JP5982128B2 - 収容カセット - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係る収容カセットがカセット載置台に載置された切削装置の構成例を示す図である。図2は、実施形態に係る収容カセットの概略の構成を模式的に示す斜視図である。図3は、実施形態に係る収容カセットがカセット載置台に載置される前の概略の構成を模式的に示す断面図である。図4は、実施形態に係る収容カセットの当接部がカセット載置台の座面に当接した状態の概略の構成を模式的に示す断面図である。図5は、実施形態に係る収容カセットがカセット載置台に載置された状態の概略の構成を模式的に示す断面図である。図6は、実施形態に係る収容カセットがカセット載置台に載置される前の要部の断面図である。図7は、実施形態に係る収容カセットの当接部がカセット載置台の座面に当接した状態の要部の断面図である。図8は、実施形態に係る収容カセットがカセット載置台に載置された状態の要部の断面図である。図9は、実施形態に係る収容カセットの当接部が位置決めピンの高いカセット載置台に載置された状態の要部の断面図である。図10は、実施形態に係る収容カセットの当接部が位置決めピンの低いカセット載置台に載置された状態の要部の断面図である。
100 収容カセット
101 側板
102 収容棚
103 開口部
104 背止部
105 ウエーハ規制部
106 第一の圧縮バネ
107 当接部
108 第二の圧縮バネ
115 棚(収容棚の一部)
F 環状フレーム
T 粘着テープ
W ウエーハ
Claims (1)
- ウエーハ又は粘着テープに貼着されてウエーハが一体となった環状フレームを複数枚収容するための収容カセットであって、
対向する側板に複数形成されたウエーハを収容する収容棚と、
ウエーハが出し入れできる開口部と、
ウエーハを背部で支持する背止部と、
該収容棚の一部が下にずれて該収容棚に収容されたウエーハの搬出を規制する閉状態及び、上に戻りウエーハを搬出可能な開状態に上下にスライド可能に配設されたウエーハ規制部と、
該ウエーハ規制部の上端に配設され該ウエーハ規制部を下方に付勢することで閉状態とする第一の圧縮バネと、
該ウエーハ規制部の下端に配設され且つカセット載置台に載置された際に該カセット載置台に当接する当接部と、
該当接部と該ウエーハ規制部の間に配設され且つ該ウエーハ規制部を上方に押圧して開状態を維持する第二の圧縮バネと、
を備え、
該第二の圧縮バネは、ばね定数が該第一の圧縮バネのばね定数よりも大きく形成され、該当接部が該カセット載置台に載置され、該第一の圧縮バネが全縮長又は略全縮長に縮小すると、縮小して自由長と全縮長との間の長さとなる
ことを特徴とする収容カセット。
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JP2012023301A JP5982128B2 (ja) | 2012-02-06 | 2012-02-06 | 収容カセット |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2012023301A JP5982128B2 (ja) | 2012-02-06 | 2012-02-06 | 収容カセット |
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JP2013161972A JP2013161972A (ja) | 2013-08-19 |
JP5982128B2 true JP5982128B2 (ja) | 2016-08-31 |
Family
ID=49173980
Family Applications (1)
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JP2012023301A Active JP5982128B2 (ja) | 2012-02-06 | 2012-02-06 | 収容カセット |
Country Status (1)
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- 2012-02-06 JP JP2012023301A patent/JP5982128B2/ja active Active
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