JP7403874B2

JP7403874B2 - ウェハ移送ボックス

Info

Publication number: JP7403874B2
Application number: JP2022115538A
Authority: JP
Inventors: キム，サン・ジン
Original assignee: 3S Korea Co Ltd
Current assignee: 3S Korea Co Ltd
Priority date: 2021-09-07
Filing date: 2022-07-20
Publication date: 2023-12-25
Anticipated expiration: 2042-07-20
Also published as: CN115775759A; JP2023038902A; US20230070524A1; KR102595523B1; KR20230036337A

Description

本発明は、ウェハ移送ボックスに関し、特に、ウェハの移動時に発生する振動や衝撃などを均一且つ最小に保つために、積層されたウェハを固定する固定手段を有するウェハ移送ボックスに関するものである。

一般に、ウェハ（ｗａｆｅｒ）は、半導体素子を製造する高精度製品であって、運搬及び保管時には、必ず別途作製された保管容器に収納して粉塵や各種有機物が粘着することがないようにし、外部衝撃からウェハを保護しなければならない。

ウェハは、移送ボックスに積層構造で収納され、ウェハ移送ボックスは、積層された複数のウェハを安全に収納する。このとき、ウェハ移送ボックス内に積層されたウェハの移動時に発生する振動や衝撃などを最小化できる手段が必要である。

そのために、従来技術として特許文献１が開示されている。この技術は、シリンダ状側壁を有する下部容器と、下部容器のシリンダ状側壁の上端部を収容する円形溝及び下部容器を覆うように下方に延びる容器壁体を有する上部容器とからなる。

このようなウェハ保管容器によると、まず、下部容器のシリンダ内径にクッション材を敷き、その上に多数のウェハを積層させる。このとき、ウェハとウェハとの間にはインサート（ｉｎｓｅｒｔ）を挟み込んでウェハ間の直接接触を防止する。そして、ウェハの積層が完了したら、最上層のウェハ上に再びクッション材を覆った後、上部容器で下部容器を覆って密閉させる。その後、最後にテープで下部容器と上部容器を固定する。

しかしながら、このような従来のウェハ保管容器は、下部容器と上部容器とをいちいちテープで固定しなければならないという煩わしさがある。また、従来のウェハ保管容器は、多段に積層することができないという欠点がある。すなわち、通常、ウェハが保管された保管容器を保管及び運搬する場合には、前記保管容器を多段に積層して保管したり移送したりする。しかしながら、従来の保管容器は、多段に積層しにくく構成されており、多段に積層する場合、積層された保管容器が倒れて崩れるという欠点がある。

また、他の従来技術として、特許文献２には他の方式の保管容器が開示されている。

この保管容器は、側面の少なくとも一部位が切り取られて開放されたシリンダ状のウェハ収容室を備えた下部容器と、前記収容室を覆うように前記下部容器と結合する上部容器と、前記上部容器および／または前記下部容器と一体に形成され、前記上部容器と前記下部容器とが互いに結合された状態を維持するように係合によって締結される締結部と、を含み、前記上部容器の上面と前記下部容器の下面は、それぞれの少なくとも一部位が互いに対面するときに形状が合う板面プロファイルを有するように形成されたものである。

また、前記締結部は、前記下部容器と前記上部容器のいずれか１つと一体に形成されるフック部を含み、前記下部容器と前記上部容器の他の１つには、前記フック部が挿入されて係止される係止孔が形成されている構成である。

しかしながら、このような保管容器も、ウェハが収納される収納室を安全に保護することが難しく、また、ウェハを積層して収納する時に、本体が揺れてウェハが損傷するおそれがある。

韓国公開特許第２００２－００８１９２９号公報韓国登録実用新案第２０－０３４２５０７号公報

本発明は、ウェハの移動時に発生する振動や衝撃などを均一且つ最小に保つために、積層されたウェハを固定する固定手段を有するウェハ移送ボックスを提供することを目的とする。

上述した課題を達成するための、本発明によるウェハ移送ボックスは、下板（２０１）と前記下板（２０１）の上面に垂直に形成され、弧を描いて壁を形成して内部空間（Ａ）にウェハを積層する１つ以上の下部リブ（２１０）を含む下部ハウジング（２００）と、上板（１０１）と前記上板（１０１）の下面に垂直に形成され、弧を描いて壁を形成する上部リブ（１１０）を含む上部ハウジング（１００）と、を含み、前記下部リブ（２１０）は、内側面に突出部材（２１５）を一定間隔で１つ以上を含み、前記突出部材（２１５）は、前記上部ハウジング（１００）と前記下部ハウジング（２００）との嵌合時、前記内部空間（Ａ）に積層されたウェハを固定し、前記下部リブ（２１０）は、０．５°～３．０°の抜き勾配を有し、前記突出部材（２１５）が結合された部分は、０°の抜き勾配を有する点にその特徴がある。

ここで、特に、前記下部ハウジング（２００）は、前記下板（２０１）の上面の各角に前記上部ハウジング（１００）と嵌合する時、結合して固定するラッチ（２５０）を１つ以上含み、前記上部ハウジング（１００）は、前記上板（１０１）の各角に前記ラッチ（２５０）に対応する位置に前記ラッチが結合して固定されるラッチホール（１５０）を１つ以上含むことにその特徴がある。

ここで、特に、前記ラッチ（２５０）は、前記下板（２０１）において前記下部リブ（２１０）の外側に位置し、前記下板（２１０）の上面に底部を形成する第１のラッチ部材（２５２）と、前記第１のラッチ部材（２５２）に垂直方向に前記下部リブ（２５０）と対向するように形成される第２のラッチ部材（２５１）と、前記第２のラッチ部材（２５１）の内側面に突出する第３のラッチ部材（２５３）とを含み、前記上部ハウジング（１００）と前記下部ハウジング（２００）との嵌合時、前記第３のラッチ部材（２５３）が前記ラッチホール（１５０）に固定結合されることにその特徴がある。

ここで、特に、前記下部ハウジング（２００）は、前記下部リブ（２１０）を支持する支持部材（２２０）をさらに含み、前記支持部材（２２０）は、前記ラッチ（２５０）と下部リブ（２１０）との間に配置され、下部リブ（２１０）に沿って弧を描いて形成して前記下部リブ（２１０）を固定して支持することにその特徴がある。

ここで、特に、前記下部リブ（２１０）は、０．５°～１．０°の抜き勾配を有することにその特徴がある。

本発明によると、ウェハの移動時に発生する振動や衝撃などを均一且つ最小に保つために、積層されたウェハを固定する固定手段を有するウェハ移送ボックスを提供することができる。

本発明の一実施例によるウェハ移送ボックスの全体構成を概略的に示す図である。図１の一部切断面を示す図である。下部ハウジングの構成を示す図である。図３の一部切断面を示す図である。

以下、本発明の望ましい実施例を添付の図面に基づいて詳しく説明するが、本発明は、これらの実施例により限定されるものではない。

図１は、本発明の一実施例によるウェハ移送ボックスの全体構成を概略的に示す図である。
図２は、図１の一部切断面を示す図である。
図３は、下部ハウジングの構成を示す図である。
図４は、図３の一部切断面を示す図である。

図１～図４を参照すると、本発明によるウェハ移送ボックスは、上部ハウジング１００及び下部ハウジング２００を含み、その内部にウェハを積層して保管する。

前記上部ハウジング１００は、上板１０１と、前記上板１０１の下面に垂直に形成されて弧を描いて壁を形成する上部リブ１１０とを含む。

前記上部ハウジング１００は、３６０°の弧を有し、１つで形成される。しかしながら、下部ハウジング２００のように複数で形成することができ、その個数に制限はない。

前記下部ハウジング２００は、下板２０１と、前記下板２０１の上面に垂直に形成され、弧を描いて壁を形成して内部空間Ａにウェハを積層する１つ以上の下部リブ２１０とを含む。前記下部リブ２１０は、図１～図４に示すように２つで形成することができるが、その個数に制限はない。

前記上部ハウジング１００と下部ハウジング２００とを嵌結してその内部にウェハを積層して保管し、前記上部リブ１１０と下部リブ２１０は同じ縦の長さを有し、前記上部ハウジング１００と下部ハウジング２００との嵌合時、前記上部リブ１１０は、前記下部リブ２１０の外側に配置されるように嵌合される。

前記下部ハウジング２００は、下板２０１の上面の各角に前記上部ハウジング１００との嵌合時、結合して固定するラッチ２５０を１つ以上含み、前記上部ハウジング１００は、上板１０１の各角に前記ラッチ２５０に対応する位置に前記ラッチが結合して固定されるラッチホール１５０を１つ以上含むことができる。

前記ラッチ２５０とラッチホール１５０とは、互いに結合され、同じ個数で形成されることが望ましい。

前記ラッチ２５０は、前記下板２０１において前記下部リブ２１０の外側に位置し、前記下板２０１の上面に底部を形成する第１のラッチ部材２５２、前記第１のラッチ部材２５２に垂直方向に前記下部リブ２１０と対向するように形成される第２のラッチ部材２５１と、前記第２のラッチ部材２５１の内側面に突出する第３のラッチ部材２５３と、を含むことができる。前記上部ハウジング１００と下部ハウジング２００との嵌合時、前記第３のラッチ部材２５３が前記ラッチホール１５０に固定結合される。

前記下部ハウジング２００は、前記下部リブ２１０を支持する支持部材２２０をさらに含むことができる。

前記支持部材２２０は、前記ラッチ２５０と下部リブ２１０との間に配置され、前記下部リブ２１０に沿って弧を描いて形成することができる。

一実施例として、前記支持部材２２０は、９０°未満の弧を有して形成することができる。前記支持部材２２０は１つ以上配置することができる。

前記下部リブ２１０と前記支持部材２２０とは一定間隔で離隔されており、前記上部ハウジング１００と下部ハウジング２００との嵌結時、前記上部リブ１１０が前記下部リブ２１０と前記支持部材２２０との間に嵌め込み結合されて内部空間Ａに積層されたウェハを支持して固定することができる。

一実施例として、前記支持部材２２０の高さは、前記下部リブ２１０よりも低く形成することができる。

前記上部ハウジング１００は、前記上部リブ１１０の外側面に形成される固定部材１１５をさらに含むことができる。

前記固定部材１１５は、前記上部リブ１１０の外側面に２つのラッチホール１５０の間に位置され、前記上部ハウジング１００と下部ハウジング２００との嵌合時、２つの支持部材２２０の間に嵌め込み結合されて内部空間Ａに積層されたウェハをさらにしっかりと固定することができる。

前記下部リブ２１０は、内側に突出部材２１５を一定間隔で１つ以上含むことができる。

前記突出部材２１５は、前記上部ハウジング１００と下部ハウジング２００との嵌結時、前記内部空間Ａに積層されたウェハを固定することができる。

より具体的に、図４に示すように、前記突出部材２１５を構成することができる。前記突出部材２１５は、前記下部リブ２１０の内側面に内側に突出するように形成され、前記突出部材２１５が形成された部分は、抜き勾配を０°に形成することが望ましい。

下部リブ２１０は、０．５°～３．０°の抜き勾配を有する。より望ましくは、０．５°～１．０°の抜き勾配を有することがよい。前記下部リブ２１０が抜き勾配を有するため、内部空間Ａにウェハの積層時、上部に行くほどウェハと下部リブ２１０との間に空間が生じ、ウェハの移送時、積層されたウェハが揺れる恐れがある。これに、突出部材２１５が下部リブ２１０に結合され、突出部材２１５が結合される部分は無勾配（抜き勾配０°）を形成することにより、積層されたウェハの上部まで空間がなく積層され、移送時における安全性を向上させることができる。

１００上部ハウジング
１０１上板
１１０上部リブ
１１５固定部材
１５０ラッチホール
２００下部ハウジング
２０１下板
２１０下部リブ
２１５突出部材
２２０支持部材
２５０ラッチ
２５１第２のラッチ部材
２５２第１のラッチ部材
２５３第３のラッチ部材

Claims

下板（２０１）と、前記下板（２０１）の上面に垂直に形成され、弧を描いて壁を形成して内部空間（Ａ）にウェハを積層する１つ以上の下部リブ（２１０）とを含む下部ハウジング（２００）と、
上板（１０１）と、前記上板（１０１）の下面に垂直に形成されて弧を描いて壁を形成する上部リブ（１１０）とを含む上部ハウジング（１００）と、を含み、
前記下部リブ（２１０）は、内側面に突出部材（２１５）を一定間隔で１つ以上含み、
前記突出部材（２１５）は、前記上部ハウジング（１００）と前記下部ハウジング（２００）との嵌合時、前記内部空間（Ａ）に積層されたウェハを固定し、
前記下部リブ（２１０）は、０．５°～３．０°の抜き勾配を有し、
前記突出部材（２１５）が結合された部分は、０°の抜き勾配を有するウェハ移送ボックス。
前記下部ハウジング（２００）は、前記下板（２０１）の上面の各角に前記上部ハウジング（１００）との嵌結時、結合して固定するラッチ（２５０）を１つ以上含み、
前記上部ハウジング（１００）は、前記上板（１０１）の各角に前記ラッチ（２５０）に対応する位置に前記ラッチが結合して固定されるラッチホール（１５０）を１つ以上含む請求項１に記載のウェハ移送ボックス。
前記ラッチ（２５０）は、
前記下板（２０１）において前記下部リブ（２１０）の外側に位置し、
前記下板（２１０）の上面に底部を形成する第１のラッチ部材（２５２）と、
前記第１のラッチ部材（２５２）に垂直方向に前記下部リブ（２５０）と対向するように形成される第２のラッチ部材（２５１）と、
前記第２のラッチ部材（２５１）の内側面に突出する第３のラッチ部材（２５３）と、を含み、
前記上部ハウジング（１００）と前記下部ハウジング（２００）との嵌合時、前記第３のラッチ部材（２５３）が前記ラッチホール（１５０）に固定して結合される請求項２に記載のウェハ移送ボックス。
前記下部ハウジング（２００）は、
前記下部リブ（２１０）を支持する支持部材（２２０）をさらに含み、
前記支持部材（２２０）は、前記ラッチ（２５０）と前記下部リブ（２１０）との間に配置され、前記下部リブ（２１０）に沿って弧を描いて形成される請求項３に記載のウェハ移送ボックス。
前記下部リブ（２１０）は、０．５°～１．０°の抜き勾配を有する請求項１に記載のウェハ移送ボックス。