TW201408558A - 基板箱、基板搬運箱、箱覆蓋體、基板搬運系統及基板搬運方法 - Google Patents

基板箱、基板搬運箱、箱覆蓋體、基板搬運系統及基板搬運方法 Download PDF

Info

Publication number
TW201408558A
TW201408558A TW102116614A TW102116614A TW201408558A TW 201408558 A TW201408558 A TW 201408558A TW 102116614 A TW102116614 A TW 102116614A TW 102116614 A TW102116614 A TW 102116614A TW 201408558 A TW201408558 A TW 201408558A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
substrate
case
caster
cover
box
Prior art date
Application number
TW102116614A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI622538B (zh
Inventor
神林敬
鈴木瑛子
安住美菜子
Original Assignee
尼康股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 尼康股份有限公司 filed Critical 尼康股份有限公司
Publication of TW201408558A publication Critical patent/TW201408558A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI622538B publication Critical patent/TWI622538B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D19/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D19/38—Details or accessories
    • B65D19/40—Elements for spacing platforms from supporting surface
    • B65D19/42—Arrangements or applications of rollers or wheels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D19/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D19/0004—Rigid pallets without side walls
    • B65D19/0053—Rigid pallets without side walls the load supporting surface being made of more than one element
    • B65D19/0055—Rigid pallets without side walls the load supporting surface being made of more than one element forming a continuous plane contact surface
    • B65D19/0067—Rigid pallets without side walls the load supporting surface being made of more than one element forming a continuous plane contact surface the base surface being made of more than one element
    • B65D19/0071—Rigid pallets without side walls the load supporting surface being made of more than one element forming a continuous plane contact surface the base surface being made of more than one element forming discontinuous or non-planar contact surfaces
    • B65D19/0073—Rigid pallets without side walls the load supporting surface being made of more than one element forming a continuous plane contact surface the base surface being made of more than one element forming discontinuous or non-planar contact surfaces and each contact surface having a stringer-like shape
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D19/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D19/38—Details or accessories
    • B65D19/44—Elements or devices for locating articles on platforms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
    • B65D25/20—External fittings
    • B65D25/24—External fittings for spacing bases of containers from supporting surfaces, e.g. legs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67353—Closed carriers specially adapted for a single substrate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2519/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D2519/00004—Details relating to pallets
    • B65D2519/00258—Overall construction
    • B65D2519/00263—Overall construction of the pallet
    • B65D2519/00273—Overall construction of the pallet made of more than one piece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2519/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D2519/00004—Details relating to pallets
    • B65D2519/00258—Overall construction
    • B65D2519/00283—Overall construction of the load supporting surface
    • B65D2519/00293—Overall construction of the load supporting surface made of more than one piece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2519/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D2519/00004—Details relating to pallets
    • B65D2519/00258—Overall construction
    • B65D2519/00313—Overall construction of the base surface
    • B65D2519/00323—Overall construction of the base surface made of more than one piece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2519/00—Pallets or like platforms, with or without side walls, for supporting loads to be lifted or lowered
    • B65D2519/00004—Details relating to pallets
    • B65D2519/00258—Overall construction
    • B65D2519/00313—Overall construction of the base surface
    • B65D2519/00328—Overall construction of the base surface shape of the contact surface of the base
    • B65D2519/00338—Overall construction of the base surface shape of the contact surface of the base contact surface having a discrete foot-like shape
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W30/00—Technologies for solid waste management
    • Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
    • Y02W30/80—Packaging reuse or recycling, e.g. of multilayer packaging

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Pallets (AREA)
  • Buffer Packaging (AREA)

Abstract

基板箱(1)，係用以將對角尺寸超過2m之大型基板收容在內部並搬運已收容之基板。基板箱(1)，具有：下部箱單元(20)，在上面側設有將基板之前後左右之緣部支承之基板支承部，在下面側設有移動用腳輪(30)；以及上部箱單元(10)，從上方覆蓋基板支承部所支承之基板並安裝。腳輪(30)係安裝在框狀區域，該框狀區域係收容在內部之基板(2)之外形即第1四角形之內側，且為將根據下部箱單元(20)之外形算出之前後方向之貝色點及左右方向之貝色點分別連結而形成之第2四角形之外側。能以與基板尺寸對應之小型且簡易之構成使收容之基板穩定地移動。

Description

基板箱、基板搬運箱、箱覆蓋體、基板搬運系統及基板搬運方法
本發明係關於一種用以將大型之矩形平板狀基板收容在內部並搬運之基板箱、用在該基板箱之基板搬運箱、箱覆蓋體、包含此等之基板搬運系統、及使用此等之基板搬運方法。
作為上述矩形平板狀基板，有用在液晶顯示器(LCD)面板或電漿顯示器(PD)面板之製造之玻璃基板、在玻璃基板表面積層有遮光膜或光阻膜等之光罩基板、及經由光微影步驟形成有電路圖案之光罩等。此等基板在各製程或後續步驟即成膜步驟或曝光步驟皆要求高潔淨度，因此例如在維持在等級100程度之潔淨度之無塵室內製作。
製作出之基板在無塵室內收容密封在防塵構造之基板箱(內箱)。上述基板為重量較重之物。例如，對角尺寸1.8m程度之基板之質量，基板單體大約為50kg程度，對角尺寸約2.4m等級之基板之質量，基板單體超過100kg。因此，人將收容有基板之基板箱舉起搬運並不切實際。因此，為了使收容有基板之基板箱之移動變容易，在基板箱之下端設有腳輪。在習知基板箱，基板以表面及背面成為鉛垂之縱置姿勢收容於基板箱。或者，將基板收容於基板箱後，使基板箱豎立以使基板成為上述縱置姿勢。腳輪係設在此時成為下端之箱底部之四角(參照專利文獻1)。
收容有基板之基板箱，在稱為傳遞箱之中間潔淨度之無塵 室，被使用使用於潔淨體之抑制發塵性之材質製作之箱覆蓋體包裝。箱覆蓋體在下面側具有開口部且呈從上方覆蓋箱本體部之封筒狀，在下面側設置從彼此平行地上下延伸之一豎設面側(例如，基板表面側)延伸至另一豎設面側(基板背面側)之底面部。底面部係形成為例如在未配置腳輪之區域通過箱本體部之下側且連結上述豎設面間之舌片狀，藉由面扣件等扣接在另一豎設面側(例如，參照專利文獻2)。藉此，在基板箱搬運時，箱本體部被箱覆蓋體覆蓋，成為微粒(塵埃)不易附著之構成。
以箱覆蓋體包裝之基板箱從傳遞箱移動至一般環境。在出貨步驟，以箱覆蓋體包裝之基板箱(內箱)收容在更大型之搬運用箱(外箱)，在嚴密保護之狀態下出貨(例如，參照專利文獻1、專利文獻2)。如上述，由於基板為重量較重之物，因此人不易舉起基板搬運箱並移動。因此，在基板搬運箱之下端部亦設置腳輪(參照專利文獻1)。被基板箱、箱覆蓋體、及基板搬運箱捆包之基板係利用腳輪或堆高機等在工廠內移動，藉由貨車或飛機等輸送手段從基板製造工廠輸送搬運至下一步驟之工廠。
專利文獻1：日本登錄新型第3117369號公報
專利文獻2：日本特開2008-7127號公報
近年來，LCD面板或PD面板之大型化進一步發展，亦謀求對角尺寸超過2m之大型基板。基板若大型化則質量亦增加，例如，尺寸為1800×1600×17mm之基板，基板單體之質量成為110kg。為了保護上述大型化、重量化之基板並使其穩定地移動，僅使習知基板箱規格上升會有不易解決之各種問題。
首先，與以往相同，將基板以縱置姿勢收容在基板箱之情形，會有基板箱之尺寸較以基板尺寸為基準求出之形狀尺寸大型化之問題。亦即，重心位置隨著基板之大型化變高，若考慮倒下穩定性，則產生使基板箱之尺寸較原本必要之厚度大幅地增加之必要。例如，收容1800×1600×17mm之基板之情形，以此基板尺寸為基準求出之基板箱之外形尺寸為大約2000×1800×250mm程度，包含基板之基板箱之質量為大約300kg程度。
使基板之短邊成為往上下方向延伸之縱置姿勢時，如圖27所示，基板箱101之高度成為1800mm，重心成為900mm之高度位置。此時，因地面傾斜等使基板箱傾斜約8度則基板箱101倒下。將此靜態倒下角度設定成在一般家電產品做為基準之15度時，必要之基板箱之厚度成為約480mm。此時，基板箱所占空間之容積成為以基板尺寸為基準之基板箱之約2倍。若考量收容有基板之基板箱為質量300kg程度之重量較重之物、若倒下則高價基板受損之虞高等，則較佳為使倒下角度為更大之角度。設靜態倒下角度為30度之情形，基板箱所占空間容積超過以基板尺寸為基準之基板箱之4倍。
另一方面，將基板以表面及背面成為水平之橫置姿勢收容在基板箱、在投影面積廣之底面之四角設有腳輪之情形，不會產生上述問題。然而，在底面之四角設有腳輪之情形，支承負荷之支點間隔變廣，因此基板箱容易因作用於基板箱之負荷而彎曲變形。若欲以附加構成抑制，則產生箱構造複雜化之問題。
又，在上述習知箱覆蓋體，關於基板搬運時之對基板箱之微粒附著，其防止效果並不充分之問題已被指謫。具體而言，在基板搬運目 的地之中間潔淨度之無塵室，將箱覆蓋體開啟時，現實上在箱本體部之外表面附著多數之微粒，為了除去此微粒需要較多步驟。亦即，會有開啟基板箱取出基板為止之搬入步驟耗費較多步驟之課題。
又，如上述，從基板製造工廠搬運至下一步驟之工廠係利用貨車或飛機等輸送手段。在此搬運過程，從外部(例如貨車之底面)對基板搬運箱作用衝擊或振動。然而，在習知捆包機材未設置吸收此等衝擊或振動之手段。因此，從外部作用之衝擊或振動透過基板搬運箱及基板箱傳達至基板，會有損傷基板之虞，此點必須加以顧慮。尤其是，對角尺寸超過2m之大型基板價格高，且收納上述大型基板之基板箱及基板搬運箱價格亦高，因此謀求其對應方式。
本發明係有鑑於上述問題而構成，其目的在於提供一種能將大型基板以更穩定狀態及/或更迅速地搬送之搬送用基材及搬送方法。
又，本發明之目的在於提供一種能以與基板尺寸對應之小型且簡易之構成使收容之基板穩定地移動之基板箱。
又，本發明之目的在於提供一種能削減在基板搬入步驟之步驟數，在使用基板之製程提升產率之手段。
又，本發明之目的在於提供一種能以簡易之構成安全地搬運基板之捆包機材。
為了解決上述問題，本發明例示之第1形態之基板箱，係用以將對角尺寸超過2m之矩形平板狀基板收容在內部並搬運基板。此基板箱，具有：下部箱(例如，實施形態中之下部箱單元20)，在上面側設有將基板之前後左右之緣部支承在板厚方向之基板支承部，在下面側設有三個以 上之移動用腳輪；以及上部箱(例如，實施形態中之上部箱單元10)，從上方覆蓋基板支承部所支承之基板，安裝在下部箱；腳輪係安裝在框狀區域，該框狀區域係配置在俯視下基板支承部所支承之基板之外形即第1四角形之內側，且為將根據俯視下之下部箱之外形算出之前後方向之貝色點及左右方向之貝色點分別連結而形成之第2四角形之外側。
為了達成上述目的，本發明例示之第2形態之基板搬運箱，係用以收納在內部保持有基板之基板箱並搬運。該基板搬運箱由在下面側設有腳輪且收容基板箱之搬運箱本體部與覆蓋收容在搬運箱本體部之基板箱且安裝在搬運箱本體部之上面側之蓋構件構成；在搬運箱本體部與腳輪之間設有在搬運時吸收從外部作用於腳輪之衝擊之緩衝構件。
為了解決上述問題以達成目的，本發明例示之第3形態之箱覆蓋體，係覆蓋在內部收容有基板之基板箱之外周，抑制在基板搬運時灰塵附著於基板箱之袋狀之箱覆蓋體。在此箱覆蓋體，基板箱具有收容基板之基板箱本體部、及在下端具有車輪且從基板箱本體部往下方突出設置之複數個腳輪構造。箱覆蓋體，配合在基板箱本體部之複數個腳輪構造之配置位置，形成使各腳輪構造上下插通之複數個腳輪插通孔；且該腳輪插通孔之開口緣係構成為形狀尺寸依據通過該腳輪插通孔之腳輪構造之通過剖面變化自如；使腳輪構造通過腳輪插通孔以使車輪往覆蓋體外方露出時，開口緣仿效腳輪構造之通過剖面變化，封閉可在腳輪構造與腳輪插通孔之間產生之間隙。
為了解決上述問題以達成目的，本發明例示之第4形態之基板搬運系統，係用以搬運大型基板，其特徵在於，具有：第1形態之基板 箱；箱覆蓋體，捆包該基板箱；以及基板搬運箱，收納該基板箱。在此基板搬運系統，該基板箱具有分別包含該腳輪且從該下部箱往下方突出設置之複數個腳輪構造；該箱覆蓋體，配合在該下部箱之該複數個腳輪構造之配置位置，形成使各該腳輪構造上下插通之複數個腳輪插通孔；且該腳輪插通孔之開口緣係構成為形狀尺寸依據通過該腳輪插通孔之該腳輪構造之通過剖面變化自如；使該腳輪構造通過該腳輪插通孔以使該車輪往覆蓋體外方露出時，該開口緣仿效該腳輪構造之通過剖面變化，封閉可在該腳輪構造與該腳輪插通孔之間產生之間隙；該基板搬運箱具有在下面側設有腳輪且收容該基板箱之搬運箱本體部與覆蓋收容在該搬運箱本體部之該基板箱且安裝在該搬運箱本體部之上面側之蓋構件；在該搬運箱本體部與該腳輪之間設有在搬運時吸收從外部作用於該腳輪之衝擊之緩衝構件。
為了解決上述問題以達成目的，本發明例示之第5形態之基板搬運方法，具有：將基板收容在第1形態之基板箱之步驟；以箱覆蓋體捆包該基板箱之步驟；以及將該捆包後之基板箱收納在基板搬運箱之步驟。在此基板搬運方法，該基板箱具有分別包含該腳輪且從該下部箱往下方突出設置之複數個腳輪構造；該箱覆蓋體，配合在該下部箱之該複數個腳輪構造之配置位置，形成使各該腳輪構造上下插通之複數個腳輪插通孔； 且該腳輪插通孔之開口緣係構成為形狀尺寸依據通過該腳輪插通孔之該腳輪構造之通過剖面變化自如；使該腳輪構造通過該腳輪插通孔以使該車輪往覆蓋體外方露出時，該開口緣仿效該腳輪構造之通過剖面變化，封閉可在該腳輪構造與該腳輪插通孔之間產生之間隙；該基板搬運箱具有在下面側設有腳輪且收容該基板箱之搬運箱本體部與覆蓋收容在該搬運箱本體部之該基板箱且安裝在該搬運箱本體部之上面側之蓋構件；在該搬運箱本體部與該腳輪之間設有在搬運時吸收從外部作用於該腳輪之衝擊之緩衝構件。
在第1形態之基板箱，安裝在下部箱之腳輪係安裝在框狀區域，該框狀區域係基板支承部所支承之基板之外形即第1四角形之內側，且為將俯視下之下部箱之前後方向之貝色點及左右方向之貝色點分別連結而形成之第2四角形之外側。此處，第1四角形為基板之負荷作用之四角形。第2四角形為連結負荷作用於基板箱時前後方向及左右方向之彎曲變形成為最小之支點之位置之四角形。因此，根據本構成，可提供能以與基板尺寸對應之小型且簡易之構成使收容之基板穩定地移動之基板箱。
在第2形態之基板搬運箱，在收容基板之搬運箱本體部與設在此搬運箱本體部之下面側之腳輪之間設有在搬運時吸收從外部作用於腳輪之衝擊之緩衝構件。藉由此構成，在藉由貨車或飛機等輸送手段搬運基板之搬運過程中，即使衝擊或振動從貨車之底面等作用於腳輪，此外來之衝擊等亦被緩衝構件吸收，可抑制對基板搬運箱之搬運箱本體部之衝擊及 其反覆之振動傳達。因此，能保護原本應保護之基板、期盼保護之基板箱及基板搬運箱之兩方免於受到外來之衝擊等，可提供能以簡易之構成安全地搬運基板之捆包機材。
在第3形態之箱覆蓋體，配合基板箱本體部之腳輪構造之配置位置，形成使各腳輪構造上下插通之複數個腳輪插通孔。腳輪插通孔之開口緣係構成為形狀尺寸依據通過該腳輪插通孔之腳輪構造之通過剖面變化自如，使腳輪構造通過腳輪插通孔以使車輪往覆蓋體外方露出時，開口緣仿效腳輪構造之通過剖面變化，封閉可在腳輪構造與腳輪插通孔之間產生之間隙。因此，在基板搬運時等，可大幅地抑制進入箱覆蓋體內側之微粒，藉此，在基板之搬入步驟可削減用以除去附著於基板箱之微粒之步驟數，在使用基板之製程可提升產率。
在第4形態之基板搬運系統、及第5形態之基板搬運方法，藉由第1形態之基板箱、第2形態之基板搬運箱、第3形態之箱覆蓋體各自之上述效果，能將大型基板以更穩定狀態更迅速地搬送。
1‧‧‧基板箱
2‧‧‧玻璃基板(基板)
3‧‧‧腳輪構造
5‧‧‧箱覆蓋體
7‧‧‧基板搬運箱
10‧‧‧上部箱單元(上部箱)
20‧‧‧下部箱單元(下部箱)
23‧‧‧基板支承部
23a‧‧‧對角支承部
23b‧‧‧長邊支承部
23c‧‧‧短邊支承部
25‧‧‧台座部
30‧‧‧腳輪
35‧‧‧車輪
38‧‧‧保護蓋
51‧‧‧上覆蓋體部
52‧‧‧下覆蓋體部
53‧‧‧連結構造(扣件)
55‧‧‧腳輪插通孔
55a‧‧‧開口緣
71‧‧‧搬運箱本體部
72‧‧‧蓋構件
75‧‧‧腳輪
76‧‧‧緩衝構件
B1‧‧‧第1四角形
B2‧‧‧第2四角形
PB‧‧‧貝色點
S2‧‧‧框狀區域
SF‧‧‧叉狀部插入區域
圖1係作為本發明一實施形態顯示之基板箱之外觀圖，(a)係俯視圖，(b)係前視圖，(c)係右側視圖。
圖2係上述基板箱之立體圖。
圖3係在下部箱單元之下部箱構件之概略俯視圖。
圖4係安裝在台座部之腳輪構造之立體圖。
圖5係用以說明往下方下壓之外力作用於基板箱之端部時之力學關係 之說明圖。
圖6係用以說明往上方舉起之外力作用於基板箱之端部時之力學關係之說明圖。
圖7(a)~(c)係用以說明往水平方向衝擊之外力作用於基板箱之端部時之力學關係之說明圖。
圖8係用以說明將前後方向之貝色點及左右方向之貝色點分別連結而形成之四角形(第2四角形)之說明圖。
圖9係顯示從倒下穩定性之觀點求出之腳輪之配置位置區域之說明圖。
圖10係顯示從抑制基板箱變形之觀點求出之腳輪之配置位置區域即框狀區域之說明圖。
圖11係顯示框狀區域與叉狀部插入區域之俯視下位置關係之說明圖。
圖12係以示意方式顯示作為本發明一實施形態顯示之箱覆蓋體之外觀立體圖。
圖13係在上述箱覆蓋體之連結構造之圖式替代用照片。
圖14係拍攝在上述箱覆蓋體之腳輪插通孔之開口緣附近部之圖式替代用照片。
圖15係使腳輪插通於腳輪插通孔以使開口緣卡止於台座部之狀態之圖式替代用照片。
圖16係被上述箱覆蓋體捆包之狀態之基板箱之外觀立體圖。
圖17係作為本發明一實施形態顯示之基板搬運箱之三面圖，(a)係俯視圖，(b)係前視圖，(c)係側視圖。
圖18係上述基板搬運箱之立體圖。
圖19係在上述基板搬運箱之腳輪之安裝部之剖面圖。
圖20係測定作用於以各種碰撞速度使鋼球碰撞緩衝構件時之鋼球之衝擊力之圖表。
圖21係測定作用於使鋼球碰撞形狀不同之複數個緩衝構件時之鋼球之衝擊力之圖表。
圖22係針對125mm之緩衝構件顯示形狀率與橡膠之厚度之關係之圖表。
圖23係顯示振動傳達率與振動數比之關係之圖表。
圖24係用以說明緩衝構件之有無造成之防振效果之不同之說明圖，(a)係將腳輪直接固定在台座部之構成之模型，(b)係透過緩衝構件將腳輪安裝在台座部之構成之模型。
圖25係針對上述模型(a)及(b)計算外來振動之傳達特性之模擬結果。
圖26係顯示本實施形態之基板搬運方法之流程圖。
圖27係用以說明將基板以縱置姿勢收容之基板箱之倒下角度之說明圖。
以下，參照圖式說明用以實施本發明之形態。適用本發明之基板箱之一例顯示於圖1及圖2，適用本發明之箱覆蓋體之一例顯示於圖12，適用本發明之基板搬運箱之一例顯示於圖17及圖18。圖1、圖17中，(a)係從上方觀察基板箱1、基板搬運箱7之俯視圖，(b)係從前方觀察之前視圖，(c)係從右側方觀察之側視圖。圖2、圖18係從斜上方觀察基板箱1、基板搬運箱7之立體圖。此外，之後之說明中，以附記於圖1(a)、圖12、 圖17(a)之箭頭方向分別說明基板箱1、箱覆蓋體5、基板搬運箱7之前、後、左、右，但此等方向之定義為任意。
(基板箱)
例示之基板箱1將尺寸1800×1600×17mm(對角尺寸約2.4m)、質量約110kg之大型玻璃基板2以基板之表面及背面成為水平之橫置姿勢收容在箱內部，保護已收容之玻璃基板2並搬運。基板箱1，概觀而言，為相較於前後方向及左右方向之長度上下方向之厚度較薄之箱狀，以在上下方向之大致中間部分離之上部箱單元10與下部箱單元20為主體構成。
上部箱單元10整體觀之呈在下方開口之箱狀，下部箱單元20整體觀之呈在上方開口之箱狀，從下部箱單元20之上方被覆上部箱單元10，藉由螺栓等緊固手段連結兩者以形成圖1及圖2所示之基板箱1。
上部箱單元10及下部箱單元20皆由形成各箱單元之骨架之金屬製框、與安裝在各框並保護玻璃基板2免於受到灰塵或微粒影響之樹脂製箱構件構成。亦即，如圖2所示，上部箱單元10由形成此箱單元之骨架之金屬製上部框11、與安裝在上部框11之樹脂製上部箱構件12構成。又，下部箱單元20由形成此箱單元之骨架之金屬製下部框21、與安裝在下部框21之樹脂製下部箱構件22構成。
上部框11，如圖1、圖2所示，除了包圍基板外周之外框之外，亦具有往前後左右及斜向延伸之補強棧。外框及補強棧由例如將既定板厚之不鏽鋼鋼板彎折成C字狀或U字狀之通道材或既定剖面形狀之鋁合金製之拉拔材等形成，將此等以螺栓等緊固手段一體地連結，藉此構成上部框11。
上部箱構件12具有覆蓋玻璃基板2之上面之蓋板、及與蓋板之側端部連接並往下方延伸之前後左右之側板，構成為往下方開口之箱狀。蓋板及前後左右之側板，分別係將既定板厚之樹脂板切斷成既定形狀而形成，將此等藉由接著或融著等手段氣密性連接，藉此構成上部箱構件12。
下部框21，基本上與上部框11構成相同，除了包圍基板外周之外框之外，亦具有往前後左右及斜向延伸之補強棧。另一方面，在下部框21設有移動用腳輪30。在例示之基板箱1，在下部箱21之下面側設有四處往下方突出之台座部25，在各台座部25之下端安裝有移動用腳輪30。以下，將由台座部25與腳輪30構成之構造稱為腳輪構造3(圖4)。台座部25，係例如將既定板厚之不鏽鋼鋼板彎曲成形形成為角筒狀，藉由螺栓等緊固手段固定在下部框21之下面(參照圖4)。此外，圖4中，作為台座部25，雖例示剖面形狀為角筒壯，但台座部25之剖面形狀為圓筒狀或圓柱狀、角柱狀等亦可。
在圖4所示之構成例，台座部25係例示將既定板厚之不鏽鋼合金板彎曲成形形成為上面開放之箱框狀之構成，腳輪30係藉由螺栓等緊固手段固定在此台座部25之底面。腳輪30為車輪35可在水平面內360度旋轉之旋轉型，圖中顯示為了使基板箱1不移動而附設有限制車輪35之旋動之制動機構39之類型。
腳輪30有車軸在水平面內往任意方向旋轉之旋轉型腳輪與車軸被固定之固定型腳輪，只要至少前方或後方之二個腳輪為旋轉型即可，但在本構成例，為了獲得良好之移動性，四輪皆使用旋轉型腳輪。此 外，關於透過台座部25安裝在下部框21之腳輪30之配置位置將於後述。
在基板箱1，在腳輪30設有保護車輪35之側面及行進方向前後之轉動面之保護蓋38。保護蓋38，由俯視下包圍車輪35之側面及轉動面之矩形框狀之保護框部38a、與從車輪側方之保護框部38a往上方突出形成之舌片狀之固定片部38b構成，例如將既定板厚之不鏽鋼合金板衝壓及彎曲成形形成為圖示之形狀。保護蓋38，保護框部38a以包圍車輪35之側面及移動面之方式安裝在腳輪30，將往上方延伸之固定片部38b以螺栓等固定在保持腳輪30之車軸之板金構件而安裝。
如上述，在腳輪30安裝有保護蓋38之基板箱1，利用腳輪30使基板箱1移動時，即使在移動方向之地面有拖板或工具等之障礙物之情形，亦可抑制車輪35與障礙物碰撞，防止在車輪35之高分子材料製之輪胎部之損傷，且可抑制輪胎部之破斷片或磨耗片往無塵室內擴散。又，每當以堆高機搬運基板箱1時，將堆高機之叉狀部插拔於叉狀部插入區域SF時，可防止堆高機之叉狀部與車輪35抵接使車輪破損之事態。
下部箱構件22基本上亦與上部箱構件12構成相同。圖3係顯示下部箱構件22之概略俯視圖。下部箱構件22具有覆蓋玻璃基板2之下面之底板22a、及與底板之側端部連接並往上方延伸之前後左右之側板22b,22c,22d,22e，構成為往上方開口之箱狀。底板22a及前後左右之側板22b,22c,22d,22e，分別係將既定板厚之樹脂板切斷成既定形狀而形成，將此等藉由接著或融著等手段氣密性連接，藉此構成下部箱構件22。
在下部箱構件22之內部設有從底板22a往上方突出並將玻璃基板2之前後左右方向之緣部支承在板厚方向之基板支承部23。圖3係 顯示藉由以支承玻璃基板2之角部之方式設置之四部位之L字狀之對角支承部23a、以支承玻璃基板2之長邊之中央部之方式設置之前後二部位之長邊支承部23b、及以支承玻璃基板2之短邊之中央部之方式設置之左右二部位之短邊支承部23c之合計八部位之支承部形成基板支承部23之構成例。
本構成例之基板支承部23之構成，係將玻璃基板2之前後左右之緣部、亦即玻璃基板2之前後之長邊及左右之短邊之緣部藉由合計八部位之支承部支承在板厚方向。因此，將對角位置之四部位之L字狀之對角支承部23a、沿著長邊之前後二部位之長邊支承部23b、及沿著短邊之左右二部位之短邊支承部23c相互連結而形成之基板支承部23之輪廓形狀成為與俯視下玻璃基板2之外形形狀(1800×1600mm)大致相同之四角形。此外，雖省略詳細圖示，但在下部箱構件22設有基板支承部23所支承之玻璃基板2固定保持成在箱內不移動之保持構造。
在上部箱構件12之下端部與下部箱構件22之上端部之對向面形成有相互嵌合之嵌合構造，從下部箱單元20之上方被覆上部箱單元10且藉由螺栓等連結兩者時，收容在箱內部之玻璃基板2係以密封狀態保持。
如上述，玻璃基板2係以密封狀態收容保持在上部箱構件12及下部箱構件22所形成之保護箱之內部，保護箱被金屬製之上部框11及下部框21包圍保護。為了達成上述基板箱1之基本功能，基板箱1之外形尺寸較玻璃基板2之外形尺寸大一定程度。在例示之基板箱1，謀求各部位之最佳化，將上部箱單元10與下部箱單元20連結時之腳輪構造3(台座部25及腳輪30)以外之基板箱本體部(亦即，由上部箱單元10及下部箱單元20構成，收容保持玻璃基板2之本體之構造部分)之外形尺寸抑制在2030× 1810×250mm。
在以上述方式概要構成之基板箱1，安裝在下部框21之腳輪30之配置位置係以下述方式設定。
(倒下穩定性)
基板箱1將玻璃基板2以基板之表面及背面成為水平之橫置姿勢收容在箱內部。基板箱(基板箱本體部)之底面寬廣至2030×1810mm，即使短邊方向長度亦為1810mm程度。因此，將玻璃基板2以縱置姿勢收容時(底面為2030×250mm)，幾乎不會有靜態倒下角度成為問題之虞(參照圖27及其相關說明)。因此，針對在底面具有腳輪30之基板箱1，考量外力作用時之倒下穩定性，探討腳輪30之配置位置條件。
(1)對基板箱之端部作用有往下方下壓之外力之情形
圖5係顯示用以說明對基板箱1之端部作用有往下方下壓之外力之情形之力學關係之說明圖。圖5中，腳輪30係設在從質量W之基板箱1之重心BC之位置往水平方向左右離開距離r之位置，外力F對從重心位置往左方離開距離R之箱端部往下作用。此時，在基板箱1因外力F產生以左側之腳輪30為中心使基板箱1逆時針旋轉(使基板箱1之右端側浮起)之力矩。
在此情形，為了不使基板箱1之右端側浮起，根據左側之腳輪30周圍之力矩關係，必須滿足r×W≧(R-r)×F。因此，即使將基板箱1之端部往下方下壓之外力F作用之情形，為了使基板箱1不倒下之腳輪30之配置位置條件(以下，稱為第1條件)成為r≧RF/(W+F)。
現在，設重心BC之位置為基板箱本體部之中心、作業時作用之外力F=10kg、外力F作用之位置為R=1015mm。基板箱1最容易倒下 為在基板箱1未收容玻璃基板2之空箱時，因此基板箱1之質量為空箱時之質量W=180kg。將此等具體之數值代入，針對下壓方向之外力作用於箱端部之情形，求出用以防止倒下之腳輪30之配置位置條件(第1條件)，算出r≧54mm。
(2)對基板箱之端部作用有往上方舉起之外力之情形
圖6係顯示用以說明對基板箱1之端部作用有往上方舉起之外力之情形之力學關係之說明圖。與(1)之情形相同，腳輪30係設在從質量W之基板箱1之重心BC之位置往水平方向左右離開距離r之位置，外力F對從重心位置往左方離開距離R之箱端部往上作用。此時，在基板箱1因外力F產生以右側之腳輪30為中心使基板箱1順時針旋轉(使圖中之左端側浮起)之力矩。
在此情形，為了不使基板箱1之左端側浮起，根據右側之腳輪30周圍之力矩關係，必須滿足r×W≧(R+r)×F。因此，即使將基板箱1之端部往上方舉起之外力F作用之情形，為了使基板箱1不倒下之腳輪30之配置位置條件(以下，稱為第2條件)成為r≧RF/(W-F)。
與(1)之情形相同，設重心BC之位置為基板箱本體部之中心、作業時作用之外力F=10kg、外力F作用之位置為R=1015mm、基板箱1之質量W為空箱時之質量W=180kg。將此等之數值代入，針對舉起方向之外力作用於箱端部之情形，求出用以防止倒下之腳輪30之配置位置條件(第2條件)，算出r≧60mm。
(3)對基板箱之端部作用有往水平方向衝擊之外力之情形
圖7(a)係顯示用以說明對基板箱1之端部作用有往水平方向衝擊之外力 之情形之力學關係之說明圖。與(1)及(2)之情形相同，腳輪30係設在從質量W之基板箱1之重心BC往水平方向左右離開距離r之位置，衝擊之外力(亦即加速度)α係向左作用於從重心位置往右方離開距離R之箱端部。又，設從重心BC之高度位置至腳輪30之車輪35之接地點35p之鉛垂方向之高度為h。
此時，對基板箱1之重心BC往水平方向向左作用之加速度α與往鉛垂方向作用之重力加速度1G之合力N，此等之力學關係如圖7(b)所示，作用在相對於重力加速度作用之鉛垂方向為角度θ1之方向。
衝擊力作用於基板箱1之情形，腳輪30，車輪35不作用為旋動自如之轉動體，車輪之接地點35p成為支點而作用。此時，重心BC與左側車輪之接地點35p之幾何學關係，如圖7(c)所示，與鉛垂方向之夾角成為θ2。
因此，為了使因對基板箱1往水平方向向左作用之加速度α，基板箱1以左側車輪之接地點35p為支點而不會倒下(基板箱1之右端側不會浮起)，作用於基板箱1之重心BC之重力加速度1G與加速度α合成後之合力N之向量必須通過左側車輪35之接地點35p之下方、亦即θ1<θ2。
與(1)及(2)之情形相同，設重心BC之位置為基板箱本體部之中心。又，腳輪30係設在從重心位置往水平方向離開距離r之位置，設從重心位置至車輪之接地點35p之鉛垂方向之高度為h。此時，為了滿足θ1<θ2，根據圖7(b)及圖7(c)，(α/1G)<(r/h)。因此，即使加速度α往水平方向作用於基板箱1之端部之情形，為了使基板箱1不倒下之腳輪30之配置位置條件(以下，稱為第3條件)成為r>α h/1G。
現在，設搬運中作用之衝擊力之水平方向之加速度α為1G(=9.8m/sec2)、從重心位置至車輪之接地點35p之鉛垂方向之高度為h=430mm。將此等之數值代入，針對衝擊外力往水平方向作用於箱端部之情形，求出用以防止倒下之腳輪30之配置位置條件(第3條件)，算出r≧430mm。
(基板箱之變形)
在基板箱1收容質量110kg之玻璃基板2。因此，基板箱1謀求收納玻璃基板2時變形較小且在收容有玻璃基板2之狀態下基板箱1整體之變形較小。因此，腳輪30之配置位置係設定成滿足玻璃基板2之收納作業時變形較小及在收容有玻璃基板2之狀態下箱整體之變形較小之兩者。
(4)玻璃基板之收納作業時變形較小
考量在配置在平坦地面上之下部箱單元20收納玻璃基板2之情形。如參照圖3所說明，在下部箱單元20之下部箱構件22內部，從底板往上方突出設有基板支承部23(對角支承部23a、長邊支承部23b、短邊支承部23c)，玻璃基板2在前後左右之緣部藉由基板支承部23支承在板厚方向之狀態下收納於下部箱單元20。
將玻璃基板2搬入下部箱單元20且使其靜態地支承於基板支承部23時，玻璃基板2之負荷作用之處為將對角位置之四部位之L字狀之對角支承部23a、沿著長邊之前後二部位之長邊支承部23b、及沿著短邊之左右二部位之短邊支承部23c相互連結而形成之基板支承部23之輪廓形狀之區域。因此，藉由在緊鄰此基板支承部23之輪廓形狀之下方設置腳輪30，在玻璃基板2之收納作業時，扭曲或彎曲等力不會作用於下部箱單元20，可抑制箱之變形。
此處，基板支承部23之輪廓形狀實質上與基板支承部23所支承之玻璃基板2之外形形狀相同。根據上述，對玻璃基板之收納作業時作用之負荷抑制箱之變形之腳輪30之配置位置條件(以下，稱為第4條件)成為投影有基板支承部23所支承之玻璃基板2之四角形(本構成例中1800×1600mm：第1四角形)B1之外周區域。
(5)在收容有玻璃基板之狀態下基板箱整體之變形較小
收容有玻璃基板2之基板箱1，係藉由設在下部箱單元20之下面側之四個腳輪30被支承所有質量。亦即，玻璃基板2及上部箱單元10之負荷作用於下部箱單元20，在四部位之腳輪配置位置被支承所有質量。此外，在上述負荷作用之狀態下，謀求基板箱1整體之變形較小，更極端而言謀求下部箱單元20之變形較小。玻璃基板2及上部箱單元10之負荷等分布作用於下部箱單元20整體，下部箱單元20之強度在長邊方向及短邊方向皆均勻。
從前方或後方觀察基板箱1時，基板箱1被沿著長邊方向設置之左右二部位之腳輪30,30支承。又，從右方或左方觀察基板箱1時，基板箱1被沿著短邊方向設置之前後二部位之腳輪30,30支承。
現在，以沿著長邊方向左右安裝之二部位之腳輪30,30之安裝位置(台座部25,25，以下相同)為支點，以下部箱單元20為往左右延伸之樑之情形，此樑之彎曲在二部位之腳輪30,30配置在左右方向之貝色點時成為最小。同樣地，以沿著短邊方向前後安裝之二部位之腳輪30,30為支點，以支承在其上方之基板箱1為往左右延伸之樑之情形，此樑之彎曲在二部位之腳輪30,30配置在前後方向之貝色點時成為最小。
此處，貝色點係以二點支承等分布負荷作用之樑時、樑之中 立軸上之彎曲成為最小之支承位置，設樑之全長為L時，二個貝色點之支點間距離以0.559L表示。
是以，如圖8所示，設在下部箱單元20之本體部之長邊方向(左右方向)之長度為Lx、短邊方向(前後方向)之長度為Ly時，左右二部位之貝色點PB之支點間距離成為0.559Lx，前後二部位之貝色點PB之支點間距離成為0.559Ly。此外，如上述，將根據下部箱單元20之外形算出之前後方向之貝色點PB及左右方向之貝色點PB分別連結，藉此形成彎曲成為最小之四角形(第2四角形)B2。
本構成例中，下部箱單元20之本體部之外形尺寸，長邊方向(左右方向)之長度Lx為2030mm，短邊方向(前後方向)之長度Ly為1810mm。藉此，左右二部位之貝色點PB,PB之支點間距離為Lx=1135mm，前後二部位之貝色點PB,PB之支點間距離為Ly=1012mm。根據上述，在收容有玻璃基板2之狀態下抑制基板箱1整體之變形之腳輪30之配置位置條件(以下，稱為第5條件)成為將根據下部箱單元20之外形算出之前後方向之貝色點PB及左右方向之貝色點PB分別連結而形成之四角形(第2四角形，本構成例中1135×1012mm)B2之外周區域。
以上，針對腳輪30之配置位置，探討了外力作用時之倒下穩定性，且根據負荷造成之基板箱1之變形之面探討了位置條件。將以上探討之條件綜合後，如下所述。
首先，關於外力作用於基板箱1時之倒下穩定性，綜合(1)~(3)探討之第1條件~第3條件。(1)探討之第1條件為用以防止作為作業時可作用之外力F下壓方向之外力F=10kg作用於基板箱1之側端部時之倒下之條 件，此時，腳輪30之配置位置為離基板箱1之重心BC之位置水平距離r≧54mm之區域，具體而言，從俯視下基板箱1之圓心半徑54mm外側之區域。(2)探討之第2條件為用以防止舉起方向之外力F=10kg作用於基板箱1之側端部時之倒下之條件，此時，腳輪30之配置位置為離基板箱1之重心位置水平距離r≧60mm之區域，具體而言，從俯視下基板箱1之圓心半徑60mm外側之區域。(3)探討之第3條件為用以防止衝擊外力α=1G往水平方向作用於基板箱1之側端部時之倒下之條件，此時，腳輪30之配置位置為離基板箱1之重心位置水平距離r≧430mm，具體而言，從俯視下基板箱1之圓心半徑430mm外側之區域。
根據此等，綜合確保外力作用於基板箱1時之倒下穩定性之第1條件~第3條件，即使(1)~(3)探討之任一外力作用時基板箱1亦不會倒下之腳輪30之配置位置條件成為離基板箱1之重心位置水平距離r≧430mm，亦即，如圖9所示，以俯視下基板箱1(下部箱單元20)之圓心為中心之直徑860mm之圓外側之區域S1。
接著，根據抑制玻璃基板2之收納作業時下部箱單元20之變形及抑制玻璃基板2收納後之箱整體之變形之面，綜合(4)及(5)探討之第4、第5條件。第4條件係用以抑制玻璃基板2之收納作業時負荷作用於基板支承部23所造成之下部箱單元20之變形之條件。此時，腳輪30之配置位置為基板支承部23所支承之玻璃基板2之外形投影區域，具體而言，1800×1600mm之第1四角形B1(圖3)之外周區域。第5條件係用以抑制在收容有玻璃基板2之狀態下下部箱單元20整體之變形之條件。此時，腳輪30之配置位置為將根據下部箱單元20之外形算出之前後方向之貝色點PB及左右方 向之貝色點PB分別連結而形成之四角形之外周區域，具體而言，1135×1012mm之第2四角形B2(圖8)之外周區域。
根據此等，綜合第4條件與第5條件，同時抑制兩者之條件，亦即，抑制玻璃基板2之收納作業時之變形及抑制在收容有玻璃基板2之狀態下之箱整體之變形之條件，如圖10所示，成為第4條件所規定之第1四角形B1之內側且第5條件所規定之第2四角形B2之外側之框狀區域S2。
本構成例之框狀區域S2，具體而言，成為投影有玻璃基板之1800×1600mm之第1四角形B1之內側且將根據下部箱單元20之外形算出之前後方向之貝色點及左右方向之貝色點分別連結而形成之1135×1012mm之第2四角形B2之外側。
根據上述，較佳之腳輪30之配置位置，從倒下穩定性之觀點觀之，謀求滿足第1~第3條件之從基板箱1之圓心半徑430mm(直徑860mm)外側之區域S1，更佳為，謀求滿足第1~第5條件全部之區域，亦即1800×1600mm之第1四角形B1之內側且1135×1012mm之第2四角形B2之外側之框狀區域S2。藉由在此框狀區域S2內安裝腳輪30，可獲得確保倒下穩定性且抑制玻璃基板2收容時之變形之基板箱1。
在例示之基板箱1，將前後左右之四個角輪30配置在矩形框狀之框狀區域S2之四部位之角部(四角)。此外，與沿著長邊方向在左右排列之二個腳輪30,30之內側相鄰地設置可插入堆高機之叉狀部(叉)之叉狀部插入區域SF(參照圖1)。在下部箱單元20之前方側面及後方側面，顯示叉狀部插入區域SF之叉狀部插入區域標記40左右排列(圖1)。左右之叉狀部插入區域SF,SF係形成為包含在上述第2四角形B2往前後延伸之左右二邊之區 域。
具體而言，設沿著長邊方向在左右排列之二個腳輪30,30之配置間距為1500mm、沿著短邊方向在前後排列之二個腳輪30,30之配置間距為1140mm、左右之叉狀部插入區域SF,SF之中心間距為1000mm、各叉狀部插入區域之寬度為300mm。又，設從下部箱單元20之本體下面至地面之高度為約300mm。此時，圖11係顯示框狀區域S2與叉狀部插入區域SF之俯視下之位置關係。此外，圖11中，作為腳輪30之安裝位置記載台座部25，省略腳輪30之記載。
從圖11可知，左側之叉狀部插入區域SF係形成為包含第2四角形B2之左邊之區域，與框狀區域S2一部分重疊，右側之叉狀部插入區域SF係形成為包含第2四角形B2之右邊之區域，與框狀區域S2一部分重疊。又，雖省略圖示，但左右之叉狀部插入區域SF，亦與上述區域S1重疊。
藉由上述構成，基板箱1不僅在利用腳輪30移動時，在利用堆高機等搬運時亦被支承在包含框狀區域S2之區域。因此，依據基板箱1，可提供倒下穩定性高且不僅玻璃基板收納時而是包含腳輪造成之移動或堆高機造成之搬運時抑制箱之變形之基板箱。
此外，在以上實施形態之說明，作為一例，針對收容尺寸為1800×1600×17mm之玻璃基板2之情形進行說明，但基板之種類或縱橫比、對角尺寸等可適當變更來適用。又，雖顯示將腳輪30設在框狀區域S2之各角部之構成，但腳輪之配置位置只要為框狀區域S2內即可，例如，將腳輪30設在框狀區域S2之長邊及短邊之各中央部之構成亦可。再者，考量堆高機搬運時之貨物之穩定性，雖例示叉狀部插入區域SF在長邊側之左右排列 且往前後延伸之構成，但在短邊側之前後排列且往左右延伸之構成亦可，設置此等兩方之構成亦可。
如以上說明，在基板箱1，安裝在下部箱單元20之腳輪30係安裝在框狀區域S2，該框狀區域S2係基板支承部所支承之玻璃基板2之外形即第1四角形B1之內側，且為將俯視下之下部箱單元20之前後方向之貝色點及左右方向之貝色點分別連結而形成之第2四角形B2之外側。因此，根據本構成，可提供能以與收容在內部之玻璃基板之基板尺寸對應之小型且簡易之構成使收容之玻璃基板穩定地移動之基板箱。
(箱覆蓋體)
相對於以上述方式概要構成之基板箱1，包裝此基板箱1之箱覆蓋體5係以下述方式構成。圖12係顯示以示意方式顯示箱覆蓋體5之外觀立體圖。例示之箱覆蓋體5之主體之構成為，從上方覆蓋基板箱本體部之上半部之上覆蓋體部51、從下方覆蓋基板箱本體部之下半部之下覆蓋體部52、及將上覆蓋體部51與下覆蓋體部52連結成可開閉且以密封狀態包覆基板箱本體部整體之呈一體袋狀之連結構造53。
上覆蓋體部51及下覆蓋體部52係在前後或左右方向之一側面(例如，後方之側面)一體地連接，藉由遍布設在其他三側面(前方及左右之側面)之連結構造53構成為可開閉。上覆蓋體部51及下覆蓋體部52皆使用在無塵室較佳使用之潔淨體之材質。此材質較佳為可在具有等級100~1000程度之潔淨度之無塵室使用。作為一例，可使用成為發塵源之短纖維少、使用長纖維(filament)之聚酯素材、藉由導電性纖維之編織等賦予制電效果之素材。又，此材質，較佳為，在IEC(國際電氣標準會議)規格下表 面電阻為1E+12Ω(1×1012Ω)以下。具體而言，可使用帝人纖維股份有限公司之electy(註冊商標)、帝人frontier股份有限公司之waveron(註冊商標)、dupont股份有限公司之nomex(註冊商標)等。
連結構造53係使用在無塵室較佳地使用之扣件(稱為線扣件、拉鏈、或夾頭)，將連結構件53關閉以連結上覆蓋體部51與下覆蓋體部52時，縫製成包覆基板箱本體部之長方體袋狀。連結構造53(以下，稱為扣件)之圖式替代用照片如圖13所示。
在箱覆蓋體5之下覆蓋體部52，配合基板箱1之腳輪構造3之配置位置，形成有使各腳輪構造3上下插通之腳輪插通孔55。腳輪插通孔55之開口緣55a構成為形狀尺寸依據通過該腳輪插通孔55之腳輪構造3之通過剖面變化自如。
本構成例中，腳輪構造3由從基板箱本體部往下方突出之台 座部25與安裝在此台座部25之腳輪30構成(腳輪30透過從基板箱本體部往下方突出之台座部25安裝在基板箱本體部)，腳輪插通孔55之開口緣55a構成為仿效上下通過該腳輪插通孔55之台座部25之通過剖面變化。
作為具體構成例，拍攝在腳輪插通孔55之開口緣55a之附近部分之圖式替代用照片如圖14所示，使腳輪30插通腳輪插通孔55以將開口緣55a卡止在台座部25之狀態之圖式替代用照片如圖15所示。如圖14所示，腳輪插通孔55係以在開口緣55a之部分縫製橡膠或拉伸螺旋彈簧等彈性構件使開口形狀及開口徑在既定範圍變化自如之方式形成。
具體而言，腳輪插通孔55之開口徑，在外力未作用於腳輪插通孔55之自由狀態下，開口徑藉由縫製在開口緣部之彈性構件之彈性(拉 伸力)縮小，設定成小於台座部25之對角尺寸(或直徑)。另一方面，抵抗彈性構件之彈性使腳輪插通孔55擴大之外力作用時，腳輪插通孔55之開口徑擴大，設定成能使腳輪30及台座部25自由地插通。
因此，腳輪30及台座部25通過腳輪插通孔55使車輪35往覆蓋體外方露出時，如圖15所示，腳輪插通孔55之開口緣55a仿效台座部25之通過剖面，開口形狀及開口尺寸變化，藉由彈性構件之彈性以從外周將台座部25縮緊之方式封閉間隙而卡止。
腳輪插通孔55係配合往下方突出設置在基板箱本體部之腳輪構造3之配置位置而形成在四部位，使腳輪構造3插通於各腳輪插通孔55時，藉由彈性構件之彈性以縮緊台座部25之方式封閉間隙以卡止各腳輪插通孔55。此外，使上覆蓋體部51從基板箱1之上方被覆基板箱本體部，關閉扣件將上覆蓋體部51與下覆蓋體部52連結，藉此，如圖16所示，基板箱本體部之整體被箱覆蓋體5包裝，僅腳輪30(及台座部25之下部)從箱覆蓋體5往外部露出配置。
因此，被箱覆蓋體5包裝之基板箱1能利用腳輪30自由地移動。腳輪插通孔55，藉由設在開口緣部之彈性構件以從外周縮緊台座部25之方式封閉間隙而卡止，因此可大幅地抑制基板搬運時微粒附著於基板箱本體部，且在利用腳輪30之基板箱1之移動時，不會妨礙腳輪30之水平旋轉或車輪35之旋動。
又，箱覆蓋體5具有覆蓋基板箱本體部之上部之上覆蓋體部51、覆蓋下部之下覆蓋體部52、及將此等連結成可開閉之扣件53，由於在下覆蓋體部52形成腳輪插通孔55，因此可容易且迅速地進行基板箱1之捆 包及開箱作業。
是以，根據以上述方式說明之箱覆蓋體5，在基板搬運後之往無塵室之搬入步驟等，可削減用以除去附著於基板箱1之微粒之步驟數，能使利用玻璃基板之光罩或各種顯示器製造之產率提升。
此外，實施形態中，雖例示上覆蓋體部51與下覆蓋體部52在一側面相連且以設在其他三側面之扣件53開閉自如之構成例，但將上覆蓋體部51與下覆蓋體部52個別獨立地構成，藉由遍布設在四側面(全周)之扣件連結/分離亦可。又，雖例示使上覆蓋體部51與下覆蓋體部52在基板箱本體部之上下中間位置上下分開之構成，但將此等在基板箱本體部之上端位置或下端位置分開亦可。
(基板搬運箱)
基板搬運箱7之主體構成，如圖18所示，係收容基板箱1之搬運箱本體部71、覆蓋收容在搬運箱本體部71之基板箱1且安裝在搬運箱本體部71之上面側之蓋構件72。搬運箱本體部71及蓋構件72皆由形成各構件之骨架之金屬製框與固定在金屬框且構成外殼之金屬薄板製面材構成，使異物不會碰撞或外力不會直接作用於收納在內部之基板箱1。在搬運箱本體部71之下部，往前後延伸形成有使堆高機左右之叉狀部插通之叉插入部73，在搬運箱本體部71之下面側，在前後左右四部位設有腳輪75。
在腳輪75之安裝部，如圖19在鉛垂面切斷之剖面圖所示，在搬運箱本體部71與腳輪75之間設有吸收衝擊之緩衝構件76。圖19所示之安裝構造，顯示在車軸可在水平面內360度水平旋轉之旋轉型腳輪75之底板75a與搬運箱本體部71之台座部71a之間設有一邊長度為b、厚度為t 之橡膠製緩衝構件76之構成。
在緩衝構件76，與固定腳輪75之螺栓之配置間距一致地在厚度方向貫通形成有螺栓插通孔76b，使用與彈簧墊片77及緩衝構件76之厚度對應之長度之凸肩螺栓78固定成夾在台座部71a與底板75a之間。此外，替代彈簧墊片77使用盤彈簧墊片亦可，替代凸肩螺栓78使用既定長度之軸環與螺栓亦可。
在搬運基板搬運箱7之搬運過程中，衝擊透過腳輪76往上下方向作用在緩衝構件76。圖20係顯示使鋼球以各種衝突速度往厚度方向碰撞橡膠製之緩衝構件並測定此時作用於鋼球之衝擊力之結果。圖20中橫軸為鋼球之碰撞速度(m/s)，縱軸為作用於鋼球之衝擊力(kN)。圖中辨識描繪厚度不同之複數個緩衝構件。從此圖可知，碰撞速度愈大則衝擊力愈大，緩衝構件76愈厚則衝擊力愈小。
衝擊力依據緩衝構件76之形狀而不同。圖21係顯示使鋼球往厚度方向碰撞形狀不同之複數個橡膠製之緩衝構件並測定此時作用於鋼球之衝擊力之結果。圖21中橫軸為緩衝構件之形狀率α，縱軸為作用於鋼球之衝擊力(kN)。圖中辨識描繪衝突速度不同之情形。此處，形狀率α，α=與碰撞面垂直之側面之全面積/碰撞面之面積，若緩衝構件76之俯視下形狀為b×b之正方形，則α=4bt/b2=4t/b。從此圖可知，形狀率α愈大則衝擊力愈小。然而，衝擊力大幅變化為形狀率α為0~0.3程度之範圍，且在形狀率α超過1之範圍，衝擊力幾乎不變化。
現在，設緩衝構件76之俯視下形狀為b=125mm之正方形時，形狀率α與橡膠之厚度t之關係成為如圖22。從此圖可知，形狀率α 成為0.3時之緩衝構件76之厚度t≒10mm，形狀率α成為1時之緩衝構件76之厚度t≒30mm。根據上述，在吸收透過腳輪75作用之衝擊之衝擊吸收面，較佳為，緩衝構件76之厚度為大約5~30mm程度，更佳為，10mm~30mm。
另一方面，在以貨車或飛機搬運基板搬運箱7之輸送中，振動從此等輸送手段之底面作用於腳輪75。在輸送中作用之外來振動之頻率f，為大約f=25~400Hz之範圍。使緩衝構件76作用為防振橡膠之情形，諧振頻率(固有振動數)成為問題。
防振橡膠之諧振頻率fn以式(1)表示，彈簧常數k以式(2)表示。
fn=1/2 π×(k/m)1/2…(1)
k=EA/t…(2)
式中之m為作用於防振橡膠之物體之質量(負荷)，E為防振橡膠之楊氏係數，A為受壓面積且在本構成例中為b×b，t為防振橡膠之厚度。
在基板之輸送中作用於腳輪75之外來振動之頻率f為大約f=25~400Hz之範圍，因此為了使緩衝構件76作為防振橡膠有效地產生功能，較佳為，在頻率f=25Hz時振動傳達率Tr成為1以下。為了滿足此條件之緩衝構件76之諧振頻率(固有振動數)fn能以下述方式求出。
已知防振橡膠之振動傳達率Tr以下述式(3)表示。
Tr={1/(1-u2)}…(3)
在式(3)，u為振動數比，u=f/fn。圖23係顯示式(3)之關係。從式(3)及圖23所示之關係可知，為了使振動傳達率Tr≦1，必須振動數比u≧√2以上，若外來振動之頻率f為25Hz，則根據u=(25/fn)≧√2，fn≦17.7Hz。因此， 在外來振動之頻率f為25Hz時為了使振動傳達率Tr成為1以下，較佳為，緩衝構件76之諧振頻率fn為17.7Hz以下。此外，可預估外來振動之頻率f之下限值大於25Hz之情形，根據u=(f/fn)≧√2之關係，能設緩衝構件76之諧振頻率fn為大於17.7Hz之值。
此處，由於輸送玻璃基板2時之基板搬運箱1之總重量為300kg程度，因此作用於各緩衝構件76之質量m為75kg。又，緩衝構件76之一邊之長度b，在厚度為10mm時為125mm。因此，根據上述式(1)、(2)，為了使諧振頻率為17.7Hz以下，緩衝構件76之楊氏係數必須大約600MPa以下。
橡膠材料之楊氏係數與硬度之關係，根據基本之彈性體之種類或加硫之程度，並非一定，但為了使楊氏係數為600MPa以下，在厚度t=30mm之情形，橡膠硬度在蕭氏A(JIS-K6253)標尺下為大約90以下。另一方面，楊氏係數愈小則諧振頻率fn降低，防振效果變高，但由於容易與外力對應地變形，因此在腳輪之固定面欠缺穩定性。根據此點，較佳為，在厚度t=5mm之情形之楊氏係數為10MPa以上，橡膠硬度在蕭氏A標尺下為大約40以上。
根據上述，在吸收透過腳輪75作用之振動之振動吸收面，較佳為，設緩衝構件76之厚度為5~30mm程度，橡膠硬度在蕭氏A標尺下為40~90。是以，從衝擊吸收面及振動吸收面之觀點，較佳為，緩衝構件76之厚度為5~30mm(更佳為10~30mm)程度，橡膠硬度在蕭氏A標尺下為40~90。此外，作為緩衝構件76之一例，可使用聚氨酯橡膠或矽氧橡膠。
以下，關於有無緩衝構件76造成之防振效果之不同，以具 體之模型為例進行說明。圖24(a)、(b)係顯示模型。(a)為未設置緩衝構件76而將腳輪75直接固定在台座部71a之構成(習知基板搬運箱)之模型。(b)為透過緩衝構件76將腳輪75安裝在台座部71a之構成(本實施形態之基板搬運箱7)之模型。
基板搬運箱7之總重量為300kg，緩衝構件76之尺寸為125×15mm，在四部位支承基板搬運箱。在將腳輪75直接固定在台座部71a之模型(a)，由於鋼材與鋼材直接連接，因此楊氏係數E=200GPa。又，在透過緩衝構件76將腳輪75安裝在台座部71a之模型(b)，緩衝構件76之楊氏係數為100MPa。
圖25係顯示針對模型(a)及(b)計算外來振動之傳達特性之模擬結果。圖中之橫軸為外來振動之頻率，縱軸為振動傳達率。在將腳輪75直接固定在台座部71a之模型(a)，根據上述式(1)、(2)，諧振頻率fn成為331Hz，從圖25可知，在輸送中作用之外來振動(25~400Hz)之所有頻率區域為勵振狀態。另一方面，在設在緩衝構件76之模型(b)，諧振頻率fn=7Hz，可知輸送中作用之外來振動在所有頻率區域大幅地衰減。
是以，根據以上述方式說明之基板搬運箱7，在藉由貨車或飛機等之輸送手段搬運玻璃基板2之搬運過程，即使衝擊或振動等從貨車之底面作用於腳輪75，此等亦被緩衝構件76吸收，可抑制對基板搬運箱7之搬運箱本體部71之衝擊及振動之傳達。因此，能保護原本應保護之玻璃基板2、期盼保護之基板箱1及基板搬運箱7之兩方免於受到外來之衝擊等。
此外，在以上實施形態之說明中，作為一例，針對搬運尺寸為1800×1600×17mm、質量大約110kg之玻璃基板2之基板搬運箱進行說明， 但玻璃基板2之形狀尺寸或質量、及根據此等變化之基板搬運箱7之形狀尺寸或全質量等可適當變更來適用。
接著，參照圖26說明使用具有本實施形態之基板箱1、箱覆蓋體5、基板搬運箱7之基板搬運系統搬送玻璃基板2之方法。將在具有等級100程度之潔淨度之無塵室內製造之玻璃基板2，在無塵室內載置於基板箱1之下部箱單元20內，藉由基板支承部23固定支承。接著，從保持有玻璃基板2之下部箱單元20之上方被覆上部箱單元10，藉由螺栓等將兩箱單元10,20加以連結。藉此，玻璃基板2以密封狀態保持在基板箱1內(S1)。
接著，使保持有玻璃基板2之基板箱1往傳遞箱移動。傳遞箱之潔淨度較無塵室內差，為100~1000程度。在傳遞箱，使用箱覆蓋體5將基板箱1捆包(S2)。捆包時，首先在傳遞箱之底面載置上覆蓋體部51與下覆蓋體部52開啟狀態之箱覆蓋體5。此時，以下覆蓋體部52之四個腳輪插通孔55分別對應基板箱1之腳輪構造3之位置之方式在擴張之狀態下載置下覆蓋體部52。
接著，如上述，使基板箱1移動至載置之箱覆蓋體5之上。此時，下覆蓋體部52之四個腳輪插通孔55，如上述，配置在對應基板箱1之腳輪構造3之位置，因此使用堆高機等能容易地將基板箱1之四個腳輪30分別配置在下覆蓋體部52之四個腳輪插通孔55之內部。將各腳輪30分別配置在各腳輪插通孔55內之後，使用連結構造53將上覆蓋體部51與下覆蓋體部52連結，以箱覆蓋體5捆包基板箱1。此時，下覆蓋體部52被往上方舉起，基板箱1之四個腳輪30及四個台座部25分別通過箱覆蓋體5之四個腳輪插通孔55。接著，各腳輪插通孔55仿效各台座部25之剖面變 化，以從外周仿效地縮緊台座部25之方式將閉塞封閉。
接著，使被箱覆蓋體5捆包後之基板箱1從傳遞箱往一般環境移動，在此收容於基板搬運箱7之內部(S3)。接著，藉由堆高機等將收容有基板箱1之基板搬運箱7搭載於搬運用之貨車等(S4)。
從搬送來之基板搬運箱7取出玻璃基板2時，可藉由與上述相反之步驟取出玻璃基板2。
根據本實施形態之搬運方法，能使用確保倒下穩定性且抑制玻璃基板2收容時之變形之基板箱1使已收容之玻璃基板2穩定地移動。又，由於使用具有上覆蓋體部51、下覆蓋體部52、及以從外周縮緊台座部25之方式將間隙封閉之腳輪插通孔55之箱覆蓋體5將基板箱1捆包，因此可容易地將基板箱1捆包。又，藉由箱覆蓋體5可大幅抑制在基板搬運時微粒附著於基板箱1，因此承接基板搬運箱7取出玻璃基板2時，可削減除去附著於基板箱1之微粒之步驟。因此，可提升利用玻璃基板2之光罩等之製造產率。又，由於使用具有緩衝構件76之基板搬運箱7，因此能保護搬運中之基板箱1及玻璃基板免於受到外來衝擊等。因此，根據本實施形態之搬運方法，能將玻璃基板2以更穩定狀態更迅速地搬運。
根據本發明之基板箱，能以與基板尺寸對應之小型且簡易之構成使收容之基板穩定地移動。又，根據本發明之箱覆蓋體，在基板之搬入步驟可削減用以除去附著於基板箱之微粒之步驟數，在使用基板之製程可提升產率。又，根據本發明之基板搬運箱，能以簡易之構成安全地搬運基板。又，根據本發明之基板搬運系統及基板搬運方法，能將大型基板以更穩定狀態更迅速地搬送。因此，根據本發明，能使使用大型基板之光罩 等之製造或製造後之搬送變得更迅速且容易。
1‧‧‧基板箱
2‧‧‧玻璃基板(基板)
3‧‧‧腳輪構造
10‧‧‧上部箱單元(上部箱)
11‧‧‧上部框
12‧‧‧上部箱構件
20‧‧‧下部箱單元(下部箱)
21‧‧‧下部框
25‧‧‧台座部
30‧‧‧腳輪
35‧‧‧車輪
38‧‧‧保護蓋
40‧‧‧叉狀部插入區域標記
SF‧‧‧叉狀部插入區域

Claims (21)

  1. 一種基板箱，係用以將對角尺寸超過2m之矩形平板狀基板收容在內部並搬運該基板，其特徵在於，具有：下部箱，在上面側設有將該基板之前後左右之緣部在板厚方向加以支承之基板支承部，在下面側設有三個以上之移動用腳輪；以及上部箱，從上方覆蓋該基板支承部所支承之該基板，安裝在該下部箱；該腳輪係安裝在框狀區域，該框狀區域配置在俯視下該基板支承部所支承之該基板之外形即第1四角形之內側，且為將根據俯視下之該下部箱之外形算出之前後方向之貝色點及左右方向之貝色點分別連結而形成之第2四角形之外側。
  2. 如申請專利範圍第1項之基板箱，其中，該腳輪係在前後及左右排列安裝於該框狀區域；與在前後及/或左右排列之二個該腳輪之內側相鄰，設有可插入堆高機之叉狀部之叉狀部插入區域。
  3. 如申請專利範圍第2項之基板箱，其中，該叉狀部插入區域係形成為包含該第2四角形中往前後延伸之左右二邊及/或往左右延伸之前後二邊之區域。
  4. 如申請專利範圍第2或3項之基板箱，其中，該下部箱具有顯示該叉狀部插入區域之位置之標記。
  5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之基板箱，其中，該腳輪在該框狀區域之四角分別安裝有一個。
  6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項之基板箱，其中，在該腳輪安裝 有保護車輪之側面及行進方向前後之轉動面之保護蓋。
  7. 如申請專利範圍第1至6項中任一項之基板箱，其中，該基板之重量為100kg以上。
  8. 一種基板搬運箱，係用以收納在內部保持有基板之基板箱並搬運，其特徵在於：該基板搬運箱具有在下面側設有腳輪且收容該基板箱之搬運箱本體部與覆蓋收容在該搬運箱本體部之該基板箱且安裝在該搬運箱本體部之上面側之蓋構件；在該搬運箱本體部與該腳輪之間設有在搬運時吸收從外部作用於該腳輪之衝擊之緩衝構件。
  9. 如申請專利範圍第8項之基板搬運箱，其中，該緩衝構件在收納有保持有該基板之基板箱之狀態下之諧振頻率為17.7Hz以下。
  10. 如申請專利範圍第8或9項之基板搬運箱，其中，該緩衝構件之厚度為5~30mm。
  11. 如申請專利範圍第8至10項中任一項之基板搬運箱，其中，該緩衝構件之硬度在蕭氏A(JIS-K6253)標尺下為40~90。
  12. 如申請專利範圍第8至11項中任一項之基板搬運箱，其中，該基板之重量為100kg以上。
  13. 如申請專利範圍第8至12項中任一項之基板搬運箱，其中，該基板箱，具有：下部箱，在上面側設有將該基板之前後左右之緣部在板厚方向加以支承之基板支承部，在下面側設有三個以上之移動用腳輪；以及 上部箱，從上方覆蓋該基板支承部所支承之該基板，安裝在該下部箱；該基板箱之該腳輪係安裝在框狀區域，該框狀區域配置在俯視下該基板支承部所支承之該基板之外形即第1四角形之內側，且為將根據俯視下之該下部箱之外形算出之前後方向之貝色點及左右方向之貝色點分別連結而形成之第2四角形之外側。
  14. 一種箱覆蓋體，係覆蓋在內部收容有基板之基板箱之外周，抑制在該基板搬運時灰塵附著於該基板箱之袋狀之箱覆蓋體，其特徵在於：該基板箱具有收容該基板之基板箱本體部、及在下端具有車輪且從該基板箱本體部往下方突出設置之複數個腳輪構造；該箱覆蓋體，配合在該基板箱本體部之該複數個腳輪構造之配置位置，形成使各該腳輪構造上下插通之複數個腳輪插通孔；且該腳輪插通孔之開口緣係構成為形狀尺寸依據通過該腳輪插通孔之該腳輪構造之通過剖面變化自如；使該腳輪構造通過該腳輪插通孔以使該車輪往覆蓋體外方露出時，該開口緣仿效該腳輪構造之通過剖面變化，封閉在該腳輪構造與該腳輪插通孔之間可能產生之間隙。
  15. 如申請專利範圍第14項之箱覆蓋體，其中，該箱覆蓋體具有覆蓋該基板箱本體部之上部外周之上覆蓋體部、覆蓋該基板箱本體部之下部外周之下覆蓋體部、及將該上覆蓋體部與該下覆蓋體部連結成可開閉且以密封狀態包覆該基板箱本體部整體之呈一體袋狀之連結構造；在該下覆蓋體部形成有該複數個腳輪插通孔。
  16. 如申請專利範圍第14或15項之箱覆蓋體，其中，該上覆蓋體部及 該下覆蓋體部係使用在無塵室使用之潔淨體之材質形成，該連結構造係使用在無塵室使用之扣件構成。
  17. 如申請專利範圍第14至16項中任一項之箱覆蓋體，其中，該腳輪構造由往下方突出設置於該基板箱本體部之下面之台座部及安裝在該台座部之腳輪構成；該腳輪插通孔之開口緣係構成為仿效上下通過該腳輪插通孔之該台座部之通過剖面變化。
  18. 如申請專利範圍第14至17項中任一項之箱覆蓋體，其中，該基板之重量為100kg以上。
  19. 如申請專利範圍第14至18項中任一項之箱覆蓋體，其中，該基板箱，具有：下部箱，在上面側設有將該基板之前後左右之緣部在板厚方向加以支承之基板支承部，在下面側設有三個以上之移動用腳輪；以及上部箱，從上方覆蓋該基板支承部所支承之該基板，安裝在該下部箱；該腳輪係安裝在框狀區域，該框狀區域配置在俯視下該基板支承部所支承之該基板之外形即第1四角形之內側，且為將根據俯視下之該下部箱之外形算出之前後方向之貝色點及左右方向之貝色點分別連結而形成之第2四角形之外側；該複數個腳輪構造分別包含該腳輪。
  20. 一種基板搬運系統，係用以搬運大型基板，其特徵在於，具有：申請專利範圍第1至7項中任一項之基板箱；箱覆蓋體，捆包該基板箱；以及 基板搬運箱，收納該基板箱；該基板箱具有分別包含該腳輪且從該下部箱往下方突出設置之複數個腳輪構造；該箱覆蓋體，配合在該下部箱之該複數個腳輪構造之配置位置，形成使各該腳輪構造上下插通之複數個腳輪插通孔；且該腳輪插通孔之開口緣係構成為形狀尺寸依據通過該腳輪插通孔之該腳輪構造之通過剖面變化自如；使該腳輪構造通過該腳輪插通孔以使該車輪往覆蓋體外方露出時，該開口緣仿效該腳輪構造之通過剖面變化，封閉在該腳輪構造與該腳輪插通孔之間可能產生之間隙；該基板搬運箱具有在下面側設有腳輪且收容該基板箱之搬運箱本體部與覆蓋收容在該搬運箱本體部之該基板箱且安裝在該搬運箱本體部之上面側之蓋構件；在該搬運箱本體部與該腳輪之間設有在搬運時吸收從外部作用於該腳輪之衝擊之緩衝構件。
  21. 一種基板搬運方法，具有：將基板收容在申請專利範圍第1至7項中任一項之基板箱之步驟；以箱覆蓋體捆包該基板箱之步驟；以及將該捆包後之基板箱收納在基板搬運箱之步驟；其特徵在於：該基板箱具有分別包含該腳輪且從該下部箱往下方突出設置之複數個腳輪構造； 該箱覆蓋體，配合在該下部箱之該複數個腳輪構造之配置位置，形成使各該腳輪構造上下插通之複數個腳輪插通孔；且該腳輪插通孔之開口緣係構成為形狀尺寸依據通過該腳輪插通孔之該腳輪構造之通過剖面變化自如；使該腳輪構造通過該腳輪插通孔以使該車輪往覆蓋體外方露出時，該開口緣仿效該腳輪構造之通過剖面變化，封閉在該腳輪構造與該腳輪插通孔之間可能產生之間隙；該基板搬運箱具有在下面側設有腳輪且收容該基板箱之搬運箱本體部與覆蓋收容在該搬運箱本體部之該基板箱且安裝在該搬運箱本體部之上面側之蓋構件；在該搬運箱本體部與該腳輪之間設有在搬運時吸收從外部作用於該腳輪之衝擊之緩衝構件。
TW102116614A 2012-05-11 2013-05-10 Substrate box, substrate transfer box, case cover, substrate transfer system, and substrate transfer method TWI622538B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012109605 2012-05-11
JP2012120490 2012-05-28
JP2012163695 2012-07-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201408558A true TW201408558A (zh) 2014-03-01
TWI622538B TWI622538B (zh) 2018-05-01

Family

ID=49550814

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102116614A TWI622538B (zh) 2012-05-11 2013-05-10 Substrate box, substrate transfer box, case cover, substrate transfer system, and substrate transfer method

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6274101B2 (zh)
KR (1) KR101962505B1 (zh)
CN (1) CN104271468B (zh)
TW (1) TWI622538B (zh)
WO (1) WO2013168782A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105366159A (zh) * 2014-08-30 2016-03-02 姚本海 一种物流软箱及其制造方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016033030A (ja) * 2014-07-31 2016-03-10 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス板梱包用パレット
CN106672527A (zh) * 2015-11-10 2017-05-17 国网山东省电力公司枣庄供电公司 一种金属铠装柜搬运移动装置
KR102229465B1 (ko) * 2019-03-20 2021-03-18 이현만 받침대를 지지하는 기판 케이스 운반용 케이스
JP2023012191A (ja) * 2021-07-13 2023-01-25 信越半導体株式会社 クリーンルーム間の搬送物梱包用の梱包材、梱包方法及び搬送方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07217251A (ja) * 1994-02-08 1995-08-15 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 住宅、体育館用防振ゴム
JP3292429B2 (ja) * 1995-01-20 2002-06-17 ゼオン化成株式会社 搬送コンテナ
JP3107515B2 (ja) * 1996-03-29 2000-11-13 アロン化成株式会社 ごみ収集車のごみ収集装置
JP3477072B2 (ja) * 1998-04-07 2003-12-10 早川ゴム株式会社 建築物の床構造
JP2000109159A (ja) * 1998-09-30 2000-04-18 Fuji Photo Film Co Ltd ガラス乾板輸送用カーゴテナー及び保冷カバー
JP2001221283A (ja) * 2000-02-07 2001-08-17 Taisei Corp 設備機器用支持装置
JP4236535B2 (ja) * 2003-07-31 2009-03-11 旭化成エレクトロニクス株式会社 大型ペリクル収納容器
TWM244573U (en) * 2003-09-15 2004-09-21 Power Geode Technology Co Ltd Wafer box carrier
JP2006111039A (ja) * 2004-10-12 2006-04-27 Teiirekkusu:Kk 乳母車用カバー
JP3117369U (ja) 2005-10-05 2006-01-05 Ｈｏｙａ株式会社 フォトマスク基板用輸送ケース
JP2008007127A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Sk Electronics:Kk マスクケースの梱包材及びこれを用いたマスクケースの梱包方法
JP4855885B2 (ja) * 2006-09-29 2012-01-18 Ｈｏｙａ株式会社 マスクケース、マスクカセット、パターン転写方法及び表示装置の製造方法
JP2008129362A (ja) * 2006-11-21 2008-06-05 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 印刷装置、および印刷装置の姿勢誤差抑制方法
JP3133472U (ja) * 2007-04-27 2007-07-12 株式会社本宏製作所 温度保持機能を有するカゴ車
DK176871B1 (da) * 2007-06-04 2010-02-08 Inter Ikea Sys Bv Lastpalle med overdækningsmateriale
JP5209423B2 (ja) * 2008-09-11 2013-06-12 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクル梱包構造体
JP2010247870A (ja) * 2009-04-17 2010-11-04 Sharp Corp パネル運搬用荷台
JP2011126546A (ja) * 2009-12-15 2011-06-30 Shin-Etsu Chemical Co Ltd ガラス基板搬送用ケースおよびガラス基板搬送用台車
JP5177192B2 (ja) * 2010-09-08 2013-04-03 大日本印刷株式会社 基板収納容器及び基板収納体

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105366159A (zh) * 2014-08-30 2016-03-02 姚本海 一种物流软箱及其制造方法
CN105366159B (zh) * 2014-08-30 2017-12-22 姚本海 一种物流软箱及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150013515A (ko) 2015-02-05
JP6274101B2 (ja) 2018-02-07
TWI622538B (zh) 2018-05-01
CN104271468B (zh) 2018-01-19
KR101962505B1 (ko) 2019-03-26
WO2013168782A1 (ja) 2013-11-14
JPWO2013168782A1 (ja) 2016-01-07
CN104271468A (zh) 2015-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI622538B (zh) Substrate box, substrate transfer box, case cover, substrate transfer system, and substrate transfer method
JP5950457B2 (ja) ガラス基板搬送台車
JP2803567B2 (ja) 半導体ウエーハ収納容器の梱包構造体
JP2006168832A (ja) 積み重ねられた大形薄ガラスパネルの梱包装置
TW200819363A (en) Buffering material for packaging pellicle and packaging method
JP5364736B2 (ja) ペリクル用梱包箱
KR101121176B1 (ko) 포토마스크 케이스의 구조
JP5864399B2 (ja) ペリクル収納容器
JP5155419B2 (ja) 薄型テレビジョンの梱包構造
TW201007350A (en) Carrier of reticle pod and the buffer position device therein
JP2007326584A (ja) 梱包用具、梱包容器、梱包体、ガラス基板の梱包方法および梱包体の開梱方法
JP2008032915A (ja) マスクケース
KR102352196B1 (ko) 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스
KR102229465B1 (ko) 받침대를 지지하는 기판 케이스 운반용 케이스
JP4911326B2 (ja) ガラス板梱包ユニット
JP5693836B2 (ja) ペリクル収納ケースの梱包体及びペリクル収納ケースの梱包方法
Yan et al. Clean mask shipping module development and demonstration for EUVL masks and blanks
JP2007065583A (ja) ペリクルのペリクル容器への収納方法、ペリクルのペリクル容器からの取り出し方法、ペリクルの輸送方法および保管方法、ペリクルを収納したペリクル容器の梱包方法ならびにペリクルを収納したペリクル容器の開封方法
JP4065752B2 (ja) 平面表示装置の梱包装置
JP5856260B2 (ja) ペリクル収納ケースの梱包体
KR20230040190A (ko) 포토마스크 운송용 포장박스
JP2005075428A (ja) 梱包容器
KR20090011309U (ko) 포토마스크 보관 케이스
JP2005075433A (ja) 板ガラスの梱包材及び板ガラス梱包体
KR20060133452A (ko) 리소그래피용 대형 펠리클 수납용기