JP2007065583A - ペリクルのペリクル容器への収納方法、ペリクルのペリクル容器からの取り出し方法、ペリクルの輸送方法および保管方法、ペリクルを収納したペリクル容器の梱包方法ならびにペリクルを収納したペリクル容器の開封方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルのペリクル容器への収納方法を提供する。
【解決手段】 ペリクル膜５ａと、一方の端面に、ペリクル膜が接着されたフレーム５ｂと、フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクル５をペリクル容器３に収納する方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクルをペリクル容器内に収納することを特徴とするペリクルのペリクル容器への収納方法。
【選択図】 図２

Description

本発明は、ペリクルのペリクル容器への収納方法、ペリクルのペリクル容器からの取り出し方法、ペリクルの輸送方法および保管方法、ペリクルを収納したペリクル容器の梱包方法ならびにペリクルを収納したペリクル容器の開封方法に関するものであり、さらに詳細には、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルのペリクル容器への収納方法、ペリクルのペリクル容器からの取り出し方法、ペリクルの輸送方法および保管方法、ペリクルを収納したペリクル容器の梱包方法ならびにペリクルを収納したペリクル容器の開封方法に関するものである。

ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイを製造するにあたっては、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、フォトマスクを介して、露光用の光が照射されて、フォトマスクのパターンが転写される。

したがって、この場合に、フォトマスクにゴミなどの異物が付着していると、フォトマスクの表面に付着したゴミなどの異物によって、露光用の光が反射され、あるいは、吸収されるため、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に転写されたパターンが変形したり、パターンのエッジ部分が不鮮明になり、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、所望のように、フォトマスクのパターンを転写することができず、半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイの性能が低下し、歩留まりが悪化するという問題があった。

かかる問題を防止するために、半導体ウエハーあるいは液晶用原板の露光は、クリーンルーム内で行われるが、それでも、フォトマスクの表面に異物が付着することを完全に防止することは困難であるため、通常は、フォトマスクの表面に、露光用の光に対し高い透過率を有するペリクルと呼ばれる防塵カバーを取り付けて、半導体ウエハーあるいは液晶用原板を露光するように構成されている。

ペリクルは、一般に、ニトロセルロース、酢酸セルロースなどのセルロース系樹脂によって、露光用の光に対し高い透過率を有するペリクル膜を作製し、アルミニウム、ステンレスポリエチレンなどによって形成されたフレームの一方の端面に、ペリクル膜を接着し、さらに、フレームの他方の端面に、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂などからなる粘着層を形成し、粘着層の表面に、粘着層を保護する保護シートを付着させることによって作製されている。

このように構成されたペリクルをフォトマスクの表面に取り付けて、半導体ウエハーあるいは液晶用原板を露光をする場合には、ゴミなどの異物は、ペリクルの表面に付着し、フォトマスクの表面には直接付着しないため、フォトマスクに形成されたパターン上に、焦点が位置するように、露光用の光を照射すれば、ゴミなどの異物の影響を除去することが可能になる。

ペリクルは、通常、クリーンルーム内で、上述のように作製された後、図１に示されるように、第一の半部１および第二の半部２からなるプラスチック製あるいは金属製のペリクル容器３内に、ペリクル膜５ａの膜面が実質的に水平方向を向くように、収納されて、輸送され、もしくは、保管され、クリーンルーム内など、異物の混入が防止された環境下で、ペリクル容器３から取り出され、または、ペリクル５が収納されたペリクル容器３が、段ボール箱などの梱包材料によって梱包されて、輸送され、クリーンルーム内など、異物の混入が防止された環境下で、梱包されたペリクル容器３が開封されて、ペリクル５がペリクル容器３から取り出され、ペリクル５から、保護シートが取り外されて、粘着層にガラス基板などが付着され、ペリクル５がフォトマスクの表面に取り付けられる。

このように、ペリクルの作製、ペリクル容器への収納ペリクル容器からの取り出しにあたっては、ペリクル容器はクリーンな雰囲気内に保持されるが、それでも、ペリクルをペリクル容器に収容する際や、ペリクルをペリクル容器から取り出す際に、作業環境中の異物が、ペリクルに付着し、または、ペリクルをペリクル容器内に収納する際、ペリクルをペリクル容器内に収納して、輸送もしくは保管する際、ペリクルをペリクル容器から取り出す際、ペリクルを収納したペリクル容器を梱包材料で梱包する際、梱包されたペリクル容器を輸送する際、梱包を開封する際などに、ペリクルを収納するペリクル容器に付着した異物が、ペリクル容器から離れて、ペリクルに付着することがあった。

このように、ペリクルに異物が付着している場合には、ペリクルがフォトマスクの表面に取り付けられた後に、ペリクルに付着した異物が、フォトマスクの表面に付着し、フォトマスクの表面に付着した異物によって、露光用の光が反射され、あるいは、吸収されるため、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、所望のように、フォトマスクのパターンを転写することができず、半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイの性能が低下することがあった。

そこで、従来から、作業環境中の異物が、ペリクルに付着することを防止するため、作業環境をよりクリーンに保ったり、あるいは、ペリクルが帯電することの防止などが図られてきた。

たとえば、ペリクルを収納するペリクル容器に異物が付着することを防止するため、帯電防止処理を施したプラスチック製のペリクル容器に、ペリクルを収納する方法（たとえば、特開平０８−１１０６３１号公報など）や、帯電防止処理を施したプラスチックフィルムで覆われたペリクル容器に、ペリクルを収納する方法（たとえば、特開平１０−３０５８１４号公報など）が提案されている。

しかしながら、作業環境をよりクリーンに保ったり、あるいは、ペリクルが帯電することを防止しても、作業環境中の異物が、ペリクルに付着することを、所望のように、防止することは困難であり、また、帯電防止処理を施したプラスチック製のペリクル容器に、ペリクルを収納したり、帯電防止処理を施したプラスチックフィルムで覆われたペリクル容器に、ペリクルを収納する場合にも、ペリクル容器に異物が付着することを、効果的に防止することは困難であった。

一方、異物がペリクルに付着した場合に、ペリクルに高速の空気流を吹き付けて、ペリクルに付着している異物をエアーブローによって強制的に除去する方法も提案されている（たとえば、特開平０５−１５８２２４号公報など）。
特開平０８−１１０６３１号公報 特開平１０−３０５８１４号公報 特開平０５−１５８２２４号公報

しかしながら、ペリクルのフレームに異物が付着した場合には、ペリクルに高速の空気流を吹き付けることによって強制的に異物を除去することができるが、異物がペリクル膜に付着している場合には、ペリクルに高速の空気流を吹き付けると、高速の空気流によって、ペリクル膜が帯電し、かえって、異物を引き寄せてしまう場合があり、ペリクル膜に付着した異物を効果的に除去することができなかった。

一方、ペリクルをペリクル容器に収納して、輸送する際に、ペリクル膜に加えられる振動によって、ペリクル膜がペリクル容器に接触して、ペリクル膜に傷がつくことがあり、かかる場合にも、ペリクル膜に形成された傷によって、露光用の光が反射され、あるいは、吸収されるため、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、所望のように、フォトマスクのパターンを転写することができず、半導体デバイスあるいは液晶ディスプレイの性能が低下することがあった。

とくに、ペリクルが収納されているペリクル容器を、自動車によって輸送する場合には、自動車が路面の段差を乗り越える際に、数Ｈｚないし１０数Ｈｚの強い上下動が発生して、ペリクル膜が上下に大きく振動し、ペリクル膜がペリクル容器に接触して、傷つきやすいという問題があった。

さらに、半導体デバイスを製造するために用いるペリクルなど、小型のペリクルの場合には、ペリクル輸送の効率化を図り、輸送コストを低減させるために、ペリクルを収納した複数のペリクル容器を積み重ねて、エアキャップなどの緩衝材によって、周囲を囲み、ダンボール箱などの梱包材料により梱包して、輸送することが提案されている（たとえば、特開平１０−３０５８１４号公報など）が、大型のペリクルの場合には、小型のペリクルに比して、ペリクル自体がはるかに重く、また、ペリクル容器の重量も、ペリクルの大型化にともなって、はるかに大きくなるため、ペリクルを収納した複数のペリクル容器を積み重ねて、梱包し、輸送するときは、ペリクル容器が変形して、ペリクル膜が傷つけられるおそれがあり、その一方で、ペリクルを収納したペリクル容器を１つずつ梱包して、輸送するときは、梱包後の個々のペリクル容器の体積が大きくなり、複数のペリクルを同時に輸送することによって、輸送の効率化を図ることが困難になって、輸送コストが増加するという問題があった。近年、大型の液晶ディスプレイに対する要請が高まり、ペリクルも大型化しているため、かかる問題は次第に深刻化していた。

したがって、本発明は、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルのペリクル容器への収納方法を提供することを目的とするものである。

本発明の別の目的は、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルのペリクル容器からの取り出し方法を提供することにある。

本発明の他の目的は、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルの輸送方法を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルの保管方法を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルを収納したペリクル容器の梱包方法を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルを収納したペリクル容器の開封方法を提供することを目的とするものである。

本発明者は、本発明のかかる目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、ペリクルをペリクル容器内に収納する際に、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクルをペリクル容器内に収納し、ペリクルをペリクル容器から取り出す際に、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクルをペリクル容器から取り出すことによって、作業環境中の異物が、ペリクル膜に付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクル膜に付着することを効果的に防止することができ、また、ペリクルが収納されたペリクル容器を輸送し、あるいは、ペリクルをペリクル容器内に保管する際に、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器内で、ペリクルを保持し、ペリクルが収納されたペリクル容器を、段ボール箱などの梱包材料によって梱包する際および梱包されたペリクル容器を開封する際に、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器を保持することによって、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクル膜に付着することを効果的に防止し得ることを見出した。

本発明は、かかる知見に基づくものであり、本発明の前記目的は、少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルをペリクル容器に収納する方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、前記ペリクルを前記ペリクル容器内に収納することを特徴とするペリクルのペリクル容器への収納方法によって達成される。

本発明によれば、ペリクルは、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器内に収納されているから、従来のように、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクルがペリクル容器内に収納される場合に比して、ペリクルをペリクル容器に収納する際のペリクル膜の水平面への投射面積が大幅に小さくなり、したがって、作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクルに向かって落下しても、異物がペリクル膜に接触する確率をきわめて小さくすることができ、また、ペリクルに向かって落下した作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクル膜に接触して、一時的に、ペリクル膜に付着することがあっても、異物は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、異物がペリクル膜に付着することを効果的に防止して、ペリクルをペリクル容器内に収納することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルをペリクル容器から取り出す方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、前記ペリクルを前記ペリクル容器から取り出すことを特徴とするペリクルのペリクル容器からの取り出し方法によって達成される。

本発明によれば、ペリクルは、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器から取り出されるから、従来のように、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクルがペリクル容器から取り出される場合に比して、ペリクルをペリクル容器から取り出す際のペリクル膜の水平面への投射面積が大幅に小さくなり、したがって、作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクルに向かって落下しても、異物がペリクル膜に接触する確率をきわめて小さくすることができ、また、ペリクルに向かって落下した作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクル膜に接触して、一時的に、ペリクル膜に付着することがあっても、異物は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、異物がペリクル膜に付着することを効果的に防止して、ペリクルをペリクル容器から取り出すことが可能になる。

本発明の前記目的はまた、少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルを、ペリクル容器内に収納して、輸送する方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、前記ペリクル容器を保持して、前記ペリクルを輸送することを特徴とするペリクルの輸送方法によって達成される。

本発明によれば、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクルを収納したペリクル容器が保持されて、ペリクルが輸送されるから、従来のように、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクルを収納したペリクル容器を輸送する場合に比して、ペリクルを輸送する際のペリクル膜の水平面への投射面積が大幅に小さくなり、したがって、作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクルに向かって落下しても、異物がペリクル膜に接触する確率をきわめて小さくすることができ、また、ペリクルに向かって落下した作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクル膜に接触して、一時的に、ペリクル膜に付着することがあっても、異物は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、異物がペリクル膜に付着することを効果的に防止して、ペリクルを輸送することが可能になる。

さらに、本発明によれば、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクルを収納したペリクル容器が保持されて、ペリクルが輸送されるから、ペリクルの輸送時に、ペリクル容器に上下方向の振動が加えられても、ペリクル膜はほとんど振動せず、したがって、ペリクル膜がペリクル容器に接触して、傷つけられることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルをペリクル容器内に保管する方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、前記ペリクルを前記ペリクル容器内に保管することを特徴とするペリクルのペリクル容器からの取り出し方法によって達成される。

本発明によれば、ペリクルは、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器内に保管されるから、従来のように、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクルがペリクル容器内に保管される場合に比して、ペリクルをペリクル容器内に保管する際のペリクル膜の水平面への投射面積が大幅に小さくなり、したがって、作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクルに向かって落下しても、異物がペリクル膜に接触する確率をきわめて小さくすることができ、また、ペリクルに向かって落下した作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクル膜に接触して、一時的に、ペリクル膜に付着することがあっても、異物は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、異物がペリクル膜に付着することを効果的に防止して、ペリクルをペリクル容器内に保管することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルを収納した少なくとも１つのペリクル容器を、梱包材料で梱包する方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、前記ペリクルが収納された前記ペリクル容器を、梱包材料によって梱包することを特徴とするペリクル容器の梱包方法によって達成される。

本発明によれば、ペリクルが収納されたペリクル容器は、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、梱包材料によって梱包されるから、従来のように、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクルを収納したペリクル容器が梱包材料によって梱包される場合に比して、ペリクル容器を梱包材料によって梱包する際のペリクル膜の水平面への投射面積が大幅に小さくなり、したがって、作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクルに向かって落下しても、異物がペリクル膜に接触する確率をきわめて小さくすることができ、また、ペリクルに向かって落下した作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクル膜に接触して、一時的に、ペリクル膜に付着することがあっても、異物は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、異物がペリクル膜に付着することを効果的に防止して、ペリクルを収納したペリクル容器を梱包材料によって梱包することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルを収納し、梱包材料によって梱包されたペリクル容器を開封する方法であって、前記ペリクル膜が実質的に鉛直方向に平行になるように、前記ペリクル容器を保持して、前記ペリクル容器の梱包を解くことを特徴とするペリクル容器の開封方法によって達成される。

本発明によれば、ペリクルが収納され、梱包材料によって梱包されたペリクル容器は、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、保持されて、開封されるから、従来のように、ペリクル膜の膜面が略水平水平方向を向くように、ペリクル容器が保持されて、ペリクル容器が開封される場合に比して、ペリクル容器を開封する際のペリクル膜の水平面への投射面積が大幅に小さくなり、したがって、作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクルに向かって落下しても、異物がペリクル膜に接触する確率をきわめて小さくすることができ、また、ペリクルに向かって落下した作業環境中の異物や、ペリクル容器に付着した異物が、ペリクル膜に接触して、一時的に、ペリクル膜に付着することがあっても、異物は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、異物がペリクル膜に付着することを効果的に防止して、ペリクルを収納したペリクル容器の梱包を解くことが可能になる。

本発明の上記およびその他の目的や特徴は、以下の記述および対応する図面から明らかになるであろう。

本発明によれば、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルのペリクル容器への収納方法を提供することが可能になる。

また、本発明によれば、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルのペリクル容器からの取り出し方法を提供することが可能になる。

さらに、本発明によれば、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルの輸送方法を提供することが可能になる。

また、本発明によれば、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルの保管方法を提供することが可能になる。

さらに、本発明によれば、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルを収納したペリクル容器の梱包方法を提供することが可能になる。

また、本発明によれば、、ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルを収納したペリクル容器の開封方法を提供することが可能になる。

以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。

図２は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルのペリクル容器への収納方法を示す工程図である。

図２（ａ）に示されるように、ペリクル容器３は、第一の半部１および第二の半部２によって構成され、ペリクルを収納するにあたっては、まず、図２（ｂ）に示されるように、第一の半部１と第二の半部２とが分離される。

次いで、図２（ｃ）および（ｄ）に示されるように、ペリクル５が、第二の半部２の表面に固定される。ここに、ペリクル５を第二の半部２の表面に固定する方法はとくに限定されるものではなく、フレーム５ｂの上下端面をフックで固定するなど、公知の方法を用いて、ペリクル５を第二の半部２の表面に固定することができる。

こうして、ペリクル５が第二の半部２の表面に固定されると、図２（ｅ）および（ｆ）に示されるように、第一の半部１が第二の半部２に取り付けられて、ペリクル５がペリクル容器３内に収納される。

図２（ｃ）ないし（ｆ）に示されるように、本実施態様においては、ペリクル５は、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように保持されて、ペリクル容器３内に収納される。したがって、ペリクル膜５ａの水平面への投射面積がきわめて小さいから、作業環境内に異物が含まれ、あるいは、ペリクル容器３に異物が付着し、作業環境内に含まれた異物あるいはペリクル容器３に付着した異物がペリクル５に向かって落下しても、異物がペリクル膜５ａに接触する確率はきわめて低く、ペリクル５をペリクル容器３内に収納する際に、作業環境内に含まれた異物あるいはペリクル容器３に付着した異物がペリクル膜５に接触して、付着することを効果的に防止することができ、さらに、作業環境内に含まれた異物あるいはペリクル容器３に付着した異物がペリクル膜５ａに接触して、一時的に付着することがあっても、異物は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、作業環境内に含まれた異物あるいはペリクル容器３に付着した異物がペリクル膜５に付着することを効果的に防止することが可能になる。

一方、作業環境内に含まれた異物あるいはペリクル容器３に付着した異物が、ペリクル５に向かって落下し、ペリクル５のフレーム５ｂに付着することはあり得るが、ペリクル５のフレーム５ｂに付着した異物は、ペリクル５をフォトマスクの表面に取り付けるのに先立って、ピンセットなどを用い、あるいは、高速の空気流を吹き付けることによって、容易に、フレーム５ｂから除去することができる。

本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルのペリクル容器からの取り出し方法においては、ペリクル５をペリクル容器３から取り出すにあたって、図２（ｆ）に示されるように、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器３が保持される。

次いで、図２（ｅ）に示されるように、ペリクル容器３の第一の半部１と第二の半部２とが分離され、その後、図２（ｄ）および（ｃ）に示されるように、ペリクル容器３の第二の半部２の表面に固定されたペリクル５が、ペリクル容器３の第二の半部２から取り外される。

このように、本実施態様においては、ペリクル５をペリクル容器３から取り出すにあたり、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器３が保持されるから、ペリクル膜５ａの水平面への投射面積がきわめて小さく、したがって、ペリクル容器に異物が付着し、ペリクル容器３の第一の半部１と第二の半部２とを分離する際に、ペリクル容器３に付着した異物が、ペリクル５に向かって、落下しても、ペリクル膜５ａに接触して、付着する確率はきわめて低いから、ペリクル容器３に付着した異物がペリクル膜５ａに付着することを効果的に防止することができる。

さらに、ペリクル５は、ペリクル容器３の第二の半部２から取り外されるまでの間、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように保持されるから、作業環境内に異物が含まれ、ペリクル５を、ペリクル容器３の第二の半部２から取り外すまでの間に、作業環境内に含まれた異物が、ペリクル５に向かって、落下しても、ペリクル膜５ａに接触して、付着する確率はきわめて低く、また、ペリクル容器３の第一の半部１と第二の半部２とを分離する際に、ペリクル容器３に付着した異物がペリクル膜５ａに一時的に付着し、あるいは、その後に、作業環境内に含まれた異物がペリクル膜５ａに一時的に付着することがあっても、ペリクル５は、ペリクル容器３の第二の半部２から取り外されるまでの間、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように保持されるから、異物は、重力によって、ペリクル膜５ａから離脱して、落下するから、作業環境内に含まれた異物あるいはペリクル容器３に付着した異物がペリクル膜５に付着することを効果的に防止することが可能になる。

本実施態様においても、ペリクル容器３に付着した異物あるいは作業環境内に含まれた異物が、ペリクル５に向かって落下し、ペリクル５のフレーム５ｂに付着することはあり得るが、ペリクル５のフレーム５ｂに付着した異物は、ペリクル５をフォトマスクの表面に取り付けるのに先立って、ピンセットなどを用い、あるいは、高速の空気流を吹き付けることによって、容易に、フレーム５ｂから除去することができる。

図３は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルの保管方法にしたがって、ペリクルが保管されるときのペリクル容器の略端面図である。

図３に示されるように、本実施態様においては、ペリクル５をペリクル容器３に保管する際、ペリクル容器３は、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように、台座６にセットされて、保持される。台座６の材料は、リサイクル可能で、環境負荷が小さいことが好ましいが、とくに限定されるものではなく、たとえば、紙、木、生分解性プラスチックを含むプラスチック、金属などによって、台座６を作製することができる。

このように、本実施態様においては、ペリクル容器３は、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように保持されるから、ペリクル膜５ａの水平面への投射面積がきわめて小さく、したがって、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル５に向かって落下しても、異物７がペリクル膜５ａに接触する確率はきわめて低いから、ペリクル５をペリクル容器３内に保管している間に、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル膜５に接触して、付着することを効果的に防止することができ、さらに、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル膜５ａに接触して、一時的に付着することがあっても、異物７は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル膜５に付着することを効果的に防止することが可能になる。

本実施態様においても、ペリクル容器３に付着した異物８が、ペリクル５に向かって落下し、ペリクル５のフレーム５ｂに付着することはあり得るが、ペリクル５のフレーム５ｂに付着した異物８は、ペリクル５をフォトマスクの表面に取り付けるのに先立って、ピンセットなどを用い、あるいは、高速の空気流を吹き付けることによって、容易に、フレーム５ｂから除去することができる。

本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルの輸送方法においては、ペリクル容器３に収納されたペリクル５を輸送するにあたって、図３に示されるように、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器３が保持される。

このように、本実施態様においては、ペリクル容器３に収納されたペリクル５を輸送するにあたり、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器３が保持されるから、ペリクル膜５ａの水平面への投射面積がきわめて小さく、したがって、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル５に向かって落下しても、異物７がペリクル膜５ａに接触する確率はきわめて低いから、ペリクル５をペリクル容器３内に保管している間に、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル膜５に接触して、付着することを効果的に防止することができ、さらに、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル膜５ａに接触して、一時的に付着することがあっても、異物７は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル膜５に付着することを効果的に防止することが可能になる。

また、ペリクル５の輸送中、ペリクル容器３が、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように保持されるから、ペリクル５を輸送する自動車が、路面の段差を乗り越える際に、数Ｈｚないし１０数Ｈｚの強い上下動が発生し、ペリクル容器３に上下方向の振動が加わっても、ペリクル膜５ａはほとんど振動せず、したがって、ペリクル膜５ａがペリクル容器３に接触して、傷つけられることを効果的に防止することが可能になる。

本実施態様においても、ペリクル容器３に付着した異物８が、ペリクル５に向かって落下し、ペリクル５のフレーム５ｂに付着することはあり得るが、ペリクル５のフレーム５ｂに付着した異物８は、ペリクル５をフォトマスクの表面に取り付けるのに先立って、ピンセットなどを用い、あるいは、高速の空気流を吹き付けることによって、容易に、フレーム５ｂから除去することができる。

図４は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクル容器の梱包方法にしたがって、梱包されたペリクル容器の略端面図である。

図４に示されるように、ペリクル５を収納したペリクル容器３は、エアキャップなどの緩衝材１０によって、その周囲が覆われ、ダンボール箱などの梱包材料１１により梱包され、台座６にセットされる。

ここに、梱包材料１１の材料は、外部からの衝撃に対して、ペリクルを保護する性能を有していれば、とくに限定されるものではなく、その性能、費用を勘案して、紙、木、樹脂、金属などによって構成された梱包材料１１を用いることができる。

また、緩衝材１０は、外部からの衝撃を緩和し、ペリクルに加わる振動を吸収することができれば、とくに限定されるものではなく、その性能、費用を勘案して、たとえば、段ボール、シュレッダー紙、紙繊維などの紙、ウレタン、スチロールなどの発泡材、ポリエチレンエアキャップ、アクリルシートなどの樹脂成形体、生分解性材料、ゴム、天然あるいは合成繊維、ゲル含有体、金属スプリングなどによって構成された緩衝材１０を用いることができる。

本実施態様においては、ペリクル５を収納したペリクル容器３を梱包する際、ペリクル容器３は、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように、保持される。したがって、ペリクル膜５ａの水平面への投射面積がきわめて小さいから、ペリクル容器３に異物が付着し、ペリクル容器３に付着した異物がペリクル５に向かって落下しても、異物がペリクル膜５ａに接触する確率はきわめて低く、ペリクル５をペリクル容器３内に保管している間に、ペリクル容器３に付着した異物がペリクル膜５に接触して、付着することを効果的に防止することができ、さらに、ペリクル容器３に付着した異物がペリクル膜５ａに接触して、一時的に付着することがあっても、異物は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、ペリクル容器３に付着した異物がペリクル膜５に付着することを効果的に防止することが可能になる。

本実施態様においても、ペリクル容器３に付着した異物８が、ペリクル５に向かって落下し、ペリクル５のフレーム５ｂに付着することはあり得るが、ペリクル５のフレーム５ｂに付着した異物８は、ペリクル５をフォトマスクの表面に取り付けるのに先立って、ピンセットなどを用い、あるいは、高速の空気流を吹き付けることによって、容易に、フレーム５ｂから除去することができる。

図５は、本発明の別の好ましい実施態様にかかるペリクル容器の梱包方法にしたがって、梱包されたペリクル容器の略端面図である。

図５に示されるように、本実施態様においては、ペリクル容器３の４つの辺の近傍のみが、緩衝材１０によって覆われている。

図６は、本発明の別の好ましい実施態様にかかるペリクルの輸送方法にしたがって、ペリクルが輸送される際のペリクル容器の略端面図である。

図６に示されるように、本実施態様においては、それぞれ、エアキャップなどの緩衝材１０によって、その周囲が覆われ、ダンボール箱などの梱包材料１１により梱包された３つのペリクル容器３が、同時に輸送され、ペリクル５を収納している３つのペリクル容器３は、いずれも、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように、横方向に並べて、台座６にセットされて、保持されている。

したがって、ペリクル膜５ａの水平面への投射面積がきわめて小さいから、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル５に向かって落下しても、異物７がペリクル膜５ａに接触する確率はきわめて低く、したがって、ペリクル５をペリクル容器３内に保管している間に、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル膜５に接触して、付着することを効果的に防止することができ、さらに、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル膜５ａに接触して、一時的に付着することがあっても、異物７は、重力によって、ペリクル膜から離脱して、落下するから、ペリクル容器３に付着した異物７がペリクル膜５に付着することを効果的に防止することが可能になる。

また、本実施態様においては、３つのペリクル容器３は、いずれも、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように、横方向に並べて、台座６にセットされて、輸送されるから、梱包した複数のペリクル容器３を積み重ねて、輸送する場合と異なって、ペリクル５が大型化しても、ペリクル容器３が変形して、ペリクル膜５ａが傷つけられるおそれがない。

さらに、本実施態様においては、３つのペリクル容器３は、いずれも、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように、横方向に並べて、台座６にセットされて、輸送されるから、輸送スペースが大きくなることもなく、同時に、３つのペリクル容器３を輸送することができ、したがって、輸送効率を向上させることが可能になる。

以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例および比較例を掲げる。

実施例１
黒色アルマイト処理を施したアルミニウム合金フレームに、フッ素系ポリマーによって形成されたペリクル膜を接着して、８５ｃｍ×１２０ｃｍのサイズのペリクルサンプルを作製した。同様にして、合計５枚のペリクルサンプルを用意した。

こうして作製されたペリクルサンプルのペリクル膜の表面を、それぞれ、実体顕微鏡を用いて、観察したところ、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。。

次いで、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、それぞれ、図２に示されるステップにしたがって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器内に収納し、収納後、ペリクルサンプルを、ただちに、ペリクル容器から取り出して、実体顕微鏡を用いて、ペリクル膜の表面を観察した。ここに、ペリクル容器の内部サイズは８７ｃｍ×１２２ｃｍであった。

その結果、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。

比較例１
実施例１と同様にして、５つのペリクルサンプルを作製し、それぞれ、実体顕微鏡を用いて、観察したところ、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。

次いで、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、それぞれ、図１に示されるように、すなわち、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクル容器に収納し、収納後、ペリクルサンプルを、ただちに、ペリクル容器から取り出して、実体顕微鏡を用いて、ペリクル膜の表面を観察した。ここに、ペリクル容器の内部サイズは８７ｃｍ×１２２ｃｍであった。

その結果、５つのペリクルサンプルの平均で、２０μｍのサイズの異物が３つ、１０μｍのサイズの異物が８つ、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着していることが認められた。これらの異物は、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が落下して、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着したものと考えられる。

実施例１および比較例１から、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクル容器に収納し、取り出した場合には、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着するが、ペリクルを、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器内に収納し、取り出した場合には、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着することを防止し得ることが判明した。

実施例２
実施例１と同様にして、５つのペリクルサンプルを作製し、それぞれ、実体顕微鏡を用いて、観察したところ、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。

次いで、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、それぞれ、図３に示されるように、すなわち、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器に収納し、さらに、図４に示されるように、緩衝材により、その周囲を覆った後、段ボール箱に入れて、梱包した。ここに、ペリクル容器の内部サイズは８７ｃｍ×１２２ｃｍであった。

梱包後、ペリクル容器を、ただちに開封し、ペリクルサンプルをペリクル容器から取り出して、実体顕微鏡を用いて、ペリクル膜の表面を観察した。

その結果、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。

比較例２
実施例１と同様にして、５つのペリクルサンプルを作製し、それぞれ、実体顕微鏡を用いて、観察したところ、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。

次いで、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、それぞれ、図１に示されるように、すなわち、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクル容器に収納し、さらに、図４に示されるように、緩衝材により、その周囲を覆った後、段ボール箱に入れて、梱包した。ここに、ペリクル容器の内部サイズは８７ｃｍ×１２２ｃｍであった。

梱包後、ペリクル容器を、ただちに開封し、ペリクルサンプルをペリクル容器から取り出して、実体顕微鏡を用いて、ペリクル膜の表面を観察した。

その結果、５つのペリクルサンプルの平均で、５０μｍのサイズの異物が１つ、２０μｍのサイズの異物が４つ、１０μｍのサイズの異物が１２、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着していることが認められた。これらの異物は、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が落下して、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着したものと考えられる。

実施例２および比較例２から、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクル容器に収納し、さらに、緩衝材により、その周囲を覆い、段ボール箱に入れて、梱包し、梱包後、開封して、取り出した場合には、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着するが、ペリクルを、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器内に収納し、さらに、緩衝材により、その周囲を覆い、段ボール箱に入れて、梱包し、梱包後、開封して、取り出した場合には、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着することを防止し得ることが判明した。

実施例３
実施例１と同様にして、５つのペリクルサンプルを作製し、それぞれ、実体顕微鏡を用いて、観察したところ、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に、異物の付着および傷の発生は認められなかった。

次いで、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、それぞれ、図３に示されるように、すなわち、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器に収納し、さらに、緩衝材により、その周囲を覆った後、段ボール箱に入れて、梱包した。ここに、ペリクル容器の内部サイズは８７ｃｍ×１２２ｃｍであった。

梱包後、ペリクル容器を精密機器搬送用トラックに搭載し、一般道を、１２０ｋｍにわたって、輸送した。

次いで、ペリクル容器を貨物輸送用航空機に搭載して、２０００ｋｍにわたって、輸送し、さらに、再び、ペリクル容器を精密機器搬送用トラックに搭載し、一般道を、１２０ｋｍにわたって、輸送した。

輸送後、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクル容器を、ただちに開封し、ペリクルサンプルをペリクル容器から取り出して、実体顕微鏡を用いて、ペリクル膜の表面を観察した。

その結果、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に、異物の付着および傷の発生は認められなかった。

比較例３
実施例１と同様にして、５つのペリクルサンプルを作製し、それぞれ、実体顕微鏡を用いて、観察したところ、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着および傷の発生は認められなかった。

次いで、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、それぞれ、図１に示されるように、すなわち、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクル容器に収納し、さらに、図４に示されるように、緩衝材により、その周囲を覆った後、段ボール箱に入れて、梱包した。ここに、ペリクル容器の内部サイズは８７ｃｍ×１２２ｃｍであった。

梱包後、ペリクル容器を精密機器搬送用トラックに搭載し、一般道を、１２０ｋｍにわたって、輸送した。

次いで、ペリクル容器を貨物輸送用航空機に搭載して、２０００ｋｍにわたって、輸送し、さらに、再び、ペリクル容器を精密機器搬送用トラックに搭載し、一般道を、１２０ｋｍにわたって、輸送した。

輸送後、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクル容器を、ただちに開封し、ペリクルサンプルをペリクル容器から取り出して、実体顕微鏡を用いて、ペリクル膜の表面を観察した。

その結果、５つのペリクルサンプルの平均で、５０μｍのサイズの異物が４つ、２０μｍのサイズの異物が１２、１０μｍのサイズの異物が３５、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着していることが認められた。これらの異物は、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が落下して、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着したものと考えられる。さらに、５つのペリクルサンプルのうち、３つのペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に、傷の発生が認められた。これらの傷は、梱包したペリクル容器を、精密機器搬送用トラックおよび貨物輸送用航空機によって、輸送した際に、ペリクル容器に加えられた上下動によって、ペリクル容器に収納されたペリクルサンプルのペリクル膜が振動し、ペリクル容器に接触して、生じたものと考えられる。

実施例３および比較例３から、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクル容器に収納し、さらに、緩衝材により、その周囲を覆い、段ボール箱に入れて、梱包し、梱包後、精密機器搬送用トラックおよび貨物輸送用航空機によって、輸送し、輸送後、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクル容器を開封し、ペリクルサンプルをペリクル容器から取り出した場合には、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着するだけでなく、ペリクル容器の輸送時に、ペリクル容器に加えられた上下方向の振動によって、ペリクル容器に収納されたペリクルサンプルのペリクル膜が振動し、ペリクル容器に接触して、ペリクル膜の膜面に傷が生成されることがあるが、ペリクルを、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器内に収納し、さらに、緩衝材により、その周囲を覆い、段ボール箱に入れて、梱包し、梱包後、精密機器搬送用トラックおよび貨物輸送用航空機によって、輸送し、輸送後、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクル容器を開封し、ペリクルサンプルをペリクル容器から取り出した場合には、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着することを効果的に防止することが可能になるとともに、ペリクル容器の輸送時に、ペリクル容器に上下方向の振動が加わっても、ペリクル膜の膜面が傷つけられることを効果的に防止し得ることがわかった。

実施例４
実施例１と同様にして、５つのペリクルサンプルを作製し、それぞれ、実体顕微鏡を用いて、観察したところ、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。

次いで、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、それぞれ、図３に示されるように、すなわち、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器に収納して、台座にセットし、６０日間にわたって、クリーンルーム内で、保管し、保管後、クリーンルーム内で、ペリクル容器から取り出して、実体顕微鏡を用いて、ペリクル膜の表面を観察した。

その結果、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。

比較例４
実施例１と同様にして、５つのペリクルサンプルを作製し、それぞれ、実体顕微鏡を用いて、観察したところ、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。

次いで、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、それぞれ、図１に示されるように、すなわち、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクル容器に収納し、６０日間にわたって、クリーンルーム内で、保管し、保管後、クリーンルーム内で、ペリクル容器から取り出して、実体顕微鏡を用いて、ペリクル膜の表面を観察した。

その結果、５つのペリクルサンプルの平均で、２０μｍのサイズの異物が２つ、１０μｍのサイズの異物が５つ、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着していることが認められた。これらの異物は、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が落下して、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着したものと考えられる。

実施例４および比較例４から、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクル容器に収納し、６０日間にわたって、クリーンルーム内で、保管し、保管後、クリーンルーム内で、ペリクル容器から取り出した場合には、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着するが、ペリクルを、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器に収納し、６０日間にわたって、クリーンルーム内で、保管し、保管後、クリーンルーム内で、ペリクル容器から取り出した場合には、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着することを防止し得ることが判明した。

実施例５
実施例１と同様にして、５つのペリクルサンプルを作製し、それぞれ、実体顕微鏡を用いて、観察したところ、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。

次いで、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、それぞれ、図３に示されるように、すなわち、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器に収納し、５つのペリクル容器を、いずれも、ペリクルサンプルのペリクル膜が実質的に鉛直方向を向くように、横方向に並べて、台座にセットして、クリーンルーム内で、６０日間にわたって、保管し、保管後、クリーンルーム内で、ペリクル容器から取り出して、実体顕微鏡を用いて、ペリクル膜の表面を観察した。

その結果、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着は認められなかった。

比較例５
実施例１と同様にして、５つのペリクルサンプルを作製し、それぞれ、実体顕微鏡を用いて、観察したところ、いずれのペリクルサンプルにおいても、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に異物の付着および傷の発生は認められなかった。

次いで、室温に保持されたクリーンルーム内で、ペリクルサンプルを、それぞれ、図１に示されるように、すなわち、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクル容器に収納し、５つのペリクル容器を、いずれも、ペリクルサンプルのペリクル膜が実質的に水平方向を向くように、互いに積み重ねて、クリーンルーム内で、６０日間にわたって、保管し、保管後、クリーンルーム内で、ペリクル容器から取り出して、実体顕微鏡を用いて、ペリクル膜の表面を観察した。

その結果、５つのペリクルサンプルの平均で、２０μｍのサイズの異物が３つ、１０μｍのサイズの異物が９つ、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着していることが認められた。これらの異物は、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が落下して、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着したものと考えられる。さらに、５つのペリクルサンプルのうち、２つのペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に、傷の発生が認められ、そのうちの１つは、ペリクルサンプルのフレームが破損していた。これらの傷は、５つのペリクル容器を積み重ねて、保管したため、上に積み重ねられたペリクル容器の重量が下側のペリクル容器に加わり、下側のペリクル容器が変形したために、生じたものと考えられる。

実施例１ないし５および比較例１ないし５から、室温に保持されたクリーンルーム内で、５つのペリクルサンプルを、それぞれ、ペリクル膜の膜面が実質的に水平方向を向くように、ペリクル容器に収納し、５つのペリクル容器を、いずれも、ペリクルサンプルのペリクル膜が実質的に水平方向を向くように、互いに積み重ねて、６０日間にわたって、クリーンルーム内で、保管し、保管後、クリーンルーム内で、ペリクル容器から取り出した場合には、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着するだけでなく、ペリクル容器の輸送時に、下側のペリクル容器が変形して、ペリクル容器に収納されたペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に傷が生成されることがあるが、５つのペリクルサンプルを、それぞれ、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクル容器内に収納し、５つのペリクル容器を、いずれも、ペリクルサンプルのペリクル膜が実質的に鉛直方向を向くように、横方向に並べて、台座にセットして、クリーンルーム内で、６０日間にわたって、保管し、保管後、クリーンルーム内で、ペリクル容器から取り出した場合には、作業環境内に含まれている異物および／またはペリクル容器に付着した異物が、ペリクルサンプルのペリクル膜の膜面に付着することを効果的に防止することが可能になるとともに、ペリクル膜の膜面が傷つけられることを効果的に防止し得ることがわかった。

本発明は、以上の実施態様および実施態様に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

たとえば、図６に示される実施態様においては、３つのペリクル容器３が、同時に輸送されるように構成されているが、同時に輸送するペリクル容器３の数は、任意に決定することができる。

また、図６に示される実施態様においては、３つのペリクル容器３が、それぞれ、別個に、エアキャップなどの緩衝材１０によって、その周囲が覆われ、ダンボール箱などの梱包材料１１により梱包され、３つのペリクル容器３が、いずれも、ペリクル膜５ａが実質的に鉛直方向を向くように、横方向に並べられて、台座６にセットされ、同時に輸送されるように構成されているが、３つのペリクル容器３を、別個に梱包することは必ずしも必要でなく、３つのペリクル容器３を、あわせて梱包して、輸送することもできる。

図１は、従来の方法によって、ペリクルが収納されたペリクル容器の略端面図である。 図２は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルのペリクル容器への収納方法の工程図である。 図３は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルの保管方法にしたがって、ペリクルが保管されるときのペリクル容器の略端面図である。 図４は、本発明の好ましい実施態様にかかるペリクルを収納したペリクル容器の梱包方法にしたがって、梱包されたペリクル容器の略端面図である。 図５は、本発明の別の好ましい実施態様にかかるペリクル容器の梱包方法にしたがって、梱包されたペリクル容器の略端面図である。 図６は、本発明の別の好ましい実施態様にかかるペリクルの輸送方法にしたがって、ペリクルが輸送される際のペリクル容器の略端面図である。

符号の説明

１ ペリクル容器の第一の半部
２ ペリクル容器の第二の半部
３ ペリクル容器
５ ペリクル
５ａ ペリクル膜
５ｂ フレーム
６ 台座
７ 異物
８ 異物
１０ 緩衝材
１１ 梱包材料

Claims (6)

1. 少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルをペリクル容器に収納する方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、前記ペリクルを前記ペリクル容器内に収納することを特徴とするペリクルのペリクル容器への収納方法。
2. 少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルをペリクル容器から取り出す方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、前記ペリクルを前記ペリクル容器から取り出すことを特徴とするペリクルのペリクル容器からの取り出し方法。
3. 少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルを、ペリクル容器内に収納して、輸送する方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、前記ペリクル容器を保持して、前記ペリクルを輸送することを特徴とするペリクルの輸送方法。
4. 少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルをペリクル容器内に保管する方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、前記ペリクルを前記ペリクル容器内に保管することを特徴とするペリクルのペリクル容器からの取り出し方法。
5. 少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルを収納した少なくとも１つのペリクル容器を、梱包材料で梱包する方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、前記ペリクルが収納された前記ペリクル容器を、梱包材料によって梱包することを特徴とするペリクル容器の梱包方法。
6. 少なくともペリクル膜と、一方の端面に、前記ペリクル膜が接着されたフレームと、前記フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクルを収納し、梱包材料によって梱包されたペリクル容器を開封する方法であって、前記ペリクル膜が実質的に鉛直方向に平行になるように、前記ペリクル容器を保持して、前記ペリクル容器の梱包を解くことを特徴とするペリクル容器の開封方法。
   

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