KR101067818B1 - 반도체 장비용 트레이 클램프 장치 - Google Patents

반도체 장비용 트레이 클램프 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 장비용 트레이 클램프 장치에 관한 것으로서, 마스터 플레이트상에 안착되어진 트레이가 평형상태를 유지하는 가운데 안정적인 클램핑 상태를 이룰 수 있도록 함으로서 작업 정밀도를 향상시키도록 하기 위한 것이다.
이를 실현하기 위한 본 발명은, 마스터 플레이트(1)의 트레이 안착부(2) 주변에 구비되는 다수의 클램프 장치는, 복수개가 쌍을 이루어 수평방향으로 설치되어 있는 가이드로드(10)와; 상기 가이드로드(10)를 따라 유동 가능하도록 가이드로드(10)가 관통 삽입되어진 유동블럭(20)과; 상기 유동블럭(20)의 일측에서 트레이(3)를 고정시키기 위해 구비된 고정구(30);를 포함하는 구성을 이룸을 특징으로 한다.
트레이, 클램프, 반도체, 렌즈, 진공흡착

Description

반도체 장비용 트레이 클램프 장치{A TRAY CLAMP DEVICE}
본 발명은 트레이 클램프 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 장비용 소형 부품이 적재되어지는 트레이를 보다 안정적으로 고정시키기 위한 클램프 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 칩, 반도체 패키지 또는 소형렌즈 등의 소형부품을 흡착 이송하기 위해 흡착장치 또는 픽앤플레이스장치를 이용하여 트레이에 적재되어 있는 소형부품을 진공으로 흡착하여 이송하게 된다.
이때, 트레이는 마스터플레이트상에 클램프에 의해 고정된 상태를 이루게 되고, 이러한 마스터플레이트에는 공급되는 부품이 올려져 있는 공급 트레이와 각 부품이 조립 정렬되는 트레이 등 여러개의 트레이가 각각 클램프에 의해 고정된 상태를 이루게 된다.
이러한 상태에서 별도의 피커(트레이에 올려진 렌즈 등의 부품을 흡착하는 장비)에 의해 픽업된 후 정렬 트레이로 개별 이송이 이루어지게 된다.
그러나, 종래 트레이를 고정시키는 클램프는 단순히 위치 지지만이 이루어질 뿐 안정적인 고정상태가 유지되지 못하여 외부 진동 등에 취약하다는 지적이 있었 다.
따라서, 트레이의 제조과정 또는 오랜 사용 등으로 인해 휨현상이 발생되고, 그에 따라, 픽업장치의 피커가 픽업과정에서 트레이에 충격이 발생되면 트레이에 적재된 부품 또는 렌즈등의 정렬 위치가 변경되어짐으로서, 피커가 정확한 위치에서 부품을 픽업하지 못하게 되는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 상기한 종래 기술에서의 문제점을 개선하기 위해 제안된 것으로서, 소형 부품이 올려져 있는 트레이를 보다 안정적인 고정상태로 유지시킬 수 있는 클램프 장치를 제공함으로서 트레이의 안정적인 평형상태로 고정 유지되어질 수 있도록 하여 부품의 픽업작업에 있어서의 장비 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하는데 목적이 있다.
상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 마스터 플레이트의 트레이 안착부 주변에 구비되는 다수의 클램프 장치는, 복수개가 쌍을 이루어 수평방향으로 설치되어 있는 가이드로드와; 상기 가이드로드를 따라 유동 가능하도록 가이드로드가 관통 삽입되어진 유동블럭과; 상기 유동블럭의 일측에서 트레이를 고정시키기 위해 구비된 고정구;를 포함하는 구성을 이룸을 특징으로 한다.
또한, 상기 고정구의 선단측에는 트레이 상면을 가압하여 고정시키기 위한 단턱부가 형성된 것을 특징으로 한다.
이러한 본 발명의 트레이 클램프 장치는, 마스터 플레이트상에 안착되어진 트레이가 보다 안정적인 클램핑 상태를 이룰 수 있게 됨으로서, 휨 변형된 트레이일지라도 클램프장치에 의해 안착 고정함으로 전체적으로 평형상태를 유지 고정함으로 인해, 렌즈픽업장치의 픽업시 트레이의 충격을 방지하여 주변 다른 렌즈 또는 부품에 영향을 주지않도록 하여 작업 정밀도 및 신뢰성을 향상시키는 효과를 나타낸다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시 예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 살펴보기로 한다.
도 1은 본 실시예에 따른 렌즈 픽업장치의 개략 구조도이고, 도 2는 본 발명 클램프 장치가 구비된 마스터 플레이트의 트레이 안착부 평단면 설계도이며, 도 3은 본 발명 클램프 장치의 클램핑 동작을 나타낸 평면도이고, 도 4는 본 발명 클램프 장치의 클램핑 상태 외관 사시도이며, 도 5는 본 발명에서의 트레이 클램핑 동작 상태를 나타낸 단면도이고, 도 6은 본 발명이 적용된 렌즈 픽업장치의 작동상태도를 각각 나타낸다.
먼저, 본 실시 예에 따른 클램프 장치가 설치되어지는 렌즈 픽업 조립장치의 개략적인 구조를 도 1 및 도 6을 통해 살펴보면, 렌즈를 이루게 될 각 부품이 올려져 있는 트레이(3)와, 상기 여러개의 트레이(3)를 동시에 올려놓을 수 있도록 다수의 트레이 안착부(2)가 구비되어져 있는 하나의 큰 기판 형태의 마스터 플레이트(1)와, 상기 각 트레이(3)에 올려진 부품을 흡착하여 이송하기 위한 다수의 피커(5)가 하부에 구성되어진 픽엔플레이스 장치(50) 등을 포함하는 구성을 이루게 된다.
특히, 본 발명의 클램프 장치는 각각의 트레이 안착부(2)에 구성되어지게 되는데, 트레이 안착부(2)의 4방향에는 각각 유동블럭(20)이 2개가 쌍을 이루는 가이 드로드(10)에 의해 직선 유동이 안내되어지도록 구비되었으며, 유동블럭(20) 상부에는 트레이(3)의 고정을 위한 고정구(30)가 연결플레이트(32)에 의해 착탈 가능하게 연결 고정되어져 있다.
특히, 도 5의 단면도에 나타내어진 바와 같이 고정구(30)의 저면이 유동블럭(20) 상면과 일정 이격거리로 유지되도록 함으로서 탄성력에 따른 지지가 이루어질 수 있도록 함이 바람직하다.
즉, 쌍을 이루는 가이드로드(10)는 트레이 안착부(2)의 측벽면에 돌출 구성되어져 있으며, 유동블럭(20)에는 관통공(미도시)이 형성됨으로서 가이드로드(10)가 관통 삽입되어질 수 있도록 한 것이다.
특히, 고정구(30) 일측에는 "ㄱ"형상의 단면구조를 이루는 단턱부(31)가 형성되어져 있으며, 단턱부(31) 선단에는 가압돌부(31')가 하향으로 돌출 형성되어짐으로 트레이(3) 상면과의 점접촉에 따라 안정적인 가압작용이 이루어질 수 있도록 하였다.
그리고, 트레이안착부(2)의 일측 모서리 부위에는 트레이(3)의 안착위치를 정확하게 지지하기 위한 모서리지지부(40)가 구성되어져 있다.
도면 중 미설명 부호 21은 가이드로드(10)의 슬라이딩 이동을 원활하게 가이드하기 위한 부싱을 나타낸다.
이와 같은 구성을 이루는 본 발명의 클램프 장치의 동작에 따른 작용효과를 살펴보기로 한다.
먼저, 마스터 플레이트(1) 상면에 구비되어져 있는 각각의 트레이 안착부(2) 에 렌즈모듈을 이루게 될 복수 종류의 렌즈부품이 각각 올려져 있는 트레이(3)를 안착시키게 된다.
이때, 안착이 이루어지는 트레이(3)의 위치는 상단 양측의 모서리 지지부(40)에 의해 맞춰짐으로 정확한 위치를 잡을 수 있게 된다.
이와 같이 트레이(3)의 안착위치가 결정되면 본 발명의 클램프 장치를 이용한 트레이(3)의 위치 고정작업이 이루어지게 된다.
즉, 이때에는 안착부(2) 주변으로 4방향에 구비되어져 있는 유동블럭(20)을 트레이(3)측으로 밀어주게 되면, 유동블럭(20)이 가이드로드(10)를 따라 이동되어지게 되고, 이로 인하여 유동블럭(20) 일단부에 결합되어져 있는 고정구(30)가 트레이(3)의 위치를 고정시키게 된다.
특히, 고정구(30) 단부에는 단턱부(31)가 형성되어져 있기 때문에 트레이(3)의 측면 뿐만 아니라 상면과 가압돌부(31')와의 점접촉에 의한 가압상태가 이루어질 수 있기 때문에 보다 안정적인 고정상태가 유지되어질 수 있게 되는 것이다.
이와 같이 트레이(3)의 클램핑 작업이 완료되면, 제어부 동작에 의해 픽엔플레이스 장치(50)가 이동하면서 각 트레이(3)에 올려져 있는 렌즈부품을 피커(5)로 진공 흡착하여 조립위치로 이송시키게 된다.
따라서, 이러한 부품의 이송 및 조립작업이 이루어지는 과정에서 외부 진동 또는 충격이 전달되어지더라도 본 발명의 클램프 장치에 의해 트레이(3)의 안정적인 고정상태가 유지되어질 수 있게 됨으로, 보다 정밀한 부품의 픽업 및 이송이 이루어질 수 있게 되는 것이다.
그리고, 작업이 완료되면 작업자가 각각의 유동블럭(20)을 가이드로드(10)를 따라 다시 원위치로 이동시키게 되면, 고정구(30)에 의한 트레이(3) 고정상태가 해제되어지게 되고, 이에 따라 작업자는 트레이(3)를 트레이 안착부(2)로 부터 용이하게 분리시킬 수 있게 됨을 알 수 있다.
그리고, 상기에서 본 발명의 특정한 실시 예가 설명 및 도시되었지만 본 발명의 클램프 장치 구조가 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 수 있음은 자명한 일이다.
예를들면 상기 실시 예에서는 클램프가 트레이 안착부 주면 4방향에 각각 1개씩 설치된 상태가 도시되었으나, 이러한 클램프의 위치 및 갯수는 변경되어질 수 있게 된다.
따라서, 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 범위로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같은 변형된 실시 예들은 본 발명의 첨부된 특허청구범위 내에 포함된다 해야 할 것이다.
도 1은 본 실시예에 따른 렌즈 픽업장치의 개략 구조도.
도 2는 본 발명 클램프 장치가 구비된 마스터 플레이트의 트레이 안착부 평단면 설계도.
도 3은 본 발명 클램프 장치의 클램핑 동작을 나타낸 평면도로서,
3a는 클램핑전 상태도.
3b는 클램핑 상태도.
도 4는 본 발명 클램프 장치의 클램핑 상태 외관 사시도.
도 5는 본 발명에서의 트레이 클램핑 동작 상태를 나타낸 단면도로서,
5a는 클램핑전 상태도.
5b는 클램핑 상태도.
도 6은 본 발명이 적용된 렌즈 픽업장치의 작동상태도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 마스터 플레이트 2 : 트레이 안착부
3 : 트레이 4 : 위치확인 돌기
5 : 피커 6 : 렌즈
10 : 가이드로드 20 : 유동블럭
21 : 부싱 30 : 고정구
31 : 단턱부 32 : 연결플레이트
40 : 모서리 지지부 50 : 픽엔플레이스 장치

Claims (5)

  1. 마스터 플레이트(1)의 트레이 안착부(2) 주변에 구비되는 다수의 클램프 장치는,
    복수개가 쌍을 이루어 수평방향으로 설치되어 있는 가이드로드(10)와;
    상기 가이드로드(10)를 따라 유동 가능하도록 가이드로드(10)가 관통 삽입되어진 유동블럭(20)과;
    상기 유동블럭(20)의 일측에서 트레이(3)를 고정시키기 위해 구비된 고정구(30); 를 포함하여 구성하되,
    상기 고정구(30)는 유동블럭(20)와 연결플레이트(32)에 의해 착탈 가능하게 고정되되, 고정구(30)의 저면은 유동블럭(20)의 상면과 일정 거리 이격 지지됨으로서 일정 탄성력으로 지지가 이루어지는 것 특징으로 하는 반도체 장비용 트레이 클램프 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정구(30)의 선단측에는 트레이(3)를 고정시키기 위한 단턱부(31)가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 트레이 클램프 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 단턱부(31) 선단에는 트레이(3)의 상면을 점접촉에 의해 가압시킬 수 있는 가압돌부(31')가 하향으로 돌출 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 트레이 클램프 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
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