JP2013161972A - 収容カセット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】収容カセット100は収容棚102とウエーハ規制部105と第一の圧縮バネ106と当接部107と第二の圧縮バネ108とを備えている。ウエーハ規制部105は棚115が下にずれてウエーハの搬出を規制する閉状態及び上に戻りウエーハを搬出可能な開状態に上下にスライド可能である。第一の圧縮バネ106はウエーハ規制部105の上端に配設されウエーハ規制部105を下方に付勢する。当接部107はウエーハ規制部105の下端に配設され且つカセット載置台60に載置された際に該カセット載置台60に当接する。第二の圧縮バネ108は当接部107とウエーハ規制部105の間に配設され且つウエーハ規制部105を上方に押圧して開状態を維持する。
【選択図】図6
Description
図1は、実施形態に係る収容カセットがカセット載置台に載置された切削装置の構成例を示す図である。図2は、実施形態に係る収容カセットの概略の構成を模式的に示す斜視図である。図3は、実施形態に係る収容カセットがカセット載置台に載置される前の概略の構成を模式的に示す断面図である。図4は、実施形態に係る収容カセットの当接部がカセット載置台の座面に当接した状態の概略の構成を模式的に示す断面図である。図5は、実施形態に係る収容カセットがカセット載置台に載置された状態の概略の構成を模式的に示す断面図である。図6は、実施形態に係る収容カセットがカセット載置台に載置される前の要部の断面図である。図7は、実施形態に係る収容カセットの当接部がカセット載置台の座面に当接した状態の要部の断面図である。図8は、実施形態に係る収容カセットがカセット載置台に載置された状態の要部の断面図である。図9は、実施形態に係る収容カセットの当接部が位置決めピンの高いカセット載置台に載置された状態の要部の断面図である。図10は、実施形態に係る収容カセットの当接部が位置決めピンの低いカセット載置台に載置された状態の要部の断面図である。
100 収容カセット
101 側板
102 収容棚
103 開口部
104 背止部
105 ウエーハ規制部
106 第一の圧縮バネ
107 当接部
108 第二の圧縮バネ
115 棚(収容棚の一部)
F 環状フレーム
T 粘着テープ
W ウエーハ
Claims (1)
- ウエーハ又は粘着テープに貼着されてウエーハが一体となった環状フレームを複数枚収容するための収容カセットであって、
対向する側板に複数形成されたウエーハを収容する収容棚と、
ウエーハが出し入れできる開口部と、
ウエーハを背部で支持する背止部と、
該収容棚の一部が下にずれて該収容棚に収容されたウエーハの搬出を規制する閉状態及び、上に戻りウエーハを搬出可能な開状態に上下にスライド可能に配設されたウエーハ規制部と、
該ウエーハ規制部の上端に配設され該ウエーハ規制部を下方に付勢することで閉状態とする第一の圧縮バネと、
該ウエーハ規制部の下端に配設され且つカセット載置台に載置された際に該カセット載置台に当接する当接部と、
該当接部と該ウエーハ規制部の間に配設され且つ該ウエーハ規制部を上方に押圧して開状態を維持する第二の圧縮バネと、
を備えることを特徴とする収容カセット。
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