KR20230040190A - 포토마스크 운송용 포장박스 - Google Patents
포토마스크 운송용 포장박스 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20230040190A KR20230040190A KR1020210123484A KR20210123484A KR20230040190A KR 20230040190 A KR20230040190 A KR 20230040190A KR 1020210123484 A KR1020210123484 A KR 1020210123484A KR 20210123484 A KR20210123484 A KR 20210123484A KR 20230040190 A KR20230040190 A KR 20230040190A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- photomask
- transport
- unit
- seating
- cover
- Prior art date
Links
- 238000012856 packing Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 20
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 19
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
- B65D85/38—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for delicate optical, measuring, calculating or control apparatus
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
- B65D81/02—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage
- B65D81/05—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage maintaining contents at spaced relation from package walls, or from other contents
- B65D81/053—Corner, edge or end protectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
- B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67359—Closed carriers specially adapted for containing masks, reticles or pellicles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D2581/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
- B65D2581/02—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage
- B65D2581/05—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage maintaining contents at spaced relation from package walls, or from other contents
- B65D2581/051—Details of packaging elements for maintaining contents at spaced relation from package walls, or from other contents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D2585/00—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials
- B65D2585/68—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials for machines, engines, or vehicles in assembled or dismantled form
- B65D2585/86—Containers, packaging elements or packages specially adapted for particular articles or materials for machines, engines, or vehicles in assembled or dismantled form for electrical components
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
본 발명의 한 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스는 포토마스크(Photo mask)가 수납된 대차를 커버하는 커버부, 및 커버부와 연결되고, 커버부를 운송하는 운송부를 포함하고, 운송부는, 운송부의 상부에 위치하고 포토마스크가 수납된 대차가 안착되는 안착부, 안착부의 외측에 위치하고 커버부가 삽입되는 삽입부를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 포토마스크 운송용 포장박스에 관한 것이며, 상세하게는 반도체 생산에 사용되는 포토마스크(Photomask)를 외력으로부터 보호하고 안전하게 이동시킬 수 있는 포토마스크 운송용 포장박스에 관한 것이다.
일반적으로, 포토마스크(Photomask)는 LCD, PDP 등의 디스플레이의 원 재료로, 고품질 상태가 유지된 상태로 디스플레이를 생산하는 제조사로 이송되어 사용된다.
한편, 최근 들어 디스플레이 기판의 사이즈가 대형화됨에 따라 디스플레이 제조에 사용되는 포토마스크도 대형화되는 추세에 있다. 대형 사이즈의 포토마스크는 상당한 무게를 가져 이송에 어려움이 있으며, 취성이 강하고 강도가 약한 유리재질이기 때문에 이송 및 보관시에 파손될 가능성이 있다. 이에, 포토마스크 케이스의 하단부에 이송 바퀴가 부착되어 대차형 케이스가 사용되고 있다.
그러나, 대차형 케이스는 하단부의 이송 바퀴를 완전히 고정시키기 어려워 케이스의 이송 시, 내부의 포토마스크가 유동하게 됨으로써 포토마스크에 외형적인 결함을 발생시키는 문제가 발생했으며, 응력이 집중되는 모서리 또는 모퉁이부분에 파손이 자주 일어나는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 포토마스크가 수납된 대차를 커버하는 커버부를 통해서 포토마스크를 이중으로 보호하고, 포토마스크의 유동을 최소화하여 포토마스크에 외형적인 결함을 발생시키는 것을 미연에 방지하는 포토마스크 운송용 포장박스를 제공하는데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 포토마스크가 수납된 대차가 안착되는 안착부를 통해서 대차의 바퀴의 움직임에 따라 대차가 이동되지 않도록 고정하고, 외력을 완충시켜 포토마스크를 안전하게 이동시킬 수 있는 포토마스크 운송용 포장박스를 제공하는데 목적이 있다.
본 발명의 한 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스는 포토마스크(Photo mask)가 수납된 대차를 커버하는 커버부, 및 커버부와 연결되고, 커버부를 운송하는 운송부를 포함하고, 운송부는, 운송부의 상부에 위치하고 포토마스크가 수납된 대차가 안착되는 안착부, 안착부의 외측에 위치하고 커버부가 삽입되는 삽입부를 포함할 수 있다.
삽입부는, 운송부의 상면에서 상부방향으로 돌출된 제1 격벽체 및 제1 격벽체의 내측에 위치하고 제1 격벽체와 대향하며 위치하는 제2 격벽체를 포함하고, 제1 격벽체와 제2 격벽체의 이격공간에 커버부가 삽입될 수 있다. 안착부는, 안착부의 양측에 위치하고 안착부의 하부 방향으로 경사진 경사부를 포함할 수 있다.
운송부는, 운송부에 설치되고, 안착부의 상부에 위치하는 포토마스크가 수납된 대차를 안착부에 고정시키는 고정부를 포함할 수 있다. 운송부는, 운송부의 일측에 회동 가능하게 마련되고, 포토마스크가 수납된 대차를 운송부의 상부에 반입 또는 반출시키는 가이드부를 포함할 수 있다. 커버부는, 커버부의 일측면에 형성되고 가이드부를 커버부에 고정시키는 가이드장착부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 포토마스크 운송용 포장박스는 포토마스크를 보호하여 포토마스크에 외형적인 결함을 발생시키는 것을 방지할 수 있다.
또한, 포토마스크가 수납된 대차가 이동되지 않도록 고정하여 포토마스크의 유동을 최소화하고 외부로부터 발생되는 외력을 완충시켜 포토마스크를 안전하게 이동시킬 수 있다.
또한, 대형 사이즈의 포토마스크의 경우에도, 포토마스크를 세운 상태에서 커버부에 수납해 편리하고 안전하게 이송하여 운송의 효율성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 일 형태를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2 는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 일 형태 및 취급 동작을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3 은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 운송부의 일 형태를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 일 형태를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2 는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 일 형태 및 취급 동작을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3 은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 운송부의 일 형태를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 일 형태를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스가 상세하게 설명된다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 일 형태를 개략적으로 나타내는 사시도이며, 도 2 는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 일 형태 및 취급 동작을 개략적으로 나타내는 단면도이며, 도 3 은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 운송부의 일 형태를 개략적으로 나타내는 사시도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토마스크 운송용 포장박스의 일 형태를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같이, 포토마스크 운송용 포장박스(1)는 내부에 공간을 가지는 육면체 형상을 가지며, 내부 공간에는 포토마스크(Photo mask)가 수납된 대차(P)가 반입 또는 반출될 수 있다. 포토마스크 운송용 포장박스(1)는 대차(P)를 수용하고 안전하게 운반시킬 수 있으며, 대차(P)를 커버하는 커버부(10) 및 커버부(10)를 운송하는 운송부(20)를 포함한다.
커버부(10)는 몸체부(11), 덮개부(12), 가이드장착부(13) 및 핸들부(14)를 포함할 수 있다. 몸체부(11)는 상부가 개방되어 있는 사각형 형상을 가지며, 대차(P)의 측면을 감싸며 위치할 수 있다. 몸체부(11)는 일체로 형성된 일체형 사각형 형상이거나, 높이 방향인 z축 방향을 따라 이등분 된 몸체부(11a, 11b)를 상호 결합시켜 형성된 결합형 사각형 형상을 이룰 수도 있다. 덮개부(12)는 몸체부(11)의 상부가 폐쇄되도록 몸체부(11)와 결합되는 사각형 형상을 가지며, 대차(P)의 상면을 감싸며 위치할 수 있다.
가이드장착부(13) 및 핸들부(14)는 몸체부(11)에 위치할 수 있다. 가이드장착부(13)는 회동하는 가이드부(28)를 커버부(10)에 부착시킬 수 있다. 핸들부(14)는 사용자의 손이 삽입될 수 있도록 홈 형상을 가지며, 사용자는 핸들부(14)를 통하여 몸체부(11)를 용이하게 이동시킬 수 있다.
운송부(20)는 커버부(10)의 하부에 위치하며, 지면과 수평방향인 y축 방향을 따라 운송부(20)를 관통하는 운송홀(21)이 형성될 수 있다. 운송홀(21)에는 운송용 중장비가 삽입될 수 있으며, 예를 들면, 지게차의 포크가 삽입되어 운송부(20)를 용이하게 이동시킬 수 있다.
도 2 내지 도 4 에 도시된 바와 같이, 운송부(20)는 안착부(22), 삽입부(23) 및 가이드부(28)를 포함할 수 있다.
가이드부(28)는 운송부(20)의 일측 상부와 경첩을 통해 상호 연결되어 힌지 회동할 수 있다. 가이드부(28)의 일측 단부가 운송부(20)에서 회동하여 지면과 맞닿을 경우, 경사면을 형성하게 되고, 포토마스크가 수납된 대차(P)는 이송부(20)의 상부로 반입되거나, 이송부(20)에서 반출될 수 있다.
안착부(22)는 운송부(20)의 상부에 위치하고, 내부에 완충재를 포함할 수 있다. 안착부(22)의 상부에 대차(P)가 안착될 경우, 완충재를 통해 대차(P)에 영향을 미칠 수 있는 외력, 흔들림, 진동 등을 감쇠 시킬 수 있다.
안착부(22)는 양측에 경사부(26)가 형성되어 안착부(22)의 하부 방향으로 경사진 형상을 가질 수 있다. 안착부(22)에 대차(P)가 안착되면, 대차(P)의 하면 중간부는 안착부(22)의 상부와 맞닿고, 대차(P)의 휠(w)이 설치된 양측부는 경사부(26)와 대향하면서 소정거리만큼 이격되어 안착부(22)와 맞닿지 않은 상태로 위치할 수 있다.
종래의 대차형 케이스는 이송 시, 하단바퀴의 움직임에 의해 내부의 포토마스크에 유동이 발생될 수 있으며 하단바퀴를 완전히 고정시키기 어려웠다.
반면에, 포토마스크 운송용 포장박스(1)는 안착부(22) 상부에 대차(P)의 몸체가 맞닿아 고정된 상태에서, 휠(w)은 경사부(26) 영역에 위치하면서 지면이나 안착부(22)와 맞닿지 않으므로, 대차(P)의 휠(w)이 움직이더라도 대차(P) 자체에는 움직임이 발생하지 않는다. 따라서, 포토마스크 운송용 포장박스(1)는 경사부(26)를 통해서 대차(P)의 휠(w)에 의한 포토마스크의 움직임을 방지하여 포토마스크의 외형 결함이나 파손 등을 미연에 방지하면서 안전하게 이동시킬 수 있다.
삽입부(23)는 안착부(22)의 외측에 위치하고, 커버부(10)가 삽입될 수 있다. 삽입부(23)는 제1 격벽체(24) 및 제2 격벽체(25)로 구성될 수 있다. 제1 격벽체(24)와 제2 격벽체(25)는 y축 방향으로 상호 대향하며 위치하고 그 사이에 이격공간(29)을 포함할 수 있다. 몸체부(11)는 이격공간(29)에 삽입되어 고정될 수 있다.
제1 격벽체(24)는 한 쌍으로, 운송부(20)의 상면에서 상부방향인 z축 방향으로 돌출된 직사각형 형상을 가질 수 있다. 제2 격벽체(25)는 한 쌍의 제1 격벽체(24)의 내측에 위치하고, 운송부(20)의 상면에서 상부방향인 z축 방향으로 돌출된 직사각형 형상을 가질 수 있다. 제2 격벽체(25)는 x방향으로 상호 이격하며 위치하는 세 쌍의 제2 격벽체(25a, 25b, 25c)로 구성될 수 있다. 이 경우, 제2 격벽체(25a, 25b, 25c) 사이의 이격부(25d)에는 고정부(27)가 위치할 수 있다.
고정부(27)는 스트랩, 버클 등의 형태를 가지며 운송부(20)에 설치될 수 있다. 대차(P)가 안착부(22)의 상부에 위치할 경우, 고정부(27)는 대차(P)를 감싸며 안착부(22)에 견고하게 고박시킬 수 있다.
정리하면, 사용자는 포토마스크가 수납된 대차(P)를 가이드부(28)를 통해 용이하게 안착부(22)의 상부로 이동시킨 후, 대차(P)의 휠(w)이 경사부(26) 영역에 위치하도록 안착시키고, 고정부(27)를 이용하여 대차(P)를 안착부(22)에 안정적으로 고정시킬 수 있다. 그리고 사용자는 몸체부(11)를 제1 격벽체(24)와 제2 격벽체(25)의 사이의 이격공간(29)에 삽입하여 대차(P)의 측면을 커버할 수 있으며, 몸체부(11)의 상부가 폐쇄되도록 몸체부(11)의 상부에 덮개부(12)를 덮어 고정할 수 있다. 이 경우, 대차(P)와 몸체부(11) 또는 대차(P)와 덮개부(12) 사이에는 완충부재가 삽입될 수도 있다. 그리고 가이드부(28)를 회동시킨 뒤, 가이드장착부(13)를 통해 가이드부(28)를 몸체부(11)에 고정시킬 수 있다.
포토마스크 운송용 포장박스(1)는 커버부(10)를 통해서 포토마스크가 수납된 대차(P)의 모든 면을 안정적으로 보호하고 포토마스크의 유동을 최소화할 수 있다. 또한, 안착부(22)를 이용하여 대차(P)가 휠(w)의 움직임에 영향을 받지 않도록 하면서 안정적으로 대차(P)를 고정시킬 수 있다. 따라서, 포토마스크 운송용 포장박스(1)는 대차(P)에 영향을 미칠 수 있는 외력, 흔들림, 진동 등을 감쇠시켜 포토마스크를 더욱 안정적으로 이송시키고 포토마스크에 외형적인 결함을 발생시키는 것을 미연에 방지할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
10: 커버부
11: 몸체부
12: 덮개부
13: 가이드장착부
14: 핸들부
20: 운송부
21: 운송홀
22: 안착부
23: 삽입부
24: 제1 격벽체
25: 제2 격벽체
26: 경사부
27: 고정부
28: 가이드부
29: 이격공간
11: 몸체부
12: 덮개부
13: 가이드장착부
14: 핸들부
20: 운송부
21: 운송홀
22: 안착부
23: 삽입부
24: 제1 격벽체
25: 제2 격벽체
26: 경사부
27: 고정부
28: 가이드부
29: 이격공간
Claims (6)
- 포토마스크(Photo mask)가 수납된 대차를 커버하는 커버부, 및
상기 커버부와 연결되고, 상기 커버부를 운송하는 운송부
를 포함하고,
상기 운송부는,
상기 운송부의 상부에 위치하고 상기 포토마스크가 수납된 대차가 안착되는 안착부,
상기 안착부의 외측에 위치하고 상기 커버부가 삽입되는 삽입부
를 포함하는 포토마스크 운송용 포장박스. - 제1항에 있어서,
상기 삽입부는, 상기 운송부의 상면에서 상부방향으로 돌출된 제1 격벽체 및 상기 제1 격벽체의 내측에 위치하고 상기 제1 격벽체와 대향하며 위치하는 제2 격벽체를 포함하고, 상기 제1 격벽체와 상기 제2 격벽체의 이격공간에 상기 커버부가 삽입되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 운송용 포장박스. - 제1항에 있어서,
상기 안착부는, 상기 안착부의 양측에 위치하고 상기 안착부의 하부 방향으로 경사진 경사부를 포함하는 포토마스크 운송용 포장박스. - 제1항에 있어서,
상기 운송부는, 상기 운송부에 설치되고, 상기 안착부의 상부에 위치하는 상기 포토마스크가 수납된 대차를 상기 안착부에 고정시키는 고정부를 포함하는 포토마스크 운송용 포장박스. - 제1항에 있어서,
상기 운송부는, 상기 운송부의 일측에 회동 가능하게 마련되고, 상기 포토마스크가 수납된 대차를 상기 운송부의 상부에 반입 또는 반출시키는 가이드부를 포함하는 포토마스크 운송용 포장박스. - 제5항에 있어서,
상기 커버부는, 상기 커버부의 일측면에 형성되고 상기 가이드부를 상기 커버부에 고정시키는 가이드장착부를 포함하는 포토마스크 운송용 포장박스.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210123484A KR20230040190A (ko) | 2021-09-15 | 2021-09-15 | 포토마스크 운송용 포장박스 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210123484A KR20230040190A (ko) | 2021-09-15 | 2021-09-15 | 포토마스크 운송용 포장박스 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20230040190A true KR20230040190A (ko) | 2023-03-22 |
Family
ID=86005822
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020210123484A KR20230040190A (ko) | 2021-09-15 | 2021-09-15 | 포토마스크 운송용 포장박스 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20230040190A (ko) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101121176B1 (ko) | 2008-04-23 | 2012-03-23 | 피엠씨글로벌 주식회사 | 포토마스크 케이스의 구조 |
-
2021
- 2021-09-15 KR KR1020210123484A patent/KR20230040190A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101121176B1 (ko) | 2008-04-23 | 2012-03-23 | 피엠씨글로벌 주식회사 | 포토마스크 케이스의 구조 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI568653B (zh) | 具有安裝在門上的運輸緩衝墊的晶圓容器 | |
JP2007137454A (ja) | 梱包体 | |
KR101121176B1 (ko) | 포토마스크 케이스의 구조 | |
KR101962505B1 (ko) | 기판 케이스, 기판 운반 케이스, 케이스 커버, 기판 운반 시스템 및 기판 운반 방법 | |
KR20230040190A (ko) | 포토마스크 운송용 포장박스 | |
JP2014005078A (ja) | 基板収納容器の梱包体 | |
US9455168B2 (en) | Buffer material for packing wafer carrier | |
KR20230040191A (ko) | 포토마스크 운송용 포장박스 | |
TWI383930B (zh) | Panel box | |
JP6110176B2 (ja) | 基板収納容器の梱包体 | |
KR102229465B1 (ko) | 받침대를 지지하는 기판 케이스 운반용 케이스 | |
KR102352196B1 (ko) | 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스 | |
JP3117369U (ja) | フォトマスク基板用輸送ケース | |
JP6525306B2 (ja) | 梱包体 | |
CN214029880U (zh) | 一种适用于长途运输的终端壳体包装结构 | |
JP7403874B2 (ja) | ウェハ移送ボックス | |
KR200413397Y1 (ko) | 포토마스크 기판용 수송 케이스 | |
TWI653184B (zh) | 伺服器保護蓋 | |
JP3006202U (ja) | 半導体治具の搬送用コンテナ | |
JP6322236B2 (ja) | 箱詰め瓶体用天部側緩衝部材及び瓶体収納箱 | |
JP2006008216A (ja) | 包装装置 | |
JPH09328162A (ja) | 薄板輸送用コンテナ | |
JP2021138376A (ja) | 梱包方法、梱包体、及び緩衝材 | |
JP5999698B2 (ja) | 基板収納容器の梱包方法およびそれに用いられる梱包体 | |
JP4433852B2 (ja) | 梱包体及びその梱包体を組み合わせた梱包構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |