KR102595526B1 - 웨이퍼 이송 박스 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 웨이퍼 이송 박스는, 밑판(201)과 상기 밑판(201) 상면에 수직으로 형성되어 호를 그리며 벽을 형성하여 내부공간(A)에 웨이퍼를 적층하는 하나 이상의 하부리브(210)를 포함하는 하부하우징(200); 상판(101)과 상기 상판(101) 하면에 수직으로 형성되어 호를 그리며 벽을 형성하는 상부리브(110)를 포함하는 상부하우징(100);및b상기 하부리브(210) 안쪽으로 결합되는 측벽부재(300);를 포함하고, 상기 측벽부재(300)는 상기 상부하우징(100)이 하부하우징(200)과 결합할 때, 상기 내부공간(A)에 적층된 웨이퍼를 고정하는 점에 그 특징이 있다.
본 발명에 따르면, 웨이퍼를 이동할 때 발생되는 진동, 충격 등을 균일하게 최소로 유지시키기 위해서 적층된 웨이퍼를 고정하는 고정수단을 가지는 웨이퍼 이송 박스를 제공할 수 있다.

Description

웨이퍼 이송 박스{Waper shipping box}
본 발명은 웨이퍼 이송 박스에 관한 것으로, 특히, 웨이퍼를 이동할 때 발생되는 진동, 충격 등을 균일하게 최소로 유지시키기 위해서 적층된 웨이퍼를 고정하는 고정수단을 가지는 웨이퍼 이송 박스에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼(wafer)는 반도체 소자를 제작하는 고정밀 제품으로, 운반 및 보관시에는 반드시 별도로 제작된 보관 용기에 수납되어 먼지나 각종 유기물이 점착되는 일이 없도록 하고, 외부 충격으로부터 웨이퍼를 보호하게 된다.
웨이퍼는 이송 박스에 적층 구조로 수납되고 웨이퍼 이송 박스는 적층된 다수의 웨이퍼를 안전하게 수납한다. 이 때, 웨이퍼 이송 박스 내에 적층된 웨이퍼들이 이동할 때 발생되는 진동, 충격등을 최소화 할 수 있는 수단이 필요하다.
이에 종래기술로, 국내 공개특허 2002-81929호가 제안되어 있다. 이 기술은 실린더형 측벽을 갖는 하부 용기와, 하부용기의 실린더형 측벽 상단부를 수용하는 원형 홈 및 하부용기를 덮을 수 있도록 하방으로 연장되는 용기 벽체를 갖는 하부용기로 구성된다.
이러한 웨이퍼 보관용기에 의하면, 먼저 하부용기의 실린더 내경에 쿠션재를 깔고, 그 위에 다수의 웨이퍼를 적층 시킨다. 이때, 웨이퍼와 웨이퍼의 사이에는 간지(insert)를 끼워 넣어 웨이퍼 간의 직접적인 접촉을 방지한다. 그리고 웨이퍼의 적층이 완료되면, 최상층의 웨이퍼 위에 다시 쿠션재를 덮은 후, 상부용기로 하부용기를 덮어 밀폐시킨다. 그리고 최종적으로 테이프로서 하부용기와 상부용기를 고정시킨다.
그러나 이와 같은 종래의 웨이퍼 보관용기는 하부용기와 상부용기를 일일이 테이프로 고정해야 하는 번거로움이 있다. 또한, 종래의 웨이퍼 보관용기는 다단으로 적층할 수 없는 단점이 있다. 즉, 통상적으로 웨이퍼가 보관된 보관용기를 보관 및 운반할 경우에는, 상기 보관용기를 다단으로 적층하여 보관하거나 운반한다. 그러나 종래의 보관용기는 다단으로 적층하기 어렵게 구성되어 다단으로 적층할 경우, 적층된 보관용기가 넘어져 흐트러진다는 단점이 있는 것이다.
이에, 다른 종래기술로, 등록 실용 20-0342507호에서 다른 방식의 보관용기가 개시된다.
이 보관 용기는 측면의 적어도 일 부위가 절취되어 개방된 실린더 형상의 웨이퍼 수용실을 구비한 하부용기; 상기 수용실을 덮도록 상기 하부용기와 결합되는 상부용기; 상기 상부용기 및/또는 상기 하부용기와 일체로 형성되어, 상기 상부용기와 상기 하부용기가 상호 결합된 상태를 유지하도록 걸림결합에 의해 체결되는 체결부;를 포함하며, 상기 상부용기와 상면과 상기 하부용기의 하면은 각각의 적어도 일 부위가 상호 대면시 형상맞춤되는 판면 프로파일을 갖도록 형성된 것이다.
또한, 상기 체결부는 상기 하부용기와 상기 상부용기 중 어느 하나와 일체로 형성되는 후크부를 포함하며, 상기 하부용기와 상기 상부용기 중 다른 하나에는 상기 후크부가 삽입되어 걸리는 걸림 구멍이 형성되어 있는 구성이다.
그런데 이와 같은 보관 용기도, 웨이퍼가 수납되는 수납실을 안전하게 보호하기 어렵고, 또한 웨이퍼의 적층 수납시, 본체가 흔들려 웨이퍼가 손상될 우려가 있다.
국내공개특허 2002-81929호 등록실용신안 20-0342507호
본 발명은 웨이퍼를 이동할 때 발생되는 진동, 충격 등을 균일하게 최소로 유지시키기 위해서 적층된 웨이퍼를 고정하는 고정수단을 가지는 웨이퍼 이송 박스를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 박스는, 밑판(201)과 상기 밑판(201) 상면에 수직으로 형성되어 호를 그리며 벽을 형성하여 내부공간(A)에 웨이퍼를 적층하는 하나 이상의 하부리브(210)를 포함하는 하부하우징(200); 상판(101)과 상기 상판(101) 하면에 수직으로 형성되어 호를 그리며 벽을 형성하는 상부리브(110)를 포함하는 상부하우징(100);및b상기 하부리브(210) 안쪽으로 결합되는 측벽부재(300);를 포함하고, 상기 측벽부재(300)는 상기 상부하우징(100)이 하부하우징(200)과 결합할 때, 상기 내부공간(A)에 적층된 웨이퍼를 고정하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 하부하우징(200)은 밑판(201) 상면 각 모서리에 상기 상부하우징(100)과 결합시 결합고정하는 래치(250)를 하나 이상 포함하고, 상기 상부하우징(100)은 상판(101) 각 모서리에 상기 래치(250)에 대응되는 위치에 상기 래치가 결합고정되는 래치홀(150)을 하나 이상 포함하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 래치(250)는, 상기 밑판(201)에서 상기 하부리브(210) 바깥쪽에 위치하고, 상기 밑판(210) 상면에 바닥을 형성하는 제1래치부재(252); 상기 제1래치부재(252)에 수직방향으로 상기 하부리브(250)와 대향되도록 형성되는 제2래치부재(251);및 상기 제2래치부재(251) 안쪽면으로 돌출되는 제3래치부재(253);를 포함하고, 상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시, 상기 제3래치부재(253)가 상기 래치홀(150)에 고정결합되는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 하부하우징(200)은, 상기 하부리브(210)를 지지하는 지지부재(220)를 더 포함하고, 상기 지지부재(220)는 상기 래치(250)와 하부리브(210)사이에 배치되고, 상기 하부리브(210) 하단부에 하부리브(210)를 따라 호를 그리며 형성되는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 하부하우징(200)은 상기 하부리브(210) 내측에 공간이 구성된 측벽부재 홈(230)을 더 포함하고, 상기 측벽부재(300)는 상기 측벽부재(300) 하단부에 돌출된 측벽고정부재(330)를 더 포함하고, 상기 측벽고정부재(330)는 상기 측벽부재 홈(230)에 결합되어 상기 측벽부재(300)를 상기 하부하우징(200)에 고정하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 상부하우징(100)은 상부리브(110) 내측에 내측부재(111)를 더 포함하고, 상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시, 상기 내측부재(100)는 상기 측벽부재(300) 상단과 접촉되고, 상기 하부리브(210)는상기 측벽부재(300) 하단과 접촉되어, 내부공간(A)에 적층된 웨이퍼를 고정하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 상부하우징(100)은, 상기 상부하우징(100) 하면에 하부로 돌출된 제1돌출부재(131);및 상기 제1돌출부재(131) 내측으로 상기 상부하우징(100) 하면에 하부로 돌출된 제2돌출부재(132);를 더 포함하고, 상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시, 상기 제1돌출부재(131)는 상기 측벽부재(300) 상단과 링프레임 사이에 끼움결합되고, 상기 제2돌출부재(132)는 가장 상단의 웨이퍼를 가압하여 고정하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 측벽부재(300)는 외측면 중앙에 중간홈을 더 포함하고, 상기 하부리브(210)는 상기 하부리브(210) 상부에 일정 간격으로 하나 이상 구비되는 걸이부재(211)를 더 포함하고, 상기 측벽부재(300)가 하부하우징(200)에 결합시, 상기 걸이부재(211)는 상기 측벽부재(300) 중앙홈에 결합되어 측벽부재(300)를 고정하는 점에 그 특징이 있다.
본 발명에 따르면, 웨이퍼를 이동할 때 발생되는 진동, 충격 등을 균일하게 최소로 유지시키기 위해서 적층된 웨이퍼를 고정하는 고정수단을 가지는 웨이퍼 이송 박스를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송 박스의 전체적인 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 일부 절단면을 도시한 도면이다.
도 3은 하부하우징 및 측벽부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 4는 도 3의 일부 절단면을 도시한 도면이다.
도 5는 상부하우징의 다른 실시예를 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 이를 상세한 설명을 통해 상세히 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 본 명세서의 설명 과정에서 이용되는 숫자(예를 들어, 제1, 제2 등)는 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위한 식별기호에 불과하다.
또한, 본 명세서에서, 일 구성요소가 다른 구성요소와 "연결된다" 거나 "접속된다" 등으로 언급된 때에는, 상기 일 구성요소가 상기 다른 구성요소와 직접 연결되거나 또는 직접 접속될 수도 있지만, 특별히 반대되는 기재가 존재하지 않는 이상, 중간에 또 다른 구성요소를 매개하여 연결되거나 또는 접속될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의거하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송 박스의 전체적인 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 일부 절단면을 도시한 도면이다.
도 3은 하부하우징 및 측벽부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 4는 도 3의 일부 절단면을 도시한 도면이다.
도 5는 상부하우징의 다른 실시예를 도시한 도면이다.
도 1내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 박스는, 상부하우징(100), 하부하우징(200) 및 측벽부재(300)를 포함하여 구성된다.
상기 상부하우징(100)은 상판(101)과 상기 상판(101) 하면에 수직으로 형성되어 호를 그리며 벽을 형성하는 상부리브(110)를 포함한다.
상기 상부하우징(100)은 360°의 호를 가지며 하나로 형성된다. 그러나, 하부하우징(200)과 같이 여러개로 형성될 수 있으며 그 개수의 제한은 없다.
상기 하부하우징(200)은 밑판(201)과 상기 밑판(201) 상면에 수직으로 형성되어 호를 그리며 벽을 형성하여 내부공간(A)에 웨이퍼를 적층하는 하나 이상의 하부리브(210)를 포함한다. 상기 하부리브(210)는 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이 2개로 형성될 수 있으나, 그 개수에 제한은 없다.
상기 상부하우징(100)와 하부하우징(200)은 결합되어 내부에 웨이퍼를 적층 보관하고, 상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시 상기 상부리브(110)는 상기 하부리브(210)의 바깥쪽으로 배치되도록 결합된다.
상기 하부하우징(200)은 밑판(201) 상면 각 모서리에 상기 상부하우징(100)과 결합시 결합고정하는 래치(250)를 하나 이상 포함하고, 상기 상부하우징(100)은 상판(101) 각 모서리에 상기 래치(250)에 대응되는 위치에 상기 래치가 결합고정되는 래치홀(150)을 하나 이상 포함할 수 있다.
상기 래치(250)와 래치홀(150)은 서로 결합되는 것으로 같은 개수로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 래치(250)는 상기 밑판(201)에서 상기 하부리브(210) 바깥쪽에 위치하고, 상기 밑판(210) 상면에 바닥을 형성하는 제1래치부재(252), 상기 제1래치부재(252)에 수직방향으로 상기 하부리브(250)와 대향되도록 형성되는 제2래치부재(251) 및 상기 제2래치부재(251) 안쪽면으로 돌출되는 제3래치부재(253);를 포함할 수 있다. 상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시, 상기 제3래치부재(253)가 상기 래치홀(150)에 고정결합된다.
상기 하부하우징(200)은 상기 하부리브(210)를 지지하는 지지부재(220)를 더 포함할 수 있다.
상기 지지부재(220)는 상기 래치(250)와 하부리브(210)사이에 배치되고, 상기 하부리브(210) 하단부에 하부리브(210)를 따라 호를 그리며 형성될 수 있다.
일 실시 예로, 상기 지지부재(220)는 90°미만의 호를 가지며 형성될 수 있다. 상기 지지부재(220)는 하나 이상 배치될 수 있다.
상기 하부리브(210)와 상기 지지부재(220)는 일정간격 이격되어 있고, 상기 상부하우징(100)이 하부하우징(200)에 결합시, 상기 상부리브(110)가 상기 하부리브(210)와 상기 지지부재(220) 사이에 끼움결합되어 내부공간(A)에 적층된 웨이퍼를 지지고정할 수 있다.
일 실시 예로, 상기 지지부재(200)의 높이는 상기 하부리브(210)보다 낮게 형성될 수 있다.
상기 상부하우징(100)은 상기 상부리브(110) 바깥면으로 형성되는 고정부재(155)를 더 포함할 수 있다.
상기 고정부재(155)는 상기 상부리브(110) 바깥면으로 두 개의 래치홀(150) 사이에 위치되어 상기 상부하우징(100)이 하부하우징(200)과 결합시, 두 개의 지지부재(220) 사이에 끼움결합되어 내부공간(A)에 적층된 웨이퍼를 더 단단히 고정할 수 있다.
상기 측벽부재(300)는 상기 하부리브(210) 내측면에 결합되고, 상기 하부리브(210)와 같이 호를 그리며 벽을 형성한다. 상기 밑판(201)에 하부리브(210) 내측면으로 측벽부재(300)가 결합될 수 있는 밑판홈이 형성되어 상기 측벽부재(300)는 상기 밑판홈에 결합된다. 상기 측벽부재(300)는 상기 하부리브(210) 보다 높이가 높고, 외측면 중앙에 중간홈을 포함한다.
상기 하부리브(210)는 걸이부재(211)를 더 포함할 수 있다. 상기 걸이부재(211)는 상기 하부리브(210) 상부에 일정 간격으로 하나 이상 구비될 수 있다. 상기 걸이부재(211)는 걸이부재(211) 상단부에 내측으로 돌출된 걸이부가 포함된다.
상기 측벽부재(300)가 하부하우징(200)에 결합시, 상기 걸이부재(211)는 상기 측벽부재(300) 중간홈에 결합되어 측벽부재(300)를 고정할 수 있다.
상기 측벽부재(300)는 180°미만의 호를 가질 수 있으며, 하부리브(210)와 결합되는 것으로 하부리브(210)의 개수와 동일한 개수가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 측벽부재(300)는 내측면 하단부에 내측으로 돌출된 측벽고정부재(330)를 더 포함할 수 있다. 상기 측벽고정부재(330)는 도 3과 같이 하나의 측벽부재(300)에 하나만 구비될 수도 있으나, 일정 간격으로 하나 이상이 구비될 수 도 있다.
상기 측벽고정부재(330)는 측벽부재 홈(230)과 결합되어 측벽부재를 고정한다.
측벽부재 홈(230)은 밑판(201) 하부리브(210) 내측으로 측벽부재(300)가 결합되는 밑판홈 상에 별도의 홈으로 구비될 수 있다. 상기 측벽부재 홈(230)에 측벽고정부재(330)가 결합됨으로써 측벽부재(300)가 하부하우징(200)에서 이탈되지 않게 더 단단히 고정될 수 있다.
상기 상부하우징(100)은 상부리브(110) 내측에 내측부재(111)를 더 포함할 수 있다. 상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시, 상기 내측부재(100)는 상기 측벽부재(300) 상단과 접촉되고, 상기 하부리브(210)는상기 측벽부재(300) 하단과 접촉되어, 내부공간(A)에 적층된 웨이퍼를 고정하게 된다.
여기서, 상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시, 상기 하부리브(210) 상단부과 내측부재(111) 하단부가 맞물리도록 결합되는 것이 바람직하다.
상기 상부하우징(100)은 제1돌출부재(131) 및 제2돌출부재(132)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1돌출부재(131)는 상기 상부하우징(100) 하면에 하부로 돌출되고, 상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시, 상기 측벽부재(300) 상단과 최상단 링프레임 사이에 끼움결합된다.
상기 제2돌출부재(132)는 상기 제1돌출부재(131) 내측으로 상기 상부하우징(100) 하면에 하부로 돌출되고, 가장 상단의 웨이퍼를 가압하여 고정할 수 있다.
본 발명에 따라, 측벽부재(300)를 하부하우징(200)에 결합함으로써, 웨이퍼 적층 보관 또는 이동시 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합만으로 내부에 공간이 생겨 웨이퍼가 진동, 충격 등을 받는 것을 최소화함으로써 웨이퍼 이송시 안전성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시 예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시 예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 상부하우징 101 상판
110 상부리브 115 고정부재
131 제1돌줄부재 132 제2돌출부재
150 래치홀 200 하부하우징
201 밑판 210 하부리브
220 지지부재 230 측벽부재 홈
250 래치
251 제2래치부재 252 제1래치부재
253 제3래치부재 300 측벽부재

Claims (8)

  1. 밑판(201)과 상기 밑판(201) 상면에 수직으로 형성되어 호를 그리며 벽을 형성하여 내부공간(A)에 웨이퍼를 적층하는 하나 이상의 하부리브(210)를 포함하는 하부하우징(200);
    상판(101)과 상기 상판(101) 하면에 수직으로 형성되어 호를 그리며 벽을 형성하는 상부리브(110)를 포함하는 상부하우징(100);및
    상기 하부리브(210) 안쪽으로 결합되는 측벽부재(300);를 포함하고,
    상기 측벽부재(300)는 상기 상부하우징(100)이 하부하우징(200)과 결합할 때, 상기 내부공간(A)에 적층된 웨이퍼를 고정하고,
    상기 하부하우징(200)은 상기 하부리브(210) 내측에 공간이 구성된 측벽부재 홈(230)을 더 포함하고,
    상기 측벽부재(300)는 상기 측벽부재(300) 하단부에 돌출된 측벽고정부재(330)를 더 포함하고,
    상기 측벽고정부재(330)는 상기 측벽부재 홈(230)에 결합되어 상기 측벽부재(300)를 상기 하부하우징(200)에 고정하는,
    웨이퍼 이송 박스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하부하우징(200)은 밑판(201) 상면 각 모서리에 상기 상부하우징(100)과 결합시 결합고정하는 래치(250)를 하나 이상 포함하고,
    상기 상부하우징(100)은 상판(101) 각 모서리에 상기 래치(250)에 대응되는 위치에 상기 래치가 결합고정되는 래치홀(150)을 하나 이상 포함하는,
    웨이퍼 이송 박스.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 래치(250)는,
    상기 밑판(201)에서 상기 하부리브(210) 바깥쪽에 위치하고,
    상기 밑판(201) 상면에 바닥을 형성하는 제1래치부재(252);
    상기 제1래치부재(252)에 수직방향으로 상기 하부리브(210)와 대향되도록 형성되는 제2래치부재(251);및
    상기 제2래치부재(251) 안쪽면으로 돌출되는 제3래치부재(253);를 포함하고,
    상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시, 상기 제3래치부재(253)가 상기 래치홀(150)에 고정결합되는,
    웨이퍼 이송 박스.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 하부하우징(200)은,
    상기 하부리브(210)를 지지하는 지지부재(220)를 더 포함하고,
    상기 지지부재(220)는 상기 래치(250)와 하부리브(210)사이에 배치되고, 상기 하부리브(210) 하단부에 하부리브(210)를 따라 호를 그리며 형성되는,
    웨이퍼 이송 박스.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 상부하우징(100)은 상부리브(110) 내측에 내측부재(111)를 더 포함하고,
    상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시, 상기 내측부재(111)는 상기 측벽부재(300) 상단과 접촉되고, 상기 하부리브(210)는상기 측벽부재(300) 하단과 접촉되어, 내부공간(A)에 적층된 웨이퍼를 고정하는,
    웨이퍼 이송 박스.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 상부하우징(100)은,
    상기 상부하우징(100) 하면에 하부로 돌출된 제1돌출부재(131);및
    상기 제1돌출부재(131) 내측으로 상기 상부하우징(100) 하면에 하부로 돌출된 제2돌출부재(132);를 더 포함하고,
    상기 상부하우징(100)과 하부하우징(200) 결합시, 상기 제1돌출부재(131)는 상기 측벽부재(300) 상단과 링프레임 사이에 끼움결합되고,
    상기 제2돌출부재(132)는 가장 상단의 웨이퍼를 가압하여 고정하는,
    웨이퍼 이송 박스.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 측벽부재(300)는 외측면 중앙에 중간홈을 더 포함하고,
    상기 하부리브(210)는 상기 하부리브(210) 상부에 일정 간격으로 하나 이상 구비되는 걸이부재(211)를 더 포함하고,
    상기 측벽부재(300)가 하부하우징(200)에 결합시, 상기 걸이부재(211)는 상기 측벽부재(300) 중앙홈에 결합되어 측벽부재(300)를 고정하는,
    웨이퍼 이송 박스.
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