KR20200142253A - 자동 패드 교체 방법 - Google Patents

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Abstract

자동 패드 교체 방법이 개시되며, 상기 자동 패드 교체 방법은 (a) 상기 픽커로부터 상기 패드를 탈거하는 단계; 및 (b) 상기 픽커에 새 패드를 공급하는 단계를 포함하되, 상기 (a) 단계는, (a1) 제1 안착부 및 상기 제1 안착부로부터 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부가 형성되는 제1 패드 캐리어가 상기 제1 통공부의 하측에 기체 작용부가 위치하도록 이동하는 단계; (a2) 상기 픽커가 그에 결합된 패드를 상기 제1 안착부에 접촉시키고, 상기 기체 작용부가 Z축 타측으로 이동하여 상기 제1 통공부에 접근하는 단계; 및 (a3) 상기 기체 작용부가 상기 제1 통공부를 통해 진공압을 작용하여 상기 제1 안착부 내에 안착된 상기 패드를 상기 제1 안착부측으로 흡착하고, 상기 픽커가 Z축 타측으로 이동하는 단계를 포함한다.

Description

자동 패드 교체 방법{AUTO PAD CHANGE METHOD}
본원은 자동 패드 교체 장치 및 자동 패드 교체 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들에 대해 증착, 식각, 이온주입, 평탄화 등과 같은 일련의 제조 공정들이 반복적으로 수행됨으로써 반도체 소자는 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 반도체 소자들이 형성된 웨이퍼는 다이싱 공정을 통해 복수의 반도체 칩들로 개별화될 수 있으며, 개별화된 반도체 칩들은 칩 본딩 공정을 통해 인쇄회로기판 또는 리드 프레임과 같은 기판 상에 본딩될 수 있다.
그런데, 이러한 제조 과정에서 반도체 소자, 반도체 칩, 반도체 소자 등의 이송에 픽커가 이용될 수 있는데, 픽커의 하부에는 이송하는 제품과 접촉되는 부분에 패드가 구비되는데, 패드의 마모, 손상 또는 제품 크기의 변경에 따라 패드를 교체할 필요가 있다. 하지만, 종래에는 패드의 교체가 인력에 의해 수동으로 이루어졌으며, 장치 전체의 수율이 감소하고 작업자의 숙련도 등에 따라 교체 작업의 효율 또는 정확도 등이 일정하지 않은 문제가 있었다. 이에 따라, 패드를 자동으로 교체할 수 있는 장치가 구현될 필요가 있어왔다.
본원의 배경이 되는 기술은 한국등록실용신안 제20-0474850호에 개시되어 있다.
본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 픽커에 결합된 패드를 자동으로 교체할 수 있는 자동 패드 교체 장치 및 자동 패드 교체 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들도 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 1 측면에 따른 자동 패드 교체 장치는, 픽커의 하단부에 탈착 가능하게 결합된 패드가 안착되는 제1 안착부 및 상기 제1 안착부와 연통되며 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부가 형성되는 제1 패드 캐리어; 및 상기 제1 통공부를 통해 진공압을 작용하여 상기 제1 안착부 내에 안착된 패드를 상기 제1 안착부측으로 흡착하는 기체 작용부를 포함할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 픽커의 하단부에 접촉 가능하도록 새 패드가 안착되는 제2 안착부이 형성되는 제2 패드 캐리어를 더 포함하고, 상기 제2 패드 캐리어는 상기 제1 패드 캐리어와 이웃하게 배치될 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부 각각은 n행 m열로 형성되고, 상기 기체 작용부는 상기 n개로 구비되며, 상기 픽커 구조체는 상기 n개로 구비되고, 상기 n개의 픽커 구조체 각각의 픽커는 상기 m개로 구비될 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 n 개의 기체 작용부 각각은 상기 n 개의 픽커 구조체 각각과 일대일 대응하고, 상기 n 개의 기체 작용부 각각은 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부 각각의 n개 행 각각과 일대일 대응할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 제1 패드 캐리어 및 상기 제2 패드 캐리어는, Y축 방향으로 이웃하고, 상기 기체 작용부는 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부 보다 Z축 일측에 위치하는 초기 위치를 가지고, 상기 제1 패드 캐리어 및 상기 제2 패드 캐리어는, 상기 제1 안착부 및 상기 제2 안착부의 상기 n행 각각의 열이 상기 n행 각각과 대응되는 상기 기체 작용부의 상측으로 위치 가능하도록 Y축 방향으로 이동 가능하다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체는 Y축으로 이웃하고, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각은, 상기 m개의 상기 픽커가 X축 방향으로 배치되며, 각각의 상기 m개의 픽커가 상기 n개의 기체 작용부 각각과 Z축 타측에 위치하도록 위치하고, X축으로 이동 가능하다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 장치에 있어서, 상기 제1 캐리어는, 상기 제1 안착부의 바닥면 중 상기 패드의 패드 진공 통로와 대응하는 부분으로부터 Z축 타측으로 돌출되는 돌출부; 상기 안착부의 바닥면으로부터 Z축 일측으로 통공되는 타측 연결 통로; 상기 타측 연결 통로와 상기 제1 통공부를 연통시키는 일측 연결 통로를 더 포함할 수 있다.
또한, 본원의 제1 측면에 따른 자동 패드 교체 방법은, (a) 상기 픽커로부터 상기 패드를 탈거하는 단계; 및 (b) 상기 픽커에 새 패드를 공급하는 단계를 포함하되, 상기 (a) 단계는, (a1) 제1 안착부 및 상기 제1 안착부로부터 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부가 형성되는 제1 패드 캐리어가 상기 제1 통공부의 하측에 기체 작용부가 위치하도록 이동하는 단계; (a2) 상기 픽커가 그에 결합된 패드를 상기 제1 안착부에 접촉시키고, 상기 기체 작용부가 Z축 타측으로 이동하여 상기 제1 통공부에 접근하는 단계; 및 (a3) 상기 기체 작용부가 상기 제1 통공부를 통해 진공압을 작용하여 상기 제1 안착부 내에 안착된 상기 패드를 상기 제1 안착부측으로 흡착하고, 상기 픽커가 Z축 타측으로 이동하는 단계를 포함할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 제1 안착부는 n행 m열로 형성되고, 상기 기체 작용부는 상기 n개로 구비되며, 상기 픽커 구조체는 상기 n개로 구비되고, 상기 픽커 구조체 각각의 픽커는 상기 m개로 구비되며, 상기 (a) 단계는, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (a1) 내지 상기 (a3) 단계를 수행할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 제1 안착부간의 Y축 방향 간격은 서로 동일하고, 상기 n 개의 기체 작용부는, 안착부Y축 방향으로 상기 제1 안착부간의 Y축 방향 간격과 동일한 간격을 두고 배치되며, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각은, X축으로 이동 가능하고, 상기 m개의 상기 픽커가 X축 방향으로 배치되고, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체는 Y축으로 이웃할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 (a) 단계는, 상기 픽커 구조체 중 제1 픽커 구조체의 첫번째 픽커의 패드가 상기 제1행의 제1열의 상기 제1 안착부에 탈거되고, 다음 픽커 구조체의 첫번째 픽커의 패드 및 상기 제1 픽커 구조체의 다음 픽커의 패드 각각이 다음 행의 제1열의 상기 제1 안착부 및 제1행의 다음열의 상기 제1 제1 안착부에 탈거되는 순서로, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (a1) 내지 상기 (a3) 단계를 수행할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 (b) 단계는, (b1) 상기 픽커의 하단부에 접촉 가능하도록 새 패드가 안착되는 제2 안착부가 형성되는 제2 패드 캐리어의 상측으로 상기 픽커가 이동하는 단계; 및 (b2) 상기 픽커가 Z축 일측으로 이동하여 상기 새 패드에 접촉하는 단계를 포함할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 제2 안착부는 n행 m열로 형성되고, 상기 픽커 구조체는 상기 n개로 구비되고, 상기 픽커 구조체 각각의 픽커는 상기 m개로 구비되며, 상기 (b) 단계는, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (b1) 내지 상기 (b2) 단계를 수행할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 제2 안착부간의 Y축 방향 간격은 서로 동일하고, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각은, X축으로 이동 가능하고, 상기 m개의 상기 픽커가 X축 방향으로 배치되고, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체는 Y축으로 이웃할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 (b) 단계는, 상기 픽커 구조체 중 X축 타측에 위치하는 제1 픽커 구조체의 첫번째 픽커가 상기 제1행의 제1열의 상기 제2 안착부에 안착된 새 패드에 접촉하고, 다음 픽커 구조체의 첫번째 픽커 및 상기 제1 픽커 구조체의 다음 픽커 각각이 다음 행의 제1열의 상기 제2 안착부에 안착된 새 패드 및 제1행의 다음열의 상기 제2 안착부에 안착된 새 패드에 접촉하는 순서로, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (b1) 내지 상기 (b2) 단계를 수행할 수 있다.
또한 본원의 일 구현예에 따른 자동 패드 교체 방법에 있어서, 상기 (b) 단계는, (b1) 상기 픽커의 하단부에 접촉 가능하도록 새 패드가 안착되는 제2 안착부 및 상기 제2 안착부로부터 Z축 일측으로 통공된 제2 통공부가 형성되는 제2 패드 캐리어가 상기 제2 통공부의 하측에 상기 기체 작용부가 위치하도록 이동하는 단계; (b2) 상기 픽커가 상기 새 패드에 접촉되고, 상기 기체 작용부가 Z축 타측으로 이동하여 상기 제2 통공부에 접근하는 단계; 및 (b3) 상기 기체 작용부가 상기 제2 통공부를 통해 블로우압을 작용하여 상기 제2 안착부 내에 안착된 상기 새 패드에 상기 픽커로의 외력을 작용하는 단계를 포함할 수 있다.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 패드를 장착한 픽커가 패드를 제1 패드 캐리어의 제1 안착부에 안착시키면 기체 작용부에 의해 패드가 제1 안착부 측, 즉, Z축 일측으로 흡착될 수 있고, 패드가 흡착될 때 픽커가 Z축 타측 방향으로 이동됨으로써, 패드는 픽커로부터 탈거되어 제1 안착부에 위치하게 될 수 있다. 이에 따라, 픽커로부터 패드를 자동으로 탈거하는 자동 패드 교체 장치 및 자동 패드 교체 방법이 구현될 수 있다.
또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 픽커가 패드를 탈거한 상태로 제2 패드 캐리어의 제2 안착부에 안착된 새 패드에 접촉될 수 있으므로, 픽커에 새 패드가 자동으로 장착될 수 있다. 이에 따라, 픽커에 패드를 자동으로 장착하는 자동 패드 교체 장치 및 자동 패드 교체 방법이 구현될 수 있다.
도 1은 본원의 일 실시예에 따른 픽커 구조체의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 픽커의 개략적인 단면도이다.
도 3은 본원의 일 실시예에 따른 픽커의 일부와 본원의 일 실시예에 따른 자동 패드 교체 장치의 개략적인 사시도이다.
도 4는 본원의 일 실시예에 따른 제1 패드 캐리어의 제1 안착부가 형성된 부분의 개략적인 단면도이다.
도 5는 패드가 본원의 일 실시예에 따른 제1 패드 캐리어의 제1 안착부에 안착된 것을 도시한 개략적인 단면도이다.
도 6은 픽커로부터 패드가 탈거되는 것을 설명하기 위한 본원의 일 실시예에 따른 픽커, 본원의 일 실시예에 따른 제1 패드 캐리어의 제1 안착부 및 본원의 일 실시예에 따른 기체 작용부의 개략적인 사시도이다.
도 7은 본원의 일 실시예에 따른 제1 패드 캐리어와 제2 패드 캐리어, 픽커의 일부 및 기체 작용부가 도시된 개략적인 측면도이다.
도 8은 새 패드가 본원의 일 실시예에 따른 제2 패드 캐리어의 제2 안착부에 안착된 것을 도시한 개략적인 단면도이다.
도 9는 본원의 일 실시예에 따른 픽커의 패드 교체 방법을 설명하기 위한 개략적인 개념 평면도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(Z축 일측, Z축 타측, X축 일측, X축 타측, Y축 일측, Y축 타측 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 1 및 도 3을 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 Z축 타측, 전반적으로 6시 방향이 Z축 일측, 전반적으로 2시 방향이 Y축 일측, 전반적으로 8시 방향이 Y축 타측, 전반적으로 4시 방향이 X축 일측, 전반적으로 10시 방향이 X축 타측 등이 될 수 있다.
본원은 자동 패드 교체 장치 및 자동 패드 교체 방법에 관한 것이다.
먼저, 본원의 일 실시예에 따른 자동 패드 교체 장치(이하 '본 장치'라 함)(1)에 대해 설명한다.
도 1을 참조하면, 본 장치(1)는 픽커 구조체(2)의 픽커(21)에 결합된 패드(22)를 교체하는 자동 패드 교체 장치이다. 픽커(21)는 반도체 패키지를 이송하는데 적용될 수 있는데, 반도체 패키지를 픽업하여 플레이싱할 수 있다. 도 2를 참조하면, 픽커(21)는 반도체 패키지를 픽업하기 위해 내부에 진공압이 형성되는 픽커 진공 통로(212)를 포함할 수 있다. 또한, 픽커(21)의 하단부에 반도체 패키지와 접촉 가능한 패드(22)가 탈착 가능하게 결합될 수 있다. 패드(22)에는 패드(22)와 픽커(21)의 결합시 픽커 진공 통로(212)와 연통하는 패드 진공 통로(223)가 형성될 수 있다. 이에 따라, 픽커(21)의 반도체 패키지 픽업시, 픽커 진공 통로(212) 및 패드 진공 통로(223)를 통해 진공압이 상측으로 작용되어 반도체 패키지가 패드(22)에 접촉되며 픽커(21)에 흡착될 수 있다.
참고로, 패드(22)는 패드 본체(222) 및 픽커(21)에 착탈 가능한 결합체(221)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 결합체(221)는 도넛 형상의 메탈(metal)일 수 있으며, 패드 본체(222)의 상면에 구비될 수 있다. 또한, 결합체(221)는 픽커(21)의 하면 중 적어도 일부에 착탈 가능할 수 있는데, 예를 들어, 픽커(21)의 하부에는 결합체(221)가 수용되도록 Z축 방향 타측으로 함몰된 함몰부가 형성될 수 있다. 또한, 함몰부는 패드(22)의 결합체(221)와 접촉되는 결합부(미도시)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 결합부는 도넛 형상의 자석일 수 있다. 이에 따라, 패드(22)와 픽커(21)는 자력에 의해 착탈 가능하게 결합할 수 있다.
또한, 픽커 구조체(2)는 n 개로 구비될 수 있고, n 개의 픽커 구조체(2) 각각은 m 개의 픽커(21)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 1을 참조하면, 픽커 구조체(2)는 2 개 구비될 수 있고, 도 3을 참조하면, 2 개의 픽커 구조체(2) 각각은 8 개의 픽커(21)를 포함할 수 있다. 또한, 픽커 구조체(2)는 Y축으로 서로 이웃하며, X축으로 구동부(23)에 의해 이동가능 하다. 참고로, 구동부(23)는 레일부 및 픽커 구조체(2)를 이동시키는 구동부(모터 등)를 포함할 수 있다. 또한, 도 1을 참조하면, 본원은 용이한 이해를 위해, 일부 설명에서, 2 개의 픽커 구조체(2) 중 Y축 타측에 위치하는 픽커 구조체(2)는 제1 픽커 구조체(2a), Y축 일측에 위치하는 픽커 구조체(2)는 제2 픽커 구조체(2b)라 하겠다.
도 3을 참조하면, 본 장치(1)는 제1 패드 캐리어(11)를 포함한다. 도 4를 참조하면, 본 제1 패드 캐리어(11)는 제1 안착부(111) 및 제1 안착부(111)와 연통되며 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부(112)가 형성된다. 보다 구체적으로, 제1 패드 캐리어(11)의 안착부(111)에는 패드(22)가 수용될 수 있고, 제1 패드 캐리어(11)에는 안착부(111)의 바닥면(1111) 중 패드(22)의 패드 진공 통로(223)와 대응하는 부분(패드(22)가 안착부(111)에 안착시, 패드(22)의 패드 진공 통로(223)와 대응하는 부분)으로부터 Z축 타측으로 돌출된 돌출부(113), 안착부(111)의 바닥면(1111)으로부터 Z축 일측으로 통공되는 타측 연결 통로(114), 타측 연결 통로(114)와 제1 통공부(112)를 연통시키는 일측 연결 통로(115)가 형성될 수 있다. 제1패드 캐리어(11)는 상술한 바와 같은 제1안착부 및 제1통공부를 복수 개 포함할 수 있다.
도 5를 참조하면, 픽커(21)의 하단부에 탈착 가능하게 결합된 패드(22)는 제1 안착부(111)에 안착 가능하다.
또한, 도 3을 참조하면, 본 장치(1)는 제1 통공부(112)를 통해 진공압을 하측으로 작용하여 제1 안착부(111) 내에 안착된 패드(22)를 제1 안착부(111) 측으로 흡착하는 기체 작용부(12)를 포함한다.
도 6을 참조하면, 기체 작용부(12)는 그의 상측에 제1 통공부(112)가 위치하면, 제1 통공부(112)를 통해 제1 안착부(111) 내에 진공압을 하측으로 작용할 수 있다. 또한, 기체 작용부(12)는 제1 안착부(111)에 픽커(21)에 장착된 패드(22)가 안착되면, 제1 통공부(112)를 통해 제1 안착부(111) 내에 진공압을 작용할 수 있다.
구체적으로, 기체 작용부(12)는 통로(121) 및 통로(121)에 진공압을 형성하거나 진공압 형성을 해제하는 진공 형성부를 포함하거나 별도로 마련된 진공 형성부와 연결될 수 있다. 기체 작용부(12)는 통로(121)와 제1 통공부(112)가 연결(연통)되도록 기체 작용부(12)의 상측에 제1 통공부(112)가 위치하고, 제1 안착부(111)에 패드(22)(픽커(21)에 결합된 상태)가 안착되면, 통로(121)에 진공압을 형성할 수 있고, 이에 따라, 제1 통공부(112)를 통해 진공압이 작용되어 일측 연결 통로(115) 및 타측 연결 통로(114)에 하측으로 진공압이 형성되어 제1 안착부(111) 내에 제1 안착부(111)측으로의 흡착력이 작용될 수 있으며, 패드(22)는 제1 안착부(111) 측으로 흡착될 수 있다. 이러한 기체 작용부(12)에 의한 흡착시 패드(22)에는 Z축 방향 일측으로 외력이 작용될 수 있다.
또한, 기체 작용부(12)는 Z축 방향 타측으로 상승 이동하는 픽커(21)로부터 패드(22)가 탈거되도록 픽커(21)와 패드(22)의 결합력보다 큰 흡착력이 작용되도록 진공압을 작용할 수 있다. 즉, 기체 작용부(12)에 의해 패드(22)가 흡착될 때 픽커(21)는 Z축 방향 타측(상측)으로 이동될 수 있고, 이에 따라, 패드(22)에는 Z축 방향 일측(하측)으로의 흡착력과 Z축 방향 타측으로 이동하는 픽커(21)와의 결합력이 작용될 수 있다. 이때, 기체 작용부(12)에 의한 흡착력이 패드(22)와 픽커(21)의 결합력(상술한 패드(22)와 픽커(21)의 자력)보다 크므로, 패드(22)는 픽커(21)로부터 탈거될 수 있다.
또한, 도 3 및 도 7을 참조하면, 기체 작용부(12)는 제1 안착부(111)의 Y축 일측에서 Z축으로 제1 안착부(111)보다 일측(하측)에 위치하는 초기 위치를 가질 수 있고, 픽커(21)는 X축으로 이동 가능하며, 제1 패드 캐리어(11)는 제1 통공부(112)를 통한 기체 작용부(12)의 진공 작용이 가능하도록 제1 통공부(112)가 기체 작용부(12)의 Z축 타측(상측)에 위치하도록 이동할 수 있다.
이에 따라, 도 6을 참조하면, 제1 패드 캐리어(11)는 제1 안착부(111)가 기체 작용부(12) 상에 위치하도록 Y축 일측으로 이동하여 제1 안착부(111)와 연결된 제1 통공부(112)가 기체 작용부(12)의 통로(121) 상에 위치하게 할 수 있고, 그 후, 픽커(21)는 X축 일측으로 이동하여 제1 안착부(111) 및 기체 작용부(12)와 동일한 Z축 선상에 위치할 수 있고, Z축 일측으로 하강하여 제1 안착부(111)에 패드(22)를 안착시킬 수 있으며, 기체 작용부(12)는 Z축 일측으로 상승하여 제1 통공부(112)와 통로(121)를 연결할 수 있으며, 그후, 기체 작용부(12)는 패드(22)가 제1 안착부(111) 측으로 흡착되도록 진공압을 작용할 수 있고, 그 때, 픽커(21)는 Z축 타측으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 픽커(21)로부터의 패드(22)의 탈거가 이루어질 수 있다. 참고로, 픽커(21)가 X축 일측으로 이동하여 1 안착부(111) 및 제2 기체 작용부(12)와 동일한 Z축 선상에 위치하고, Z축 일측으로 하강하여 제1 안착부(111)에 패드(22)를 안착시키는 구동과 기체 작용부(12)가 Z축 타측으로 상승하여 제1 통공부(112)와 통로(121)를 연결하는 구동의 선후 관계는 본원에 한정되지 않으며, 두 개 중 하나가 먼저 수행되고, 다른 하나가 그 후에 수행되거나, 또는 동시에 수행될 수 있다.
이러한 픽커(21)로부터의 패드(22) 탈거는 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 픽커(21) 전체에 대해 이루어질 수 있다.
또한, 도 3을 참조하면, 본 장치(1)는 제2 패드 캐리어(13)를 포함할 수 있다. 도 8을 참조하면, 제2 패드 캐리어(13)는 새 패드(22')가 안착되는 제2 안착부(131)를 포함할 수 있다. 새 패드(22')는 그의 상면에 픽커(21)의 하단부가 접촉 가능하도록 제2 안착부(131)에 안착될 수 있다.
이에 따라, 픽커(21)는 그에 결합된 패드(22)를 제1 패드 캐리어(11)에 플레이싱하고, 제2 패드 캐리어(12)의 상측으로 이동하여 그의 함몰부에 새 패드(22')의 결합체(221)의 적어도 일부가 수용되게 하며, 새 패드(22')가 장착되게 한 후 이동할 수 있다.
구체적으로, 제1패드 캐리어(11) 및 제2 패드 캐리어(13)는 Y축 일측으로 이동하여 제2 안착부(131)가 기체 작용부(12) 상에 위치하게 할 수 있고, 그 후, 픽커(21)는 X축 일측으로 이동하여 제2 안착부(131) 및 기체 작용부(12)와 동일한 Z축 선상에 위치할 수 있고, Z축 일측으로 하강하여 제2 안착부(131)에 안착된 새 패드(22')에 접촉할 수 있다. 새 패드(22')에 대한 픽커(21)의 접촉시 새 패드(22')는 자력에 의해 픽커(21)에 장착될 수 있다.
이러한 픽커(21)에 대한 새 패드(22') 장착은 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 픽커(21) 전체에 대해 이루어질 수 있다.
또한, 제2 패드 캐리어(13)에는 제2 안착부(131)와 연통되며 Z축 일측으로 통공된 제2 통공부(132)가 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 제2 패드 캐리어(13)의 안착부(131)에는 새 패드(22')가 수용될 수 있고, 제2 패드 캐리어(13)에는 안착부(131)의 바닥면(1311) 중 새 패드(22')의 패드 진공 통로(223)와 대응하는 부분(새 패드(22') 안착시, 새 패드(22')의 패드 진공 통로(223)와 대응하는 부분)으로부터 Z축 타측으로 돌출된 돌출부(133), 안착부(131)의 바닥면(1311)으로부터 Z축 일측으로 통공되는 타측 연결 통로(134), 타측 연결 통로(134)와 제2 통공부(132)를 연통시키는 일측 연결 통로(135)가 형성될 수 있다. 제2패드 캐리어(13)는 상술한 바와 같은 제2안착부 및 제2통공부를 복수 개 포함할 수 있다.
또한, 본원의 일 실시예에 따르면, 기체 작용부(12)는 그의 상측에 제2 통공부(132)가 위치하면, 제2 통공부(132)를 통해 제2 안착부(131) 내에 블로우압을 상측으로 작용할 수 있다. 또한, 기체 작용부(12)는 제2 안착부(131)에 안착된 새 패드(22')에 패드가 탈거된 상태의 픽커(21)가 접촉되면, 제2 통공부(132)를 통해 제2 안착부(131)로부터 픽커(21) 측으로 블로우압을 작용할 수 있다.
구체적으로, 기체 작용부(12)는 통로(121)와 제2 통공부(132)가 연결(연통)되도록 기체 작용부(12) 상측에 제2 통공부(132)가 위치하고, 제2 안착부(131)에 안착된 새 패드(22')에 픽커(21)가 접촉되거나, 소정 거리 이내로 접근하면, 통로(121)에 블로우압을 형성할 수 있고, 이에 따라, 제2 통공부(132)를 통해 블로우압이 작용되어 블로우압이 일측 연결 통로(135) 및 타측 연결 통로(134)를 통과해 제2 안착부(131)로부터 픽커(21) 측으로 작용될 수 있으며, 새 패드(22')는 블로우압에 의해 픽커(21)으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 새 패드(22')와 픽커(21)의 결합이 보다 용이하게 이루어질 수 있다.
한편, 상술한 바와 같은 픽커(21)로부터 패드(22)의 탈거 및 픽커(21)에 대한 새 패드(22')의 장착은 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대해 수행될 수 있는데, 예를 들어, 이하와 같이 수행될 수 있다. 다만, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대한 패드(22)의 탈거 및 새 패드(22')의 장착은 이하의 예에 한정되지 않으며, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대한 패드(22)의 탈거 및 새 패드(22')의 장착은 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 중 하나의 픽커 구조체의 m 개의 픽커(21)에 대해 수형된 후 나머지 픽커 구조체의 m 개의 픽커(21)에 대해 수행되는 방법 등 다양한 방법으로 수행될 수 있다.
도 9를 참조하면, 제1 안착부(111) 및 제2 안착부(131) 각각은 n행 m열로 형성될 수 있다. 또한, 도 9를 참조하면, 기체 작용부(12)는 n 개로 구비될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 픽커 구조체(2)는 n 개로 구비될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2) 각각의 픽커(21)는 m개로 구비될 수 있다. 제1안착부(111) 및 제2안착부(131)의 각 행(n개)은 복수(n개)의 픽커 구조체(2a, 2b)와 일대일 대응되며, 제1안착부(111) 및 제2안착부(131)의 각 행의 각 열(m개)는 대응하는 픽커 구조체(2a, 2b)의 복수(m개)의 픽커와 일대일 대응할 수 있다.
예를 들어, 도 9를 참조하면, 제1 안착부(111) 및 제2 안착부(131) 각각은 2행 8열로 형성될 수 있다. 또한, 기체 작용부(12)는 2개로 구비될 수 있고, 픽커 구조체(2)는 2 개로 구비될 수 있으며, 2 개의 픽커 구조(2) 각각의 픽커는 8개 구비될 수 있다.
또한, 제1 패드 캐리어(11) 및 제2 패드 캐리어(13)는 Y축 방향으로 이웃할 수 있다. 예를 들어, 제2 패드 캐리어(13)는 제1 패드 캐리어(11)의 Y축 타측(도 9 참조, 6시 방향)에 위치할 수 있다. 또한, 제2 패드 캐리어(13)는 그의 n행 각각이 제1 패드 캐리어의 n행 각각과 같은 Y축 선상에 위치하도록 제1 패드 캐리어(11)의 Y축 타측에 위치할 수 있다.
구체적으로, 제1 패드 캐리어(11)의 제1 행(111a)과 제2 패드 캐리어(13)의 제1 행(131a)은 같은 Y축 선상에 위치할 수 있고, 제1 패드 캐리어(11)의 제2 행(111b)과 제2 패드 캐리어(13)의 제2 행(131b)는 같은 Y축 선상에 위치할 수 있다. 본원의 일 실시예에 따르면, 제1 안착부(111)간의 Y축 방향으로의 간격, 제2 안착부(131)의 Y축 방향으로의 간격 및 n 개의 기체 작용부(12) 간의 Y축 방향으로의 간격(이를 테면, 제1 기체 작용부(12a)와 제2 기체 작용부(12b) 사이의 Y축 방향으로의 간격)은 서로 동일할 수 있다. 또한, 제1 안착부(111) 간의 X축 방향으로의 간격, 제2 안착부(131) 간의 X축 방향으로의 간격 및 기체 작용부(12) 간의 X축 방향으로의 간격(제1 기체 작용부(12a)와 제2 기체 작용부(12b) 사이의 X축 방향으로의 간격)은 서로 동일할 수 있다.
또한, n 개의 기체 작용부(12)는 제1 패드 캐리어(11)의 Y축 일측에 위치할 수 있다. 구체적으로, n 개의 기체 작용부(12) 각각은, 제1 패드 캐리어(11)(및 제2 패드 캐리어(13)의 n행 각각과 같은 Y축 선상에 위치하며, 제1 패드 캐리어(11)(및 제2 패드 캐리어(13)의 n행 각각의 Y축 일측에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제1 기체 작용부(12a)는 제1 패드 캐리어(11)의 제1 행(111a)(및 제2 패드 캐리어(13)의 제1 행(131a))과 같은 Y축 선상에 위치하며 제1 행(11a)의 Y축 일측에 위치할 수 있다. 또한, 제2 기체 작용부(12b)는 제2 패드 캐리어(11)의 제2 행(111b)(및 제2 패드 캐리어(13)의 제2행(131b))와 같은 Y축 선상에 위치하며 제2 행(11b)의 Y축 일측에 위치할 수 있다.
또한, 기체 작용부(12)는 제1 안착부(111) 및 제2 안착부(131)보다 Z축 일측(하측)에 위치하는 초기 위치를 가질 수 있다. 이에 따라, 제1 패드 캐리어(11) 및 제2 패드 캐리어(13) 각각은 Y축 방향으로 이동되어 각각의 제1 안착부(111) 및 제2 안착부(131)가 기체 작용부(12)의 상측으로 위치하게 할 수 있다.
또한, 도 2 및 도 9를 참조하면, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b)는 Y축으로 이웃할 수 있다. 도 9를 참조하면, 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각에 있어서, m 개의 픽커(21)는 X축 방향으로 배치될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b)는 각각의 m 개의 픽커가 n 개의 기체 작용부(12a, 12b) 각각과 Z축 타측(상측)에 위치하도록 위치하고, X축으로 이동 가능하다.
다시 말해, 제1 픽커 구조체(2a) 및 제2 픽커 구조체(2a, 2b)는 Y축으로 이웃할 수 있고, 제1 픽커 구조체(2a)의 8 개의 픽커(21a1 내지 21a8)는 X축으로 서로 이웃하게 배열될 수 있으며, 제2 픽커 구조체(2b)의 8 개의 픽커(21b1 내지 21b8)는 X축으로 서로 이웃하게 배열될 수 있다. 또한, 제1 기체 작용부(12a)는 제1 픽커 구조체(2a)의 8 개의 픽커(21a1 내지 21a8)와 같은 X축 선상에 위치할 수 있고, 제2 기체 작용부(12b)는 제2 픽커 구조체(2b)의 8 개의 픽커(21b1 내지 21b8)와 같은 X축 선상에 위치할 수 있다.
예를 들어, 픽커 구조체(2a, 2b) 중 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)의 패드(22)가 제1 패드 캐리어(11)의 제1행의 제1열의 제1 안착부(111a1)에 탈거되고, 다음 픽커 구조체(제2 픽커 구조체(2b))의 첫번째 픽커(21b1)의 패드(22) 및 제1 픽커 구조체(2a)의 다음 픽커(21a2)의 패드(22) 각각이 다음 행(제2 행)의 제1열의 제1 안착부(111b1) 및 제1행의 다음열(제2 열)의 제1 안착부(111a2)에 탈거되는 순서로, 상기 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대하여 패드 탈거가 이루어질 수 있다.
보다 구체적으로, 제1 패드 캐리어(11)는 제1 행의 제1열의 제1 안착부(111a1)이 제1 기체 작용부(12a) 상에 위치하도록 Y축 일측으로 이동될 수 있고, 제1 안착부(111a1)과 연결된 제1 통공부(112)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하면, 제1 기체 작용부(12a)는 그의 통로(121)와 제1 통공부(112)가 연통되게 Z축 타측으로 이동될 수 있고, 제1 기체 작용부(12a)의 Z축 타측으로의 이동 전, 후 또는 동시에 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)는 X축 이동하여 제1 안착부(111a1)와 제1 기체 작용부(12a)의 동일한 Z축 선상에 위치하고 Z축 일측으로 하강하여 그에 장착된 패드(22)를 제1 안착부(111a1)에 안착시킬 수 있다. 이와 같은, 첫번째 픽커(21a1)의 구동과 제1 기체 작용부(12a)의 구동의 선후 관계는 본원에 한정되지 않으며, 하나가 다른 하나보다 먼저 수행되거나, 또는 동시에 수행될 수 있다. 이후, 통로(121)에 진공압이 형성되며 제1 안착부(111a1) 내에 제1 안착부(111)측으로의 흡착력이 작용될 수 있으며, 패드(22)는 제1 안착부(111a1) 측으로 흡착될 수 있고 이 때, 픽커(21a1)는 Z축 방향 타측으로 이동될 수 있고, 이에 따라, 패드(22)에는 Z축 방향 일측으로의 흡착력과 Z축 방향 타측으로 이동하는 픽커(21a1)와의 결합력이 작용될 수 있다. 이때, 기체 작용부(12)에 의한 흡착력이 패드(22)와 픽커(21a1)의 결합력보다 크므로, 패드(22)는 픽커(21)로부터 탈거될 수 있다.
이와 같이, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫 번째 픽커(21a1)로부터의 패드(22)의 탈거가 이루어진 후, 제1 기체 작용부(12a)는 Z축 일측으로 이동되어 초기 위치로 돌아갈 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)와 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)에 대한 패드(22)의 탈거가 이루어질 수 있다.
구체적으로, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)로부터의 패드(22)의 탈거가 이루어진 후, 제1 기체 작용부(12a)는 Z축 일측으로 이동되어 초기 위치로 돌아갈 수 있고, 제1 패드 캐리어(11a)는 복수의 제1안착부 간의 간격만큼 Y축 일측으로 이동할 수 있는데, 제1행의 제2 열의 제1 안착부(111a2)과 연결된 제1 통공부(112)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하고, 제2행의 제1 열의 제1 안착부(111b1)과 연결된 제1 통공부(112)가 제2 기체 작용부(12b)의 통로(121) 상에 위치하도록, 제1 패드 캐리어(11a)는 이동할 수 있고, 제1 패드 캐리어(11a)의 상기 이동이 완료되면, 제1 기체 작용부(12a)는 그의 통로(121)와 제1행의 제2 열의 제1 안착부(111a2)의 제1 통공부(112)가 연통되게 Z축 타측으로 이동되고, 제2 기체 작용부(12b)는 그의 통로(121)와 제2행 제1 열 제1 안착부(111b1)의 제1 통공부(112)가 연통되게 Z축 타측으로 이동될 수 있으며, 제1 기체 작용부(12a) 및 제2 기체 작용부(12b)의 Z축 타측으로의 이동 전, 후, 또는 동시에 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)가 그에 장착된 패드(22)를 제1행 제2열의 제1 안착부(111a2)에 안착시키고, 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)가 그에 장착된 패드(22)를 제2 행 제1 열의 제1 안착부(111b1)에 안착시킬 수 있다. 이후, 제1 및 제2 기체 작용부(12a, 12b) 각각의 통로(121)에 진공압이 형성되며 제1행 제2열의 제1 안착부(111a2) 및 제2행 제1열의 제1 안착부(111b1) 내에 제1 안착부(111a2. 111b1)측으로의 흡착력이 작용될 수 있으며, 패드(22)는 제1 안착부(111a2. 111b1)측으로 흡착될 수 있고 이 때, 픽커들(21a2, 21b1)은 Z축 방향 타측으로 이동될 수 있고, 이에 따라, 패드(22)에는 Z축 방향 일측으로의 흡착력과 Z축 방향 타측으로 이동하는 픽커(21a2, 21b1)와의 결합력이 작용될 수 있다. 이때, 기체 작용부(12)에 의한 흡착력이 패드(22)와 픽커(21a2, 21b1) 각각과의 결합력보다 크므로, 패드(22)는 픽커들(21a2, 21b1) 각각으로부터 탈거될 수 있다.
이러한 과정에 따라, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 세번째 픽커(21a3)와 제2 픽커 구조체(2b)의 두번째 픽커(21b2) 각각의 패드(22)가 제1행 제3열의 제1 안착부(111a3) 및 제2행 제2 열의 제1 안착부(111b2) 각각에 탈거될 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 네번째 픽커(21a4)와 제2 픽커 구조체(2b)의 세번째 픽커(21b3) 각각의 패드(22)가 제1행 제4열의 제1 안착부(111a4) 및 제2행 제3 열의 제1 안착부(111b3) 각각에 탈거될 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 다섯번째 픽커(21a5)와 제2 픽커 구조체(2b)의 네번째 픽커(21b4) 각각의 패드(22)가 제1행 제5열의 제1 안착부(111a5) 및 제2행 제4 열의 제1 안착부(111b4) 각각에 탈거될 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여섯번째 픽커(21a6)와 제2 픽커 구조체(2b)의 다섯번째 픽커(21b5) 각각의 패드(22)가 제1행 제6열의 제1 안착부(111a6) 및 제2행 제5 열의 제1 안착부(111b5) 각각에 탈거될 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 일곱번째 픽커(21a7)와 제2 픽커 구조체(2b)의 여섯번째 픽커(21b6) 각각의 패드(22)가 제1행 제7 열의 제1 안착부(111a7) 및 제2행 제6 열의 제1 안착부(111b6) 각각에 탈거될 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여덟번째 픽커(21a8)와 제2 픽커 구조체(2b)의 일곱번째 픽커(21b7) 각각의 패드(22)가 제1행 제8열의 제1 안착부(111a8) 및 제2행 제7 열의 제1 안착부(111b7) 각각에 탈거될 수 있고, 이후, 제2 픽커 구조체(2b)의 여덟번째 픽커(21b8)가 제2행 8열의 제1 안착부(111b8)에 탈거될 수 있다.
상술한 바와 같이, 제1 픽커 구조체(2a) 및 제2 픽커 구조체(2b)의 픽커(21)에 대한 패드(22)의 탈거가 이루어지면, 제1 픽커 구조체(2a) 및 제2 픽커 구조체(2b)의 픽커(21)에 대한 새 패드(22') 장착이 이루어질 수 있다.
구체적으로, 제2 패드 캐리어(13)는 제1 행의 제1열의 제2 안착부(131a1)가 제1 기체 작용부(12a)의 Z축 타측에 위치하도록 Y축 일측으로 이동될 수 있고, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)는 X축 일측으로 이동하여 제1행 제1열의 제2 안착부(131a1) 및 제1 기체 작용부(12a)와 동일한 Z축 선상에 위치할 수 있고 이후, Z축 일측으로 하강 이동하여 제1행 제1열의 제2 안착부(131a1)에 안착된 새 패드(22')에 접촉될 수 있으며, 상술한 바와 같은, 자력에 의해 새 패드(22')가 픽커(21a1)에 장착될 수 있다.
이와 같이, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어진 후, 제2 패드 캐리어(13)는 제1행의 제2 열의 제2 안착부(131a2)가 제1 기체 작용부(12a)의 Z축 타측에 위치하고, 제2행의 제1 열의 제2 안착부(131b1)가 제2 기체 작용부(12b)의 Z축 타측에 위치하도록, Y축 일측으로 이동되어 이동할 수 있고, 제2 패드 캐리어(13b)의 상기 이동이 완료되면, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)는 X축으로 이동하여 제1행 제2열의 제2 안착부(131a2)의 Z축 타측에 위치한 후 Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')를 장착하고, 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)는 X축으로 이동하여 제2 행 제1 열의 제2 안착부(131b1)의 Z축 타측에 위치한 후 Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')를 장착할 수 있다. 이때, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)의 구동과 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)의 구동의 순서는 하나가 먼저 수행되거나, 또는 동시에 수행되는 등 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 본원에 한정되지 않는다.
이러한 과정에 따라, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 세번째 픽커(21a3)와 제2 픽커 구조체(2b)의 두번째 픽커(21b2) 각각이 제1행 제3열의 제2 안착부(131a3) 및 제2행 제2 열의 제2 안착부(131b2) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 네번째 픽커(21a4)와 제2 픽커 구조체(2b)의 세번째 픽커(21b3) 각각이 제1행 제4열의 제2 안착부(131a4) 및 제2행 제3 열의 제2 안착부(131b3) 각각에 장착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 다섯번째 픽커(21a5)와 제2 픽커 구조체(2b)의 네번째 픽커(21b4) 각각이 제1행 제5열의 제2 안착부(131a5) 및 제2행 제4 열의 제2 안착부(131b4) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여섯번째 픽커(21a6)와 제2 픽커 구조체(2b)의 다섯번째 픽커(21b5) 각각의 패드(22)가 제1행 제6열의 제2 안착부(131a6) 및 제2행 제5 열의 제2 안착부(131b5) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 일곱번째 픽커(21a7)와 제2 픽커 구조체(2b)의 여섯번째 픽커(21b6) 각각이 제1행 제7 열의 제2 안착부(131a7) 및 제2행 제6 열의 제2 안착부(131b6) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여덟번째 픽커(21a8)와 제2 픽커 구조체(2b)의 일곱번째 픽커(21b7) 각각이 제1행 제8열의 제2 안착부(131a8) 및 제2행 제7 열의 제2 안착부(131b7) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제2 픽커 구조체(2b)의 여덟번째 픽커(21b8)가 제2행 8열의 제2 안착부(131b8)에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있다.
또한, 픽커(21)에 대한 새 패드(22') 장착 시 블로우압이 작용될 수 있다.
구체적으로, 제2 패드 캐리어(13)는 제1 행의 제1열의 제2 안착부(131a1)이 제1 기체 작용부(12a) 상에 위치하도록 Y축 일측으로 이동될 수 있고, 제2 안착부(131a1)와 연결된 제2 통공부(132)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하면, 제1 기체 작용부(12a)는 그의 통로(121)와 제2 통공부(132)가 연통되게 Z축 타측으로 이동될 수 있고, 제1 기체 작용부의 Z축 타측으로의 이동 전, 후 또는 동시에 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)가 X축 일측으로 이동하고 Z축 일측으로 하강하여 제1행 제1열의 제2 안착부(131a1)에 안착된 새 패드(22')에 접촉될 수 있으며, 상술한 바와 같은, 자력에 의해 새 패드(22')가 픽커(21a1)에 장착될 수 있으며, 첫번째 픽커(21a1)의 새 패드(22')에 대한 접촉시, 통로(121)에 블로우압이 형성되며 제2 안착부(131a1)로부터 픽커(21a1)측으로 블로우압이 작용될 수 있으며, 이러한 경우, 새 패드(22')의 장착이 보다 용이하게 이루어질 수 있다
이와 같이, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어진 후, 제1 기체 작용부(12a)는 Z축 일측으로 이동되어 초기 위치로 돌아갈 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)와 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어질 수 있다.
구체적으로, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어진 후, 제1 기체 작용부(12a)는 Z축 일측으로 이동되어 초기 위치로 돌아갈 수 있고, 제2 패드 캐리어(13a)는 Y축 일측으로 이동할 수 있는데, 제1행의 제2 열의 제2 안착부(131a2)와 연결된 제2 통공부(132)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하고, 제2행의 제1 열의 제2 안착부(131b1)과 연결된 제1 통공부(112)가 제2 기체 작용부(12b)의 통로(121) 상에 위치하도록, 제2 패드 캐리어(13b)는 이동할 수 있고, 제2 패드 캐리어(13b)의 상기 이동이 완료되면, 제1 기체 작용부(12a)는 그의 통로(121)와 제1행의 제2 열의 제2 안착부(131a1)의 제2 통공부(132)가 연통되게 Z축 타측으로 이동되고, 제2 기체 작용부(12b)는 그의 통로(121)와 제2행 제1 열 제2 안착부(131b1)의 제2 통공부(132)가 연통되게 Z축 타측으로 이동될 수 있으며, 제1 기체 작용부(12a) 및 제2 기체 작용부(12b)의 Z축 타측으로의 이동 전, 후, 또는 동시에 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)는 X축 일측으로 이동하고 Z축 일측으로 하강하여 제1행 제2열의 제2 안착부(111a2)에 안착된 새 패드(22')에 접촉되고, 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)는 X축 일측으로 이동하고 Z축 일측으로 하강하여 제2 행 제1 열의 제2 안착부(131b1)에 안착된 새 패드(22')에 접촉되며, 이때, 상술한 바와 같이, 제1 및 제2 기체 작용부(12a, 12b) 각각의 통로(121)에 블로우압이 형성되며 제1행 제2열의 제2 안착부(131a2) 및 제2행 제1열의 제2 안착부(131b1)에 픽커(21a2, 21b1)측으로의 블로우압이 작용되어 새 패드(22')의 장착이 용이할 수 있다.
이러한 과정에 따라, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 세번째 픽커(21a3)와 제2 픽커 구조체(2b)의 두번째 픽커(21b2) 각각이 제1행 제3열의 제2 안착부(131a3) 및 제2행 제2 열의 제2 안착부(131b2) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 네번째 픽커(21a4)와 제2 픽커 구조체(2b)의 세번째 픽커(21b3) 각각이 제1행 제4열의 제2 안착부(131a4) 및 제2행 제3 열의 제2 안착부(131b3) 각각에 장착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 다섯번째 픽커(21a5)와 제2 픽커 구조체(2b)의 네번째 픽커(21b4) 각각이 제1행 제5열의 제2 안착부(131a5) 및 제2행 제4 열의 제2 안착부(131b4) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여섯번째 픽커(21a6)와 제2 픽커 구조체(2b)의 다섯번째 픽커(21b5) 각각의 패드(22)가 제1행 제6열의 제2 안착부(131a6) 및 제2행 제5 열의 제2 안착부(131b5) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 일곱번째 픽커(21a7)와 제2 픽커 구조체(2b)의 여섯번째 픽커(21b6) 각각이 제1행 제7 열의 제2 안착부(131a7) 및 제2행 제6 열의 제2 안착부(131b6) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 여덟번째 픽커(21a8)와 제2 픽커 구조체(2b)의 일곱번째 픽커(21b7) 각각이 제1행 제8열의 제2 안착부(131a8) 및 제2행 제7 열의 제2 안착부(131b7) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이후, 제2 픽커 구조체(2b)의 여덟번째 픽커(21b8)가 제2행 8열의 제2 안착부(131b8)에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있다.
또한, 도 3을 참조하면, 본 장치(1)는 패키지 싱귤레이션 시스템 등과 같은 패키지 제조 장치에 적용될 수 있는데, 예를 들어, 패키지 제조 장치는 반도체 패키지가 적재되는 트레이가 준비되는 트레이부를 포함할 수 있다. 제1 패드 캐리어(11) 및 제2 패드 캐리어(13)는 이러한 트레이부(9)에 구비될 수 있다. 이에 따라, 제1 패드 캐리어(11) 및 제2 패드 캐리어(13)의 이동은 트레이부 (9)의 레일(91)을 따른 Y축 이동에 의해 이루어질 수 있다.
이하에서는, 본원의 일 실시예에 따른 패드 자동 교체 방법(이하 '본 방법'이라 함)에 대해 설명한다. 다만, 본 방법은 상술한 본원의 일 실시예에 따른 자동 패드 교체 장치(1)에 의해 수행되는 것으로서, 본원의 일 실시예에 따른 자동 패드 교체 장치(1)와 동일하거나 상응하는 기술적 특징 및 구성을 공유한다. 따라서, 본원의 일 실시예에 따른 자동 패드 교체 장치(1)에서 설명한 내용과 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하며, 동일 내지 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.
본 방법은 픽커 구조체(2)의 픽커(21)에 결합된 패드(22)를 교체하는 자동 패드 교체 방법에 관한 것이다.
본 방법은 픽커(21)로부터 패드(22)를 탈거하는 단계(제1 단계)를 포함한다.
제1 단계는 제1 안착부(111) 및 제1 안착부(111)로부터 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부(112)가 형성되는 제1 패드 캐리어(11)가 제1 통공부(112)의 하측에 기체 작용부(12)가 위치하도록 이동하는 단계(제1-1 단계)를 포함한다.
또한, 제1 단계는 픽커(21)가 하강하여 그에 결합된 패드(22)를 제1 안착부(111)에 접촉시키고, 기체 작용부(12)가 Z축 타측으로 이동하여 제1 통공부(111)에 접근하는 단계(제1-2 단계)를 포함한다.
또한, 제1 단계는 기체 작용부(12)가 제1 통공부(112)를 통해 진공압을 작용하여 제1 안착부(111) 내에 안착된 패드(22)를 제1 안착부(111) 측으로 흡착하고, 픽커(21)가 Z축 타측으로 이동하는 단계(제1-3 단계)를 포함한다.
또한, 제1 안착부(111)는 n행 m열로 형성될 수 있다. 또한, 도 9를 참조하면, 기체 작용부(12)는 n 개로 구비될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 픽커 구조체(2)는 n 개로 구비될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2) 각각의 픽커(21)는 m개로 구비될 수 있다. 제1 단계는, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대하여 제1-1 단계 내지 제1-3 단계를 수행할 수 있다.
구체적으로, 제1 안착부(111)간의 Y축 방향 간격은 서로 동일하고, n 개의 기체 작용부는 Y축 방향으로 제1 안착부(111) 간의 Y축 방향 간격과 동일한 간격을 두고 배치될 수 있다. 다시 말해, 제1 안착부(111)간의 Y축 방향으로의 간격, 제2 안착부(131)의 Y축 방향으로의 간격 및 n 개의 기체 작용부(12) 간의 Y축 방향으로의 간격(제1 기체 작용부(12a)와 제2 기체 작용부(12b) 사이의 Y축 방향으로의 간격)은 서로 동일할 수 있다.
또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b)는 Y축으로 이웃할 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각에 있어서, m 개의 픽커(21)는 X축 방향으로 배치될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b)는 각각의 m 개의 픽커가 n 개의 기체 작용부(12a, 12b) 각각과 Z축 타측에 위치하도록 위치하고, X축으로 이동 가능하다.
이에 따라, 제1 단계는, 픽커 구조체(2a, 2b) 중 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)의 패드(22)가 제1 패드 캐리어(11)의 제1행의 제1열의 제1 안착부(111a1)에 탈거되고, 다음 픽커 구조체(제2 픽커 구조체(2b))의 첫번째 픽커(21b1)의 패드(22) 및 제1 픽커 구조체(2a)의 다음 픽커(21a2)의 패드(22) 각각이 다음 행(제2 행)의 제1열의 제1 안착부(111b1) 및 제1행의 다음열(제2 열)의 제1 안착부(111a2)에 탈거되는 순서로, 상기 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대하여 제1-1 단계 내지 제1-3 단계를 수행할 수 있다. 이에 대한 구체적 설명은 앞서 본 장치에서 살펴보았으므로, 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 방법은 픽커(21)에 새 패드(22')를 공급하는 단계(제2 단계)를 포함한다.
제2 단계는 픽커(21)의 하단부가 새 패드(22')에 접촉 가능하도록 새 패드(22')가 안착되는 제2 안착부(131)가 형성되는 제2 패드 캐리어(13)의 상측으로 픽커(21)가 이동하는 단계(제2-1 단계) 및 픽커(21)가 하강하여 새 패드(22')에 접촉하는 단계(제2-2 단계)를 포함할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이, 제2 안착부(111)는 n행 m열로 형성될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 픽커 구조체(2)는 n 개로 구비될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2) 각각의 픽커(21)는 m개로 구비될 수 있다. 제2 단계는, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대하여 제2-1 단계 내지 제2-2 단계를 수행할 수 있다.
구체적으로, 제2 안착부(131)간의 Y축 방향 간격은 서로 동일하고, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b)는 Y축으로 이웃할 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각에 있어서, m 개의 픽커(21)는 X축 방향으로 배치될 수 있다. 또한, n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각은 X축으로 이동 가능하다.
픽커 구조체(2a, 2b) 중 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)가 X 축 이동하여 제2 패드 캐리어(11)의 제1행의 제1열의 제2 안착부(131a1)에 준비된 새 패드(22')의 Z축 타측에 위치한 후, Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')에 접촉하고, 다음 픽커 구조체(제2 픽커 구조체(2b))의 첫번째 픽커(21b1) 및 제1 픽커 구조체(2a)의 다음 픽커(21a2) 각각이 X축 이동하여 다음 행(제2 행)의 제1열의 제2 안착부(131b1) 및 제1행의 다음열(제2 열)의 제2 안착부(131a2) 각각에 안착된 새 패드(22') 각각의 Z축 타측에 위치하고, 그후 Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')에 접촉하는 순서로, 상기 n 개의 픽커 구조체(2a, 2b) 각각의 m 개의 픽커(21) 각각에 대하여 새 패드(22') 접촉이 이루어질 수 있다. 픽커(21)와 새 패드(22')의 접촉이 이루어지면, 자력에 의해 새 패드(22')는 픽커(21)에 장착될 수 있다. 이에 대한 구체적 설명은 앞서 본 장치에서 살펴보았으므로, 상세한 설명은 생략한다.
한편, 상술한 바와 같은 제2 단계에 있어서, 제2-1 단계의 수행 전에, 제2 안착부(131)가 그의 하측에 기체 작용부(12)가 위치하도록 이동하는 단계(제2-3 단계)가 수행될 수 있다. 이에 따라, 제2 단계는 이하와 같이 수행될 수 있다.
제2 패드 캐리어(13)는 제1 행의 제1열의 제2 안착부(131a1)가 제1 기체 작용부(12a) 상에 위치하도록 Y축 일측으로 이동될 수 있고, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)가 X축으로 이동하여 제1행 제1열의 제2 안착부(131a1)의 Z축 타측에 위치한 후 Z축 일측으로 이동되어 새 패드(22')에 접촉될 수 있으며, 상술한 바와 같은, 자력에 의해 새 패드(22')가 픽커(21a1)에 장착될 수 있다.
이와 같이, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어진 후, 제2 패드 캐리어(13a)는 제1행의 제2 열의 제2 안착부(131a2)와 연결된 제2 통공부(132)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하고, 제2행의 제1 열의 제2 안착부(131b1)과 연결된 제1 통공부(112)가 제2 기체 작용부(12b)의 통로(121) 상에 위치하도록, Y축 일측으로 이동할 수 있고, 제2 패드 캐리어(13b)의 상기 이동이 완료되면, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)는 X축으로 이동하여 제1행 제2열의 제2 안착부(111a2)의 Z축 타측에 위치하고 Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')를 장착하고, 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1)는 X축으로 이동하여 제2 행 제1 열의 제2 안착부(131b1)의 Z축 타측에 위치할 수 있고, Z축 일측으로 이동하여 새 패드(22')를 장착할 수 있다. 이후, 이러한 방법에 의해 나머지 픽커들에 대해서도 새 패드(22')의 장착이 수행될 수 있다. 이에 대한 구체적 설명은 앞서 본 장치에서 살펴보았으므로, 상세한 설명은 생략한다.
또한, 다른 구현예로서, 제 2단계는 제2 패드 캐리어(13)가 제2 통공부(132)의 하측에 기체 작용부(12)가 위치하도록 이동하는 단계(제2-1 단계), 픽커(21)가 새 패드(22')에 접촉되고 기체 작용부(12)가 Z축 타측으로 이동하여 제2 통공부(131)에 접근하는 단계(제2-2 단계) 및 기체 작용부(12)가 제2 통공부(131)를 통해 블로우압을 작용하여 제2 안착부(131) 내에 안착된 새 패드(22')에 픽커(21)로의 외력을 작용하는 단계를 포함할 수 있다.
구체적으로, 제2 패드 캐리어(13)는 제1 행의 제1열의 제2 안착부(131a1)이 제1 기체 작용부(12a) 상에 위치하도록 Y축 일측으로 이동될 수 있고, 제2 안착부(131a1)와 연결된 제2 통공부(132)가 제1 기체 작용부(12a)의 통로(121) 상에 위치하면, 제1 기체 작용부(12a)는 그의 통로(121)와 제2 통공부(132)가 연통되게 Z축 타측으로 이동될 수 있고, 제1 기체 작용부의 Z축 타측으로의 이동 전, 후 또는 동시에 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)가 X축 일측으로의 이동 및 Z축 일측으로의 이동을 통해 제1행 제1열의 제2 안착부(131a1)에 안착된 새 패드(22')에 접촉될 수 있으며, 상술한 바와 같은, 자력에 의해 새 패드(22')가 픽커(21a1)에 장착될 수 있다. 이때, 통로(121)에 블로우압이 형성되며 제2 안착부(131a1)로부터 픽커(21a1)측으로 블로우압이 작용될 수 있으며, 이러한 경우, 새 패드(22')의 장착이 보다 용이하게 이루어질 수 있다.
이와 같이, 제1 픽커 구조체(2a)의 첫번째 픽커(21a1)에 대한 새 패드(22')의 장착이 이루어진 후, 제1 기체 작용부(12a)는 Z축 일측으로 이동되어 초기 위치로 돌아갈 수 있으며, 이후, 제1 픽커 구조체(2a)의 두번째 픽커(21a2)와 제2 픽커 구조체(2b)의 첫번째 픽커(21b1) 각각은 X축 일측으로의 이동 및 Z축 일측으로의 이동을 통해 제1행 제2 열의 제2 안착부(131a2) 및 제2 행 제1 열의 제2 안착부(131b1) 각각에 안착된 새 패드(22')를 장착할 수 있고, 이러한 새 패드(22')의 장착시 블로우압이 작용될 수 있다. 으며, 이후, 나머지 픽커들에 대해서도 새 패드(22')의 장착이 수행될 수 있고, 이때, 블로우압이 작용될 수 있다. 이에 대한 구체적 설명은 앞서 본 장치에서 살펴보았으므로, 상세한 설명은 생략한다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 자동 패드 교체 장치
11: 제1 패드 캐리어
111: 제1 안착부
112: 제1 통공부
113: 돌출부
114: 타측 연결 통로
115: 일측 연결 통로
12: 기체 작용부
12a: 제1 기체 작용부
12b: 제2 기체 작용부
121: 통로
13: 제2 패드 캐리어
131: 제2 안착부
132: 제2 통공부
133: 돌출부
134: 타측 연결 통로
135: 일측 연결 통로
2: 픽커 구조체
21: 픽커
22: 패드
22': 새 패드
23: 구동부
9: 트레이부
91: 레일

Claims (9)

  1. 픽커 구조체의 픽커에 결합된 패드를 교체하는 자동 패드 교체 장치를 이용한 자동 패드 교체 방법으로서,
    (a) 상기 픽커로부터 상기 패드를 탈거하는 단계; 및
    (b) 상기 픽커에 새 패드를 공급하는 단계를 포함하되,
    상기 (a) 단계는,
    (a1) 제1 안착부 및 상기 제1 안착부로부터 Z축 일측으로 통공된 제1 통공부가 형성되는 제1 패드 캐리어가 상기 제1 통공부의 하측에 기체 작용부가 위치하도록 이동하는 단계;
    (a2) 상기 픽커가 그에 결합된 패드를 상기 제1 안착부에 접촉시키고, 상기 기체 작용부가 Z축 타측으로 이동하여 상기 제1 통공부에 접근하는 단계; 및
    (a3) 상기 기체 작용부가 상기 제1 통공부를 통해 진공압을 작용하여 상기 제1 안착부 내에 안착된 상기 패드를 상기 제1 안착부측으로 흡착하고, 상기 픽커가 Z축 타측으로 이동하는 단계를 포함하는 자동 패드 교체 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 안착부는 n행 m열로 형성되고,
    상기 기체 작용부는 상기 n개로 구비되며,
    상기 픽커 구조체는 상기 n개로 구비되고,
    상기 픽커 구조체 각각의 픽커는 상기 m개로 구비되며,
    상기 (a) 단계는, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (a1) 내지 상기 (a3) 단계를 수행하는 것인, 자동 패드 교체 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 안착부간의 Y축 방향 간격은 서로 동일하고,
    상기 n 개의 기체 작용부는, 안착부Y축 방향으로 상기 제1 안착부간의 Y축 방향 간격과 동일한 간격을 두고 배치되며,
    상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각은, X축으로 이동 가능하고, 상기 m개의 상기 픽커가 X축 방향으로 배치되고,
    상기 n 개의 상기 픽커 구조체는 Y축으로 이웃하는 것인, 자동 패드 교체 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 (a) 단계는,
    상기 픽커 구조체 중 제1 픽커 구조체의 첫번째 픽커의 패드가 상기 제1행의 제1열의 상기 제1 안착부에 탈거되고, 다음 픽커 구조체의 첫번째 픽커의 패드 및 상기 제1 픽커 구조체의 다음 픽커의 패드 각각이 다음 행의 제1열의 상기 제1 안착부 및 제1행의 다음열의 상기 제1 제1 안착부에 탈거되는 순서로, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (a1) 내지 상기 (a3) 단계를 수행하는 것인, 자동 패드 교체 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 (b) 단계는,
    (b1) 상기 픽커의 하단부에 접촉 가능하도록 새 패드가 안착되는 제2 안착부가 형성되는 제2 패드 캐리어의 상측으로 상기 픽커가 이동하는 단계; 및
    (b2) 상기 픽커가 Z축 일측으로 이동하여 상기 새 패드에 접촉하는 단계,
    를 포함하는 것인, 자동 패드 교체 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2 안착부는 n행 m열로 형성되고,
    상기 픽커 구조체는 상기 n개로 구비되고,
    상기 픽커 구조체 각각의 픽커는 상기 m개로 구비되며,
    상기 (b) 단계는, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (b1) 내지 상기 (b2) 단계를 수행하는 것인, 자동 패드 교체 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 안착부간의 Y축 방향 간격은 서로 동일하고,
    상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각은, X축으로 이동 가능하고, 상기 m개의 상기 픽커가 X축 방향으로 배치되고,
    상기 n 개의 상기 픽커 구조체는 Y축으로 이웃하는 것인, 자동 패드 교체 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 (b) 단계는,
    상기 픽커 구조체 중 X축 타측에 위치하는 제1 픽커 구조체의 첫번째 픽커가 상기 제1행의 제1열의 상기 제2 안착부에 안착된 새 패드에 접촉하고, 다음 픽커 구조체의 첫번째 픽커 및 상기 제1 픽커 구조체의 다음 픽커 각각이 다음 행의 제1열의 상기 제2 안착부에 안착된 새 패드 및 제1행의 다음열의 상기 제2 안착부에 안착된 새 패드에 접촉하는 순서로, 상기 n 개의 상기 픽커 구조체 각각의 상기 m 개의 픽커 각각에 대하여 상기 (b1) 내지 상기 (b2) 단계를 수행하는 것인, 자동 패드 교체 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 (b) 단계는,
    (b1) 상기 픽커의 하단부에 접촉 가능하도록 새 패드가 안착되는 제2 안착부 및 상기 제2 안착부로부터 Z축 일측으로 통공된 제2 통공부가 형성되는 제2 패드 캐리어가 상기 제2 통공부의 하측에 상기 기체 작용부가 위치하도록 이동하는 단계;
    (b2) 상기 픽커가 상기 새 패드에 접촉되고, 상기 기체 작용부가 Z축 타측으로 이동하여 상기 제2 통공부에 접근하는 단계;
    (b3) 상기 기체 작용부가 상기 제2 통공부를 통해 블로우압을 작용하여 상기 제2 안착부 내에 안착된 상기 새 패드에 상기 픽커로의 외력을 작용하는 단계를 포함하는 것인, 자동 패드 교체 방법.

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