KR101340831B1 - 콜릿 교체 장치 - Google Patents

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정연혁
최현옥
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Abstract

다이 본딩 공정에서 다이를 픽업하여 이송하기 위한 픽업 헤드에 자기력을 이용하여 결합되며 상기 픽업 헤드에 구비된 공압 배관을 통하여 제공되는 진공을 이용하여 상기 다이를 흡착하기 위한 콜릿을 교체하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 복수의 콜릿들이 각각 배치되는 영역들과 상기 픽업 헤드와 상기 콜릿이 수직 방향으로 통과되는 개구가 구비된 패널과, 상기 영역들에 각각 구비되고 상기 복수의 콜릿들을 파지하기 위한 복수의 수납용 영구자석들과, 상기 개구 내에서 상기 픽업 헤드의 수직 방향 이동 경로의 양측에 구비되고, 상기 픽업 헤드의 상방 이동을 허용하되 상기 콜릿의 상방 이동을 제한하여 상기 픽업 헤드가 상방으로 이동되는 동안 상기 콜릿을 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 걸림 부재들을 포함할 수 있다.

Description

콜릿 교체 장치{Apparatus for exchanging a collet}
본 발명의 실시예들은 콜릿 교체 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 다이 본딩 공정에서 다이를 픽업하여 이송하기 위한 콜릿의 교체를 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 다이 본딩 공정에서는 소잉 공정을 통해 개별화된 다이들을 기판에 본딩하기 위하여 웨이퍼로부터 상기 다이들을 픽업하여 이송하는 픽업 유닛이 사용될 수 있다. 상기 픽업 유닛은 상기 진공을 이용하여 상기 다이를 픽업하기 위한 콜릿과 상기 콜릿이 결합되는 픽업 헤드 및 상기 픽업 헤드를 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.
일 예로서, 상기 픽업 헤드와 상기 콜릿은 자기력을 이용하여 서로 결합될 수 있다. 또한, 상기 픽업 헤드에는 진공을 제공하기 위한 공압 배관이 구비될 수 있으며, 상기 콜릿에는 상기 공압 배관과 연결되어 상기 다이를 픽업하기 위한 복수의 흡착홀들이 구비될 수 있다.
한편, 상기 콜릿은 다이와 직접 접촉되는 관계로 유연한 물질, 예를 들면, 합성 고무 등과 같은 물질로 이루어질 수 있으며, 일정 기간 사용 후 마모 등의 이유로 교체가 요구될 수 있다. 상기 콜릿의 교체는 작업자에 의해 수동으로 이루어질 수 있다. 그러나, 작업자에 의한 수동 교체 방법에는 상당한 시간이 소요될 수 있으며, 새로운 콜릿이 상기 픽업 헤드에 정확히 부착되지 않는 경우 다이 본딩 공정에서 불량 발생율이 증가될 수 있다. 따라서, 상기 콜릿의 자동 교체를 위한 방법 및 장치에 대한 요구가 지속적으로 제기되고 있다.
본 발명의 실시예들은 다이 본딩 공정에서 사용되는 콜릿의 자동 교체를 수행할 수 있는 콜릿 교체 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 다이 본딩 공정에서 다이를 픽업하여 이송하기 위한 픽업 헤드에 자기력을 이용하여 결합되며 상기 픽업 헤드에 구비된 공압 배관을 통하여 제공되는 진공을 이용하여 상기 다이를 흡착하기 위한 콜릿을 교체하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는 복수의 콜릿들이 각각 배치되는 영역들과 상기 픽업 헤드와 상기 콜릿이 수직 방향으로 통과되는 개구가 구비된 패널과, 상기 영역들에 각각 구비되고 상기 복수의 콜릿들을 파지하기 위한 복수의 수납용 영구자석들과, 상기 개구 내에서 상기 픽업 헤드의 수직 방향 이동 경로의 양측에 구비되고, 상기 픽업 헤드의 상방 이동을 허용하되 상기 콜릿의 상방 이동을 제한하여 상기 픽업 헤드가 상방으로 이동되는 동안 상기 콜릿을 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 걸림 부재들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 영역들에는 상기 복수의 콜릿들이 각각 수납되는 콜릿 수납홈들이 구비되며, 상기 영구자석들은 상기 콜릿 수납홈들의 저면에 각각 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 픽업 헤드에는 상기 콜릿을 파지하기 위한 헤드용 영구자석이 구비되며, 상기 헤드용 영구자석은 상기 수납용 영구자석보다 큰 자기력을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 개구 또는 상기 영역들이 상기 픽업 헤드의 아래에 위치되도록 상기 패널을 이동시키는 구동부가 더 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 걸림 부재들은 상기 개구의 양쪽 내측면들에 토션 스프링에 의해 하방으로 회전이 가능하도록 장착되어 상기 콜릿이 상기 개구를 통해 하방으로 이동된 후 상방으로 이동이 제한되도록 할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 픽업 헤드에는 상기 걸림 부재들이 통과되는 리세스들이 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 상에는 상기 다이를 지지하기 위한 척이 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널의 개구 하부에는 상기 픽업 헤드로부터 제거된 콜릿을 회수하기 위한 용기가 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 픽업 헤드가 상기 개구를 통하여 상방으로 이동되는 동안 상기 공압 배관을 통하여 상기 콜릿의 상부면으로 에어를 분사하여 상기 픽업 헤드로부터 상기 콜릿의 분리를 보조할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 콜릿의 교체를 위하여 복수의 콜릿들이 수납되는 콜릿 수납홈들이 구비된 패널이 사용될 수 있으며, 특히 상기 콜릿 수납홈들의 저면에 수납용 영구자석들을 배치함으로써 상기 복수의 콜릿들이 안정적으로 상기 수납홈들 내에서 유지될 수 있다. 특히, 상기 패널에 웨이퍼로부터 분리된 다이를 지지하는 척을 배치하고 상기 패널을 버퍼 유닛으로 사용하기 위하여 상기 버퍼 유닛을 이동시키는 경우에도 상기 수납용 영구자석들에 의해 상기 콜릿들의 수납 상태가 안정적으로 유지될 수 있다.
또한, 픽업 헤드로부터 콜릿을 제거하기 위하여 상기 패널에 개구를 마련하고, 상기 개구를 통해 상기 픽업 헤드를 상방으로 이동시키는 동안 상기 콜릿의 상방 이동을 차단함으로써 상기 콜릿을 상기 픽업 헤드로부터 제거하기 위하여 상기 개구의 양쪽 내측면들에 걸림 부재들을 설치하고, 또한 상기 걸림 부재들에 의해 상기 픽업 헤드로부터 분리된 콜릿의 완전한 제거를 위하여 상기 콜릿으로 에어를 분사할 수 있다.
결과적으로, 상기 콜릿의 분리가 완전하게 수행될 수 있으므로 상기 콜릿의 자동 교체가 안정적으로 수행될 수 있다. 또한, 상기 패널을 상기 버퍼 유닛으로 사용할 수 있으므로 상기 콜릿 자동 교체 장치에 요구되는 공간을 충분히 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 교체 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 패널을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 픽업 헤드와 콜릿을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 픽업 헤드를 설명하기 위한 저면도이다.
도 5 내지 도 7은 도 2에 도시된 걸림 부재들을 이용하여 콜릿을 제거하는 방법을 설명하기 위한 개략적이 단면도들이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 헤드 교체 장치 및 이를 포함하는 다이 본딩 시스템에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 교체 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 패널을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 도 3은 픽업 헤드와 콜릿을 설명하기 위한 개략적인 단면도이며, 도 4는 도 3에 도시된 픽업 헤드를 설명하기 위한 저면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 교체 장치(100)는 다이 본딩 공정에서 마모 등에 의해 교체가 요구되는 콜릿(20)의 자동 교체를 위하여 사용될 수 있다.
구체적으로, 상기 다이 본딩 공정에서 픽업 유닛(10)은 다이싱 공정을 통해 개별화된 후 다이싱 테이프 상에 부착되어 제공되는 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 또한, 상기 픽업 유닛(10)은 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위하여 사용될 수 있다.
상기 픽업 유닛(10)은 픽업 헤드(30)와 상기 픽업 헤드(30)에 부착된 콜릿(20)을 포함할 수 있으며, 상기 콜릿(20)은 자기력을 이용하여 상기 픽업 헤드(30)에 장착될 수 있다. 특히, 상기 콜릿(20)에는 상기 다이를 흡착하기 위한 복수의 흡착홀들(22)이 구비될 수 있으며, 상기 픽업 헤드(30)에는 상기 흡착홀들(22)에 진공을 제공하기 위한 공압 배관(32)이 구비될 수 있다.
상기 콜릿(20)은 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 경질의 상부 패드(24)와 연질의 하부 패드(26)를 포함할 수 있다. 상기 다이를 흡착하기 위한 흡착홀들(22)은 상기 상부 패드(24)와 하부 패드(26)를 관통하여 구비될 수 있으며, 상기 픽업 헤드(30)의 공압 배관(32)과 연통될 수 있다.
일 예로서, 상기 픽업 헤드(30)는 상기 콜릿(20)이 장착될 수 있도록 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 상기 픽업 유닛(10)을 이송하기 위한 이송부(미도시)와 연결되는 구동축을 포함할 수 있다. 상기 구동축으로는 중공축이 사용될 수 있으며, 상기 공압 배관(32)으로서 기능할 수 있다. 그러나, 상기 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)의 형상은 사각에 한정되지 않으며, 경우에 따라서 원형 등 다양한 형태가 사용될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
한편, 상기 픽업 헤드(30)와 상기 콜릿(20)은 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다. 일 예로서, 상기 픽업 헤드(30)에는 상기 자기력을 제공하기 위하여 헤드용 영구자석(34)이 구비될 수 있으며, 상기 콜릿(20)의 상부 패드(24)는 자성체로 이루어질 수 있다. 또 한편으로, 상기 픽업 헤드(30)의 하부면 가장자리 부위에는 상기 콜릿(20)의 장착 위치를 안내하기 위한 가이드 부재들(36)이 배치될 수 있다.
상기 콜릿 교체 장치(100)는 상기 콜릿(20)의 교체를 위하여 복수의 콜릿들(20)이 각각 배치되는 영역들과 상기 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)이 수직 방향으로 통과되도록 형성된 개구(104)가 구비된 패널(102)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 패널(102)의 상부면에는 상기 복수의 콜릿들(20)이 각각 수납되는 콜릿 수납홈들(106)이 구비될 수 있으며, 상기 콜릿 수납홈들(106)의 저면에는 상기 복수의 콜릿들(20)을 파지하기 위한 수납용 영구자석들(108)이 구비될 수 있다.
또한, 상기 개구(104)의 내부에는 상기 콜릿(20)을 상기 픽업 헤드(30)로부터 분리하기 위한 걸림 부재들(110)이 구비될 수 있다.
도 5 내지 도 7은 도 2에 도시된 걸림 부재들을 이용하여 콜릿을 제거하는 방법을 설명하기 위한 개략적이 단면도들이다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)은 상기 콜릿(20)의 제거를 위하여 상기 이송부에 의해 상기 개구(104)를 통하여 하방으로 이동될 수 있으며, 이어서 상기 개구(104)를 통하여 상방으로 이동될 수 있다.
이때, 상기 걸림 부재들(110)은 상기 개구(104) 내에서 상기 픽업 헤드(30)의 수직 방향 이동 경로의 양측에 구비될 수 있다. 특히, 상기 걸림 부재들(110)은 상기 픽업 헤드(30)의 하방 및 상방 이동을 허용할 수 있으나, 상기 콜릿(20)에 대하여는 하방 이동을 허용하되 상방 이동은 제한할 수 있다. 결과적으로, 상기 걸림 부재들(110)은 상기 픽업 헤드(30)가 상기 개구(104)를 통하여 상방으로 이동되는 동안 상기 콜릿(20)을 상기 픽업 헤드(30)로부터 분리시킬 수 있다.
일 예로서, 상기 개구(104)의 양측 내측면들에는 스프링(미도시), 예를 들면, 코일 스프링 또는 토션 스프링에 의해 하방으로 회전이 가능하도록 상기 걸림 부재들(110)이 장착될 수 있다. 상기 걸림 부재들(110)은 상기 콜릿(20)의 하방 이동이 가능하도록 하방으로 회전될 수 있으나, 상기 콜릿(20)이 하방으로 통과된 후 상기 토션 스프링에 의해 초기 위치로 복귀하여 상기 콜릿(20)의 상방 이동을 제한할 수 있다. 상기와는 다르게, 상기 걸림 부재(110)는 스프링을 이용하여 상기 개구(104)의 내측면으로부터 진퇴 가능하게 설치될 수도 있다.
결과적으로, 상기 픽업 헤드(30)가 상기 개구(104)를 통하여 상방으로 이동되는 동안 상기 콜릿(20)은 상기 걸림 부재들(110)에 의해 걸림으로써 상기 픽업 헤드(30)로부터 분리될 수 있다. 이때, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 픽업 헤드(30)의 양쪽 측면에는 각각 리세스(38)가 구비될 수 있으며 상기 픽업 헤드(30)의 수직 방향 이동은 상기 리세스들(38)에 의해 상기 걸림 부재들(110)과의 간섭이 방지될 수 있다.
한편, 상술한 바와 같이 상기 걸림 부재들(110)에 의해 상기 콜릿(20)의 상방 이동이 차단됨으로써 상기 콜릿(20)이 상기 픽업 헤드(30)로부터 분리될 수 있으나, 경우에 따라서 상기 콜릿(20)이 상기 픽업 헤드(30)로부터 완전히 분리되지 않고 상기 픽업 헤드(30)에 매달린 상태로 상승될 수도 있다. 즉, 상기 콜릿(20)의 상부면이 상기 픽업 헤드(30)의 하부면으로부터 분리된 후 곧바로 상기 콜릿(20)의 측면이 상기 픽업 헤드(30)의 하부면에 자기력에 의해 재부착되는 경우가 발생될 수 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상기 픽업 헤드(30)가 상승하는 동안 상기 공압 배관(32)을 통하여 상기 콜릿(20)으로 에어가 분사될 수 있다. 즉 상기 공압 배관(32)으로부터 분사된 에어는 상기 콜릿(20)의 상부면에 하방으로 힘을 가하게 되며 이에 의해 상기 콜릿(20)의 분리 동작이 보조될 수 있다.
한편, 상기 개구(104)의 하부에는 상기 픽업 헤드(30)로부터 분리된 콜릿(20)을 회수하기 위한 용기(120)가 마련될 수 있다. 상기 용기(120)는 상기 패널(102)에 장착될 수도 있으며, 이와 다르게 상기 패널(102)과는 별도로 구비될 수도 있다.
상기와 같이 픽업 헤드(30)로부터 상기 콜릿(20)이 제거된 후 상기 픽업 헤드(30)는 상기 패널(102) 상에 구비된 복수의 콜릿들(20) 중 하나를 장착할 수 있다. 예를 들면, 상기 패널(102)은 상기 개구(104) 또는 상기 콜릿 수납홈들(106)이 상기 픽업 헤드(30)의 아래에 위치되도록 구동부(130)에 의해 이동 가능하게 구성될 수 있다.
일 예로서, 상기 패널(102)은 디스크 형태를 가질 수 있으며, 상기 개구(104)와 상기 콜릿 수납홈들(106)은 상기 패널(102)의 원주 방향으로 배치될 수 있다. 이 경우 상기 구동부(130)는 상기 패널(102)을 회전시켜 상기 콜릿 수납홈들(106)에 수납된 콜릿들(20) 중 하나가 상기 콜릿(20)이 제거된 픽업 헤드(30) 아래에 위치되도록 할 수 있다.
상기와 같이 상기 복수의 콜릿들(20) 중 하나가 상기 픽업 헤드(30)의 하부에 위치된 상태에서 상기 픽업 헤드(30)가 하방으로 이동될 수 있으며, 이에 의해 상기 콜릿들(20) 중 하나가 상기 픽업 헤드(30)의 하부면에 장착될 수 있다. 이때, 상기 새로운 콜릿(20)의 상부면은 상기 픽업 헤드(30)의 가장자리 부위에 구비된 가이드 부재들(36)에 의해 상기 픽업 헤드(30)의 하부면으로 안내될 수 있으며, 상기 새로운 콜릿(20)의 용이한 장착을 위하여 상기 헤드용 영구자석(34)은 상기 수납용 영구자석(108)보다 큰 자기력을 갖는 것이 바람직하다.
상기 새로운 콜릿(20)이 상기 픽업 헤드(30)에 장착된 후 상기 픽업 헤드(30)는 상기 이송부에 의해 상승될 수 있다.
한편, 상기 패널(102)의 중앙 부위에는 상기 웨이퍼로부터 이송된 다이가 지지되는 척(140)이 구비될 수 있다. 즉, 상기 패널(102)은 상기 웨이퍼로부터 이송된 다이를 일시적으로 지지하는 버퍼 유닛으로서 기능할 수 있으며, 이어서 상기 패널(102)은 상기 다이가 상기 척(140) 상에 안착된 후 상기 구동부(130)에 의해 다이 본딩 공정이 수행되는 영역에 인접하도록 이송될 수 있다.
또 한편으로, 상기 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)은 상기 웨이퍼로부터 상기 다이를 상기 척(140) 상으로 이동시키기 위하여 사용될 수도 있으며, 이와 다르게 상기 척(140)으로부터 상기 다이를 픽업하여 상기 기판 상에 본딩하기 위하여 사용될 수도 있다. 또한, 상기와 다르게, 상기 픽업 헤드(30)와 콜릿(20)은 상기 웨이퍼로부터 상기 다이를 픽업하여 상기 기판 상에 직접 본딩하기 위하여 사용될 수도 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 콜릿(20)의 교체를 위하여 복수의 콜릿들(20)이 수납되는 콜릿 수납홈들(106)이 구비된 패널(102)이 사용될 수 있으며, 특히 상기 콜릿 수납홈들(106)의 저면에 수납용 영구자석들(108)을 배치함으로써 상기 복수의 콜릿들(20)이 안정적으로 상기 콜릿 수납홈들(106) 내에서 유지될 수 있다. 특히, 상기 패널(102)에 웨이퍼로부터 분리된 다이를 지지하는 척(140)을 배치하고 상기 패널(102)을 버퍼 유닛으로 사용하기 위하여 상기 패널(102)을 이동시키는 경우에도 상기 수납용 영구자석들(108)에 의해 상기 콜릿들(20)의 수납 상태가 안정적으로 유지될 수 있다.
또한, 픽업 헤드(30)로부터 콜릿(20)을 제거하기 위하여 상기 패널(102)에 개구(104)를 마련하고, 상기 개구(104)를 통해 상기 픽업 헤드(30)를 상방으로 이동시키는 동안 상기 콜릿(20)의 상방 이동을 차단함으로써 상기 콜릿(20)을 상기 픽업 헤드(30)로부터 제거하기 위하여 상기 개구(104)의 양쪽 내측면들에 걸림 부재들(110)을 설치하고, 또한 상기 걸림 부재들(110)에 의해 상기 픽업 헤드(30)로부터 분리된 콜릿(20)의 완전한 제거를 위하여 상기 콜릿(20)으로 에어를 분사할 수 있다.
결과적으로, 상기 콜릿(20)의 분리가 완전하게 수행될 수 있으므로 상기 콜릿(20)의 자동 교체가 안정적으로 수행될 수 있다. 또한, 상기 패널(102)을 상기 버퍼 유닛으로 사용할 수 있으므로 상기 콜릿 자동 교체 장치(100)에 요구되는 공간을 충분히 감소시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 픽업 유닛 20 : 콜릿
30 : 픽업 헤드 34 : 헤드용 영구자석
102 : 패널 104 : 개구
106 : 콜릿 수납홈 108 : 수납용 영구자석
110 : 걸림 부재

Claims (9)

  1. 다이 본딩 공정에서 다이를 픽업하여 이송하기 위한 픽업 헤드에 자기력을 이용하여 결합되며 상기 픽업 헤드에 구비된 공압 배관을 통하여 제공되는 진공을 이용하여 상기 다이를 흡착하기 위한 콜릿을 교체하기 위한 장치에 있어서,
    복수의 콜릿들이 각각 배치되는 영역들과 상기 픽업 헤드와 상기 콜릿이 수직 방향으로 통과되는 개구가 구비된 패널;
    상기 영역들에 각각 구비되고 상기 복수의 콜릿들을 파지하기 위한 복수의 수납용 영구자석들; 및
    상기 개구 내에서 상기 픽업 헤드의 수직 방향 이동 경로의 양측에 구비되고, 상기 픽업 헤드의 상방 이동을 허용하되 상기 콜릿의 상방 이동을 제한하여 상기 픽업 헤드가 상방으로 이동되는 동안 상기 콜릿을 상기 픽업 헤드로부터 분리하기 위한 걸림 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 영역들에는 상기 복수의 콜릿들이 각각 수납되는 콜릿 수납홈들이 구비되며, 상기 영구자석들은 상기 콜릿 수납홈들의 저면에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 픽업 헤드에는 상기 콜릿을 파지하기 위한 헤드용 영구자석이 구비되며, 상기 헤드용 영구자석은 상기 수납용 영구자석보다 큰 자기력을 갖는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 개구 또는 상기 영역들이 상기 픽업 헤드의 아래에 위치되도록 상기 패널을 이동시키는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 걸림 부재들은 상기 개구의 양측 내측면들에 토션 스프링에 의해 하방으로 회전이 가능하도록 장착되어 상기 콜릿이 상기 개구를 통해 하방으로 이동된 후 상방으로 이동이 제한되도록 하는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 픽업 헤드에는 상기 걸림 부재들이 통과되는 리세스들이 구비되는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 패널 상에는 상기 다이를 지지하기 위한 척이 구비되는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 패널의 개구 하부에는 상기 픽업 헤드로부터 제거된 콜릿을 회수하기 위한 용기가 구비되는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 픽업 헤드가 상기 개구를 통하여 상방으로 이동되는 동안 상기 공압 배관을 통하여 상기 콜릿의 상부면으로 에어를 분사하여 상기 픽업 헤드로부터 상기 콜릿의 분리를 보조하는 것을 특징으로 하는 콜릿 교체 장치.
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