KR101547177B1 - 웨이퍼 보관 용기 - Google Patents

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KR101547177B1
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임이택
박기호
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Abstract

본 발명은 웨이퍼를 보관하는 보관 용기로써, 받침대의 상면에 측벽부를 구비하고, 이 측벽부의 안쪽에 수납실이 마련되어 웨이퍼가 적층 수납되도록 하는 본체; 상판의 외주에 하향으로 커버체가 구비되어 상기 본체에 덮어져 웨이퍼를 보호하는 덮개; 상기 덮개의 커버체 안쪽면에 구비된 결착부와 상기 본체의 받침대 상면에 돌출된 후크부로 구성되며, 이 후크부가 결착부에 끼워져 본체와 덮개가 결속되도록 하되, 덮개를 개방할 때 상기 후크부에 마련된 손잡이부를 잡고 걸림을 해지할 수 있도록 하고, 결착부에는 이 손잡이부가 수용되는 수용 공간을 마련하여 덮개 상부로 손잡이부가 돌출되는 것을 방지할 수 있는 조립부; 상기 본체의 받침대 저면 중앙에 하향으로 돌출된 적층 벽체와, 상기 덮개의 상면에 마련되어 다른 보관 용기의 본체 저면에 형성된 적층 벽체가 끼워질 수 있도록 하는 적층부; 상기 본체의 저면에 마련되며, 내측 공간으로 감지 센서가 수용되면 이동을 멈추고 웨이퍼가 수납될 수 있도록 하는 감지 센서 수용부가 마련된 기술적인 특징을 갖는 것으로 달성된다.

Description

웨이퍼 보관 용기{WAFER RECEPTACLE}
본 발명은 웨이퍼 보관 용기에 관한 것이다.
더 상세하게는, 본체에 구비되어 덮개를 결속하는 후크부에 걸림 해지가 용이하도록 손잡이부가 마련되고, 덮개에는 이 손잡이가 수용되는 공간이 마련되어 손잡이가 덮개 상부로 돌출되는 일이 없도록 함으로써, 다른 웨이퍼 용기의 적층이 용이하도록 한 웨이퍼 보관 용기에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 본체의 감지 센서 수용부를 구비하여 저면에 정확한 위치에서 웨이퍼가 수납될 수 있도록 함으로서, 보관 및 운반 도중 적층된 웨이퍼가 기울어지는 일이 없도록 한 웨이퍼 보관 용기에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼(wafer)는 반도체 소자를 제작하는 고정밀 제품으로, 운반 및 보관시에는 반드시 별도로 제작된 보관 용기에 수납되어 먼지나 각종 유기물이 점착되는 일이 없도록 하고, 외부 충격으로부터 웨이퍼를 보호하게 된다.
일 예로는 대한민국 공개특허 제2002-81929호의 웨이퍼 보관 용기가 있다.
이 발명은 실린더형 측벽을 갖는 하부 용기와, 하부용기의 실린더형 측벽 상단부를 수용하는 원형 홈 및 하부용기를 덮을 수 있도록 하방으로 연장되는 용기 벽체를 갖는 하부용기로 구성된다.
이러한 웨이퍼 보관용기에 의하면, 먼저 하부용기의 실린더 내경에 쿠션재를 깔고, 그 위에 다수의 웨이퍼를 적층 시킨다. 이때, 웨이퍼와 웨이퍼의 사이에는 간지(insert)를 끼워 넣어 웨이퍼 간의 직접적인 접촉을 방지한다. 그리고 웨이퍼의 적층이 완료되면, 최상층의 웨이퍼 위에 다시 쿠션재를 덮은 후, 상부용기로 하부용기를 덮어 밀폐시킨다. 그리고 최종적으로 테이프로서 하부용기와 상부용기를 고정시킨다.
그러나 이와 같은 종래의 웨이퍼 보관용기는 하부용기와 상부용기를 일일이 테이프로 고정해야 하는 번거로움이 있다. 또한, 위와 같은 웨이퍼 보관용기는 구조상 다층 적재가 어려워 웨이퍼를 운반/보관할 때 상당한 시간과 공간이 필요한 문제가 있다.
웨이퍼 용기의 다른 실시 예로, 일본국 특개 2004 - 43001호의 반도체 웨이퍼 대전 방지 용기도 있다.
그런데, 이와 같은 종래의 용기는 계지수단 즉 본체 저면판에 세워진 계지편이 덮개체 상면판을 관통하여 계지조(係止爪)가 상부로 돌출된 상태에서 덮개체를 고정시키는 구성으로 이루어져 있어, 다른 용기가 본체에 적층되기 위해서는 반드시 본체의 상면에 립(lip)이 구비되어야 하고, 또한 이 립이 계지조보다 높게 설치되도록 설계되어야 하는 불편이 있다.
또한, 덮개를 개방하기 위해서는 계지조를 손가락으로 밀어 걸림을 해지하게 되는데, 이 계지조의 안쪽이 경사면으로 구성되어 손가락으로 밀거나 잡는데 불편함이 있어 덮개의 개방이 어려운 문제도 있다.
본 발명은 위와 같은 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 본체에 구비되어 덮개를 결속하는 후크부의 상부에 걸림 해지가 용이하도록 손잡이부가 마련되고, 덮개에 마련된 결착부에는 후크부가 걸려 본체와 덮개가 결속되도록 함과 아울러 손잡이가 수용되어 외부로 돌출되는 일이 없도록 함으로써 다른 웨이퍼 보관 용기를 적층하여 보관/운반이 가능하도록 한 웨이퍼 보관 용기를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 본체의 저면에 감지 센서 수용부를 구비하여 웨이퍼의 수납 시 정확한 위치에서 수납이 이루어지도록 함으로써 수납 과정이 용이하고, 수납 도중 파손 및 흠집이 발생하는 일이 없도록 하는 웨이퍼 보관 용기를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 본체와 이 본체에 덮어지는 덮개의 결속/해지가 용이하고, 적층 수납시 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 보관 용기를 제공하는 데 있다.
본 발명은 웨이퍼를 보관하는 보관 용기로써, 받침대의 상면에 측벽부를 구비하고, 이 측벽부의 안쪽에 수납실이 마련되어 웨이퍼가 적층 수납되도록 하는 본체; 상판의 외주에 하향으로 커버체가 구비되어 상기 본체에 덮어져 웨이퍼를 보호하는 덮개; 상기 덮개의 커버체 안쪽면에 구비된 결착부와 상기 본체의 받침대 상면에 돌출된 후크부로 구성되며, 이 후크부가 결착부에 끼워져 본체와 덮개가 결속되도록 하되, 덮개를 개방할 때 상기 후크부에 마련된 손잡이부를 잡고 걸림을 해지할 수 있도록 하고, 결착부에는 이 손잡이부가 수용되는 수용 공간을 마련하여 덮개 상부로 손잡이부가 돌출되는 것을 방지할 수 있는 조립부; 상기 본체의 받침대 저면 중앙에 하향으로 돌출된 적층 벽체와, 상기 덮개의 상면에 마련되어 다른 보관 용기의 본체 저면에 형성된 적층 벽체가 끼워질 수 있도록 하는 적층부; 상기 본체의 저면에 마련되며, 내측 공간으로 감지 센서가 수용되면 이동을 멈추고 웨이퍼가 수납될 수 있도록 하는 감지 센서 수용부가 마련된 기술적인 특징을 갖는 것으로 달성된다.
본 발명은 첫째, 본체와 덮개를 결속시켜 웨이퍼의 보관 및 운반을 가능하게 하는 조립부를 구비하되, 이 조립부를 구성하는 후크부의 상부측에 손가락으로 잡아 걸림 상태를 해지시킬 수 있는 손잡이부가 구비되어 덮개를 쉽게 개방할 수 있도록 하고, 아울러 덮개에 손잡이부가 수용될 수 있는 수용 공간이 마련되어 덮개 상부로 손잡이부가 돌출되는 일이 없도록 설계되어 다른 웨이퍼 보관 용기의 적층이 용이하도록 하는 장점이 있다.
둘째, 본 발명은 본체의 저면에 감지 센서 수용부가 마련되어 웨이퍼가 수납되는 수납 위치에 정확하게 정지될 수 있도록 함으로서, 웨이퍼의 적층 수납이 용이하고, 적층 과정에서 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
셋째, 본 발명의 보관 용기는 웨이퍼가 수납되는 수납실이 적어도 한 겹 이상의 벽체로 감싸지도록 구성되어 외부 충격으로부터 웨이퍼를 보호할 수 있는 효과가 있다.
넷째, 본 발명의 보관 용기는 제작이 용이하고, 적층 수납은 물론 웨이퍼의 보관 및 운반이 편리한 발명이다.
도 1은 본 발명에 따른 보관 용기의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 보관 용기의 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 보관 용기의 A-A선 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 보관 용기의 B-B선 단면도,
도 5는 본 발명에 따른 보관 용기 덮개의 단면도,
도 6은 본 발명에 따른 보관 용기 본체의 단면도,
도 7은 본 발명에 따른 보관 용기의 저면 사시도,
도 8은 본 발명에 따른 보관 용기가 적층된 것을 나타낸 단면도.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명에 첨부된 도 1은 본 발명에 따른 보관 용기의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 보관 용기의 평면도 이며, 도 3은 본 발명에 따른 보관 용기의 A-A선 단면도를 도시한 것이다.
또한 첨부된 도 4는 본 발명에 따른 보관 용기의 B-B선 단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 보관 용기 덮개의 단면도,
도 6은 본 발명에 따른 보관 용기 본체의 단면도,
도 7은 본 발명에 따른 보관 용기의 저면 사시도,
도 8은 본 발명에 따른 보관 용기가 적층된 것을 나타낸 단면도.
도면에서 본 발명의 보관 용기(10)는, 웨이퍼가 적층 보관되는 본체(100)와, 이 본체(100)에 씌워지는 덮개(200)로 구성되며, 여기에 조립부(300) 및 적층부(400) 그리고 감지 센서 수용부(500)로 구성된다.
본체(100)
본 발명에 따른 보관 용기(10)의 본체(100)는, 받침대(120)와, 이 받침대(120)의 상면에 세워지는 측벽부(140)와, 이 측벽부와 받침대의 안쪽에 마련되는 수납실(160)로 구성된다.
상기 받침대(120)는 용기 본체의 전체 형상을 결정하는 것으로 도면과 같이, 대략 8각 형상으로 구성되고, 4개 변 즉 가장 자리에 교호로 조립부(300)를 구성하는 후크부(340)가 세워지고, 이 후크부(340)가 덮개(200)에 마련된 결착부(320)에 끼워져 본체(100)와 덮개(200)가 결속되도록 하는 것으로, 상기 후크부(340)의 안쪽으로 상기 측벽부(140)가 세워진다.
한편, 상기 받침대(120)는 다른 형상 예를 들어 원형, 4각, 5각, 6각 등 여러 형상으로 구성될 수 있으며, 그에 따라 측벽부(140)의 형상도 다변화될 수 있다.
상기 측벽부(140)는 받침대(120)의 상면에 돌출되고, 적어도 2개 이상으로 분할되어 등 간격으로 배치되고, 각 측벽부의 내측면은 원형의 웨이퍼(W)가 수납될 수 있도록 소정의 곡률 반경으로 만곡되어 있다.
상기 측벽부(140)는 단일 벽체 또는 내부에 공간을 "∩" 형상의 2중 벽체로 구성되어, 웨이퍼가 수납되는 수납실(160)이 적어도 2겹 이상의 벽체로 감싸져 웨이퍼의 보관 및 운반과정에서 외부 충격으로부터 웨이퍼를 보호하고, 수납실(160)의 내부 온도가 급변하는 것을 방지한다.
상기 받침대(120)의 저면 중앙 부위에는 적층 리브(122)가 형성되어 있다. 이 적층 리브(122)는 주변에 형성된 보조 리브(126)에 비해 정면에서 보았을 때 더 하향으로 돌출된 구성으로, 덮개(200)에 형성된 적층부(400)에 끼워질 수 있도록 한다. 이에 대해서는 적층부에서 설명한다.
한편, 상기 적층 리브(122)와 보강 리브(124)는 받침대(120)의 저면 가장 자리와 중앙 부위에 마련된 감지 센서 수용부(500)가, 다른 보관 용기에 적층되었을 때 걸림이 없도록 하고, 아울러 이 감지 센서 수용부(500)를 보호하며, 적층이 용이하도록 한다.
덮개(200)
본 발명에 따른 덮개(200)는, 상판(220)과, 이 상판(220)의 외주에서 하향으로 돌출 성형된 커버체(240)로 구성된다.
상기 상판(220)은, 상기 본체(100)의 받침대(120)와 동일한 형상으로 구성되어 상기 커버체(240)가 본체의 측벽을 감싸는 방식으로 조립되도록 하고 있으나, 경우에 따라서 다른 형태 및 크기로 제작될 수도 있다.
상기 커버체(240)는 안쪽에 후술하는 조립부(300)의 후크부(340)가 끼워져 고정되는 결착부(320)가 설치되어 있다.
조립부(300)
본 발명에 따른 상기 조립부(300)는, 결착부(320)와 후크부(340)로 구성된다.
상기 결착부(320)는 덮개(200)의 커버체(240)의 안쪽에 마련되고, 상기 후크부(340)는 본체(100)의 받침대(120) 상면에 세워진다.
상기 후크부(340)는, 받침대(120)의 상면에 세워지는 탄성편(342)과, 이 탄성편(342)의 중앙 부위에서 내측으로 돌출된 결합 돌기(344)와, 이 결합 돌기의 상부로 연장된 손잡이부(346)로 구성된다.
본 발명의 특징이라 할 수 있는 상기 손잡이부(346)는 작업자가 후크부를 본체의 바깥쪽으로 당겨 걸림을 해지할 때 편리하게 사용할 수 있도록 하기 위함이며, 나아가 결합 돌기(344)의 직 상부에 위치함으로써 적은 힘으로도 걸림을 해지할 수 있는 장점이 있다.
상기 결착부(320)는 도면과 같이, 덮개(200)에 형성되는 것으로, 내,외측벽(322)(322a)으로 구성된다.
본 발명에서 상기 결착부(320)를 이중 벽체로 구성하는 이유는 운반 과정에서 외부 충격으로부터 웨이퍼를 보호하고, 겨울철이나 여름철에 수납실(160)의 내부 온도가 급변하는 것을 방지할 수 있기 때문이며, 동시에 후크부(340)의 상기 손잡이부(346)가 수용되는 공간을 마련하기 위함이다.
다시 말해, 덮개(200)가 본체(100)에 씌워졌을 때 상기 내, 외측벽(322)(322a)으로 구성된 결착부(320)가 수납실을 감싸게 됨으로써, 본체(100)의 측벽(140) 안쪽에 마련된 수납실(160)이 3겹 또는 4겹(2중 벽체로 구성된 측벽)으로 구성되어 웨이퍼를 보호하게 되는 것이다.
물론, 본체(100)의 측벽부(140)가 단일 벽체로 구성되고, 상기 결착부가 아닌 커버체(240)로 감싸지는 경우에는, 이 커버체(240)와 측벽부(140)가 수납실을 감싸는 즉 수납실(160)이 2겹으로 구성되나, 이 정도의 구성으로도 웨이퍼를 보호할 수 있는 것은 당연한 것이다.
상기 결착부(320)의 내,외측벽(322a)(322) 사이에는 수평으로 막음판(326)이 설치되고, 이 막음판(326)의 중앙에 결착 구멍(328)이 형성되어 상기 후크부(340)가 끼워져 고정되도록 한다.
여기서 상기 막음판(326)은 후크부의 손잡이부가 수용될 수 있도록 중간 부위에 위치한다. 즉, 막음판(326)의 상부측에 수용 공간(324)이 형성되고, 이 수용 공간(324)에 결합 돌기(344)와 손잡이부(346)가 위치하도록 함으로써, 손잡이부(346)가 덮개(200) 상면으로 돌출되는 것을 방지하여, 다른 보관 용기가 적층되었을 때 손잡이부가 걸리는 일이 없도록 한다. 물론 수용 공간(324)은 손가락을 넣을 수 있을 정도의 폭을 갖는 것은 당연한 것이다.
이와 같은 구성으로 이루어진 조립부(300)는 후크부(340)의 결합 시, 결합 돌기(344)에 형성된 경사면이 상기 결착 구멍(328)의 내측 테두리를 따라 이동하며 끼워지는 것으로, 경사면이 이동할 때에는 탄성편(322)이 휘어지면서 결착 구멍에 끼워지고, 결착 구멍에 끼워진 상태에서는 탄성편이 복원되어 걸림이 이루어지며, 분리 시에는 작업자가 손잡이부를 잡고 걸림 반대 방향으로 당겨 분리가 이루어지도록 하는 것이다.
적층부 (400)
상기 적층부(400)는 상기 덮개(200)의 상면에 다른 보관 용기가 적층된 상태에서도 운반 및 보관 시 흔들림이 없도록 하는 것으로, 본체(100)의 저면에 형성되는 적층 리브(122)와 상기 덮개(200)의 상면에 형성된 고정 돌기(420) 및 돌출테 그리고 이들 사이에 형성된 골부(425)로 구성된다.
다시 말해, 상기 덮개(200)는 상면 중앙에는 원형 돌출부(410)가 구비되고, 이 원형 돌출부의 측면에 십(十)자 형태로 고정 돌기(420)가 구비되며, 다시 고정 돌기 보다 낮은 골(425)과 상기 원형 돌출부(410)와 동일한 높이로 돌출테(440)가 마련된 구성이다.
상기 본체(100)는 저면 중앙에 4각의 적층 리브(122)가 구비되고, 이 적층 리브(122)와 연속하여 보강 리브(124)와 보조 리브(126)가 구비된 구성이다.
이러한 구성의 본 발명은 적층 시, 상기 원형 돌출부와 고정 돌기는 적층 리브(122)의 안쪽 공간(122a)에 끼워지고, 보강 리브(124)는 골(425) 그리고, 돌출테(440)는 보조 리브(126)에 밀착되는 것으로 적층된다.
이러한 적층에서 본 발명은 먼저 적층 리브(122)과 4각으로 구성되고, 각 모서리 부위의 안쪽으로 고정 돌기(420)가 위치함으로써, 수평으로 흔들리는 일이 없도록 한다.
또한, 본 발명은 보강 리브와 연속하여 보조 리브가 돌출됨으로써, 보강 리브가 골(425) 바닥에 밀착되는 것이 아니라 일부만 끼워지고, 그것으로 인하여 상하로 적층되는 본 발명의 웨이퍼 보관용기 사이에 손가락을 끼워 상부측 웨이퍼 용기를 쉽게 들어올릴 수 있는 틈새(P)가 마련되도록 하는 특징도 있다.
또 상기 틈새(P)는 후술하는 감지 센서 수용부(500)에 끼워지는 감지 센서가 하부측 웨이퍼 보관 용기의 덮개에 닿아 손상되는 현상도 방지할 수 있다.
감지 센서 수용부 (500)
본 발명에 따른 감지 센서 수용부(500)는, 웨이퍼의 수납 시 정해진 위치에 보관 용기가 놓이도록 하기 위한 것이다. 즉 웨이퍼는 고가의 고정밀도 제품으로 보관 용기에 수납할 때에도 상당한 주위를 기울여야 하는 것은 당연한 것이다. 이에 본 발명은 감지 센서 수용부(500)를 구비하여 웨이퍼 생산 장치 또는 웨이퍼 이송 로봇과 연계된 감지 센서가 여기에 끼워지도록 하고, 끼워진 감지 센서의 신호에 따라 보관 용기의 이동이 멈춰 웨이퍼가 수납되도록 하고, 또는 작업자가 수납 위치에 놓으면 그 위치가 정 위치에 놓여졌는가를 검출할 수 있도록 하는 것이다.
또한 감지 센서 수용부에 설치되는 감지 센서는 웨이퍼 보관 용기의 위치를 감지하는 센서가 설치되는 것은 기본이나 여기에 더하여 본체의 무게를 감지하는 센서 또는 습도 또는 반도체 장비 주변을 감지하는 센서가 설치될 수도 있다.
본 발명에 따른 상기 감지 센서 수용부(500)는 본체의 저면에 마련되며 도면과 같이 원형 또는 사각 형태로 구성된다.
본체(100)의 저면 가장 자리에 마련된 제 1수용부(520)는, 도면과 같이 한쌍의 측판(522) 사이에 구획판(524)에 설치된 구성으로, 구획판(524)을 중심으로 안쪽 또는 바같쪽, 또는 양측 공간 모두에 감지 센서가 끼워질 수 있도록 하는 것이다.
또한 제 2, 3 수용부(540)(560)는 원형 관체 형상으로, 센서의 구성 및 종류 위치에 감지 센서가 끼워질 수 있도록 한다.
한편, 본 발명의 감지 센서 수용부는 제1, 2, 3 수용부가 서로 엇갈리게 배치되어 선택적으로 또는 동시에 감지 센서가 수용될 수 있도록 한다.
다른 방식으로, 본 발명은 감지 센서 수용부 중 일부에는 감지 센서를 구비하지 않고, 여기에 반도체 생산과 연계된 기계 기구 장치 또는 웨이퍼 수납 시 흔들림을 방지하는 브라켓트가 끼워질 수도 있다.
다음은 이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 사용 상태를 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 보관 용기(10)는 본체(100)의 수납실(160) 즉 측벽부(140)의 안쪽에 마련된 수납실(160)에 웨이퍼를 적층 수납하는 것으로, 본체(100) 저면의 감지 센서 수용부(500)에 끼워진 감지 센서에 의해 정해진 위치에서 흔들림 없이 웨이퍼가 수납/적층되도록 한다.
적층 후 작업자는 덮개(200)를 덮어 웨이퍼의 손상을 방지하되, 이때 덮개에 구비된 결착부(320)와 본체에 세워진 측벽부(120)가 웨이퍼가 수납된 수납실 전체를 감싸 웨이퍼를 보호한다.
물론, 상기 본체(100)와 덮개(200)는 조립부, 즉 후크부(340)가 결착부(320)에 끼워지는 것으로 조립된다.
덮개의 분리 시에는 후크부 상부에 구비되는 손잡이부를 이용하여 간편하게 걸림을 해지할 수 있다.
또한, 본 발명은 적층 시, 적층부에 의해 감지 센서 수용부에 설치되는 감지센서는 보호하고, 적층 리브에 의해 흔들림이 방지되며, 나아가 틈새를 통해 상부측 웨이퍼 보관 용기도 쉽게 들어올 수 있는 것이다.
10 : 보관 용기 100 : 본체
120 : 받침대 200 : 덮개
240 : 커버체 300 : 조립부
320 : 결착부 340 : 후크부
400 : 적층부 500 : 감지 센서 수용부

Claims (6)

  1. 웨이퍼를 보관하는 보관 용기로써,
    받침대의 상면에 측벽부를 구비하고, 이 측벽부의 안쪽에 수납실이 마련되어 웨이퍼가 적층 수납되도록 하는 본체;
    상판의 외주에 하향으로 커버체가 구비되어 상기 본체에 덮어져 웨이퍼를 보호하는 덮개;
    상기 덮개의 커버체 안쪽면에 구비된 결착부와 상기 본체의 받침대 상면에 돌출된 후크부로 구성되며, 이 후크부가 결착부에 끼워져 본체와 덮개가 결속되도록 하되, 덮개를 개방할 때 상기 후크부에 마련된 손잡이부를 잡고 걸림을 해지할 수 있도록 하고, 결착부에는 이 손잡이부가 수용되는 수용 공간을 마련하여 덮개 상부로 손잡이부가 돌출되는 것을 방지할 수 있는 조립부;
    상기 본체의 받침대 저면 중앙에 하향으로 돌출된 적층 리브와, 상기 덮개의 상면에 돌출되어 다른 웨이퍼 보관 용기의 본체에 구비된 적층 리브의 안쪽으로 끼워지는 고정 돌기로 구성된 적층부;
    상기 본체의 저면에 마련되며, 내측 공간으로 감지 센서가 끼워지도록 하는 감지 센서 수용부가 갖추어진 것을 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 감지 센서 수용부는 제1, 2, 3 수용부로 구성하되, 상기 제1 수용부는 사각 형태로 구성되고, 제 2 및 제 3 수용부는 원형 형태로 구성되며, 이들이 서로 엇갈리게 배치된 것을 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 감지 센서 수용부의 제 1수용부는 한쌍의 측판 사이에 구획판에 설치되어, 이 구획판을 중심으로 안쪽 또는 바같쪽, 또는 양측 공간에 선택적으로 감지 센서가 끼워질 수 있도록 하는 것을 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 본체의 측벽부는 등간격으로 분할되고, 각 측벽부는 단일 또는 2중 벽체로 구성되며, 덮개에 구비된 결착부는 내, 외측벽으로 구성된 것으로, 상기 덮개가 본체에 씌워졌을 때, 상기 덮개의 커버체와, 커버체의 안쪽에 마련된 결착부가 상기 측벽부의 외측에 위치하여 수납실 전체가 2겹 이상의 벽체로 감싸지도록 하는 것을 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 조립부의 결착부는 내, 외측벽 사이에 수평으로 막음판을 구비하여 상부측에 수용 공간이 마련되도록 하며, 이 막음판에 후크부가 끼워지는 결착 구멍이 형성됨과 아울러 막음판이 내, 외측벽의 중간 높이에 위치하여 상부측 수용 공간에 후크부에 구비된 손잡이부가 수용되도록 하는 것을 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 후크부는 본체의 바닥판에 세워지는 탄성편과, 이 탄성편의 중앙 부위 안쪽에 구비된 걸림 돌기와, 상기 걸림 돌기의 상부로 연장된 손잡이부로 구성된 것을 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017139494A1 (en) * 2016-02-09 2017-08-17 Entegris, Inc. Flexible substrate shipper

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8502781B2 (en) * 2008-03-20 2013-08-06 ACCO Brands Corporation 3-axis trackball
KR102595523B1 (ko) * 2021-09-07 2023-10-30 주식회사 삼에스코리아 웨이퍼 이송 박스

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200342507Y1 (ko) 2003-11-03 2004-02-21 (주)상아프론테크 웨이퍼 보관용기
KR101447451B1 (ko) 2014-05-22 2014-10-07 (주)상아프론테크 웨이퍼 보관 용기

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59198183A (ja) * 1983-07-29 1984-11-09 Tokyo Electric Co Ltd プリンタ
JPH1064992A (ja) * 1996-08-14 1998-03-06 Sony Corp ウエハケース
US6591162B1 (en) * 2000-08-15 2003-07-08 Asyst Technologies, Inc. Smart load port with integrated carrier monitoring and fab-wide carrier management system
US7040487B2 (en) * 2001-07-14 2006-05-09 Entegris, Inc. Protective shipper
JP4378603B2 (ja) * 2003-07-24 2009-12-09 株式会社ダイフク 板状体取出装置
JP4485963B2 (ja) * 2005-01-14 2010-06-23 信越ポリマー株式会社 板状物収納容器
US8813964B2 (en) * 2009-08-26 2014-08-26 Texchem Advanced Products Incorporated Sdn. Bhd. Wafer container with recessed latch

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200342507Y1 (ko) 2003-11-03 2004-02-21 (주)상아프론테크 웨이퍼 보관용기
KR101447451B1 (ko) 2014-05-22 2014-10-07 (주)상아프론테크 웨이퍼 보관 용기

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017139494A1 (en) * 2016-02-09 2017-08-17 Entegris, Inc. Flexible substrate shipper

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