KR20150002404A

KR20150002404A - 콜릿 교체 장치

Info

Publication number: KR20150002404A
Application number: KR20130088993A
Authority: KR
Inventors: 정연혁; 김동진
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2013-06-28
Filing date: 2013-07-26
Publication date: 2015-01-07
Also published as: KR101482870B1

Abstract

콜릿 교체 장치는 픽업 헤드 및 픽업 헤드와 자기력을 이용하여 결합되는 콜릿이 수직 방향으로 통과되는 개구가 구비된 패널과, 콜릿의 교체를 위해 콜릿의 상부 패드를 가이드하여 복수의 콜릿들을 각각 수용하기 위한 내부 공간을 갖는 몸체 및 몸체의 내측면을 따라 구비되며 자성체인 콜릿의 상부 패드로 동일한 자력으로 가하여 콜릿들을 수평 상태로 고정하는 수납용 영구 자석들로 이루어지며, 패널 상에 구비되는 다수의 수용부들 및 개구 내에서 픽업 헤드의 수직 방향 이동 경로의 양측에 구비되고, 픽업 헤드의 상방 이동을 허용하되 콜릿의 상방 이동을 제한하여 픽업 헤드가 상방으로 이동되는 동안 콜릿을 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 걸림 부재를 포함할 수 있다.

Description

콜릿 교체 장치{Apparatus for exchanging a collet}

본 발명의 실시예들은 콜릿 교체 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 다이 본딩 공정에서 다이를 픽업하여 이송하기 위한 콜릿의 교체를 위한 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 다이 본딩 공정은 소잉 공정을 통해 개별화된 다이들을 기판에 본딩하기 위한 공정으로, 상기 다이 본딩 공정에서 웨이퍼로부터 상기 다이들을 픽업하여 이송하는 픽업 유닛이 사용될 수 있다. 상기 픽업 유닛은 상기 진공을 이용하여 상기 다이를 픽업하기 위한 콜릿과 상기 콜릿이 결합되는 픽업 헤드 및 상기 픽업 헤드를 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.

일 예로서, 상기 픽업 헤드와 상기 콜릿은 자기력을 이용하여 서로 결합될 수 있다. 또한, 상기 픽업 헤드에는 진공을 제공하기 위한 공압 배관이 구비될 수 있으며, 상기 콜릿에는 상기 공압 배관과 연결되어 상기 다이를 픽업하기 위한 복수의 흡착홀들이 구비될 수 있다.

상기 콜릿은 장시간 사용으로 인한 마모 또는 다른 사이즈의 다이를 흡착하기 위해 교체가 요구될 수 있다. 상기 콜릿은 교체를 위해 패널 상에 형성된 콜릿 수용홈에 삽입되어 적재되고, 상기 콜릿 교체시 상기 콜릿은 상기 픽업 헤드와 자기력을 이용하여 결합된다.

상기 콜릿은 경질의 상부 패드와 연질의 하부 패드를 포함할 수 있다. 상기 콜릿이 픽업할 다이의 크기에 따라 하부 패드의 크기도 달라진다. 따라서, 상기 콜릿은 다양한 종류가 있다. 상기 콜릿 수용홈은 특정 콜릿과 대응하는 형상을 가지므로, 상기 콜릿 수용홈은 특정 콜릿만을 수용하며 다른 종류의 콜릿은 수용하기 어렵다. 즉, 다른 종류의 콜릿이 상기 콜릿 수용홈에 삽입되는 경우, 상기 콜릿이 상기 콜릿 수용홈에 끼이거나 상기 콜릿 수용홈과 유격이 발생할 수 있다. 그러므로, 상기 콜릿이 수평 상태를 유지하기 어렵다. 이 상태에서 상기 콜릿을 교체하는 경우, 상기 픽업 헤드와 상기 콜릿의 결합 불량이 발생할 수 있다.

본 발명의 실시예들은 다이 본딩 공정에서 사용되는 콜릿의 자동 교체를 수행할 수 있는 콜릿 교체 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명에 따른 콜릿 교체 장치는 픽업 헤드 및 상기 픽업 헤드와 자기력을 이용하여 결합되는 콜릿이 수직 방향으로 통과되는 개구가 구비된 패널과, 상기 콜릿의 교체를 위해 상기 콜릿의 상부 패드를 가이드하여 복수의 콜릿들을 각각 수용하기 위한 내부 공간을 갖는 몸체 및 상기 몸체의 내측면을 따라 구비되며 자성체인 상기 콜릿의 상부 패드로 자력을 가하여 상기 콜릿들을 수평 상태로 고정하는 수납용 영구 자석들로 이루어지며, 상기 패널 상에 구비되는 다수의 수용부들 및 상기 개구 내에서 상기 픽업 헤드의 수직 방향 이동 경로의 양측에 구비되고, 상기 픽업 헤드의 상방 이동을 허용하되 상기 콜릿의 상방 이동을 제한하여 상기 픽업 헤드가 상방으로 이동되는 동안 상기 콜릿을 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 걸림 부재를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 수납용 영구 자석들은 서로 동일한 자력을 가질 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 몸체의 내부 공간 저면으로부터 상기 수납용 영구 자석들까지의 높이는 상기 콜릿의 두께와 같거나 높을 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 수용부들은 상기 수용부들의 몸체와 상기 패널 사이에 구비되며, 상기 콜릿의 픽업을 위해 상기 픽업 헤드가 하강하는 힘을 완충하기 위한 코일 스프링들을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 수용부들은 상기 수용부들의 몸체와 일정 간격만큼 이격되도록 상기 몸체를 관통하여 상기 패널과 체결되고, 상기 픽업 헤드와 상기 콜릿이 오정렬된 경우 상기 몸체가 요동 가능하도록 하는 체결 나사를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 콜릿 교체 장치는 상기 패널에서 상기 개구의 하부에 구비되며, 상기 걸림 부재에 의해 상기 픽업 헤드로부터 분리된 상기 콜릿을 수용하기 위한 회수부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 콜릿 교체 장치는 상기 패널과 연결되며, 상기 개구 또는 상기 수용부들이 상기 픽업 헤드의 아래에 위치되도록 상기 패널을 이동시키기 위한 구동부를 더 포함할 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 콜릿의 교체를 위하여 복수의 콜릿들이 수납되는 수용부가 패널 상에 구비될 수 있으며, 상기 수용부의 몸체 측면에 수납용 영구자석들을 배치함으로써 다양한 종류의 콜릿들을 상기 몸체 내부에서 수평 상태로 유지될 수 있다. 상기 콜릿들이 수평 상태를 유지하므로, 상기 콜릿들이 픽업 헤드에 장착될 때 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 픽업 헤드로부터 콜릿을 제거하기 위하여 상기 패널에 개구를 마련하고, 상기 개구를 통해 상기 픽업 헤드를 상방으로 이동시키는 동안 상기 콜릿의 상방 이동을 차단함으로써 상기 콜릿을 상기 픽업 헤드로부터 제거하기 위하여 상기 개구의 양쪽 내측면들에 걸림 부재들을 설치하고, 또한 상기 걸림 부재들에 의해 상기 픽업 헤드로부터 분리된 콜릿의 완전한 제거를 위하여 상기 콜릿으로 에어를 분사할 수 있다.

결과적으로, 상기 콜릿의 분리 및 장착이 정확하게 수행될 수 있으므로 상기 콜릿의 자동 교체가 안정적으로 수행될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 교체 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 콜릿 교체 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 수용부를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 픽업 헤드와 콜릿을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 픽업 헤드를 설명하기 위한 저면도이다.
도 6 내지 도 8은 도 2에 도시된 걸림 부재들을 이용하여 콜릿을 제거하는 방법을 설명하기 위한 개략적이 단면도들이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 콜릿 교체 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 교체 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 콜릿 교체 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 수용부를 설명하기 위한 단면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 픽업 헤드와 콜릿을 설명하기 위한 개략적인 단면도이며, 도 5는 도 4에 도시된 픽업 헤드를 설명하기 위한 저면도이다.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 교체 장치(100)는 다이 본딩 공정에서 콜릿(20)이 마모되거나 다른 크기의 다이를 픽업하기 위해 콜릿(20)을 자동으로 교체할 수 있다.

구체적으로, 상기 다이 본딩 공정에서 픽업 유닛(10)은 다이싱 공정을 통해 개별화된 후 다이싱 테이프 상에 부착되어 제공되는 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 또한, 픽업 유닛(10)은 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위하여 사용될 수 있다.

픽업 유닛(10)은 픽업 헤드(30)와 픽업 헤드(30)에 부착된 콜릿(20)을 포함할 수 있으며, 콜릿(20)은 자기력을 이용하여 픽업 헤드(30)에 장착될 수 있다. 특히, 콜릿(20)에는 상기 다이를 흡착하기 위한 복수의 흡착홀들(22)이 구비될 수 있으며, 픽업 헤드(30)에는 흡착홀들(22)에 진공을 제공하기 위한 공압 배관(32)이 구비될 수 있다.

콜릿(20)은 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 경질의 상부 패드(24)와 연질의 하부 패드(26)를 포함할 수 있다. 상기 다이를 흡착하기 위한 흡착홀들(22)은 상부 패드(24)와 하부 패드(26)를 관통하여 구비될 수 있으며, 픽업 헤드(30)의 공압 배관(32)과 연통될 수 있다.

일 예로서, 픽업 헤드(30)는 콜릿(20)이 장착될 수 있도록 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 픽업 유닛(10)을 이송하기 위한 이송부(미도시)와 연결되는 구동축을 포함할 수 있다. 상기 구동축으로는 중공축이 사용될 수 있으며, 공압 배관(32)으로서 기능할 수 있다. 그러나, 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)의 형상은 사각에 한정되지 않으며, 경우에 따라서 원형 등 다양한 형태가 사용될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.

한편, 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)은 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다. 일 예로서, 픽업 헤드(30)에는 상기 자기력을 제공하기 위하여 헤드용 영구자석(34)이 구비될 수 있으며, 콜릿(20)의 상부 패드(24)는 자성체로 이루어질 수 있다. 또 한편으로, 픽업 헤드(30)의 하부면 가장자리 부위에는 콜릿(20)의 장착 위치를 안내하기 위한 가이드 부재들(36)이 배치될 수 있다.

콜릿 교체 장치(100)는 패널(110), 수용부(120), 걸림 부재들(130), 회수부(140), 구동부(150) 및 척(160)을 포함한다.

패널(110)은 원판 또는 다각판 형태를 가지며, 콜릿(20)의 교체를 위하여 복수의 콜릿들(20)이 각각 수용하는 수용부(120)가 배치되는 영역들과 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)이 수직 방향으로 통과되도록 형성된 개구(112)를 가질 수 있다. 일 예로, 상기 영역들과 개구(112)는 패널(110)의 상부면 둘레를 따라 구비될 수 있다.

수용부(120)는 패널(110) 상에 다수개가 구비될 수 있다. 수용부(120)는 내부에 콜릿(20)을 수용하기 위한 공간을 갖는 몸체(122)를 갖는다. 이때, 상기 공간의 크기는 콜릿(20)의 상부 패드(24)의 크기와 같거나 약간 클 수 있다.

몸체(122)의 내측 측면에는 콜릿(20)을 고정하기 위한 수납용 영구 자석들(124)이 구비된다. 일 예로, 콜릿(20)이 사각형 형태를 갖는 경우, 수납용 영구 자석들(124)은 몸체(122)의 내측 마주보는 양 측면에 배치되거나 몸체(122) 내측의 네 측면에 배치될 수 있다.

수납용 영구 자석들(124)은 자성체인 콜릿(20)의 상부 패드(24)를 동일한 자력으로 고정한다. 콜릿(20)이 수납용 영구 자석들(124)에 고정될 때, 몸체(122)에 삽입된 콜릿(20)에서 상부 패드(24)의 높이는 수납용 영구 자석들(124)의 높이와 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 콜릿(20)은 몸체(122) 내부에서 수평 상태를 유지할 수 있다. 그러므로, 콜릿(20)을 교체하는 경우, 픽업 헤드(30)가 콜릿(20)과 정확하게 결합할 수 있어 콜릿 교체 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

또한, 몸체(122)의 내부 공간 저면으로부터 수납용 영구 자석들(124)까지의 높이는 콜릿(20)의 두께보다 높을 수 있다. 따라서, 상부 패드(24)가 수납용 영구 자석들(124)에 고정될 때, 하부 패드(26)가 몸체(122)의 내부 저면과 이격되며 접촉하지 않는다. 따라서, 하부 패드(26)가 몸체(122)의 내부 저면과 접촉하여 발생하는 손상을 방지할 수 있다. 또한, 콜릿(20)의 두께가 몸체(122)의 내부 저면으로부터 수납용 영구 자석들(124)까지의 높이보다 작은 범위 내에서 다양한 두께를 갖는 콜릿(20)들이 수용부(120)에 수용될 수 있다.

한편, 몸체(122)의 내부 공간 저면으로부터 수납용 영구 자석들(124)까지의 높이는 콜릿(20)의 두께와 같을 수도 있다. 이때, 상부 패드(24)가 수납용 영구 자석들(124)에 고정될 때, 하부 패드(26)가 몸체(122)의 내부 저면과 접촉할 수 있다.

그리고, 수납용 영구 자석들(124)이 콜릿(20)의 상부 패드(24)를 고정하므로, 하부 패드(26)의 크기와 상관없이 콜릿(20)을 수평 상태로 수용할 수 있다. 따라서, 수용부(120)는 다양한 종류의 콜릿(20)을 수용할 수 있다.

한편, 몸체(122)와 패널(110) 사이에는 코일 스프링(126)이 구비될 수 있다. 일 예로, 코일 스프링(126)은 몸체(122)의 하부면 중앙에 하나가 배치되거나, 몸체(122)의 하부면 전체에 걸쳐 일정 간격으로 다수개가 배치될 수 있다. 콜릿(20)을 픽업하기 위해 픽업 헤드(30)가 하강하면, 픽업 헤드(30)가 하강하는 힘에 의해 코일 스프링(126)이 수축하면서 몸체(122)가 하강한다. 따라서, 픽업 헤드(30)가 하강하는 힘에 의해 콜릿(20)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 코일 스프링(126)에 의해 지지된 몸체(122)는 수평 방향, 즉 전후좌우로 요동할 수 있다.

체결 나사(128)는 몸체(122)를 관통하여 패널(110)과 체결된다. 따라서, 몸체(122)가 패널(110)에 고정될 수 있다. 이때, 체결 나사(128)는 몸체(122)와 수평 방향 및 수직 방향으로 일정한 간격만큼 이격될 수 있다. 몸체(122)는 코일 스프링(126)에 의해 지지되고, 체결 나사(128)와 유격이 존재하므로, 몸체(122)가 패널(110)에 고정된 상태에서 상기 간격만큼 수평 방향 및 수직 방향으로 요동할 수 있다. 따라서, 픽업 헤드(30)와 몸체(122) 내부의 콜릿(20)의 정렬이 약간 어긋나더라도 몸체(121)가 요동 가능하므로 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)의 어긋난 정렬을 맞출 수 있다.

걸림 부재들(130)은 콜릿(20)을 픽업 헤드(30)로부터 분리하기 위한 것으로, 개구(112)의 내부에 구비된다.

도 6 내지 도 8은 도 2에 도시된 걸림 부재들을 이용하여 콜릿을 제거하는 방법을 설명하기 위한 개략적이 단면도들이다.

도 6 내지 도 8을 참조하면, 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)은 콜릿(20)의 제거를 위하여 상기 이송부에 의해 개구(112)를 통하여 하방으로 이동될 수 있으며, 이어서 개구(112)를 통하여 상방으로 이동될 수 있다.

이때, 걸림 부재들(130)은 개구(112) 내에서 픽업 헤드(30)의 수직 방향 이동 경로의 양측에 구비될 수 있다. 특히, 걸림 부재들(130)은 픽업 헤드(30)의 하방 및 상방 이동을 허용할 수 있으나, 콜릿(20)에 대하여는 하방 이동을 허용하되 상방 이동은 제한할 수 있다. 결과적으로, 걸림 부재들(130)은 픽업 헤드(30)가 개구(112)를 통하여 상방으로 이동되는 동안 콜릿(20)을 픽업 헤드(30)로부터 분리시킬 수 있다.

일 예로서, 개구(112)의 양측 내측면들에는 스프링(미도시), 예를 들면, 코일 스프링 또는 토션 스프링에 의해 하방으로 회전이 가능하도록 걸림 부재들(130)이 장착될 수 있다. 걸림 부재들(130)은 콜릿(20)의 하방 이동이 가능하도록 하방으로 회전될 수 있으나, 콜릿(20)이 하방으로 통과된 후 상기 토션 스프링에 의해 초기 위치로 복귀하여 콜릿(20)의 상방 이동을 제한할 수 있다. 상기와는 다르게, 걸림 부재(110)는 스프링을 이용하여 개구(112)의 내측면으로부터 진퇴 가능하게 설치될 수도 있다.

결과적으로, 픽업 헤드(30)가 개구(112)를 통하여 상방으로 이동되는 동안 콜릿(20)은 걸림 부재들(130)에 의해 걸림으로써 픽업 헤드(30)로부터 분리될 수 있다. 이때, 도 5에 도시된 바와 같이 픽업 헤드(30)의 양쪽 측면에는 각각 리세스(38)가 구비될 수 있으며 픽업 헤드(30)의 수직 방향 이동은 리세스들(38)에 의해 걸림 부재들(130)과의 간섭이 방지될 수 있다.

한편, 상술한 바와 같이 걸림 부재들(130)에 의해 콜릿(20)의 상방 이동이 차단됨으로써 콜릿(20)이 픽업 헤드(30)로부터 분리될 수 있으나, 경우에 따라서 콜릿(20)이 픽업 헤드(30)로부터 완전히 분리되지 않고 픽업 헤드(30)에 매달린 상태로 상승될 수도 있다. 즉, 콜릿(20)의 상부면이 픽업 헤드(30)의 하부면으로부터 분리된 후 곧바로 콜릿(20)의 측면이 픽업 헤드(30)의 하부면에 자기력에 의해 재부착되는 경우가 발생될 수 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 픽업 헤드(30)가 상승하는 동안 공압 배관(32)을 통하여 콜릿(20)으로 에어가 분사될 수 있다. 즉 공압 배관(32)으로부터 분사된 에어는 콜릿(20)의 상부면에 하방으로 힘을 가하게 되며 이에 의해 콜릿(20)의 분리 동작이 보조될 수 있다.

다시 도 1 내지 도 5를 참조하면, 회수부(140)는 패널(110)에서 개구(112)의 하부에 구비되며, 픽업 헤드(30)로부터 분리된 콜릿(20)을 회수한다.

회수부(140)는 패널(110)에 장착될 수도 있으며, 이와 다르게 패널(110)과는 별도로 구비될 수도 있다.

구동부(150)는 패널(110)과 연결되며, 개구(112) 또는 수용부(120)가 픽업 헤드(30)의 아래에 위치되도록 패널(110)을 이동시킨다. 픽업 헤드(30)의 아래에 개구(112)가 위치하는 경우, 픽업 헤드(30)로부터 콜릿(20)을 제거할 수 있다. 픽업 헤드(30)의 아래에 수용부(120)가 위치하는 경우, 픽업 헤드(30)는 수용부(120)들에 각각 수용된 복수의 콜릿들(20) 중 하나를 장착할 수 있다.

일 예로서, 패널(110)이 원판 형태를 갖는 경우, 개구(112)와 수용부(120)들이 패널(110)의 원주 방향으로 배치될 수 있다. 이 경우 구동부(150)는 패널(110)을 회전시켜 개구(112) 또는 콜릿 수납홈들(106)에 수납된 콜릿들(20) 중 하나가 콜릿(20)이 제거된 픽업 헤드(30) 아래에 위치되도록 할 수 있다.

상기와 같이 수용부(120) 중 하나가 픽업 헤드(30)의 하부에 위치된 상태에서 픽업 헤드(30)가 하방으로 이동될 수 있으며, 이에 의해 콜릿들(20) 중 하나가 픽업 헤드(30)의 하부면에 장착될 수 있다. 이때, 새로운 콜릿(20)의 상부면은 픽업 헤드(30)의 가장자리 부위에 구비된 가이드 부재들(36)에 의해 픽업 헤드(30)의 하부면으로 안내될 수 있으며, 새로운 콜릿(20)의 용이한 장착을 위하여 헤드용 영구자석(34)은 수납용 영구자석(124)보다 큰 자기력을 갖는 것이 바람직하다.

새로운 콜릿(20)이 픽업 헤드(30)에 장착된 후 픽업 헤드(30)는 이송부에 의해 상승될 수 있다.

척(160)은 패널(110)의 중앙 부위에 구비되며, 상기 웨이퍼로부터 이송된 다이를 지지할 수 있다. 패널(110)은 상기 웨이퍼로부터 이송된 다이를 일시적으로 지지하는 버퍼 유닛으로서 기능할 수 있으며, 이어서 패널(110)은 상기 다이가 척(160) 상에 안착된 후 구동부(150)에 의해 다이 본딩 공정이 수행되는 영역에 인접하도록 이송될 수 있다.

또 한편으로, 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)은 상기 웨이퍼로부터 상기 다이를 척(160) 상으로 이동시키기 위하여 사용될 수도 있으며, 이와 다르게 척(160)으로부터 상기 다이를 픽업하여 상기 기판 상에 본딩하기 위하여 사용될 수도 있다. 또한, 상기와 다르게, 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)은 상기 웨이퍼로부터 상기 다이를 픽업하여 상기 기판 상에 직접 본딩하기 위하여 사용될 수도 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 수용부의 몸체 측면에 수납용 영구자석들을 배치함으로써 다양한 종류의 콜릿들이 상기 몸체 내부에서 수평 상태로 유지될 수 있다. 상기 콜릿들이 수평 상태를 유지하므로, 상기 콜릿들이 픽업 헤드에 장착될 때 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 패널의 개구에 구비된 걸림 부재들을 이용하여 상기 픽업 헤드로부터 상기 콜릿을 완전하게 제거할 수 있다.

결과적으로, 상기 콜릿의 분리 및 장착이 정확하게 수행될 수 있으므로 상기 콜릿의 자동 교체 공정에 대한 안정성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 콜릿 교체 장치 110 : 패널
120 : 수용부 130 : 걸림 부재
140 : 회수부 150 : 구동부
160 : 척 10 : 픽업 유닛
20 : 콜릿 30 : 픽업 헤드

Claims

픽업 헤드 및 상기 픽업 헤드와 자기력을 이용하여 결합되는 콜릿이 수직 방향으로 통과되는 개구가 구비된 패널;
상기 콜릿의 교체를 위해 상기 콜릿의 상부 패드를 가이드하여 복수의 콜릿들을 각각 수용하기 위한 내부 공간을 갖는 몸체 및 상기 몸체의 내측면을 따라 구비되며 자성체인 상기 콜릿의 상부 패드로 자력을 가하여 상기 콜릿들을 수평 상태로 고정하는 수납용 영구 자석들로 이루어지며, 상기 패널 상에 구비되는 다수의 수용부들; 및
상기 개구 내에서 상기 픽업 헤드의 수직 방향 이동 경로의 양측에 구비되고, 상기 픽업 헤드의 상방 이동을 허용하되 상기 콜릿의 상방 이동을 제한하여 상기 픽업 헤드가 상방으로 이동되는 동안 상기 콜릿을 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 걸림 부재를 포함하는 것을 특징으로 콜릿 교체 장치.
제1항에 있어서, 상기 수납용 영구 자석들은 서로 동일한 자력을 갖는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
제1항에 있어서, 상기 몸체의 내부 공간 저면으로부터 상기 수납용 영구 자석들까지의 높이는 상기 콜릿의 두께와 같거나 높은 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
제1항에 있어서, 상기 수용부들의 몸체와 상기 패널 사이에 구비되며, 상기 콜릿의 픽업을 위해 상기 픽업 헤드가 하강하는 힘을 완충하기 위한 코일 스프링들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
제4항에 있어서, 상기 수용부들의 몸체와 일정 간격만큼 이격되도록 상기 몸체를 관통하여 상기 패널과 체결되고, 상기 픽업 헤드와 상기 콜릿이 오정렬된 경우 상기 몸체가 요동 가능하도록 하는 체결 나사를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
제1항에 있어서, 상기 패널에서 상기 개구의 하부에 구비되며, 상기 걸림 부재에 의해 상기 픽업 헤드로부터 분리된 상기 콜릿을 수용하기 위한 회수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
제1항에 있어서, 상기 패널과 연결되며, 상기 개구 또는 상기 수용부들이 상기 픽업 헤드의 아래에 위치되도록 상기 패널을 이동시키기 위한 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.