WO2020251137A1 - 자동 패드 교체 장치 - Google Patents

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WO2020251137A1
WO2020251137A1 PCT/KR2020/002575 KR2020002575W WO2020251137A1 WO 2020251137 A1 WO2020251137 A1 WO 2020251137A1 KR 2020002575 W KR2020002575 W KR 2020002575W WO 2020251137 A1 WO2020251137 A1 WO 2020251137A1
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WO
WIPO (PCT)
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picker
pad
axis
row
seating portion
Prior art date
Application number
PCT/KR2020/002575
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
한복우
조윤기
고상남
Original Assignee
제너셈(주)
에스케이하이닉스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020190069264A external-priority patent/KR102228518B1/ko
Priority claimed from KR1020190069270A external-priority patent/KR102228510B1/ko
Application filed by 제너셈(주), 에스케이하이닉스 주식회사 filed Critical 제너셈(주)
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping

Definitions

  • the present application relates to an automatic pad replacement apparatus and an automatic pad replacement method.
  • semiconductor devices may be formed on a silicon wafer used as a semiconductor substrate by repeatedly performing a series of manufacturing processes such as deposition, etching, ion implantation, and planarization.
  • a wafer on which semiconductor devices are formed may be individualized into a plurality of semiconductor chips through a dicing process, and the individualized semiconductor chips may be bonded onto a substrate such as a printed circuit board or a lead frame through a chip bonding process.
  • a picker can be used to transfer semiconductor devices, semiconductor chips, semiconductor devices, etc., and a pad is provided at a portion in contact with the product to be transferred under the picker.
  • the pad needs to be replaced according to the change of
  • the replacement of the pad was performed manually by manpower, and there was a problem in that the overall yield of the device was reduced, and the efficiency or accuracy of the replacement operation was not constant depending on the skill level of the operator. Accordingly, there has been a need to implement a device capable of automatically replacing the pad.
  • An object of the present application is to provide an automatic pad replacement apparatus and an automatic pad replacement method capable of automatically replacing a pad coupled to a picker as to solve the problems of the prior art described above.
  • the automatic pad replacement device includes a first seating portion on which a pad detachably coupled to a lower portion of the picker is seated, and communicating with the first seating portion And a first pad carrier having a first through hole formed through one side of the Z-axis; And a gas acting portion configured to adsorb the pad seated in the first seating portion toward the first seating portion by applying a vacuum pressure through the first through hole portion.
  • the automatic pad replacement device further comprising a second pad carrier having a second seating portion on which a new pad is seated so as to be contactable to a lower portion of the picker, wherein the second pad carrier is the It may be disposed adjacent to the first pad carrier.
  • each of the first and second seating portions is formed in n rows and m columns, the gas acting portions are provided in the n number, and the picker structure comprises the It is provided with n, and each of the n picker structures may be provided with m.
  • each of the n gas acting parts corresponds to each of the n picker structures one-to-one, and each of the n gas acting parts is the first seating part and the first seating part. 2 It is possible to correspond one-to-one with each of the n rows of each of the seats.
  • the first pad carrier and the second pad carrier are adjacent in the Y-axis direction
  • the gas acting portion is the first seating portion and the second seating portion. It has an initial position located on one side of the Z-axis, and the first pad carrier and the second pad carrier have a column of each of the n rows of the first seating portion and the second seating portion corresponding to each of the n rows. It is movable in the Y-axis direction so as to be positioned upward of the gas acting part.
  • the n number of picker structures are adjacent to each other in the Y-axis, and each of the n number of picker structures, the m of the pickers are arranged in the X-axis direction, Each of the m pickers is positioned so as to be located on the other side of each of the n gas acting portions and the Z axis, and can be moved in the X axis.
  • the first carrier includes: a protrusion protruding to the other side of the Z axis from a portion corresponding to the pad vacuum passage of the pad among the bottom surface of the first seating unit;
  • the other connection passage may further include one connection passage communicating the first through hole.
  • the automatic pad replacement method includes the steps of: (a) removing the pad from the picker; And (b) supplying a new pad to the picker, wherein the step (a) comprises: (a1) forming a first seating portion and a first through hole formed through the first seating portion toward one side of the Z-axis.
  • the first seating portion is formed in n rows and m columns
  • the gas acting portion is provided in the n number
  • the picker structure is provided in the n number
  • the picker structure is provided, and the step (a) may perform steps (a1) to (a3) for each of the m pickers of each of the n picker structures.
  • the distances in the Y-axis direction between the first seating portions are the same, and the n gas acting portions are Y between the first seating portions in the seating portion Y-axis direction.
  • each of the n picker structures is movable in the X axis, the m pickers are disposed in the X axis direction, and the n picker structures are in the Y axis You can be neighbors.
  • the pad of the first picker of the first picker structure among the picker structures is applied to the first seating portion of the first column of the first row.
  • the pads of the first picker of the next picker structure and the pads of the next picker of the first picker structure are each of the first seating portions of the first row of the next row and the first seating portions of the next row of the first row.
  • steps (a1) to (a3) may be performed on each of the m pickers of each of the n picker structures.
  • the step (b) comprises: (b1) the upper side of the second pad carrier having a second seating portion on which a new pad is seated so as to be able to contact the lower portion of the picker. Moving the picker; And (b2) moving the picker to one side of the Z-axis to contact the new pad.
  • the second seating portion is formed in n rows and m columns, the picker structure is provided in the n number, and the pickers of each of the picker structures are provided in the m number,
  • steps (b1) to (b2) may be performed on each of the m pickers of each of the n picker structures.
  • the distance in the Y-axis direction between the second seating portions is the same, and each of the n picker structures is movable in the X-axis, and the m pieces of the Pickers may be arranged in the X-axis direction, and the n number of picker structures may be adjacent to each other in the Y-axis.
  • step (b) the first picker of the first picker structure located on the other side of the X-axis among the picker structures is the first picker of the first column of the first row. 2
  • each of the first picker of the next picker structure and the next picker of the first picker structure is the new pad seated in the second seating portion of the first row of the next row and the first row.
  • Steps (b1) to (b2) may be performed on each of the m pickers of each of the n picker structures in the order of contacting the new pads seated on the second seating portions in the next row.
  • the step (b) includes: (b1) a second seating portion on which a new pad is seated so as to be able to contact the lower portion of the picker, and Z from the second seating portion. Moving a second pad carrier having a second through hole formed through one side of the shaft so that the gas acting part is located under the second through hole; (b2) the picker is in contact with the new pad, and the gas acting part moves to the other side of the Z-axis to approach the second through hole; And (b3) the gas acting part exerts a blow pressure through the second through hole to apply an external force to the picker on the new pad seated in the second seating part.
  • the pad equipped with the picker seats the pad on the first seating portion of the first pad carrier, the pad is adsorbed to the first seating portion side, that is, one Z-axis side by the gas acting portion.
  • the picker is moved toward the other side of the Z-axis, so that the pad may be removed from the picker and placed in the first seating portion. Accordingly, an automatic pad replacement device and an automatic pad replacement method for automatically removing the pad from the picker may be implemented.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of a picker structure according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a picker according to an embodiment of the present application.
  • FIG 3 is a schematic perspective view of a part of a picker according to an embodiment of the present application and an automatic pad replacement apparatus according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a portion in which a first seating portion is formed of a first pad carrier according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
  • FIG 5 is a schematic cross-sectional view showing that the pad is seated on the first seating portion of the first pad carrier according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 6 is a schematic diagram of a picker according to an embodiment of the present invention for explaining that a pad is removed from the picker, a first seating portion of the first pad carrier according to an embodiment of the present application, and a gas acting portion according to an embodiment of the present application Is a perspective view.
  • FIG. 7 is a schematic side view illustrating a first pad carrier, a second pad carrier, a part of a picker, and a gas acting portion according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 8 is a schematic cross-sectional view illustrating that a new pad is seated on a second seating portion of a second pad carrier according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 9 is a schematic plan view illustrating a method of replacing a pad of a picker according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
  • the present application relates to an automatic pad replacement apparatus and an automatic pad replacement method.
  • an automatic pad replacement device (hereinafter referred to as'the device') 1 according to an embodiment of the present application will be described.
  • the device 1 is an automatic pad replacement device that replaces the pad 22 coupled to the picker 21 of the picker structure 2.
  • the picker 21 may be applied to transport a semiconductor package, and may pick up and place the semiconductor package.
  • the picker 21 may include a picker vacuum passage 212 through which a vacuum pressure is formed to pick up a semiconductor package.
  • a pad 22 capable of contacting the semiconductor package may be detachably coupled to the lower end of the picker 21.
  • the pad 22 may have a pad vacuum passage 223 communicating with the picker vacuum passage 212 when the pad 22 and the picker 21 are coupled. Accordingly, when picking up the semiconductor package by the picker 21, the vacuum pressure is applied upward through the picker vacuum passage 212 and the pad vacuum passage 223, so that the semiconductor package comes into contact with the pad 22 and the picker 21 Can be adsorbed.
  • the pad 22 may include a pad body 222 and an assembly 221 detachable to the picker 21.
  • the assembly 221 may be a donut-shaped metal, and may be provided on the upper surface of the pad body 222.
  • the assembly 221 may be detachable to at least a portion of the lower surface of the picker 21, for example, a depression recessed toward the other side in the Z-axis direction to accommodate the assembly 221 is formed under the picker 21 Can be.
  • the recessed portion may include a coupling portion (not shown) in contact with the assembly 221 of the pad 22.
  • the coupling portion may be a donut-shaped magnet. Accordingly, the pad 22 and the picker 21 may be detachably coupled by magnetic force.
  • n number of picker structures 2 may be provided, and each of n number of picker structures 2 may include m number of pickers 21.
  • the picker structures 2 are adjacent to each other along the Y axis, and are movable by the driving unit 23 along the X axis.
  • the driving unit 23 may include a driving unit (such as a motor) for moving the rail unit and the picker structure 2.
  • a driving unit such as a motor
  • the picker structure 2 positioned on the other side of the Y-axis among the two picker structures 2 is a first picker structure 2a, a Y-axis
  • the picker structure 2 positioned on one side will be referred to as a second picker structure 2b.
  • the device 1 includes a first pad carrier 11.
  • the first pad carrier 11 communicates with the first seating portion 111 and the first seating portion 111 and has a first through hole 112 formed therethrough in one side of the Z-axis. More specifically, the pad 22 may be accommodated in the seating portion 111 of the first pad carrier 11, and the pad among the bottom surface 1111 of the seating portion 111 may be accommodated in the first pad carrier 11.
  • the portion corresponding to the pad vacuum passage 223 of 22) (when the pad 22 is seated on the seat 111, the portion corresponding to the pad vacuum passage 223 of the pad 22) protrudes to the other side of the Z axis
  • a passage 115 may be formed.
  • the first pad carrier 11 may include a plurality of first seating portions and first through holes as described above.
  • the pad 22 detachably coupled to the lower end of the picker 21 may be seated on the first seat 111.
  • the device 1 applies a vacuum pressure downward through the first through hole 112 so that the pad 22 seated in the first seat 111 is placed in the first seating portion ( It includes a gas acting portion 12 adsorbed toward 111).
  • the gas acting portion 12 may include a vacuum forming portion for forming a vacuum pressure in the passage 121 and the passage 121 or releasing the vacuum pressure, or may be connected to a vacuum forming portion provided separately.
  • the gas acting part 12 has a first through hole 112 positioned above the gas acting part 12 so that the passage 121 and the first through hole 112 are connected (communicated), and the first seating part 111 ), when the pad 22 (a state coupled to the picker 21) is seated, a vacuum pressure can be formed in the passage 121, and accordingly, the vacuum pressure is applied through the first through hole 112
  • a vacuum pressure is formed downward in the one connection passage 115 and the other connection passage 114 so that an adsorption force toward the first seat 111 may be applied within the first seat 111, and the pad 22 is It may be adsorbed toward the first seat 111.
  • an external force may be applied to the pad 22 in one side in the Z-axis direction.
  • the gas acting part 12 acts on a vacuum pressure so that an adsorption force greater than the bonding force between the picker 21 and the pad 22 is applied so that the pad 22 is removed from the picker 21 moving upward in the other side in the Z-axis direction.
  • the picker 21 may be moved to the other side (upper side) in the Z-axis direction, and accordingly, the pad 22 may have one side (lower side) in the Z-axis direction.
  • the coupling force with the picker 21 moving to the other side in the Z-axis direction may be applied.
  • the pad 22 is the picker 21 ) Can be removed from.
  • the gas acting portion 12 is an initial position located at one side (lower side) than the first seating portion 111 in the Z-axis from one side of the Y-axis of the first seating portion 111
  • the picker 21 is movable along the X-axis
  • the first pad carrier 11 is a first through hole part to enable a vacuum action of the gas acting part 12 through the first through hole part 112. 112 can be moved to be located on the other side (upper side) of the Z-axis of the gas acting portion 12.
  • the first pad carrier 11 moves to one side of the Y-axis so that the first seating portion 111 is located on the gas acting portion 12, and is connected to the first seating portion 111.
  • the first through hole 112 may be positioned on the passage 121 of the gas acting part 12, and then, the picker 21 moves to one side of the X-axis to provide the first seating part 111 and the gas. It can be located on the same Z-axis line as the acting part 12, and descending to one side of the Z-axis to place the pad 22 on the first mounting part 111, and the gas acting part 12 is on one side of the Z-axis.
  • the gas acting portion 12 can act on the vacuum pressure so that the pad 22 is adsorbed toward the first seating portion 111 At that time, the picker 21 may be moved to the other side of the Z-axis, and accordingly, the pad 22 may be removed from the picker 21.
  • the picker 21 moves to one side of the X-axis, is located on the same Z-axis line as the 1st seating part 111 and the second gas acting part 12, and descends to one side of the Z-axis to the first seating part 111
  • the relationship between the driving to seat the pad 22 on the pad 22 and the driving that connects the first through hole 112 and the passage 121 by raising the gas acting portion 12 to the other side of the Z-axis is not limited to this
  • One of the dogs may be performed first, the other may be performed after that, or may be performed simultaneously.
  • the removal of the pad 22 from the picker 21 may be performed for the entire picker 21 of each of the n picker structures 2a and 2b.
  • the device 1 may include a second pad carrier 13.
  • the second pad carrier 13 may include a second seating portion 131 on which a new pad 22 ′ is seated.
  • the new pad 22 ′ may be seated on the second seating portion 131 so that the lower end of the picker 21 can contact the upper surface thereof.
  • the picker 21 places the pad 22 coupled thereto on the first pad carrier 11, moves to the upper side of the second pad carrier 12, and a new pad 22' At least a part of the assembly 221 of is accommodated, and after the new pad 22 ′ is mounted, it can be moved.
  • the first pad carrier 11 and the second pad carrier 13 may move to one side of the Y-axis so that the second seating portion 131 is positioned on the gas acting portion 12, and then,
  • the picker 21 may move to one side of the X-axis and be located on the same Z-axis line as the second seating portion 131 and the gas acting portion 12, and descend to one side of the Z-axis to the second seating portion 131. It can contact the new seated pad 22'.
  • the new pad 22' may be mounted on the picker 21 by magnetic force.
  • the mounting of the new pad 22 ′ to the picker 21 may be performed on the entire picker 21 of each of the n picker structures 2a and 2b.
  • the second pad carrier 13 may be provided with a second through-hole 132 communicating with the second seating portion 131 and passing through one side of the Z-axis. More specifically, a new pad 22 ′ may be accommodated in the seating portion 131 of the second pad carrier 13, and among the bottom surface 1311 of the seating portion 131, the second pad carrier 13 From the portion corresponding to the pad vacuum passage 223 of the new pad 22' (the portion corresponding to the pad vacuum passage 223 of the new pad 22' when the new pad 22' is seated) to the other side of the Z axis
  • a connection passage 135 may be formed.
  • the second pad carrier 13 may include a plurality of second seating portions and second through holes as described above.
  • the blow pressure in the second seating part 131 through the second through hole part 132 can act as the upper side.
  • the picker 21 in which the pad is removed is in contact with the new pad 22 ′ seated on the second seating portion 131, the gas acting portion 12 is removed through the second through hole 132. 2 Blow pressure may be applied from the seating part 131 toward the picker 21.
  • the second through hole 132 is located above the gas acting part 12 so that the passage 121 and the second through hole 132 are connected (communicated), and the second seating part
  • a blow pressure can be formed in the passage 121, and accordingly, the second through hole 132 Blow pressure is applied through the blow pressure through one connection passage 135 and the other connection passage 134 to be applied from the second seating portion 131 toward the picker 21, and a new pad 22 ′ May be moved to the picker 21 by the blow pressure. Accordingly, it is possible to more easily combine the new pad 22 ′ with the picker 21.
  • the removal of the pad 22 from the picker 21 and mounting of the new pad 22 ′ to the picker 21 as described above are performed by m pickers 21 of each of the n picker structures 2a and 2b. It may be performed for each, for example, may be performed as follows. However, the removal of the pad 22 for each of the m pickers 21 of each of the n picker structures 2a and 2b and the mounting of the new pad 22' are not limited to the following examples, and n picker structures (2a, 2b) The removal of the pad 22 for each of the m pickers 21 and the installation of the new pad 22 ′ are m pickers of one of the n picker structures 2a and 2b. It may be performed in various ways, such as a method performed on m pickers 21 of the remaining picker structures after being molded for (21).
  • each of the first and second seating portions 111 and 131 may be formed in n rows and m columns.
  • the number of gas acting portions 12 may be provided in n.
  • n number of picker structures 2 may be provided.
  • m number of pickers 21 of each of the n number of picker structures 2 may be provided.
  • Each row (n) of the first seating portion 111 and the second seating portion 131 corresponds one-to-one to the plurality of (n) picker structures 2a and 2b, and the first seating portion 111 and the first seating portion 111 2
  • Each column (m) of each row of the seating unit 131 may correspond one-to-one with a plurality (m) of pickers of the corresponding picker structures 2a and 2b.
  • each of the first seating portion 111 and the second seating portion 131 may be formed in two rows and eight columns.
  • two gas acting portions 12 may be provided, two picker structures 2 may be provided, and eight pickers of each of the two picker structures 2 may be provided.
  • first pad carrier 11 and the second pad carrier 13 may be adjacent to each other in the Y-axis direction.
  • the second pad carrier 13 may be located on the other side of the Y-axis of the first pad carrier 11 (see FIG. 9, at 6 o'clock).
  • the second pad carrier 13 may be positioned on the other side of the Y-axis of the first pad carrier 11 such that each of the n rows is positioned on the same Y-axis line as each of the n rows of the first pad carrier.
  • the first row 111a of the first pad carrier 11 and the first row 131a of the second pad carrier 13 may be located on the same Y-axis line, and the first pad carrier 11
  • the second row 111b of and the second row 131b of the second pad carrier 13 may be located on the same Y-axis line.
  • the distance in the Y-axis direction between the first seating portions 111, the distance in the Y-axis direction of the second seating portions 131, and the Y-axis direction between the n gas acting portions 12 The spacing between (for example, the distance in the Y-axis direction between the first gas acting portion 12a and the second gas acting portion 12b) may be the same.
  • the distance in the X-axis direction between the first seating portions 111, the distance in the X-axis direction between the second seating portions 131, and the distance in the X-axis direction between the gas acting portions 12 may be the same.
  • the n number of gas acting portions 12 may be located on one side of the Y-axis of the first pad carrier 11. Specifically, each of the n gas acting portions 12 is located on the same Y-axis line as each of the first pad carrier 11 (and n rows of the second pad carrier 13), and the first pad carrier 11 (And may be located on one side of the Y-axis of each of the n rows of the second pad carrier 13.
  • the first gas acting portion 12a is the first row 111a of the first pad carrier 11 (And the first row 131a of the second pad carrier 13) is located on the same Y-axis line and may be located on one side of the Y-axis of the first row 11a.
  • the second gas acting portion 12b Is located on the same Y-axis line as the second row 111b of the second pad carrier 11 (and the second row 131b of the second pad carrier 13), and the Y-axis of the second row 11b It can be located on one side.
  • the gas acting portion 12 may have an initial position positioned on one side (lower side) of the Z-axis than the first and second mounting portions 111 and 131. Accordingly, each of the first pad carrier 11 and the second pad carrier 13 is moved in the Y-axis direction so that each of the first and second seating portions 111 and 131 is a gas acting portion 12 It can be placed on the upper side of.
  • n number of picker structures 2a and 2b may be adjacent to each other along the Y axis.
  • m pickers 21 may be disposed in the X-axis direction.
  • the n picker structures 2a and 2b are positioned so that each of the m pickers is positioned at each of the n gas acting portions 12a and 12b and the other side of the Z axis (upper side), and can be moved in the X axis.
  • first picker structure 2a and the second picker structure 2a, 2b may be adjacent to each other along the Y axis, and the eight pickers 21a1 to 21a8 of the first picker structure 2a are They may be arranged adjacent to each other, and the eight pickers 21b1 to 21b8 of the second picker structure 2b may be arranged adjacent to each other along the X axis.
  • first gas acting portion 12a may be located on the same X-axis line as the eight pickers 21a1 to 21a8 of the first picker structure 2a
  • the second gas acting portion 12b is a second picker It may be located on the same X-axis line as the eight pickers 21b1 to 21b8 of the structure 2b.
  • the pad 22 of the first picker 21a1 of the first picker structure 2a among the picker structures 2a and 2b is the first seating portion of the first row of the first row of the first pad carrier 11
  • the n number of picker structures are removed from the first seating portion 111b1 of the first column of the next row (second row) and the first seating portion 111a2 of the next row (second column) of the first row. (2a, 2b)
  • the pad may be removed for each of the m pickers 21.
  • the first pad carrier 11 may be moved to one side of the Y-axis so that the first seating portion 111a1 of the first row of the first row is positioned on the first gas acting portion 12a, and the first pad carrier 11 When the first through hole 112 connected to the seating portion 111a1 is located on the passage 121 of the first gas acting portion 12a, the first gas acting portion 12a is formed with the passage 121 and the first The through hole 112 may be moved to the other side of the Z-axis to communicate, and the first picker 21a1 of the first picker structure 2a before, after or at the same time as the first gas acting part 12a moves to the other side of the Z-axis Is located on the same Z-axis line of the first seating portion 111a1 and the first gas acting portion 12a by moving the X-axis and descending to one side of the Z-axis to move the pad 22 mounted thereon to the first seating portion 111a1.
  • Such a relationship between the driving of the first picker 21a1 and the driving of the first gas acting portion 12a is not limited to the present application, and one may be performed before the other, or may be performed simultaneously. Thereafter, a vacuum pressure is formed in the passage 121 and an adsorption force toward the first seat 111 may be applied within the first seat 111a1, and the pad 22 is adsorbed toward the first seat 111a1. At this time, the picker 21a1 may be moved to the other side in the Z-axis direction, and accordingly, the pad 22 has an adsorption force toward one side in the Z-axis direction and a bonding force with the picker 21a1 moving toward the other side in the Z-axis direction. Can work. At this time, since the adsorption force by the gas acting portion 12 is greater than the bonding force between the pad 22 and the picker 21a1, the pad 22 can be removed from the picker 21.
  • the first gas acting part 12a is moved to one side of the Z-axis to return to the initial position. , Thereafter, the pad 22 may be removed from the second picker 21a2 of the first picker structure 2a and the first picker 21b1 of the second picker structure 2b.
  • the first gas acting portion 12a may be moved to one side of the Z-axis to return to the initial position,
  • the first pad carrier 11a may move toward one side of the Y-axis by a distance between the plurality of first seating portions, and the first through hole 112 connected to the first seating portion 111a2 of the second row of the first row 1
  • the first through hole 112 located on the passage 121 of the gas acting part 12a and connected to the first seating part 111b1 of the first row of the second row is the passage of the second gas acting part 12b
  • the first pad carrier 11a is movable, and when the movement of the first pad carrier 11a is completed, the first gas acting portion 12a is The first through hole 112 of the first seating part 111a2 in the second row of the first row is moved to the other side of the Z-axis to communicate, and the second gas acting part 12b is the passage 121 and the second row.
  • the first through hole 112 of the first row first seating part 111b1 can be moved to the other side of the Z-axis to communicate, and the Z-axis of the first gas acting part 12a and the second gas acting part 12b
  • the pad 22 with the second picker 21a2 of the first picker structure 2a mounted thereon is seated on the first seating portion 111a2 of the first row, the second row, and the second
  • the pad 22 on which the first picker 21b1 of the picker structure 2b is mounted may be mounted on the first mounting portion 111b1 of the first column of the second row.
  • vacuum pressure is formed in the passage 121 of each of the first and second gas acting portions 12a and 12b, and the first seating portion 111a2 in the first row, the second row, and the first seating in the second row, the first row.
  • an adsorption force toward the first seating portion 111a2. 111b1 may be applied, and the pad 22 may be adsorbed toward the first seating portion 111a2. 111b1.
  • the pickers 21a2, 21b1) may be moved to the other side in the Z-axis direction, and accordingly, an adsorption force toward one side in the Z-axis direction and a coupling force between the pickers 21a2 and 21b1 moving toward the other side in the Z-axis direction may be applied to the pad 22.
  • the adsorption force by the gas acting part 12 is greater than the bonding force between the pad 22 and the pickers 21a2 and 21b1, respectively, the pad 22 can be removed from each of the pickers 21a2 and 21b1.
  • the pads 22 of each of the third picker 21a3 of the first picker structure 2a and the second picker 21b2 of the second picker structure 2b are seated in the first row of the third column.
  • the part 111a3 and the first seating part 111b2 of the second row and the second column may be removed, and thereafter, the fourth picker 21a4 of the first picker structure 2a and the third of the second picker structure 2b
  • the pads 22 of each of the pickers 21b3 may be removed from each of the first seating portions 111a4 in the first row and the fourth column and the first seating portions 111b3 in the third row in the second row, and thereafter, the first picker
  • the pads 22 of each of the fifth picker 21a5 of the structure 2a and the fourth picker 21b4 of the second picker structure 2b have the first seating part 111a5 and the second row of the first row and the fifth column.
  • the pads of the sixth picker 21a6 of the first picker structure 2a and the fifth picker 21b5 of the second picker structure 2b can be removed from each of the first seating portions 111b4 in four rows. (22) may be removed from each of the first seating portion 111a6 in the first row and the sixth column and the first seating portion 111b5 in the second row and fifth column, and thereafter, the seventh of the first picker structure 2a
  • the pads 22 of each of the picker 21a7 and the sixth picker 21b6 of the second picker structure 2b have the first seating portion 111a7 in the first row and the seventh column and the first seating portion in the second row and the sixth column
  • the pads 22 of each of the eighth picker 21a8 of the first picker structure 2a and the seventh picker 21b7 of the second picker structure 2b may be removed from each of the (111b6) structures.
  • the eighth picker 21b8 of the second picker structure 2b is It may be removed from the first mounting portion 111b8 in the second row and eighth column.
  • a new pad 22 ′ may be mounted on the picker 21 of 2b.
  • the second pad carrier 13 may be moved to one side of the Y-axis so that the second seating portion 131a1 of the first row of the first row is located on the other side of the Z-axis of the first gas acting portion 12a,
  • the first picker 21a1 of the first picker structure 2a moves to one side of the X-axis and is located on the same Z-axis line as the second seating part 131a1 and the first gas acting part 12a in the first row and first row. Then, it may move downward to one side of the Z-axis to contact the new pad 22 ′ seated on the second seating portion 131a1 in the first row and the first row, as described above, by magnetic force. 22') may be mounted on the picker 21a1.
  • the second pad carrier 13 is provided with the second seating portion of the second row of the first row. Y so that 131a2) is located on the other side of the Z-axis of the first gas acting part 12a, and the second seating part 131b1 of the first row of the second row is located on the other side of the Z-axis of the second gas acting part 12b.
  • the second picker 21a2 of the first picker structure 2a moves to the X-axis and moves to the first row and the second column.
  • the new pad 22 ′ may be mounted by moving to one side of the Z axis.
  • the order of driving the second picker 21a2 of the first picker structure 2a and the driving of the first picker 21b1 of the second picker structure 2b is in various forms, such as one first or simultaneously. It can be made, but is not limited to this application.
  • the third picker 21a3 of the first picker structure 2a and the second picker 21b2 of the second picker structure 2b each have a second seating portion 131a3 in the first row and the third column, and A new pad 22 ′ seated on each of the second seating portions 131b2 in the second row and the second row can be mounted, and thereafter, the fourth picker 21a4 and the second picker structure 2a of the first picker structure 2a ( Each of the third pickers 21b3 in 2b) is equipped with a new pad 22 ′ mounted on each of the second seating portion 131a4 in the first row and the fourth column and the second seating portion 131b3 in the third row in the second row.
  • each of the fifth picker 21a5 of the first picker structure 2a and the fourth picker 21b4 of the second picker structure 2b is provided with the second seating portion 131a5 and the fifth column of the first row.
  • a new pad 22 ′ seated on each of the second seating portions 131b4 in the second row and the fourth row may be mounted, and thereafter, the sixth picker 21a6 and the second picker structure 2a of the first picker structure 2a ( The pads 22 of each of the fifth pickers 21b5 in 2b) are mounted on each of the second seating portions 131a6 in the first row and the sixth row and the second seating portions 131b5 in the fifth row of the second row ( 22'), and then, each of the seventh picker 21a7 of the first picker structure 2a and the sixth picker 21b6 of the second picker structure 2b is the second of the first row and the seventh column.
  • a new pad 22 ′ seated on each of the seating portion 131a7 and the second seating portion 131b6 in the second row and sixth column may be mounted, and thereafter, the eighth picker 21a8 of the first picker structure 2a ) And the seventh picker 21b7 of the second picker structure 2b, respectively, the second seating portion 131a8 of the first row and the eighth column and the second seating portion 131b7 of the second row and seventh column.
  • the pad 22' can be mounted, and after that, the eighth picker 21b8 of the second picker structure 2b is placed on the second seating portion 131b8 in the second row and eight columns. Can be installed.
  • the second pad carrier 13 may be moved to one side of the Y-axis so that the second seating portion 131a1 of the first row of the first row is positioned on the first gas acting portion 12a, and the second seating When the second through hole 132 connected to the part 131a1 is located on the passage 121 of the first gas acting part 12a, the first gas acting part 12a is the passage 121 and the second cylinder.
  • Study 132 can be moved to the other side of the Z-axis to communicate, before, after or at the same time the movement of the first gas acting portion to the other side of the Z-axis, the first picker (21a1) of the first picker structure (2a) to one side of the X-axis It moves and descends to one side of the Z-axis to contact the new pad 22' seated in the second seating portion 131a1 in the first row and the first column, and as described above, the new pad 22' by magnetic force May be mounted on the picker 21a1, and when the first picker 21a1 contacts the new pad 22', a blow pressure is formed in the passage 121 and the picker 21a1 from the second seating portion 131a1 Blow pressure may be applied to the side, and in this case, the installation of the new pad 22 ′ may be made more easily.
  • the first gas acting portion 12a is moved to one side of the Z-axis to return to the initial position. Then, a new pad 22 ′ may be mounted on the second picker 21a2 of the first picker structure 2a and the first picker 21b1 of the second picker structure 2b.
  • the first gas acting portion 12a is moved to one side of the Z-axis to return to the initial position.
  • the second pad carrier 13a may move toward one side of the Y-axis, and the second through hole 132 connected to the second seating part 131a2 of the second row of the first row is the first gas acting part 12a So that the first through hole 112 is located on the passage 121 of the second row and connected to the second seating portion 131b1 of the first row of the second row, on the passage 121 of the second gas acting portion 12b.
  • the second pad carrier 13b is movable, and when the movement of the second pad carrier 13b is completed, the first gas acting portion 12a is connected to the passage 121 and the second row of the first row.
  • the second through hole 132 of the seating portion 131a1 is moved to the other side of the Z-axis to communicate, and the second gas acting portion 12b has its passage 121 and the second row of the first row and the second seating portion ( The second through hole 132 of 131b1) may be moved to the other side of the Z-axis to communicate, and before and after the movement of the first gas acting part 12a and the second gas acting part 12b to the other side of the Z-axis, Or at the same time, the second picker 21a2 of the first picker structure 2a moves to one side of the X-axis and descends to one side of the Z-axis, and a new pad 22 ′ seated in the second seating portion 111a2 of the first row and the second row.
  • the first picker 21b1 of the second picker structure 2b moves to one side of the X-axis, descends to one side of the Z-axis, and is seated on the second seating portion 131b1 of the first column of the second row. '), and, as described above, a blow pressure is formed in the passages 121 of each of the first and second gas acting portions 12a and 12b, and the second seating portions 131a2 of the first row and the second row ) And the second seating portion 131b1 in the first row of the second row and a blow pressure toward the pickers 21a2 and 21b1 are applied, so that a new pad 22' may be easily mounted.
  • the third picker 21a3 of the first picker structure 2a and the second picker 21b2 of the second picker structure 2b each have a second seating portion 131a3 in the first row and the third column, and A new pad 22 ′ seated on each of the second seating portions 131b2 in the second row and the second row can be mounted, and thereafter, the fourth picker 21a4 and the second picker structure 2a of the first picker structure 2a ( Each of the third pickers 21b3 in 2b) is equipped with a new pad 22 ′ mounted on each of the second seating portion 131a4 in the first row and the fourth column and the second seating portion 131b3 in the third row in the second row.
  • each of the fifth picker 21a5 of the first picker structure 2a and the fourth picker 21b4 of the second picker structure 2b is provided with the second seating portion 131a5 and the fifth column of the first row.
  • a new pad 22 ′ seated on each of the second seating portions 131b4 in the second row and the fourth row may be mounted, and thereafter, the sixth picker 21a6 and the second picker structure 2a of the first picker structure 2a ( The pads 22 of each of the fifth pickers 21b5 in 2b) are mounted on each of the second seating portions 131a6 in the first row and the sixth row and the second seating portions 131b5 in the fifth row of the second row ( 22'), and then, each of the seventh picker 21a7 of the first picker structure 2a and the sixth picker 21b6 of the second picker structure 2b is the second of the first row and the seventh column.
  • a new pad 22 ′ seated on each of the seating portion 131a7 and the second seating portion 131b6 in the second row and sixth column may be mounted, and thereafter, the eighth picker 21a8 of the first picker structure 2a ) And the seventh picker 21b7 of the second picker structure 2b, respectively, the second seating portion 131a8 of the first row and the eighth column and the second seating portion 131b7 of the second row and seventh column.
  • the pad 22' can be mounted, and after that, the eighth picker 21b8 of the second picker structure 2b is placed on the second seating portion 131b8 in the second row and eight columns. Can be installed.
  • the present apparatus 1 may be applied to a package manufacturing apparatus such as a package singulation system.
  • the package manufacturing apparatus may include a tray portion in which a tray in which a semiconductor package is loaded is prepared. have.
  • the first pad carrier 11 and the second pad carrier 13 may be provided on the tray portion 9. Accordingly, the movement of the first pad carrier 11 and the second pad carrier 13 may be performed by the Y-axis movement along the rail 91 of the tray portion 9.
  • this method' a method of automatically replacing a pad (hereinafter referred to as'this method') according to an embodiment of the present application.
  • this method is performed by the automatic pad replacement device 1 according to the exemplary embodiment of the present application, and the technical features and configurations are the same as or corresponding to the automatic pad replacement device 1 according to the exemplary embodiment of the present application. Share. Accordingly, descriptions overlapping with those described in the automatic pad replacement apparatus 1 according to the exemplary embodiment of the present disclosure will be simplified or omitted, and the same reference numerals will be used for the same or similar configurations.
  • the present method relates to an automatic pad replacement method for replacing the pad 22 coupled to the picker 21 of the picker structure 2.
  • the method includes removing the pad 22 from the picker 21 (first step).
  • the first pad carrier 11 in which the first through hole 112 through the first receiving part 111 and the first receiving part 111 through one side of the Z-axis is formed is provided with the first through hole 112 ), and a step (step 1-1) of moving so that the gas acting part 12 is located underneath it.
  • the picker 21 descends and the pad 22 coupled thereto is brought into contact with the first seating portion 111, and the gas acting portion 12 moves to the other side of the Z-axis and the first through hole ( 111) and accessing (Step 1-2).
  • the gas acting portion 12 applies a vacuum pressure through the first through hole 112 to move the pad 22 seated in the first seating portion 111 toward the first seating portion 111.
  • the step of adsorbing and moving the picker 21 to the other side of the Z-axis step 1-3).
  • the first seating portion 111 may be formed in n rows and m columns.
  • the number of gas acting portions 12 may be provided in n.
  • n number of picker structures 2 may be provided.
  • m number of pickers 21 of each of the n number of picker structures 2 may be provided.
  • steps 1-1 to 1-3 may be performed for each of the m pickers 21 of each of the n picker structures 2a and 2b.
  • the distances in the Y-axis direction between the first seating portions 111 are the same, and the n gas acting portions may be disposed at the same distance as the distance in the Y-axis direction between the first seating portions 111 in the Y-axis direction.
  • the gap in the Y-axis direction between the first mounting parts 111, the gap in the Y-axis direction of the second mounting parts 131, and the gap in the Y-axis direction between the n gas acting parts 12 (second The interval in the Y-axis direction between the 1 gas acting part 12a and the second gas acting part 12b) may be the same.
  • n number of picker structures 2a and 2b may be adjacent to each other along the Y axis.
  • m pickers 21 may be arranged in the X-axis direction.
  • the n picker structures 2a and 2b are positioned so that each of the m pickers is located on the other side of the Z-axis and the n gas acting portions 12a and 12b, and can be moved in the X-axis.
  • the pad 22 of the first picker 21a1 of the first picker structure 2a among the picker structures 2a and 2b is in the first column of the first row of the first pad carrier 11.
  • the pad 22 of the first picker 21b1 of the next picker structure (the second picker structure 2b) and the pad of the next picker 21a2 of the first picker structure 2a removed from the first seating part 111a1 (22)
  • the above Steps 1-1 to 1-3 may be performed for each of the m pickers 21 of each of the n picker structures 2a and 2b. Since a detailed description of this has been previously described in the present apparatus, a detailed description will be omitted.
  • the method includes supplying a new pad 22' to the picker 21 (second step).
  • the second step is to the upper side of the second pad carrier 13 on which the second seating portion 131 on which the new pad 22' is seated is formed so that the lower end of the picker 21 can contact the new pad 22'. It may include a step of moving the picker 21 (step 2-1) and a step of lowering the picker 21 to contact the new pad 22' (step 2-2).
  • the second seating portion 111 may be formed in n rows and m columns.
  • n number of picker structures 2 may be provided.
  • m number of pickers 21 of each of the n number of picker structures 2 may be provided.
  • steps 2-1 to 2-2 may be performed for each of the m pickers 21 of each of the n picker structures 2a and 2b.
  • n picker structures 2a and 2b may be adjacent to each other in the Y-axis.
  • m pickers 21 may be arranged in the X-axis direction.
  • each of the n picker structures 2a and 2b is movable along the X axis.
  • the first picker 21a1 of the first picker structure 2a is moved by the X-axis and is prepared in the second seating part 131a1 of the first column of the first row of the second pad carrier 11 After being located on the other side of the Z-axis of the new pad 22', it moves to one side of the Z-axis to contact the new pad 22', and the first picker 21b1 and the second picker structure (the second picker structure 2b) 1
  • Each of the next pickers 21a2 of the picker structure 2a is moved by the X-axis, and the second seating portion 131b1 of the first column of the next row (second row) and the second seating portion 131b1 of the first column of the next row (second row) 2
  • the n number of picker structures 2a are located on the other side of the Z axis of each of the new pads 22 ′ seated on each of the receiving portions 131a2, and then move to one side of the Z axis to contact the new pads 22
  • a new pad 22 ′ may be contacted with each of the m pickers 21.
  • the new pad 22' may be mounted on the picker 21 by magnetic force. Since a detailed description of this has been previously described in the present apparatus, a detailed description will be omitted.
  • the second step before performing the step 2-1, the second seating portion 131 is moved so that the gas acting portion 12 is positioned below it (steps 2-3 ) Can be performed. Accordingly, the second step may be performed as follows.
  • the second pad carrier 13 may be moved to one side of the Y-axis so that the second seating portion 131a1 of the first column of the first row is positioned on the first gas acting portion 12a, and the first picker structure 2a ), the first picker 21a1 moves in the X-axis and is located on the other side of the Z-axis of the second seating part 131a1 in the first row and the first column, and then moves to one side of the Z-axis to contact the new pad 22'.
  • the new pad 22 ′ may be mounted on the picker 21a1 by magnetic force.
  • the second pad carrier 13a is disposed at the second seating portion of the second row of the first row (
  • the second through hole 132 connected to 131a2 is located on the passage 121 of the first gas acting part 12a, and a first through hole connected to the second seating part 131b1 in the first row of the second row ( 112) can be moved to one side of the Y-axis so that it is located on the passage 121 of the second gas acting portion 12b, and when the movement of the second pad carrier 13b is completed, the first picker structure 2a
  • the second picker 21a2 of is moved in the X-axis, is located on the other side of the Z-axis of the second seating part 111a2 in the first row and the second column, and moves to one side of the Z-axis to mount a new pad 22', and the second picker
  • the first picker 21b1 of the structure 2b may move in the X-axis
  • the second step is a step of moving the second pad carrier 13 so that the gas acting portion 12 is located under the second through hole 132 (step 2-1), the picker Step 21 is in contact with the new pad 22' and the gas acting part 12 moves to the other side of the Z axis to approach the second through hole 131 (step 2-2) and the gas acting part 12 ) Exerting a blow pressure through the second through hole 131 to apply an external force to the picker 21 on the new pad 22 ′ seated in the second seat 131.
  • the second pad carrier 13 may be moved to one side of the Y-axis so that the second seating portion 131a1 of the first row of the first row is positioned on the first gas acting portion 12a, and the second seating When the second through hole 132 connected to the part 131a1 is located on the passage 121 of the first gas acting part 12a, the first gas acting part 12a is the passage 121 and the second cylinder.
  • Study 132 can be moved to the other side of the Z-axis to communicate, before, after or at the same time the movement of the first gas acting portion to the other side of the Z-axis, the first picker (21a1) of the first picker structure (2a) to one side of the X-axis
  • the new pad 22 ′ seated on the second seating portion 131a1 in the first row and the first column may be brought into contact with the new pad 22 ′ by the magnetic force as described above through the movement of and movement toward one side of the Z-axis. 22') may be mounted on the picker 21a1.
  • a blow pressure is formed in the passage 121 and a blow pressure may be applied from the second seating portion 131a1 toward the picker 21a1, and in this case, the installation of the new pad 22 ′ may be made more easily. have.
  • the first gas acting portion 12a is moved to one side of the Z-axis to return to the initial position. Then, each of the second picker 21a2 of the first picker structure 2a and the first picker 21b1 of the second picker structure 2b is moved to one side of the X-axis and the first picker through movement to one side of the Z-axis.
  • a new pad 22' seated on each of the second seating portion 131a2 in the second row and the second seating portion 131b1 in the first row of the second row can be mounted, and such a new pad 22'
  • blow pressure may be applied.
  • mounting of the new pad 22 ′ may be performed on the remaining pickers as well, and at this time, the blow pressure may be applied. Since a detailed description of this has been previously described in the present apparatus, a detailed description will be omitted.

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Abstract

자동 패드 교체 장치가 개시되며, 상기 자동 패드 교체 장치는 픽커의 하단부에 탈착 가능하게 결합된 패드가 안착되는 제1 안착부 및 상기 제1 안착부와 연통되며 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부가 형성되는 제1 패드 캐리어; 및 상기 제1 통공부를 통해 진공압을 작용하여 상기 제1 안착부 내에 안착된 패드를 상기 제1 안착부측으로 흡착하는 기체 작용부를 포함한다.

Description

자동 패드 교체 장치
본원은 자동 패드 교체 장치 및 자동 패드 교체 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들에 대해 증착, 식각, 이온주입, 평탄화 등과 같은 일련의 제조 공정들이 반복적으로 수행됨으로써 반도체 소자는 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 반도체 소자들이 형성된 웨이퍼는 다이싱 공정을 통해 복수의 반도체 칩들로 개별화될 수 있으며, 개별화된 반도체 칩들은 칩 본딩 공정을 통해 인쇄회로기판 또는 리드 프레임과 같은 기판 상에 본딩될 수 있다.
그런데, 이러한 제조 과정에서 반도체 소자, 반도체 칩, 반도체 소자 등의 이송에 픽커가 이용될 수 있는데, 픽커의 하부에는 이송하는 제품과 접촉되는 부분에 패드가 구비되는데, 패드의 마모, 손상 또는 제품 크기의 변경에 따라 패드를 교체할 필요가 있다. 하지만, 종래에는 패드의 교체가 인력에 의해 수동으로 이루어졌으며, 장치 전체의 수율이 감소하고 작업자의 숙련도 등에 따라 교체 작업의 효율 또는 정확도 등이 일정하지 않은 문제가 있었다. 이에 따라, 패드를 자동으로 교체할 수 있는 장치가 구현될 필요가 있어왔다.
본원의 배경이 되는 기술은 한국등록실용신안 제20-0474850호에 개시되어 있다.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 픽커에 결합된 패드를 자동으로 교체할 수 있는 자동 패드 교체 장치 및 자동 패드 교체 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들도 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 1 측면에 따른 자동 패드 교체 장치는, 픽커의 하단부에 탈착 가능하게 결합된 패드가 안착되는 제1 안착부 및 상기 제1 안착부와 연통되며 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부가 형성되는 제1 패드 캐리어; 및 상기 제1 통공부를 통해 진공압을 작용하여 상기 제1 안착부 내에 안착된 패드를 상기 제1 안착부측으로 흡착하는 기체 작용부를 포함할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 픽커의 하단부에 접촉 가능하도록 새 패드가 안착되는 제2 안착부이 형성되는 제2 패드 캐리어를 더 포함하고, 상기 제2 패드 캐리어는 상기 제1 패드 캐리어와 이웃하게 배치될 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부 각각은 n행 m열로 형성되고, 상기 기체 작용부는 상기 n개로 구비되며, 상기 픽커 구조체는 상기 n개로 구비되고, 상기 n개의 픽커 구조체 각각의 픽커는 상기 m개로 구비될 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 n 개의 기체 작용부 각각은 상기 n 개의 픽커 구조체 각각과 일대일 대응하고, 상기 n 개의 기체 작용부 각각은 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부 각각의 n개 행 각각과 일대일 대응할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 제1 패드 캐리어 및 상기 제2 패드 캐리어는, Y축 방향으로 이웃하고, 상기 기체 작용부는 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부 보다 Z축 일측에 위치하는 초기 위치를 가지고, 상기 제1 패드 캐리어 및 상기 제2 패드 캐리어는, 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부의 상기 n행 각각의 열이 상기 n행 각각과 대응되는 상기 기체 작용부의 상측으로 위치 가능하도록 Y축 방향으로 이동 가능하다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체는 Y축으로 이웃하고, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각은, 상기 m개의 상기 픽커가 X축 방향으로 배치되며, 각각의 상기 m개의 픽커가 상기 n개의 기체 작용부 각각과 Z축 타측에 위치하도록 위치하고, X축으로 이동 가능하다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 제1 캐리어는, 상기 제1 안착부의 바닥면 중 상기 패드의 패드 진공 통로와 대응하는 부분으로부터 Z축 타측으로 돌출되는 돌출부; 상기 안착부의 바닥면으로부터 Z축 일측으로 통공되는 타측 연결 통로; 상기 타측 연결 통로와 상기 제1 통공부를 연통시키는 일측 연결 통로를 더 포함할 수 있다.
또한, 본원의 제1 측면에 따른 자동 패드 교체 방법은, (a) 상기 픽커로부터 상기 패드를 탈거하는 단계; 및 (b) 상기 픽커에 새 패드를 공급하는 단계를 포함하되, 상기 (a) 단계는, (a1) 제1 안착부 및 상기 제1 안착부로부터 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부가 형성되는 제1 패드 캐리어가 상기 제1 통공부의 하측에 기체 작용부가 위치하도록 이동하는 단계; (a2) 상기 픽커가 그에 결합된 패드를 상기 제1 안착부에 접촉시키고, 상기 기체 작용부가 Z축 타측으로 이동하여 상기 제1 통공부에 접근하는 단계; 및 (a3) 상기 기체 작용부가 상기 제1 통공부를 통해 진공압을 작용하여 상기 제1 안착부 내에 안착된 상기 패드를 상기 제1 안착부측으로 흡착하고, 상기 픽커가 Z축 타측으로 이동하는 단계를 포함할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 제1 안착부는 n행 m열로 형성되고, 상기 기체 작용부는 상기 n개로 구비되며, 상기 픽커 구조체는 상기 n개로 구비되고, 상기 픽커 구조체 각각의 픽커는 상기 m개로 구비되며, 상기 (a) 단계는, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (a1) 내지 상기 (a3) 단계를 수행할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 제1 안착부간의 Y축 방향 간격은 서로 동일하고, 상기 n 개의 기체 작용부는, 안착부Y축 방향으로 상기 제1 안착부간의 Y축 방향 간격과 동일한 간격을 두고 배치되며, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각은, X축으로 이동 가능하고, 상기 m개의 상기 픽커가 X축 방향으로 배치되고, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체는 Y축으로 이웃할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 (a) 단계는, 상기 픽커 구조체 중 제1 픽커 구조체의 첫번째 픽커의 패드가 상기 제1행의 제1열의 상기 제1 안착부에 탈거되고, 다음 픽커 구조체의 첫번째 픽커의 패드 및 상기 제1 픽커 구조체의 다음 픽커의 패드 각각이 다음 행의 제1열의 상기 제1 안착부 및 제1행의 다음열의 상기 제1 제1 안착부에 탈거되는 순서로, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (a1) 내지 상기 (a3) 단계를 수행할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 (b) 단계는, (b1) 상기 픽커의 하단부에 접촉 가능하도록 새 패드가 안착되는 제2 안착부가 형성되는 제2 패드 캐리어의 상측으로 상기 픽커가 이동하는 단계; 및 (b2) 상기 픽커가 Z축 일측으로 이동하여 상기 새 패드에 접촉하는 단계를 포함할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 제2 안착부는 n행 m열로 형성되고, 상기 픽커 구조체는 상기 n개로 구비되고, 상기 픽커 구조체 각각의 픽커는 상기 m개로 구비되며, 상기 (b) 단계는, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (b1) 내지 상기 (b2) 단계를 수행할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 제2 안착부간의 Y축 방향 간격은 서로 동일하고, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각은, X축으로 이동 가능하고, 상기 m개의 상기 픽커가 X축 방향으로 배치되고, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체는 Y축으로 이웃할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 (b) 단계는, 상기 픽커 구조체 중 X축 타측에 위치하는 제1 픽커 구조체의 첫번째 픽커가 상기 제1행의 제1열의 상기 제2 안착부에 안착된 새 패드에 접촉하고, 다음 픽커 구조체의 첫번째 픽커 및 상기 제1 픽커 구조체의 다음 픽커 각각이 다음 행의 제1열의 상기 제2 안착부에 안착된 새 패드 및 제1행의 다음열의 상기 제2 안착부에 안착된 새 패드에 접촉하는 순서로, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (b1) 내지 상기 (b2) 단계를 수행할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 (b) 단계는, (b1) 상기 픽커의 하단부에 접촉 가능하도록 새 패드가 안착되는 제2 안착부 및 상기 제2 안착부로부터 Z축 일측으로 통공된 제2 통공부가 형성되는 제2 패드 캐리어가 상기 제2 통공부의 하측에 상기 기체 작용부가 위치하도록 이동하는 단계; (b2) 상기 픽커가 상기 새 패드에 접촉되고, 상기 기체 작용부가 Z축 타측으로 이동하여 상기 제2 통공부에 접근하는 단계; 및 (b3) 상기 기체 작용부가 상기 제2 통공부를 통해 블로우압을 작용하여 상기 제2 안착부 내에 안착된 상기 새 패드에 상기 픽커로의 외력을 작용하는 단계를 포함할 수 있다.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 패드를 장착한 픽커가 패드를 제1 패드 캐리어의 제1 안착부에 안착시키면 기체 작용부에 의해 패드가 제1 안착부 측, 즉, Z축 일측으로 흡착될 수 있고, 패드가 흡착될 때 픽커가 Z축 타측 방향으로 이동됨으로써, 패드는 픽커로부터 탈거되어 제1 안착부에 위치하게 될 수 있다. 이에 따라, 픽커로부터 패드를 자동으로 탈거하는 자동 패드 교체 장치 및 자동 패드 교체 방법이 구현될 수 있다.
또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 픽커가 패드를 탈거한 상태로 제2 패드 캐리어의 제2 안착부에 안착된 새 패드에 접촉될 수 있으므로, 픽커에 새 패드가 자동으로 장착될 수 있다. 이에 따라, 픽커에 패드를 자동으로 장착하는 자동 패드 교체 장치 및 자동 패드 교체 방법이 구현될 수 있다.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 픽커 구조체의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 픽커의 개략적인 단면도이다.
도 3은 본원의 일 실시예에 따른 픽커의 일부와 본원의 일 실시예에 따른 자동 패드 교체 장치의 개략적인 사시도이다.
도 4는 본원의 일 실시예에 따른 제1 패드 캐리어의 제1 안착부가 형성된 부분의 개략적인 단면도이다.
도 5는 패드가 본원의 일 실시예에 따른 제1 패드 캐리어의 제1 안착부에 안착된 것을 도시한 개략적인 단면도이다.
도 6은 픽커로부터 패드가 탈거되는 것을 설명하기 위한 본원의 일 실시예에 따른 픽커, 본원의 일 실시예에 따른 제1 패드 캐리어의 제1 안착부 및 본원의 일 실시예에 따른 기체 작용부의 개략적인 사시도이다.
도 7은 본원의 일 실시예에 따른 제1 패드 캐리어와 제2 패드 캐리어, 픽커의 일부 및 기체 작용부가 도시된 개략적인 측면도이다.
도 8은 새 패드가 본원의 일 실시예에 따른 제2 패드 캐리어의 제2 안착부에 안착된 것을 도시한 개략적인 단면도이다.
도 9는 본원의 일 실시예에 따른 픽커의 패드 교체 방법을 설명하기 위한 개략적인 개념 평면도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(Z축 일측, Z축 타측, X축 일측, X축 타측, Y축 일측, Y축 타측 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 1 및 도 3을 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 Z축 타측, 전반적으로 6시 방향이 Z축 일측, 전반적으로 2시 방향이 Y축 일측, 전반적으로 8시 방향이 Y축 타측, 전반적으로 4시 방향이 X축 일측, 전반적으로 10시 방향이 X축 타측 등이 될 수 있다.
본원은 자동 패드 교체 장치 및 자동 패드 교체 방법에 관한 것이다.
먼저, 본원의 일 실시예에 따른 자동 패드 교체 장치(이하 '본 장치'라 함)(1)에 대해 설명한다.
도 1을 참조하면, 본 장치(1)는 픽커 구조체(2)의 픽커(21)에 결합된 패드(22)를 교체하는 자동 패드 교체 장치이다. 픽커(21)는 반도체 패키지를 이송하는데 적용될 수 있는데, 반도체 패키지를 픽업하여 플레이싱할 수 있다. 도 2를 참조하면, 픽커(21)는 반도체 패키지를 픽업하기 위해 내부에 진공압이 형성되는 픽커 진공 통로(212)를 포함할 수 있다. 또한, 픽커(21)의 하단부에 반도체 패키지와 접촉 가능한 패드(22)가 탈착 가능하게 결합될 수 있다. 패드(22)에는 패드(22)와 픽커(21)의 결합시 픽커 진공 통로(212)와 연통하는 패드 진공 통로(223)가 형성될 수 있다. 이에 따라, 픽커(21)의 반도체 패키지 픽업시, 픽커 진공 통로(212) 및 패드 진공 통로(223)를 통해 진공압이 상측으로 작용되어 반도체 패키지가 패드(22)에 접촉되며 픽커(21)에 흡착될 수 있다.
참고로, 패드(22)는 패드 본체(222) 및 픽커(21)에 착탈 가능한 결합체(221)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 결합체(221)는 도넛 형상의 메탈(metal)일 수 있으며, 패드 본체(222)의 상면에 구비될 수 있다. 또한, 결합체(221)는 픽커(21)의 하면 중 적어도 일부에 착탈 가능할 수 있는데, 예를 들어, 픽커(21)의 하부에는 결합체(221)가 수용되도록 Z축 방향 타측으로 함몰된 함몰부가 형성될 수 있다. 또한, 함몰부는 패드(22)의 결합체(221)와 접촉되는 결합부(미도시)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 결합부는 도넛 형상의 자석일 수 있다. 이에 따라, 패드(22)와 픽커(21)는 자력에 의해 착탈 가능하게 결합할 수 있다.
또한, 픽커 구조체(2)는 n 개로 구비될 수 있고, n 개의 픽커 구조체(2) 각각은 m 개의 픽커(21)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 1을 참조하면, 픽커 구조체(2)는 2 개 구비될 수 있고, 도 3을 참조하면, 2 개의 픽커 구조체(2) 각각은 8 개의 픽커(21)를 포함할 수 있다. 또한, 픽커 구조체(2)는 Y축으로 서로 이웃하며, X축으로 구동부(23)에 의해 이동가능 하다. 참고로, 구동부(23)는 레일부 및 픽커 구조체(2)를 이동시키는 구동부(모터 등)를 포함할 수 있다. 또한, 도 1을 참조하면, 본원은 용이한 이해를 위해, 일부 설명에서, 2 개의 픽커 구조체(2) 중 Y축 타측에 위치하는 픽커 구조체(2)는 제1 픽커 구조체(2a), Y축 일측에 위치하는 픽커 구조체(2)는 제2 픽커 구조체(2b)라 하겠다.
도 3을 참조하면, 본 장치(1)는 제1 패드 캐리어(11)를 포함한다. 도 4를 참조하면, 본 제1 패드 캐리어(11)는 제1 안착부(111) 및 제1 안착부(111)와 연통되며 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부(112)가 형성된다. 보다 구체적으로, 제1 패드 캐리어(11)의 안착부(111)에는 패드(22)가 수용될 수 있고, 제1 패드 캐리어(11)에는 안착부(111)의 바닥면(1111) 중 패드(22)의 패드 진공 통로(223)와 대응하는 부분(패드(22)가 안착부(111)에 안착시, 패드(22)의 패드 진공 통로(223)와 대응하는 부분)으로부터 Z축 타측으로 돌출된 돌출부(113), 안착부(111)의 바닥면(1111)으로부터 Z축 일측으로 통공되는 타측 연결 통로(114), 타측 연결 통로(114)와 제1 통공부(112)를 연통시키는 일측 연결 통로(115)가 형성될 수 있다. 제1패드 캐리어(11)는 상술한 바와 같은 제1안착부 및 제1통공부를 복수 개 포함할 수 있다.
도 5를 참조하면, 픽커(21)의 하단부에 탈착 가능하게 결합된 패드(22)는 제1 안착부(111)에 안착 가능하다.
또한, 도 3을 참조하면, 본 장치(1)는 제1 통공부(112)를 통해 진공압을 하측으로 작용하여 제1 안착부(111) 내에 안착된 패드(22)를 제1 안착부(111) 측으로 흡착하는 기체 작용부(12)를 포함한다.
도 6을 참조하면, 기체 작용부(12)는 그의 상측에 제1 통공부(112)가 위치하면, 제1 통공부(112)를 통해 제1 안착부(111) 내에 진공압을 하측으로 작용할 수 있다. 또한, 기체 작용부(12)는 제1 안착부(111)에 픽커(21)에 장착된 패드(22)가 안착되면, 제1 통공부(112)를 통해 제1 안착부(111) 내에 진공압을 작용할 수 있다.
구체적으로, 기체 작용부(12)는 통로(121) 및 통로(121)에 진공압을 형성하거나 진공압 형성을 해제하는 진공 형성부를 포함하거나 별도로 마련된 진공 형성부와 연결될 수 있다. 기체 작용부(12)는 통로(121)와 제1 통공부(112)가 연결(연통)되도록 기체 작용부(12)의 상측에 제1 통공부(112)가 위치하고, 제1 안착부(111)에 패드(22)(픽커(21)에 결합된 상태)가 안착되면, 통로(121)에 진공압을 형성할 수 있고, 이에 따라, 제1 통공부(112)를 통해 진공압이 작용되어 일측 연결 통로(115) 및 타측 연결 통로(114)에 하측으로 진공압이 형성되어 제1 안착부(111) 내에 제1 안착부(111)측으로의 흡착력이 작용될 수 있으며, 패드(22)는 제1 안착부(111) 측으로 흡착될 수 있다. 이러한 기체 작용부(12)에 의한 흡착시 패드(22)에는 Z축 방향 일측으로 외력이 작용될 수 있다.
또한, 기체 작용부(12)는 Z축 방향 타측으로 상승 이동하는 픽커(21)로부터 패드(22)가 탈거되도록 픽커(21)와 패드(22)의 결합력보다 큰 흡착력이 작용되도록 진공압을 작용할 수 있다. 즉, 기체 작용부(12)에 의해 패드(22)가 흡착될 때 픽커(21)는 Z축 방향 타측(상측)으로 이동될 수 있고, 이에 따라, 패드(22)에는 Z축 방향 일측(하측)으로의 흡착력과 Z축 방향 타측으로 이동하는 픽커(21)와의 결합력이 작용될 수 있다. 이때, 기체 작용부(12)에 의한 흡착력이 패드(22)와 픽커(21)의 결합력(상술한 패드(22)와 픽커(21)의 자력)보다 크므로, 패드(22)는 픽커(21)로부터 탈거될 수 있다.
또한, 도 3 및 도 7을 참조하면, 기체 작용부(12)는 제1 안착부(111)의 Y축 일측에서 Z축으로 제1 안착부(111)보다 일측(하측)에 위치하는 초기 위치를 가질 수 있고, 픽커(21)는 X축으로 이동 가능하며, 제1 패드 캐리어(11)는 제1 통공부(112)를 통한 기체 작용부(12)의 진공 작용이 가능하도록 제1 통공부(112)가 기체 작용부(12)의 Z축 타측(상측)에 위치하도록 이동할 수 있다.
이에 따라, 도 6을 참조하면, 제1 패드 캐리어(11)는 제1 안착부(111)가 기체 작용부(12) 상에 위치하도록 Y축 일측으로 이동하여 제1 안착부(111)와 연결된 제1 통공부(112)가 기체 작용부(12)의 통로(121) 상에 위치하게 할 수 있고, 그 후, 픽커(21)는 X축 일측으로 이동하여 제1 안착부(111) 및 기체 작용부(12)와 동일한 Z축 선상에 위치할 수 있고, Z축 일측으로 하강하여 제1 안착부(111)에 패드(22)를 안착시킬 수 있으며, 기체 작용부(12)는 Z축 일측으로 상승하여 제1 통공부(112)와 통로(121)를 연결할 수 있으며, 그후, 기체 작용부(12)는 패드(22)가 제1 안착부(111) 측으로 흡착되도록 진공압을 작용할 수 있고, 그 때, 픽커(21)는 Z축 타측으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 픽커(21)로부터의 패드(22)의 탈거가 이루어질 수 있다. 참고로, 픽커(21)가 X축 일측으로 이동하여 1 안착부(111) 및 제2 기체 작용부(12)와 동일한 Z축 선상에 위치하고, Z축 일측으로 하강하여 제1 안착부(111)에 패드(22)를 안착시키는 구동과 기체 작용부(12)가 Z축 타측으로 상승하여 제1 통공부(112)와 통로(121)를 연결하는 구동의 선후 관계는 본원에 한정되지 않으며, 두 개 중 하나가 먼저 수행되고, 다른 하나가 그 후에 수행되거나, 또는 동시에 수행될 수 있다.
이러한 픽커(21)로부터의 패드(22) 탈거는 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 픽커(21) 전체에 대해 이루어질 수 있다.
또한, 도 3을 참조하면, 본 장치(1)는 제2 패드 캐리어(13)를 포함할 수 있다. 도 8을 참조하면, 제2 패드 캐리어(13)는 새 패드(22')가 안착되는 제2 안착부(131)를 포함할 수 있다. 새 패드(22')는 그의 상면에 픽커(21)의 하단부가 접촉 가능하도록 제2 안착부(131)에 안착될 수 있다.
이에 따라, 픽커(21)는 그에 결합된 패드(22)를 제1 패드 캐리어(11)에 플레이싱하고, 제2 패드 캐리어(12)의 상측으로 이동하여 그의 함몰부에 새 패드(22')의 결합체(221)의 적어도 일부가 수용되게 하며, 새 패드(22')가 장착되게 한 후 이동할 수 있다.
구체적으로, 제1패드 캐리어(11) 및 제2 패드 캐리어(13)는 Y축 일측으로 이동하여 제2 안착부(131)가 기체 작용부(12) 상에 위치하게 할 수 있고, 그 후, 픽커(21)는 X축 일측으로 이동하여 제2 안착부(131) 및 기체 작용부(12)와 동일한 Z축 선상에 위치할 수 있고, Z축 일측으로 하강하여 제2 안착부(131)에 안착된 새 패드(22')에 접촉할 수 있다. 새 패드(22')에 대한 픽커(21)의 접촉시 새 패드(22')는 자력에 의해 픽커(21)에 장착될 수 있다.
이러한 픽커(21)에 대한 새 패드(22') 장착은 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 픽커(21) 전체에 대해 이루어질 수 있다.
또한, 제2 패드 캐리어(13)에는 제2 안착부(131)와 연통되며 Z축 일측으로 통공된 제2 통공부(132)가 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 제2 패드 캐리어(13)의 안착부(131)에는 새 패드(22')가 수용될 수 있고, 제2 패드 캐리어(13)에는 안착부(131)의 바닥면(1311) 중 새 패드(22')의 패드 진공 통로(223)와 대응하는 부분(새 패드(22') 안착시, 새 패드(22')의 패드 진공 통로(223)와 대응하는 부분)으로부터 Z축 타측으로 돌출된 돌출부(133), 안착부(131)의 바닥면(1311)으로부터 Z축 일측으로 통공되는 타측 연결 통로(134), 타측 연결 통로(134)와 제2 통공부(132)를 연통시키는 일측 연결 통로(135)가 형성될 수 있다. 제2패드 캐리어(13)는 상술한 바와 같은 제2안착부 및 제2통공부를 복수 개 포함할 수 있다.
또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 기체 작용부(12)는 그의 상측에 제2 통공부(132)가 위치하면, 제2 통공부(132)를 통해 제2 안착부(131) 내에 블로우압을 상측으로 작용할 수 있다. 또한, 기체 작용부(12)는 제2 안착부(131)에 안착된 새 패드(22')에 패드가 탈거된 상태의 픽커(21)가 접촉되면, 제2 통공부(132)를 통해 제2 안착부(131)로부터 픽커(21) 측으로 블로우압을 작용할 수 있다.
구체적으로, 기체 작용부(12)는 통로(121)와 제2 통공부(132)가 연결(연통)되도록 기체 작용부(12) 상측에 제2 통공부(132)가 위치하고, 제2 안착부(131)에 안착된 새 패드(22')에 픽커(21)가 접촉되거나, 소정 거리 이내로 접근하면, 통로(121)에 블로우압을 형성할 수 있고, 이에 따라, 제2 통공부(132)를 통해 블로우압이 작용되어 블로우압이 일측 연결 통로(135) 및 타측 연결 통로(134)를 통과해 제2 안착부(131)로부터 픽커(21) 측으로 작용될 수 있으며, 새 패드(22')는 블로우압에 의해 픽커(21)으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 새 패드(22')와 픽커(21)의 결합이 보다 용이하게 이루어질 수 있다.
한편, 상술한 바와 같은 픽커(21)로부터 패드(22)의 탈거 및 픽커(21)에 대한 새 패드(22')의 장착은 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대해 수행될 수 있는데, 예를 들어, 이하와 같이 수행될 수 있다. 다만, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대한 패드(22)의 탈거 및 새 패드(22')의 장착은 이하의 예에 한정되지 않으며, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대한 패드(22)의 탈거 및 새 패드(22')의 장착은 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 중 하나의 픽커 구조체의 m 개의 픽커(21)에 대해 수형된 후 나머지 픽커 구조체의 m 개의 픽커(21)에 대해 수행되는 방법 등 다양한 방법으로 수행될 수 있다.
도 9를 참조하면, 제1 안착부(111) 및 제2 안착부(131) 각각은 n행 m열로 형성될 수 있다. 또한, 도 9를 참조하면, 기체 작용부(12)는 n 개로 구비될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 픽커 구조체(2)는 n 개로 구비될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2) 각각의 픽커(21)는 m개로 구비될 수 있다. 제1안착부(111) 및 제2안착부(131)의 각 행(n개)은 복수(n개)의 픽커 구조체(2a, 2b)와 일대일 대응되며, 제1안착부(111) 및 제2안착부(131)의 각 행의 각 열(m개)는 대응하는 픽커 구조체(2a, 2b)의 복수(m개)의 픽커와 일대일 대응할 수 있다.
예를 들어, 도 9를 참조하면, 제1 안착부(111) 및 제2 안착부(131) 각각은 2행 8열로 형성될 수 있다. 또한, 기체 작용부(12)는 2개로 구비될 수 있고, 픽커 구조체(2)는 2 개로 구비될 수 있으며, 2 개의 픽커 구조(2) 각각의 픽커는 8개 구비될 수 있다.
또한, 제1 패드 캐리어(11) 및 제2 패드 캐리어(13)는 Y축 방향으로 이웃할 수 있다. 예를 들어, 제2 패드 캐리어(13)는 제1 패드 캐리어(11)의 Y축 타측(도 9 참조, 6시 방향)에 위치할 수 있다. 또한, 제2 패드 캐리어(13)는 그의 n행 각각이 제1 패드 캐리어의 n행 각각과 같은 Y축 선상에 위치하도록 제1 패드 캐리어(11)의 Y축 타측에 위치할 수 있다.
구체적으로, 제1 패드 캐리어(11)의 제1 행(111a)과 제2 패드 캐리어(13)의 제1 행(131a)은 같은 Y축 선상에 위치할 수 있고, 제1 패드 캐리어(11)의 제2 행(111b)과 제2 패드 캐리어(13)의 제2 행(131b)는 같은 Y축 선상에 위치할 수 있다. 본원의 일 실시예에 따르면, 제1 안착부(111)간의 Y축 방향으로의 간격, 제2 안착부(131)의 Y축 방향으로의 간격 및 n 개의 기체 작용부(12) 간의 Y축 방향으로의 간격(이를 테면, 제1 기체 작용부(12a)와 제2 기체 작용부(12b) 사이의 Y축 방향으로의 간격)은 서로 동일할 수 있다. 또한, 제1 안착부(111) 간의 X축 방향으로의 간격, 제2 안착부(131) 간의 X축 방향으로의 간격 및 기체 작용부(12) 간의 X축 방향으로의 간격(제1 기체 작용부(12a)와 제2 기체 작용부(12b) 사이의 X축 방향으로의 간격)은 서로 동일할 수 있다.
또한, n 개의 기체 작용부(12)는 제1 패드 캐리어(11)의 Y축 일측에 위치할 수 있다. 구체적으로, n 개의 기체 작용부(12) 각각은, 제1 패드 캐리어(11)(및 제2 패드 캐리어(13)의 n행 각각과 같은 Y축 선상에 위치하며, 제1 패드 캐리어(11)(및 제2 패드 캐리어(13)의 n행 각각의 Y축 일측에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제1 기체 작용부(12a)는 제1 패드 캐리어(11)의 제1 행(111a)(및 제2 패드 캐리어(13)의 제1 행(131a))과 같은 Y축 선상에 위치하며 제1 행(11a)의 Y축 일측에 위치할 수 있다. 또한, 제2 기체 작용부(12b)는 제2 패드 캐리어(11)의 제2 행(111b)(및 제2 패드 캐리어(13)의 제2행(131b))와 같은 Y축 선상에 위치하며 제2 행(11b)의 Y축 일측에 위치할 수 있다.
또한, 기체 작용부(12)는 제1 안착부(111) 및 제2 안착부(131)보다 Z축 일측(하측)에 위치하는 초기 위치를 가질 수 있다. 이에 따라, 제1 패드 캐리어(11) 및 제2 패드 캐리어(13) 각각은 Y축 방향으로 이동되어 각각의 제1 안착부(111) 및 제2 안착부(131)가 기체 작용부(12)의 상측으로 위치하게 할 수 있다.
또한, 도 2 및 도 9를 참조하면, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b)는 Y축으로 이웃할 수 있다. 도 9를 참조하면, 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각에 있어서, m 개의 픽커(21)는 X축 방향으로 배치될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b)는 각각의 m 개의 픽커가 n 개의 기체 작용부(12a, 12b) 각각과 Z축 타측(상측)에 위치하도록 위치하고, X축으로 이동 가능하다.
다시 말해, 제1 픽커 구조체(2a) 및 제2 픽커 구조체(2a, 2b)는 Y축으로 이웃할 수 있고, 제1 픽커 구조체(2a)의 8 개의 픽커(21a1 내지 21a8)는 X축으로 서로 이웃하게 배열될 수 있으며, 제2 픽커 구조체(2b)의 8 개의 픽커(21b1 내지 21b8)는 X축으로 서로 이웃하게 배열될 수 있다. 또한, 제1 기체 작용부(12a)는 제1 픽커 구조체(2a)의 8 개의 픽커(21a1 내지 21a8)와 같은 X축 선상에 위치할 수 있고, 제2 기체 작용부(12b)는 제2 픽커 구조체(2b)의 8 개의 픽커(21b1 내지 21b8)와 같은 X축 선상에 위치할 수 있다.
예를 들어, 픽커 구조체(2a, 2b) 중 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)의 패드(22)가 제1 패드 캐리어(11)의 제1행의 제1열의 제1 안착부(111a1)에 탈거되고, 다음 픽커 구조체(제2 픽커 구조체(2b))의 첫번째 픽커(21b1)의 패드(22) 및 제1 픽커 구조체(2a)의 다음 픽커(21a2)의 패드(22) 각각이 다음 행(제2 행)의 제1열의 제1 안착부(111b1) 및 제1행의 다음열(제2 열)의 제1 안착부(111a2)에 탈거되는 순서로, 상기 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대하여 패드 탈거가 이루어질 수 있다.
보다 구체적으로, 제1 패드 캐리어(11)는 제1 행의 제1열의 제1 안착부(111a1)이 제1 기체 작용부(12a) 상에 위치하도록 Y축 일측으로 이동될 수 있고, 제1 안착부(111a1)과 연결된 제1 통공부(112)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하면, 제1 기체 작용부(12a)는 그의 통로(121)와 제1 통공부(112)가 연통되게 Z축 타측으로 이동될 수 있고, 제1 기체 작용부(12a)의 Z축 타측으로의 이동 전, 후 또는 동시에 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)는 X축 이동하여 제1 안착부(111a1)와 제1 기체 작용부(12a)의 동일한 Z축 선상에 위치하고 Z축 일측으로 하강하여 그에 장착된 패드(22)를 제1 안착부(111a1)에 안착시킬 수 있다. 이와 같은, 첫번째 픽커(21a1)의 구동과 제1 기체 작용부(12a)의 구동의 선후 관계는 본원에 한정되지 않으며, 하나가 다른 하나보다 먼저 수행되거나, 또는 동시에 수행될 수 있다. 이후, 통로(121)에 진공압이 형성되며 제1 안착부(111a1) 내에 제1 안착부(111)측으로의 흡착력이 작용될 수 있으며, 패드(22)는 제1 안착부(111a1) 측으로 흡착될 수 있고 이 때, 픽커(21a1)는 Z축 방향 타측으로 이동될 수 있고, 이에 따라, 패드(22)에는 Z축 방향 일측으로의 흡착력과 Z축 방향 타측으로 이동하는 픽커(21a1)와의 결합력이 작용될 수 있다. 이때, 기체 작용부(12)에 의한 흡착력이 패드(22)와 픽커(21a1)의 결합력보다 크므로, 패드(22)는 픽커(21)로부터 탈거될 수 있다.
이와 같이, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫 번째 픽커(21a1)로부터의 패드(22)의 탈거가 이루어진 후, 제1 기체 작용부(12a)는 Z축 일측으로 이동되어 초기 위치로 돌아갈 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)와 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)에 대한 패드(22)의 탈거가 이루어질 수 있다.
구체적으로, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)로부터의 패드(22)의 탈거가 이루어진 후, 제1 기체 작용부(12a)는 Z축 일측으로 이동되어 초기 위치로 돌아갈 수 있고, 제1 패드 캐리어(11a)는 복수의 제1안착부 간의 간격만큼 Y축 일측으로 이동할 수 있는데, 제1행의 제2 열의 제1 안착부(111a2)과 연결된 제1 통공부(112)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하고, 제2행의 제1 열의 제1 안착부(111b1)과 연결된 제1 통공부(112)가 제2 기체 작용부(12b)의 통로(121) 상에 위치하도록, 제1 패드 캐리어(11a)는 이동할 수 있고, 제1 패드 캐리어(11a)의 상기 이동이 완료되면, 제1 기체 작용부(12a)는 그의 통로(121)와 제1행의 제2 열의 제1 안착부(111a2)의 제1 통공부(112)가 연통되게 Z축 타측으로 이동되고, 제2 기체 작용부(12b)는 그의 통로(121)와 제2행 제1 열 제1 안착부(111b1)의 제1 통공부(112)가 연통되게 Z축 타측으로 이동될 수 있으며, 제1 기체 작용부(12a) 및 제2 기체 작용부(12b)의 Z축 타측으로의 이동 전, 후, 또는 동시에 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)가 그에 장착된 패드(22)를 제1행 제2열의 제1 안착부(111a2)에 안착시키고, 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)가 그에 장착된 패드(22)를 제2 행 제1 열의 제1 안착부(111b1)에 안착시킬 수 있다. 이후, 제1 및 제2 기체 작용부(12a, 12b) 각각의 통로(121)에 진공압이 형성되며 제1행 제2열의 제1 안착부(111a2) 및 제2행 제1열의 제1 안착부(111b1) 내에 제1 안착부(111a2. 111b1)측으로의 흡착력이 작용될 수 있으며, 패드(22)는 제1 안착부(111a2. 111b1)측으로 흡착될 수 있고 이 때, 픽커들(21a2, 21b1)은 Z축 방향 타측으로 이동될 수 있고, 이에 따라, 패드(22)에는 Z축 방향 일측으로의 흡착력과 Z축 방향 타측으로 이동하는 픽커(21a2, 21b1)와의 결합력이 작용될 수 있다. 이때, 기체 작용부(12)에 의한 흡착력이 패드(22)와 픽커(21a2, 21b1) 각각과의 결합력보다 크므로, 패드(22)는 픽커들(21a2, 21b1) 각각으로부터 탈거될 수 있다.
이러한 과정에 따라, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 세번째 픽커(21a3)와 제2 픽커 구조체(2b)의 두번째 픽커(21b2) 각각의 패드(22)가 제1행 제3열의 제1 안착부(111a3) 및 제2행 제2 열의 제1 안착부(111b2) 각각에 탈거될 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 네번째 픽커(21a4)와 제2 픽커 구조체(2b)의 세번째 픽커(21b3) 각각의 패드(22)가 제1행 제4열의 제1 안착부(111a4) 및 제2행 제3 열의 제1 안착부(111b3) 각각에 탈거될 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 다섯번째 픽커(21a5)와 제2 픽커 구조체(2b)의 네번째 픽커(21b4) 각각의 패드(22)가 제1행 제5열의 제1 안착부(111a5) 및 제2행 제4 열의 제1 안착부(111b4) 각각에 탈거될 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여섯번째 픽커(21a6)와 제2 픽커 구조체(2b)의 다섯번째 픽커(21b5) 각각의 패드(22)가 제1행 제6열의 제1 안착부(111a6) 및 제2행 제5 열의 제1 안착부(111b5) 각각에 탈거될 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 일곱번째 픽커(21a7)와 제2 픽커 구조체(2b)의 여섯번째 픽커(21b6) 각각의 패드(22)가 제1행 제7 열의 제1 안착부(111a7) 및 제2행 제6 열의 제1 안착부(111b6) 각각에 탈거될 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여덟번째 픽커(21a8)와 제2 픽커 구조체(2b)의 일곱번째 픽커(21b7) 각각의 패드(22)가 제1행 제8열의 제1 안착부(111a8) 및 제2행 제7 열의 제1 안착부(111b7) 각각에 탈거될 수 있고, 이후, 제2 픽커 구조체(2b)의 여덟번째 픽커(21b8)가 제2행 8열의 제1 안착부(111b8)에 탈거될 수 있다.
상술한 바와 같이, 제1 픽커 구조체(2a) 및 제2 픽커 구조체(2b)의 픽커(21)에 대한 패드(22)의 탈거가 이루어지면, 제1 픽커 구조체(2a) 및 제2 픽커 구조체(2b)의 픽커(21)에 대한 새 패드(22') 장착이 이루어질 수 있다.
구체적으로, 제2 패드 캐리어(13)는 제1 행의 제1열의 제2 안착부(131a1)가 제1 기체 작용부(12a)의 Z축 타측에 위치하도록 Y축 일측으로 이동될 수 있고, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)는 X축 일측으로 이동하여 제1행 제1열의 제2 안착부(131a1) 및 제1 기체 작용부(12a)와 동일한 Z축 선상에 위치할 수 있고 이후, Z축 일측으로 하강 이동하여 제1행 제1열의 제2 안착부(131a1)에 안착된 새 패드(22')에 접촉될 수 있으며, 상술한 바와 같은, 자력에 의해 새 패드(22')가 픽커(21a1)에 장착될 수 있다.
이와 같이, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어진 후, 제2 패드 캐리어(13)는 제1행의 제2 열의 제2 안착부(131a2)가 제1 기체 작용부(12a)의 Z축 타측에 위치하고, 제2행의 제1 열의 제2 안착부(131b1)가 제2 기체 작용부(12b)의 Z축 타측에 위치하도록, Y축 일측으로 이동되어 이동할 수 있고, 제2 패드 캐리어(13b)의 상기 이동이 완료되면, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)는 X축으로 이동하여 제1행 제2열의 제2 안착부(131a2)의 Z축 타측에 위치한 후 Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')를 장착하고, 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)는 X축으로 이동하여 제2 행 제1 열의 제2 안착부(131b1)의 Z축 타측에 위치한 후 Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')를 장착할 수 있다. 이때, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)의 구동과 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)의 구동의 순서는 하나가 먼저 수행되거나, 또는 동시에 수행되는 등 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 본원에 한정되지 않는다.
이러한 과정에 따라, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 세번째 픽커(21a3)와 제2 픽커 구조체(2b)의 두번째 픽커(21b2) 각각이 제1행 제3열의 제2 안착부(131a3) 및 제2행 제2 열의 제2 안착부(131b2) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 네번째 픽커(21a4)와 제2 픽커 구조체(2b)의 세번째 픽커(21b3) 각각이 제1행 제4열의 제2 안착부(131a4) 및 제2행 제3 열의 제2 안착부(131b3) 각각에 장착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 다섯번째 픽커(21a5)와 제2 픽커 구조체(2b)의 네번째 픽커(21b4) 각각이 제1행 제5열의 제2 안착부(131a5) 및 제2행 제4 열의 제2 안착부(131b4) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여섯번째 픽커(21a6)와 제2 픽커 구조체(2b)의 다섯번째 픽커(21b5) 각각의 패드(22)가 제1행 제6열의 제2 안착부(131a6) 및 제2행 제5 열의 제2 안착부(131b5) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 일곱번째 픽커(21a7)와 제2 픽커 구조체(2b)의 여섯번째 픽커(21b6) 각각이 제1행 제7 열의 제2 안착부(131a7) 및 제2행 제6 열의 제2 안착부(131b6) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여덟번째 픽커(21a8)와 제2 픽커 구조체(2b)의 일곱번째 픽커(21b7) 각각이 제1행 제8열의 제2 안착부(131a8) 및 제2행 제7 열의 제2 안착부(131b7) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제2 픽커 구조체(2b)의 여덟번째 픽커(21b8)가 제2행 8열의 제2 안착부(131b8)에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있다.
또한, 픽커(21)에 대한 새 패드(22') 장착 시 블로우압이 작용될 수 있다.
구체적으로, 제2 패드 캐리어(13)는 제1 행의 제1열의 제2 안착부(131a1)이 제1 기체 작용부(12a) 상에 위치하도록 Y축 일측으로 이동될 수 있고, 제2 안착부(131a1)와 연결된 제2 통공부(132)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하면, 제1 기체 작용부(12a)는 그의 통로(121)와 제2 통공부(132)가 연통되게 Z축 타측으로 이동될 수 있고, 제1 기체 작용부의 Z축 타측으로의 이동 전, 후 또는 동시에 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)가 X축 일측으로 이동하고 Z축 일측으로 하강하여 제1행 제1열의 제2 안착부(131a1)에 안착된 새 패드(22')에 접촉될 수 있으며, 상술한 바와 같은, 자력에 의해 새 패드(22')가 픽커(21a1)에 장착될 수 있으며, 첫번째 픽커(21a1)의 새 패드(22')에 대한 접촉시, 통로(121)에 블로우압이 형성되며 제2 안착부(131a1)로부터 픽커(21a1)측으로 블로우압이 작용될 수 있으며, 이러한 경우, 새 패드(22')의 장착이 보다 용이하게 이루어질 수 있다
이와 같이, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어진 후, 제1 기체 작용부(12a)는 Z축 일측으로 이동되어 초기 위치로 돌아갈 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)와 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어질 수 있다.
구체적으로, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어진 후, 제1 기체 작용부(12a)는 Z축 일측으로 이동되어 초기 위치로 돌아갈 수 있고, 제2 패드 캐리어(13a)는 Y축 일측으로 이동할 수 있는데, 제1행의 제2 열의 제2 안착부(131a2)와 연결된 제2 통공부(132)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하고, 제2행의 제1 열의 제2 안착부(131b1)과 연결된 제1 통공부(112)가 제2 기체 작용부(12b)의 통로(121) 상에 위치하도록, 제2 패드 캐리어(13b)는 이동할 수 있고, 제2 패드 캐리어(13b)의 상기 이동이 완료되면, 제1 기체 작용부(12a)는 그의 통로(121)와 제1행의 제2 열의 제2 안착부(131a1)의 제2 통공부(132)가 연통되게 Z축 타측으로 이동되고, 제2 기체 작용부(12b)는 그의 통로(121)와 제2행 제1 열 제2 안착부(131b1)의 제2 통공부(132)가 연통되게 Z축 타측으로 이동될 수 있으며, 제1 기체 작용부(12a) 및 제2 기체 작용부(12b)의 Z축 타측으로의 이동 전, 후, 또는 동시에 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)는 X축 일측으로 이동하고 Z축 일측으로 하강하여 제1행 제2열의 제2 안착부(111a2)에 안착된 새 패드(22')에 접촉되고, 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)는 X축 일측으로 이동하고 Z축 일측으로 하강하여 제2 행 제1 열의 제2 안착부(131b1)에 안착된 새 패드(22')에 접촉되며, 이때, 상술한 바와 같이, 제1 및 제2 기체 작용부(12a, 12b) 각각의 통로(121)에 블로우압이 형성되며 제1행 제2열의 제2 안착부(131a2) 및 제2행 제1열의 제2 안착부(131b1)에 픽커(21a2, 21b1)측으로의 블로우압이 작용되어 새 패드(22')의 장착이 용이할 수 있다.
이러한 과정에 따라, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 세번째 픽커(21a3)와 제2 픽커 구조체(2b)의 두번째 픽커(21b2) 각각이 제1행 제3열의 제2 안착부(131a3) 및 제2행 제2 열의 제2 안착부(131b2) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 네번째 픽커(21a4)와 제2 픽커 구조체(2b)의 세번째 픽커(21b3) 각각이 제1행 제4열의 제2 안착부(131a4) 및 제2행 제3 열의 제2 안착부(131b3) 각각에 장착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 다섯번째 픽커(21a5)와 제2 픽커 구조체(2b)의 네번째 픽커(21b4) 각각이 제1행 제5열의 제2 안착부(131a5) 및 제2행 제4 열의 제2 안착부(131b4) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여섯번째 픽커(21a6)와 제2 픽커 구조체(2b)의 다섯번째 픽커(21b5) 각각의 패드(22)가 제1행 제6열의 제2 안착부(131a6) 및 제2행 제5 열의 제2 안착부(131b5) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 일곱번째 픽커(21a7)와 제2 픽커 구조체(2b)의 여섯번째 픽커(21b6) 각각이 제1행 제7 열의 제2 안착부(131a7) 및 제2행 제6 열의 제2 안착부(131b6) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여덟번째 픽커(21a8)와 제2 픽커 구조체(2b)의 일곱번째 픽커(21b7) 각각이 제1행 제8열의 제2 안착부(131a8) 및 제2행 제7 열의 제2 안착부(131b7) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제2 픽커 구조체(2b)의 여덟번째 픽커(21b8)가 제2행 8열의 제2 안착부(131b8)에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있다.
또한, 도 3을 참조하면, 본 장치(1)는 패키지 싱귤레이션 시스템 등과 같은 패키지 제조 장치에 적용될 수 있는데, 예를 들어, 패키지 제조 장치는 반도체 패키지가 적재되는 트레이가 준비되는 트레이부를 포함할 수 있다. 제1 패드 캐리어(11) 및 제2 패드 캐리어(13)는 이러한 트레이부(9)에 구비될 수 있다. 이에 따라, 제1 패드 캐리어(11) 및 제2 패드 캐리어(13)의 이동은 트레이부 (9)의 레일(91)을 따른 Y축 이동에 의해 이루어질 수 있다.
이하에서는, 본원의 일 실시예에 따른 패드 자동 교체 방법(이하 '본 방법'이라 함)에 대해 설명한다. 다만, 본 방법은 상술한 본원의 일 실시예에 따른 자동 패드 교체 장치(1)에 의해 수행되는 것으로서, 본원의 일 실시예에 따른 자동 패드 교체 장치(1)와 동일하거나 상응하는 기술적 특징 및 구성을 공유한다. 따라서, 본원의 일 실시예에 따른 자동 패드 교체 장치(1)에서 설명한 내용과 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하며, 동일 내지 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.
본 방법은 픽커 구조체(2)의 픽커(21)에 결합된 패드(22)를 교체하는 자동 패드 교체 방법에 관한 것이다.
본 방법은 픽커(21)로부터 패드(22)를 탈거하는 단계(제1 단계)를 포함한다.
제1 단계는 제1 안착부(111) 및 제1 안착부(111)로부터 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부(112)가 형성되는 제1 패드 캐리어(11)가 제1 통공부(112)의 하측에 기체 작용부(12)가 위치하도록 이동하는 단계(제1-1 단계)를 포함한다.
또한, 제1 단계는 픽커(21)가 하강하여 그에 결합된 패드(22)를 제1 안착부(111)에 접촉시키고, 기체 작용부(12)가 Z축 타측으로 이동하여 제1 통공부(111)에 접근하는 단계(제1-2 단계)를 포함한다.
또한, 제1 단계는 기체 작용부(12)가 제1 통공부(112)를 통해 진공압을 작용하여 제1 안착부(111) 내에 안착된 패드(22)를 제1 안착부(111) 측으로 흡착하고, 픽커(21)가 Z축 타측으로 이동하는 단계(제1-3 단계)를 포함한다.
또한, 제1 안착부(111)는 n행 m열로 형성될 수 있다. 또한, 도 9를 참조하면, 기체 작용부(12)는 n 개로 구비될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 픽커 구조체(2)는 n 개로 구비될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2) 각각의 픽커(21)는 m개로 구비될 수 있다. 제1 단계는, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대하여 제1-1 단계 내지 제1-3 단계를 수행할 수 있다.
구체적으로, 제1 안착부(111)간의 Y축 방향 간격은 서로 동일하고, n 개의 기체 작용부는 Y축 방향으로 제1 안착부(111) 간의 Y축 방향 간격과 동일한 간격을 두고 배치될 수 있다. 다시 말해, 제1 안착부(111)간의 Y축 방향으로의 간격, 제2 안착부(131)의 Y축 방향으로의 간격 및 n 개의 기체 작용부(12) 간의 Y축 방향으로의 간격(제1 기체 작용부(12a)와 제2 기체 작용부(12b) 사이의 Y축 방향으로의 간격)은 서로 동일할 수 있다.
또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b)는 Y축으로 이웃할 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각에 있어서, m 개의 픽커(21)는 X축 방향으로 배치될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b)는 각각의 m 개의 픽커가 n 개의 기체 작용부(12a, 12b) 각각과 Z축 타측에 위치하도록 위치하고, X축으로 이동 가능하다.
이에 따라, 제1 단계는, 픽커 구조체(2a, 2b) 중 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)의 패드(22)가 제1 패드 캐리어(11)의 제1행의 제1열의 제1 안착부(111a1)에 탈거되고, 다음 픽커 구조체(제2 픽커 구조체(2b))의 첫번째 픽커(21b1)의 패드(22) 및 제1 픽커 구조체(2a)의 다음 픽커(21a2)의 패드(22) 각각이 다음 행(제2 행)의 제1열의 제1 안착부(111b1) 및 제1행의 다음열(제2 열)의 제1 안착부(111a2)에 탈거되는 순서로, 상기 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대하여 제1-1 단계 내지 제1-3 단계를 수행할 수 있다. 이에 대한 구체적 설명은 앞서 본 장치에서 살펴보았으므로, 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 방법은 픽커(21)에 새 패드(22')를 공급하는 단계(제2 단계)를 포함한다.
제2 단계는 픽커(21)의 하단부가 새 패드(22')에 접촉 가능하도록 새 패드(22')가 안착되는 제2 안착부(131)가 형성되는 제2 패드 캐리어(13)의 상측으로 픽커(21)가 이동하는 단계(제2-1 단계) 및 픽커(21)가 하강하여 새 패드(22')에 접촉하는 단계(제2-2 단계)를 포함할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이, 제2 안착부(111)는 n행 m열로 형성될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 픽커 구조체(2)는 n 개로 구비될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2) 각각의 픽커(21)는 m개로 구비될 수 있다. 제2 단계는, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대하여 제2-1 단계 내지 제2-2 단계를 수행할 수 있다.
구체적으로, 제2 안착부(131)간의 Y축 방향 간격은 서로 동일하고, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b)는 Y축으로 이웃할 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각에 있어서, m 개의 픽커(21)는 X축 방향으로 배치될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각은 X축으로 이동 가능하다.
픽커 구조체(2a, 2b) 중 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)가 X 축 이동하여 제2 패드 캐리어(11)의 제1행의 제1열의 제2 안착부(131a1)에 준비된 새 패드(22')의 Z축 타측에 위치한 후, Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')에 접촉하고, 다음 픽커 구조체(제2 픽커 구조체(2b))의 첫번째 픽커(21b1) 및 제1 픽커 구조체(2a)의 다음 픽커(21a2) 각각이 X축 이동하여 다음 행(제2 행)의 제1열의 제2 안착부(131b1) 및 제1행의 다음열(제2 열)의 제2 안착부(131a2) 각각에 안착된 새 패드(22') 각각의 Z축 타측에 위치하고, 그후 Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')에 접촉하는 순서로, 상기 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대하여 새 패드(22') 접촉이 이루어질 수 있다. 픽커(21)와 새 패드(22')의 접촉이 이루어지면, 자력에 의해 새 패드(22')는 픽커(21)에 장착될 수 있다. 이에 대한 구체적 설명은 앞서 본 장치에서 살펴보았으므로, 상세한 설명은 생략한다.
한편, 상술한 바와 같은 제2 단계에 있어서, 제2-1 단계의 수행 전에, 제2 안착부(131)가 그의 하측에 기체 작용부(12)가 위치하도록 이동하는 단계(제2-3 단계)가 수행될 수 있다. 이에 따라, 제2 단계는 이하와 같이 수행될 수 있다.
제2 패드 캐리어(13)는 제1 행의 제1열의 제2 안착부(131a1)가 제1 기체 작용부(12a) 상에 위치하도록 Y축 일측으로 이동될 수 있고, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)가 X축으로 이동하여 제1행 제1열의 제2 안착부(131a1)의 Z축 타측에 위치한 후 Z축 일측으로 이동되어 새 패드(22')에 접촉될 수 있으며, 상술한 바와 같은, 자력에 의해 새 패드(22')가 픽커(21a1)에 장착될 수 있다.
이와 같이, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어진 후, 제2 패드 캐리어(13a)는 제1행의 제2 열의 제2 안착부(131a2)와 연결된 제2 통공부(132)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하고, 제2행의 제1 열의 제2 안착부(131b1)과 연결된 제1 통공부(112)가 제2 기체 작용부(12b)의 통로(121) 상에 위치하도록, Y축 일측으로 이동할 수 있고, 제2 패드 캐리어(13b)의 상기 이동이 완료되면, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)는 X축으로 이동하여 제1행 제2열의 제2 안착부(111a2)의 Z축 타측에 위치하고 Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')를 장착하고, 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)는 X축으로 이동하여 제2 행 제1 열의 제2 안착부(131b1)의 Z축 타측에 위치할 수 있고, Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')를 장착할 수 있다. 이후, 이러한 방법에 의해 나머지 픽커들에 대해서도 새 패드(22')의 장착이 수행될 수 있다. 이에 대한 구체적 설명은 앞서 본 장치에서 살펴보았으므로, 상세한 설명은 생략한다.
또한, 다른 구현예로서, 제 2단계는 제2 패드 캐리어(13)가 제2 통공부(132)의 하측에 기체 작용부(12)가 위치하도록 이동하는 단계(제2-1 단계), 픽커(21)가 새 패드(22')에 접촉되고 기체 작용부(12)가 Z축 타측으로 이동하여 제2 통공부(131)에 접근하는 단계(제2-2 단계) 및 기체 작용부(12)가 제2 통공부(131)를 통해 블로우압을 작용하여 제2 안착부(131) 내에 안착된 새 패드(22')에 픽커(21)로의 외력을 작용하는 단계를 포함할 수 있다.
구체적으로, 제2 패드 캐리어(13)는 제1 행의 제1열의 제2 안착부(131a1)이 제1 기체 작용부(12a) 상에 위치하도록 Y축 일측으로 이동될 수 있고, 제2 안착부(131a1)와 연결된 제2 통공부(132)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하면, 제1 기체 작용부(12a)는 그의 통로(121)와 제2 통공부(132)가 연통되게 Z축 타측으로 이동될 수 있고, 제1 기체 작용부의 Z축 타측으로의 이동 전, 후 또는 동시에 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)가 X축 일측으로의 이동 및 Z축 일측으로의 이동을 통해 제1행 제1열의 제2 안착부(131a1)에 안착된 새 패드(22')에 접촉될 수 있으며, 상술한 바와 같은, 자력에 의해 새 패드(22')가 픽커(21a1)에 장착될 수 있다. 이때, 통로(121)에 블로우압이 형성되며 제2 안착부(131a1)로부터 픽커(21a1)측으로 블로우압이 작용될 수 있으며, 이러한 경우, 새 패드(22')의 장착이 보다 용이하게 이루어질 수 있다.
이와 같이, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어진 후, 제1 기체 작용부(12a)는 Z축 일측으로 이동되어 초기 위치로 돌아갈 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)와 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1) 각각은 X축 일측으로의 이동 및 Z축 일측으로의 이동을 통해 제1행 제2 열의 제2 안착부(131a2) 및 제2 행 제1 열의 제2 안착부(131b1) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이러한 새 패드(22')의 장착시 블로우압이 작용될 수 있다. 으며, 이후, 나머지 픽커들에 대해서도 새 패드(22')의 장착이 수행될 수 있고, 이때, 블로우압이 작용될 수 있다. 이에 대한 구체적 설명은 앞서 본 장치에서 살펴보았으므로, 상세한 설명은 생략한다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (7)

  1. 픽커 구조체의 픽커에 결합된 패드를 교체하는 자동 패드 교체 장치로서,
    상기 픽커의 하단부에 탈착 가능하게 결합된 패드가 안착되는 제1 안착부 및 상기 제1 안착부와 연통되며 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부가 형성되는 제1 패드 캐리어; 및
    상기 제1 통공부를 통해 진공압을 작용하여 상기 제1 안착부 내에 안착된 패드를 상기 제1 안착부측으로 흡착하는 기체 작용부,
    를 포함하는, 자동 패드 교체 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 픽커의 하단부에 접촉 가능하도록 새 패드가 안착되는 제2 안착부이 형성되는 제2 패드 캐리어를 더 포함하고,
    상기 제2 패드 캐리어는 상기 제1 패드 캐리어와 이웃하게 배치되는 것인, 자동 패드 교체 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부 각각은 n행 m열로 형성되고,
    상기 기체 작용부는 상기 n개로 구비되며,
    상기 픽커 구조체는 상기 n개로 구비되고,
    상기 n개의 픽커 구조체 각각의 픽커는 상기 m개로 구비되는 것인, 자동 패드 교체 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 n 개의 기체 작용부 각각은 상기 n 개의 픽커 구조체 각각과 일대일 대응하고,
    상기 n 개의 기체 작용부 각각은 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부 각각의 n개 행 각각과 일대일 대응하는 것인, 자동 패드 교체 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 패드 캐리어 및 상기 제2 패드 캐리어는, Y축 방향으로 이웃하고,
    상기 기체 작용부는 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부 보다 Z축 일측에 위치하는 초기 위치를 가지고,
    상기 제1 패드 캐리어 및 상기 제2 패드 캐리어는, 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부의 상기 n행 각각의 열이 상기 n행 각각과 대응되는 상기 기체 작용부의 상측으로 위치 가능하도록 Y축 방향으로 이동 가능한 것인, 자동 패드 교체 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 n 개의 상기 픽커 구조체는 Y축으로 이웃하고,
    상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각은, 상기 m개의 상기 픽커가 X축 방향으로 배치되며, 각각의 상기 m개의 픽커가 상기 n개의 기체 작용부 각각과 Z축 타측에 위치하도록 위치하고, X축으로 이동 가능한 것인, 자동 패드 교체 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 캐리어는,
    상기 제1 안착부의 바닥면 중 상기 패드의 패드 진공 통로와 대응하는 부분으로부터 Z축 타측으로 돌출되는 돌출부;
    상기 안착부의 바닥면으로부터 Z축 일측으로 통공되는 타측 연결 통로;
    상기 타측 연결 통로와 상기 제1 통공부를 연통시키는 일측 연결 통로를 더 포함하는,
    자동 패드 교체 장치.
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