KR20020081929A - 웨이퍼 포장 용기 - Google Patents

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KR20020081929A
KR20020081929A KR1020010021479A KR20010021479A KR20020081929A KR 20020081929 A KR20020081929 A KR 20020081929A KR 1020010021479 A KR1020010021479 A KR 1020010021479A KR 20010021479 A KR20010021479 A KR 20010021479A KR 20020081929 A KR20020081929 A KR 20020081929A
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박배승
안은준
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삼성전자 주식회사
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Abstract

웨이퍼 포장 용기가 개시된다. 본 발명의 포장 용기는 하부 용기와 상부 용기를 구비하며, 상기 하부 용기는 베이스와, 베이스에 고정 형성되며 일정 거리 이격된 외부 및 내부 측벽의 2중 벽체 구조를 가지는 실린더형의 측벽을 가지고, 상기 상부 용기는 캡과, 캡 주연부에서 하방으로 형성된 용기 벽체를 가지는 것을 특징으로 하며, 다른 직경의 웨이퍼 포장에 겸용될 수 있도록 탈착 가능한 가이드 링이 하부 용기의 베이스에 실린더형 측벽 내측으로 부가 형성될 수 있다.

Description

웨이퍼 포장 용기{WAFER PACKING JAR}
본 발명은 웨이퍼 포장 용기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼를 장거리 운송시 웨이퍼를 포장하기 위한 용기에 관한 것이다.
웨이퍼 자체를 운송할 필요가 있을 때 웨이퍼를 담을 수 있는 포장 수단이 필요하다. 특히 웨이퍼를 운송할 곳이 장거리 떨어진 외국인 경우에는 항공기 등의 운송 수단을 통해 웨이퍼를 운송할 때 웨이퍼는 충격, 오염, 긁힘, 온도, 습도의 변화와 같은 많은 손상 요인과 환경 변화를 가질 수 있으므로 웨이퍼를 초기의 상태로 보존할 수 있는 포장 수단이 요청된다.
포장 수단으로 많이 사용되는 것으로 패킹 자(Packing Jar)가 있다. 현재 사용되는 패킹 자는 웨이퍼의 구경에 따라 4각 혹은 원형의 폴리프로필렌 박스 형태를 많이 사용한다. 그러나, 패킹 자 자체에 충격에 대해 웨이퍼를 보호할 구성을 갖추기 못하고 범용 충격 완화재인 폴리에칠렌 폼(foam)을 보충하여 사용하고 있다. 또한, 패킹 자 자체는 닫겨진 경우에도 외부의 습기가 침투하는 것을 방지하지 못하므로 웨이퍼는 직접적으로 쉴드 백(shielding bag)에 담겨진다. 쉴드 백은 웨이퍼를 넣고 실링(sealing)을 하는 반투명의 봉지 형태로 이루어지며, 폴리에스터, 금속박, 폴리에칠렌의 층구성을 가지고 있어서 정전기 등에 의한 충격을 방지할 수 있다. 그러나, 쉴드 백도 웨이퍼를 넣고 꺼낼 때 작업이 불편하고, 웨이퍼가 고정되지 않으므로 쉴드 백 내에서 웨이퍼가 움직이면서 쉴드 백 내면과 접촉하여 긁힘 현상이 일어날 수 있다.
그리고, 일부의 경우에는 쉴드 백 없이 패킹 자에만 패킹을 하기도 하는데 외부의 습기 침투로 인한 패드 부식이나, 파티클의 침투에 대해 신뢰성 있는 보호수단이 될 수 없었다.
따라서 본 발명은 상술한 웨이퍼 포장 수단의 문제점을 개선하기 위한 것으로, 웨이퍼 표면 긁힘 현상 및 충격을 방지할 수 있는 웨이퍼 포장 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 습도와 같은 외부 환경 변화에 따른 웨이퍼 손상을 방지할 수 있는 웨이퍼 포장 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 자동 장비에 의한 웨이퍼 포장에 적합한 웨이퍼 표장 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도1 및 도2는 본 발명의 일 실시예인 웨이퍼 포장 용기 가운데 하부 용기의 평면도 및 측단면도를 나타낸다.
도3 및 도4는 본 발명의 일 실시예의 상부 용기를 나타내는 평면도 및 측단면도이다.
도5 및 도6은 본 발명의 일 실시예에서 부가 사용될 수 있는 가이드 링이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 포장 용기는, 크게 하부 용기와 상부 용기로 나누어지며, 하부 용기는 베이스와 베이스에 고정 형성된 실린더형의 측벽을 가진다. 실린더형 측벽은 외부 및 내부 측벽이 일정 간격을 가지는 2중 벽체 구조를 이룬다. 상부 용기는 판형 캡과 캡 주연부에서 하방으로 형성된 용기 벽체를 가진다.
본 발명 용기는 별도의 쉴드 백을 가지지 않고 웨이퍼가 적재되는 것을 전제한다. 따라서, 일단 웨이퍼가 적재되면 적재된 상태에서 움직이지 않도록 실린더형 측벽의 내경이 적재될 웨이퍼의 직경과 같게 한다. 물론 웨이퍼가 투입될 미세한 여유도는 유보된다. 실린더 측벽은 웨이퍼 투입 및 탈착을 용이하게 하도록 측벽 일부가 실린더 중심축 방향으로 제거될 수 있다.
또한, 실린더 측벽으로 둘러싸인 적재 공간의 상부와 하부에는 스폰지와 같은 완충재가 설치될 수 있다. 이 경우, 캡이나 베이스 중앙부 등 적어도 일 부분에 홈이 형성될 수 있다. 이 홈은 용기 내부로 두드러지도록 형성된다. 따라서, 상부 용기와 하부 용기가 결속되고 실링된 상태에서 홈은 완충재를 압박하고 간접적으로는 웨이퍼를 압착하여 움직이지 않도록 할 수 있다.
또한, 캡에는 하부 용기의 실린더형 벽체 상단을 수용, 고정할 수 있도록 홈이 형성되는 것이 바람직하다. 상부 용기 벽체는 상하부 용기가 결속될 때 베이스의 주연부와 닿아 용기 내부를 밀폐시키도록 형성된다. 즉, 용기 벽체와 베이스 주연부가 맞닿는 곳이 실링부가 된다. 밀폐를 돕기 위해 베이스 주연부와 용기 벽체를 실링용 테이프로 감아 접착시키는데 테이트가 충분한 폭으로 접착되도록 베이스의 두께 혹은 측면을 2 내지 3Cm 정도의 충분한 폭으로 형성하는 것이 바람직하다. 가령, 베이스의 주연부를 하방으로 연장 형성하여 벽체를 가지도록 한다. 본 발명에서 캡과 베이스 부분은 반드시 원형으로 제작될 필요는 없다. 가령, 4각의 판형으로 제작될 수 있다.
한편 크기가 다른 웨이퍼를 수용하기 위해 상부 용기와 하부 용기 외에 가이드 링이 부가될 수 있다. 가령, 실린더형 측벽의 내경을 8인치 웨이퍼 직경에 맞춘다면, 그 내측에 나사등의 수단으로 탈착 가능하도록 6인치 내경의 또다른 실린더형 측벽을 이루는 가이드 링을 설치할 수 있다. 이때 웨이퍼의 장착과 탈착은 실린더형 측벽의 경우와 같은 방식으로 이루어질 수 있다. 이런 탈착 방식을 위해 가이드 링의 측벽 일부를 제거할 수 있고, 캡에 가이드 링 상단을 수용할 수 있는 원형 홈을 형성하는 것이 바람직하다.
이하 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.
도1 및 도2는 본 발명 웨이퍼 포장 용기 가운데 하부 용기의 평면도 및 측단면도를 나타낸다.
도1 및 도2를 참조하면, 하부 용기(10)는 합성 수지 재질로 이루어지는 베이스(11) 및 베이스(11)와 일체로 형성되는 실린더형 측벽(13)을 구비한다. 측벽(13)은 외부 측벽과 내부 측벽이 수 mm 정도 이격된 2중 벽체 구조를 가진다. 측벽(13)이 이루는 실린더의 내경은 8인치 웨이퍼 직경과 같은 20 센티 메터 정도이며, 실린더 높이는 4 내지 5 센티 메터이다. 베이스(11)는 도1에서 도시되듯이 4각 판형을 이루며, 도2에서 도시되듯이 주연부가 하방으로 연장 형성되어 폭 2 내지 3 센티 메터의 측벽을 이루고 있다. 베이스(11) 상면에는 실린더형 벽체가 설치되는 위치에서 내측으로 직경 6인치의 웨이퍼 크기에 맞춘 가이드 링이 설치될 수 있도록 나사 홀(15)이 형성되어 있다.
실린더형 벽체에서 실린더의 중심축과 같은 방향으로 벽체 일부가 제거되어 있다. 제거된 부분은 두 곳이며, 서로 대향하여 180도 떨어진 위치에 형성된다. 따라서 웨이퍼를 장착하거나 탈착할 때 벽체가 제거된 부분에서 웨이퍼를 파지하면 편리하다.
도3 및 도4는 본 발명의 상부 용기를 나타내는 평면도 및 측단면도이다.
도3 및 도4를 참조하여 상부 용기(20)를 설명하면, 하부 용기(10)의 베이스와 대응하도록 대략 4각 판형으로 형성되는 캡(21) 부분과 캡(21)의 주연부에서 하방으로 연장 형성되는 용기 벽체(23)가 존재한다. 따라서 용기의 벽체(23)는 상부 용기(20)와 하부 용기(10)가 결속된 상태에서 이루어지는 전체 사각 박스형 용기의 측벽을 이루게 된다. 캡(21)에는 하부 용기의 실린더형 측벽 일단을 수용하는 원형 홈(25)이 형성되어 있다. 따라서, 하부 용기와 상부 용기가 결합되면 상부 용기의 용기 벽체는 하부 용기의 베이스 주연부에서 베이스 상면과 정합된다. 그리고, 실링을 위한 테이프가 베이스 주연부에 연장 형성된 측벽의 일정 폭과 상부 용기의 용기 벽체 일정 폭에 걸쳐 접착된다. 실린더형 측벽 일단을 수용하는 원형 홈 내측으로 가이드 링이 하부 용기에 부착될 때 그 일단이 수용될 수 있는 작은 직경의 원형 홈이 또한 형성되어 있다. 캡 중앙부는 홈의 저면을 기준으로 볼 때 웨이퍼 적재 공간쪽으로 전체적으로 두드러져 있다.
도5 및 도6은 본 발명 용기에 부가 사용될 수 있는 가이드 링이다. 가이드 링(30)은 전체가 실린더벽(31)으로 이루어지면 실린더벽(31)의 하단에 플랜지(33) 및 나사홀(35)이 형성되어 하부 용기(10)의 베이스(11)에 형성된 나사 홀(15)들과 나사로 결합될 수 있다. 따라서 가이드 링(30)이 결합될 경우 6인치 직경의 웨이퍼가 장착될 수 있다. 가이드 링(30)에도 그 중심축과 나란한 방향으로 실린더벽(31) 일부가 제거되어 있다. 제거된 부분은 180도 떨어져 서로 대향하고 있다.
이하, 본 발명 용기를 이용한 웨이퍼 적재를 살펴본다. 웨이퍼가 하부 용기에 설치된 가이드 링 내부 혹은 실린더 벽체 내부에 적재될 때 먼저 동일한 구경의 원판형 완충재를, 가령 스폰지 혹은 다수의 부정형 스펀지를, 먼저 충진 적재한다. 그리고, 웨이퍼를 안착시키고, 다시 웨이퍼 위에 완충재를 적재한다. 다음으로, 상부 용기를 하부 용기에 맞추어 덮어 밀폐하고, 테이프로 실링을 실시한다.
따라서, 실린더 측벽 내부에 적재된 웨이퍼가 움직임에서 발생할 수 있는 표면 긁힘이나 충격에 따른 파손이 효과적으로 방지될 수 있다. 상부 용기와 하부 용기가 결속될 때의 접촉부인 실링부는 하부 용기의 베이스가 주연부에서 연장된 벽체를 가지므로 테이핑 작업에서 테이프가 용기와 충분한 폭으로 접촉되어 외부 습기를 차단하는 데 유리하다.
본 발명에 따르면, 별도의 쉴드 백이 필요하지 않고, 충격 및 긁힘에 의한 웨이퍼 손상을 방지할 수 있으며, 테이핑 영역을 확보하여 항습의 기능을 높일 수 있다.

Claims (7)

  1. 하부 용기와 상부 용기를 구비하며,
    상기 하부 용기는 베이스와, 베이스에 고정 형성되며 일정 거리 이격된 외부 및 내부 측벽의 2중 벽체 구조를 가지는 실린더형의 측벽을 가지고,
    상기 상부 용기는 캡과, 캡 주연부에서 하방으로 형성된 용기 벽체를 가지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장 용기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 실린더형 측벽의 내경은 적재될 웨이퍼의 직경과 일치하며,
    상기 실린더형 측벽으로 이루어지는 웨이퍼 적재 공간의 상부와 하부에 완충재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장 용기.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 캡 또는 상기 베이스에는 상기 완충재에 압력을 가하도록 상기 적재 공간 내로 도드러진 부분이 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장 용기.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 캡에는 상기 실린더형 측벽을 수용할 수 있는 원형 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장 용기.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 하부 용기의 상기 실린더형 측벽 내측에 탈착 가능하게 설치될 수 있으며, 내경이 상기 실린더형 측벽에 적재될 웨이퍼의 직경보다 작은 크기의 웨이퍼 직경과 동일한 실린더형 가이드 링이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장 용기.
  6. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 실린더형 측벽 또는 상기 실린더형 가이드 링에서 실린더 중심축 방향과 동일한 방향으로 벽체 일부가 제거된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장 용기.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 주연부에는 하방으로 일정 폭의 벽체가 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장 용기.
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