前記マスクケースの搬入・搬出を行うための扉用正面板と、前記扉用正面板の下部に設けられ、前記扉用正面板を前記箱状本体に回動自在に連結する回動手段と、前記扉用正面板を前記箱状本体に固定する固定手段と、前記扉用正面板の内側及び前記箱状本体の背面板の内側に取り付けられ、搬入された前記マスクケースの長手方向の位置決めを行うとともに、このマスクケースに加わる衝撃を吸収する保持部とを具備し、前記マスクケースの搬入・搬出を行う際、前記扉用正面板が開方向に回動され該扉用正面板の上部が前記床と当接すると、前記床と前記箱状本体の底板との間に搬送斜面を形成し、かつ、前記マスクケースを収容する際、前記扉用正面板が閉方向に回動され該扉用正面板が前記箱状本体に固定されると、前記保持部が前記マスクケースと当接し該マスクケースを保持する構成としてある。

このようにすると、箱状本体が十分強い機械的強度を有することができるので、フォトマスク基板を海外に輸出する場合などに使用されてきた木枠梱包の代わりに、基板用輸送ケースとして使用することができる。また、木枠は、通常、開梱されると破損するので廃棄されるのに対し、フォトマスク基板用輸送ケースは、回動する扉用正面板によって、マスクケースが自在に搬入・搬出されるので、何度でも再利用することができる。また、扉用正面板の内側に取り付けられる保持部によって、マスクケースを保持することができるので、発泡スチロールなどの緩衝材を使用しなくてもすみ、梱包資材費用を大幅に削減することができる。さらに、木枠に比べて、フォトマスク基板用輸送ケースが大幅に小型化されるので、輸送費用を低減することができる。

また、本考案のフォトマスク基板用輸送ケースは、前記脚部が、キャスターと、ストッパと、前記キャスター及びストッパの少なくとも一方の高さを調節する高さ調節手段を備えた構成としてある。
このようにすると、箱状本体をキャスター又はストッパで選択的に支持することができるので、キャスターで支持して容易に移動させたり、ストッパで支持して、動かないように載置することができる。

また、本考案のフォトマスク基板用輸送ケースは、前記扉用正面板の内側に、前記マスクケースのキャスターを所定方向に導くガイド板を設けた構成としてある。
このようにすると、マスクケースがガイド板により正しい搬入方向及び搬出方向に導かれるので、マスクケースを箱状本体に搬入する際には、マスクケースを容易かつ安全に箱状本体に搬入することができ、搬出させる際には、扉用正面板からマスクケースのキャスターが外れ落ちるといった不具合を防止することができる。

また、本考案のフォトマスク基板用輸送ケースは、前記フォトマスク基板が、フォトマスク用ガラス基板，フォトマスクブランク及びフォトマスクを含み、かつ、主表面の短辺の長さが、８００ｍｍを超える構成としてある。
このように、フォトマスク基板が大型化するほど、梱包資材費用のコストダウンを図ることができ、また、梱包や開梱の作業性を向上させることができる。

また、本考案のフォトマスク基板用輸送ケースは、前記保持部が、着脱自在に前記扉用正面板の内側に取り付けられ、前記マスクケースの搬入・搬出を行う際、前記扉用正面板から取り外され、かつ、前記マスクケースを前記箱状本体に収容する際、前記扉用正面板に取り付けられる構成としてある。
このようにすると、マスクケースを箱状本体に搬入及び搬出する際、扉用正面板から保持部が取り外されるので、保持部がマスクケースと接触し、マスクケースの移動を妨げるといった不具合を防止することができる。

また、本考案のフォトマスク基板用輸送ケースは、前記扉用正面板を閉方向及び開方向に回動させる回動駆動手段を備えた構成としてある。
このようにすると、ウインチなどの回動駆動手段を介して扉用正面板の開閉を行うことができるので、扉用正面板の開閉を安全かつ容易に行うことができる。

本考案におけるフォトマスク基板用輸送ケースによれば、地球環境を保護しつつ、フォトマスク基板を効率よくかつ安全に輸送することができる。

[実施形態]
図１は、本考案の一実施形態にかかるフォトマスク基板用輸送ケースの側面図を示している。
また、図２は、本考案の一実施形態にかかるフォトマスク基板用輸送ケースの平面図を示している。
さらに、図３は、本考案の一実施形態にかかるフォトマスク基板用輸送ケースの正面図を示している。
図１，２，３において、フォトマスク基板用輸送ケース１は、キャスター９１の設けられたマスクケース９（図４参照）に収容された長方形のフォトマスク基板（図示せず）を、輸送するための直方体状の輸送ケースであって、箱状本体２，扉用正面板３，回動手段４，固定手段５及び保持部６を備えている。

（フォトマスク基板）
本実施形態のフォトマスク基板は、主表面の短辺の長さが、８００ｍｍを超える大きさ（たとえば、高さ（短辺）１２２０ｍｍ、長さ（長辺）１４００ｍｍ、幅（厚さ）１３ｍｍ）としてある。このように、フォトマスク基板が大型化するほど、梱包資材費用のコストダウンを図ることができ、また、梱包や開梱の作業性を向上させることができる。
また、フォトマスク基板は、フォトマスク用ガラス基板，フォトマスクブランク及びフォトマスクを含むものとする。

（箱状本体）
箱状本体２は、立てた状態のマスクケース９を収容する箱状としてある。また、箱状本体２は、正面側に開閉自在な扉用正面板３が設けられており、扉用正面板３が開けられることにより形成される開口部を通って、マスクケース９が搬入・搬出される。
箱状本体２は、対向する一対の側板２１，天板２２，背面板２３，底板２４及び扉用正面板３を備えている。側板２１は、格子状に組み立てられたアルミフレーム２１１と、このアルミフレーム２１１に外側から螺着されたステンレス板２１２とからなっている。また、天板２２，背面板２３，底板２４及び扉用正面板３は、厚い板厚（たとえば、厚さが１０ｍｍ以上）のアルミ板であり、側板２１のアルミフレーム２１１に螺着される。このように、箱状本体２の主要部を金属製とすることにより、箱状本体２が十分強い機械的強度を有することができるので、フォトマスク基板を海外に輸出する場合などに使用されてきた木枠梱包の代わりに、基板用輸送ケースとして使用することができる。

箱状本体２は、両側板２１の内側の上部，中段部及び下部に、対向してかつ水平方向に、位置決め部２５が設けられている。この位置決め部２５は、アルミフレーム２５１に衝撃吸収部材としてのクッションゴム２５２が取り付けられており、マスクケース９が衝突しても衝撃を吸収する。また、対向する位置決め部２５どうしの距離は、マスクケース９の横幅よりわずかに長く設定してある、すなわち、位置決め部２５は、マスクケース９の主表面と直交する方向（図４参照）の位置決めを、所定の隙間を有する状態で行う。これにより、マスクケース９を箱状本体２に円滑に搬入・搬出することができる。

また、箱状本体２は、背面板２３の内側の四箇所に、収納されたマスクケース９の取手９２と当接する保持部６２が設けられており、マスクケース９の長手方向（図４参照）の位置決めを行う。すなわち、この保持部６２は、アルミフレーム６２１に衝撃吸収部材としてのクッションゴム６２２が取り付けられており、扉用正面板３に設けられた保持部６とともにマスクケース９を挟持することにより、マスクケース９が動かないように位置決めする。また、クッションゴム６２２は、マスクケース９に加わる衝撃を吸収する。

箱状本体２は、床との間に所定高さの隙間を形成する脚部２６を有している。上記所定高さの隙間とは、フォークリフトの爪又はハンドリフターの爪を挿入可能な隙間をいう。このようにすると、フォークリフト又はハンドリフターを用いて、フォトマスク基板用輸送ケース１を容易に移動させることができる。
また、本実施形態の脚部２６は、キャスター２６１と、高さ調節可能なストッパ２６２を備えている。脚部２６は、側板２１の両端側の下部から水平方向に突設された構造としてり、箱状本体２が倒れないように安定性を高めている。また、ストッパ２６２は、ボルト部２６３を有しており、ボルト部２６３を回転させることにより、ストッパ２６２の高さ調節を行うことができる。このようにすると、ストッパ２６２の高さを調節することにより、箱状本体２をキャスター２６１又はストッパ２６２で選択的に支持することができるので、箱状本体２をキャスター２６１で支持して容易に移動させたり、箱状本体２をストッパ２６２で支持して、動かないように載置することができる。
なお、本実施形態では、ボルト部２６３によりストッパ２６２を高さ調節可能な構造としてあるが、これに限定されるものではなく、様々な構造の高さ調節手段を用いることができる。

（扉用正面板）
扉用正面板３は、厚い板厚のアルミ板からなる箱状本体２の正面板であり、箱状本体２に開閉自在に設けられている。本実施形態の扉用正面板３は、下部が、蝶番などの回動手段４によって箱状本体２の底板２４と回動自在に連結されている。また、扉用正面板３は、周縁部が、固定手段５によって箱状本体２に固定される。本実施形態の固定手段５は、蝶ねじ５１，扉用正面板３の周縁部に設けられた固定板５２及び箱状本体２の固定板５２に対応する位置に設けられた雌ねじ板５３とからなっている。固定板５２の貫通孔（図示せず）に挿入された蝶ねじ５１が、箱状本体２の側板２１に設けられた雌ねじ板５３の雌ねじ（図示せず）に締め込まれることにより、扉用正面板３が箱状本体２に固定される。なお、固定手段５は、上記構成に限定されるものではなく、様々な構造の固定手段を使用してもよい。

また、扉用正面板３は、内側表面に、マスクケース９の対向するキャスター９１を両側から挟むようにして、マスクケース９を所定方向に導く一対のガイド板３２を設けてある。ここで、上記所定の方向とは、対向する位置決め部２５の間にマスクケース９が送入される方向をいう。このようにすると、マスクケース９がガイド板３２により正しい搬入方向及び搬出方向に導かれるので、マスクケース９を箱状本体２に搬入する際には、マスクケース９を容易かつ安全に箱状本体２に搬入することができ、搬出させる際には、扉用正面板３からマスクケース９のキャスター９１が外れ落ちるといった不具合を防止することができる。
さらに、扉用正面板３は、外側表面に、一対のくさび状の補強板３１が設けられている。これにより、扉用正面板３が開かれた際、補強板３１が床と当接するので、マスクケース９を扉用正面板３上に載せても、扉用正面板３がたわむといった不具合を防止する。

また、扉用正面板３は、内側表面の四箇所に、収納されたマスクケース９の取手９２と当接する保持部６が着脱自在に設けられている。この保持部６は、上記保持部６２とほぼ同様な構造としてあり、アルミフレーム６２１に衝撃吸収部材としてのクッションゴム６２２が取り付けられている。
保持部６は、マスクケース９の搬入・搬出を行う際、扉用正面板３から取り外され、かつ、マスクケース９を箱状本体２に収容する際、扉用正面板３に取り付けられる。このようにすると、マスクケース９を箱状本体２に搬入及び搬出する際、扉用正面板３から保持部６が取り外されるので、保持部６がマスクケース９と接触し、マスクケース９の移動を妨げるといった不具合を防止する。
なお、本実施形態では、保持部６を扉用正面板３に螺着する構造としてあるが、この構造に限定されるものではなく、たとえば、保持部６を扉用正面板３に嵌入したり、係止したりすることによって容易に取り付ける構造としてもよい。

また、好ましくは、扉用正面板３は、回動駆動手段であるウインチ７により回動される構成とするとよい。このウインチ７は、停止機能付き手巻きウインチとしてあり、ワイヤー７１の先端が、扉用正面板３の中段部右端に連結されている。作業者がストップボタン７２を解除し、レバー７３を回転させると、ウインチ７のワイヤー７１が巻き戻されたり送り出されたりするので、扉用正面板３を閉方向及び開方向に回動させる。このようにすると、ウインチ７を介して扉用正面板３の開閉を行うことができるので、扉用正面板３の開閉を安全かつ容易に行うことができる。

次に、上記構成のフォトマスク基板用輸送ケース１の使用方法及び効果について説明する。
まず、フォトマスク基板は、工場のクリーンルーム内で、マスクケース９に収容され、クリーンルームから搬出される。
次に、マスクケース９は、工場の荷捌き室に運ばれ、フォトマスク基板用輸送ケース１に収容される。この際、フォトマスク基板用輸送ケース１は、扉用正面板３を固定していた固定手段５が解除され、続いて、ウインチ７のストップボタン７２が解除され、レバー７３が開方向に回転され、扉用正面板３が開方向に回動する。ここで、たとえば、扉用正面板３の外側表面から挿入されるねじ（図示せず）によって、保持部６が扉用正面板３に螺着されている場合には、扉用正面板３を約３０°開いたところで、ストップボタン７２を押下する。これにより、扉用正面板３の回動を一時的に停止させることができるので、安全かつ容易に保持部６を取り外すことができる。

フォトマスク基板用輸送ケース１は、レバー７３が開方向に回転され続けると、扉用正面板３が開方向に回動し、扉用正面板３の上端が床と当接する。これにより、扉用正面板３は、箱状本体２の底板２４と床の段差をなくする搬送斜面３３を形成する。
次に、マスクケース９の対向するキャスター９１が一対のガイド板３２に挟まれるように、マスクケース９を移動させ、扉用正面板３の搬送斜面３３上を箱状本体２に向けて送入させる。この際、マスクケース９は、ガイド板３２によってガイドされているので、マスクケース９は位置決め部２５と衝突することなく、安全かつ容易に箱状本体２内に搬入される。

次に、レバー７３が閉方向に回転され、扉用正面板３が閉方向に回動する。ここで、たとえば、扉用正面板３の外側表面から挿入されるねじ（図示せず）によって、保持部６が扉用正面板３に螺着されていた場合には、扉用正面板３が約３０°開いたところで、ストップボタン７２を押下する。これにより、扉用正面板３の回動を一時的に停止させることができるので、安全かつ容易に保持部６を螺着させることができる。

フォトマスク基板用輸送ケース１は、レバー７３が閉方向に回転され続けると、扉用正面板３が閉方向に回動し、扉用正面板３が箱状本体２と当接する。続いて、ストップボタン７２を押し、さらに、固定手段５で扉用正面板３を箱状本体２に固定する。この際、マスクケース９は、背面板２３に設けられた保持部６２と、扉用正面板３に取り付けられた保持部６とによって挟持される。すなわち、マスクケース９は、保持部６及び保持部６２に正面側方向及び背面側方向から挟持されることにより保持された状態で、箱状本体２に収納される。

次に、フォトマスク基板用輸送ケース１は、工場の荷捌き室から、トラックによって輸送会社に搬送される。続いて、フォトマスク基板を収納したフォトマスク基板用輸送ケース１は、空路又は航路を用いて輸送され、送り先である工場の荷捌き室までトラックで輸送される。ここで、輸送中のフォトマスク基板用輸送ケース１は、ストッパ２６２によって、支持されるので、安定した状態で輸送される。また、フォトマスク基板用輸送ケース１は、高さ１．７ｍ，長さ１．９ｍ，幅１ｍであり、従来の木枠と比べて、大幅に小型化されている。

次に、フォトマスク基板用輸送ケース１は、送り先である工場の荷捌き室で、上記搬入手順を戻るようにして、マスクケース９がフォトマスク基板用輸送ケース１から搬出される。続いて、マスクケース９は、空気洗浄を経て、クリーンルーム内に搬送される。
また、空のフォトマスク基板用輸送ケース１は、送り先である工場から送り元である工場に返却され、何度でも使用することができる。

このように、本実施形態のフォトマスク基板用輸送ケース１によれば、箱状本体２が十分強い機械的強度を有することができるので、フォトマスク基板を海外に輸出する場合などに使用されてきた木枠梱包の代わりに、基板用輸送ケースとして使用することができる。また、木枠は、通常、開梱されると破損するので廃棄されるのに対し、フォトマスク基板用輸送ケース１は、回動する扉用正面板３によって、マスクケース９が自在に搬入・搬出されるので、何度でも再利用することができる。また、扉用正面板３の内側に取り付けられる保持部６によって、マスクケース９を保持することができるので、発泡スチロールなどの緩衝材を使用しなくてもすみ、梱包資材費用を大幅に削減することができる。さらに、木枠に比べて、フォトマスク基板用輸送ケース１が大幅に小型化されるので、輸送費用を低減することができる。

以上、本考案のフォトマスク基板用輸送ケースについて、好ましい実施形態を示して説明したが、本考案に係るフォトマスク基板用輸送ケースは、上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本考案の範囲で種々の変更実施が可能であることは言うまでもない。
例えば、フォトマスク基板用輸送ケース１は、箱状本体２の対向する一対の側板２１，天板２２，背面板２３，底板２４及び扉用正面板３を分解可能な構造とするとよい。このようにすると、送り先の工場から返却する際に、フォトマスク基板用輸送ケース１を分解してさらに小型化することができるので、返却にともなう輸送費用をさらに低減することができる。
また、フォトマスク基板用輸送ケース１は、箱状本体２の正面板を扉として開閉可能な構造としてあるが、さらに、背面板２３を扉として開閉可能な構造としてもよい。このようにすると、マスクケース９の搬入・搬出をより容易に行うことができる。

本考案のフォトマスク基板用輸送ケースは、フォトマスク基板を輸送する輸送ケースとしてあるが、輸送対象物はフォトマスク基板に限定されるものではなく、大型の板状部材の輸送にも適用が可能である。

本考案の一実施形態にかかるフォトマスク基板用輸送ケースの側面図を示している。 本考案の一実施形態にかかるフォトマスク基板用輸送ケースの平面図を示している。 本考案の一実施形態にかかるフォトマスク基板用輸送ケースの正面図を示している。 従来例にかかるマスクケースの概略斜視図を示している。

符号の説明

１ フォトマスク基板用輸送ケース
２ 箱状本体
３ 扉用正面板
４ 回動手段
５ 固定手段
６ 保持部
７ ウインチ
９ マスクケース
２１ 側板
２２ 天板
２３ 背面板
２４ 底板
２５ 位置決め部
２６ 脚部
３１ 補強板
３２ ガイド板
３３ 搬送斜面
５１ 蝶ねじ
５２ 固定板
５３ 雌ねじ板
７１ ワイヤー
７２ ストップボタン
７３ レバー
９１ キャスター
９２ 取手
２１１ アルミフレーム
２１２ ステンレス板
２５１ アルミフレーム
２５２ クッションゴム
２６１ キャスター
２６２ ストッパ
２６３ ボルト部
６２１ アルミフレーム
６２２ クッションゴム

Claims (6)

1. キャスターの設けられたマスクケースに収容されたフォトマスク基板を、輸送するためのフォトマスク基板用輸送ケースであって、
   前記マスクケースの主表面と直交する方向の位置決めを、所定の隙間を有する状態で行うとともに、このマスクケースに加わる衝撃を吸収する位置決め部、及び、床との間に所定高さの隙間を形成する脚部を有し、前記マスクケースを収容する箱状本体と、
   前記箱状本体の一部であり、前記マスクケースの搬入・搬出を行うための扉用正面板と、
   前記扉用正面板の下部に設けられ、前記扉用正面板を前記箱状本体に回動自在に連結する回動手段と、
   前記扉用正面板を前記箱状本体に固定する固定手段と、
   前記扉用正面板の内側及び前記箱状本体の背面板の内側に取り付けられ、搬入された前記マスクケースの長手方向の位置決めを行うとともに、このマスクケースに加わる衝撃を吸収する保持部と
   を具備し、
   前記マスクケースの搬入・搬出を行う際、前記扉用正面板が開方向に回動され該扉用正面板の上部が前記床と当接すると、前記床と前記箱状本体の底板との間に搬送斜面を形成し、かつ、前記マスクケースを収容する際、前記扉用正面板が閉方向に回動され該扉用正面板が前記箱状本体に固定されると、前記保持部が前記マスクケースと当接し該マスクケースを保持することを特徴とするフォトマスク基板用輸送ケース。
2. 前記脚部が、キャスターと、ストッパと、前記キャスター及びストッパの少なくとも一方の高さを調節する高さ調節手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のフォトマスク基板用輸送ケース。
3. 前記扉用正面板の内側に、前記マスクケースのキャスターを所定方向に導くガイド板を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載のフォトマスク基板用輸送ケース。
4. 前記フォトマスク基板が、フォトマスク用ガラス基板，フォトマスクブランク及びフォトマスクを含み、かつ、主表面の短辺の長さが、８００ｍｍを超えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のフォトマスク基板用輸送ケース。
5. 前記保持部が、着脱自在に前記扉用正面板の内側に取り付けられ、前記マスクケースの搬入・搬出を行う際、前記扉用正面板から取り外され、かつ、前記マスクケースを前記箱状本体に収容する際、前記扉用正面板に取り付けられることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のフォトマスク基板用輸送ケース。
6. 前記扉用正面板を閉方向及び開方向に回動させる回動駆動手段を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のフォトマスク基板用輸送ケース。

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