JPH0853187A - 板状物品収納用キャリア - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は板状の物品、例えばウエハを収納
し、その飛び出しを防止する機能を持つ飛び出し防止ス
トッパ付キャリアを提供することを目的とする。 【構成】 一対の壁間に対向するように設けられた複数
段の収納溝２を介して板状の物品２０を積層状に収納す
るためのキャリア１において、収納溝２の端縁で移動可
能な状態にストッパ１０を配置する。このストッパ１０
は、その一端が該ストッパ１０を一方向に付勢するため
のバネ１１によりキャリア１に連結され、他端はバネ１
１に抗してストッパ１０を押圧するためのプッシャ１２
が設けられる。またストッパ１０は、バネ１１により付
勢された状態において収納溝２を閉鎖する位置に閉鎖片
１０ａが配置され、バネ１１の付勢力に抗するプッシャ
１２の押圧で、閉鎖片１０ａによる収納溝２の閉鎖が解
除される状態を成す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、板状の物品、特にウエ
ハを収納するキャリアにおいて、収納されたウエハの飛
び出しを防止する板状物品収納用キャリアに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば半導体製造設備において使
用されるウエハを収納するためのキャリアは、収納され
たウエハの飛び出しを防止するための機能を有するもの
は特に存在しなかった。すなわち、一対の壁間に対向す
るように設けられた複数段の収納溝を介してウエハを積
層状に収納するキャリアを使用し、このキャリアにウエ
ハを複数枚収納した状態にて、各半導体製造設備間の搬
送等を行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の場
合においては、例えばウエハを収納した状態のキャリア
に外的要因（ハンドリングロボットの機械的故障等）に
よりが転倒が発生した場合、収納されたウエハの飛び出
しを防止する機能が無いため、前記ウエハは前記キャリ
アより飛び出し、飛散してしまう可能性がある。これは
不良品のウエハの大量発生の要因となってしまう。よっ
て本発明はウエハの飛び出しを防止する機能を備え、前
記ウエハの挿脱を行う場合以外は、常に前記ウエハの飛
び出し防止機能が働く板状物品収納用キャリアを提供す
ることを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、一対の壁間に対向するように設けられた複
数段の収納溝２を介して板状の物品２０を積層状に収納
するためのキャリア１において、以下のように構成され
たものである。前記収納溝２の端縁で移動可能な状態
に、前記板状物品２０の飛び出し防止用のストッパ１０
が配置される。このストッパ１０は、その一端が該スト
ッパ１０を一方向に付勢するためのバネ１１により前記
キャリア１に連結される。また同じく他端は、前記バネ
１１に抗して前記ストッパ１０を押圧するためのプッシ
ャ１２が設けられる。さらにストッパ１０は、前記バネ
１１により付勢された状態において、前記収納溝２を閉
鎖する位置に閉鎖片１０ａが配置される。このとき前記
バネ１１の付勢力に抗する前記プッシャ１２の押圧で、
前記閉鎖片１０ａによる前記収納溝２の閉鎖が解除され
る状態を成すものとする。

【０００５】前記バネ１１は、前記キャリア１の重量に
より撓み得るバネ定数により形成するとよい。また前記
閉鎖片１０ａは、前記収納溝２と等しいピッチで、かつ
各閉鎖片１０ａ間を前記物品２０が通過し得る間隔で、
繰り返し形成される。そして前記プッシャ１２が前記カ
セット１より突出した状態を成し、その突出量は前記収
納溝２のピッチの二分の一とするとよい。また前記キャ
リア１は、ウエハ２０を収納するためのものであること
が考えられる。

【０００６】

【作用】上記構成によれば、キャリア１に収納された板
状物品２０は、収納溝２をバネ１１により付勢された状
態のストッパ１０の閉鎖片１０ａにより閉鎖されている
ため、例えば前記キャリア１が転倒した場合であっても
前記キャリア１より飛び出すことは無い。しかしながら
プッシャ１２を押圧した場合、このプッシャ１２と連結
しているストッパ１０は、バネ１１に抗して前記プッシ
ャ１２に伴い押圧され移動される。このストッパ１０の
移動により、閉鎖片１０ａによる収納溝２の閉鎖は解除
される。従ってキャリア１に収納された板状物品２０
は、プッシャ１２の押圧することによりその挿脱が可能
な状態となる。

【０００７】バネ１１のバネ定数をキャリア１の重量に
より撓み得るものとした場合は、前記キャリア１を載置
することにより、前記バネ１１が撓みプッシャ１２が押
圧される。すなわちキャリア１の載置により、収納され
た板状の物品２０は挿脱が可能な状態となる。閉鎖片１
０ａを収納溝２と等しいピッチで繰り返し、かつプッシ
ャ１２の突出量を前記収納溝２のピッチの二分の一とし
た場合は、前記プッシャ１２をキャリア１と面一になる
まで押圧すると、前記閉鎖片１０ａは前記収納溝２の二
分の一ピッチ移動され、収納溝２の閉鎖が解除される。
よってプッシャ１２がキャリア１と面一になるまで、す
なわちキャリア１を平面上に載置することにより、収納
された板状物品２０は挿脱が可能な状態となる。

【０００８】

【実施例】以下図面に基づき本発明に係わる板状物品収
納キャリアについて説明する。尚、ここではウエハ２０
を収納するためのキャリア１に適用した場合を説明す
る。図１は、当該キャリア１の外観図を示す。図例の如
く当該キャリア１は、その本体内に対向する状態で、か
つウエハ２０の縁部に掛合する収納溝２が設けられてい
る。この収納溝２を介してウエハ２０は、積層状に収納
される。またウエハ２０を挿脱を行うするための収納口
を一面に有する。

【０００９】このようなキャリア１において、収納溝２
の端縁に沿ってウエハ２０の飛び出し防止用のストッパ
１０が設けられている。このストッパ１０は、その上部
及び下部を略垂直方向に移動可能な状態で、キャリア１
に設けられたストッパガイド３により保持される。また
ストッパ１０には、収納溝を閉鎖するための閉鎖片１０
ａが収納溝２が設けられたピッチと等しく繰り返し設け
られる。この閉鎖片１０ａと隣接する閉鎖片１０ａとの
間は、ウエハ２０の縁部が通過し得るよう形成されてい
る。さらに閉鎖片１０ａは、ストッパ１０が後述するバ
ネ１１により付勢された状態で、キャリア１の収納溝２
を閉鎖する位置にあるように形成されるものとする。
尚、ストッパ１０は、本実施例においては片側の収納溝
２部分だけに設けられているが、両側の収納溝２部分に
設けることも実施可能である。

【００１０】またストッパ１０の上方側の一端は、バネ
１１によりキャリア１に連結されている。このバネ１１
は、前記ストッパ１０を下方に付勢するためのもので、
キャリア１の重量により撓み得るバネ定数により形成さ
れている。尚、本実施例においては、このバネ１１は板
バネにより形成されているが、他のものであっても実施
可能である。さらにストッパ１０の下方側の一端は、キ
ャリア１より突出した状態を成すプッシャ１２が設けら
れている。このプッシャ１２はストッパ１０と一体に連
結され、キャリア１より下方に、すなわちバネ１１がス
トッパ１０を付勢している方向に突出している。またプ
ッシャ１２のキャリア１からの突出量は、前記キャリア
１の収納溝２のピッチの二分の一に形成されている。

【００１１】次に上記構成によるウエハ２０の飛び出し
防止機能について説明する。ここで図２には、ストッパ
１０の一例を表す正面図を示す。図２の（ａ）に示すよ
うに、キャリア１に収納されたウェハ２０は、収納溝２
をバネ１１により付勢された状態のストッパ１０の閉鎖
片１０ａにより閉鎖されているため、前記キャリア１が
例えば搬送中に転倒した場合であっても、前記ウェハ２
０が前記キャリア１より飛び出すことは無い。しかしな
がら図２の（ｂ）に示すように、キャリア１を略水平の
平面状に形成された搭載台３０上において、プッシャ１
２の突出している方向を下向きに、すなわち前記搭載台
３０により前記プッシャ１２が押圧される状態に載置し
た場合、前記キャリア１の重量によりバネ１１が撓み、
前記プッシャ１２の押圧に伴い前記ストッパ１０が移動
される。

【００１２】このストッパ１０の移動は、略垂直方向で
かつプッシャ１２が押圧された量に応じて行われる。こ
のときプッシャ１２は、キャリア１の下面と面一となる
まで押圧される。従ってストッパ１０は、プッシャ１２
の突出量と等しく移動される。すなわちこのストッパ１
０の移動により、閉鎖片１０ａはキャリア１の収納溝２
のピッチの二分の一だけ移動し、前記収納溝２は各閉鎖
片１０ａの間と一致する状態を成す。よって閉鎖片１０
ａによる収納溝２の閉鎖状態は解除される。つまりキャ
リア１に収納されたウエハ２０は、前記キャリア１を搭
載台３０に載置することによってその挿脱が可能とな
る。

【００１３】図３には、キャリア１を載置する場合の他
の実施例を表す側面図を示す。図例のように、キャリア
１を載置するために略水平に形成された搭載台３０と、
この搭載台３０より略垂直に立ち上がる押圧壁３１を設
ける。そしてこの搭載台３０上に、キャリア１を寝かせ
た状態で、すなわちプッシャ１２が突出している面を押
圧壁３１側で、前記押圧壁３１により前記プッシャ１２
がキャリア１と面一になるまで押圧される状態を成すよ
うにキャリア１を載置する。以上のように構成すること
により、プッシャ１２は押圧壁３１により押圧されキャ
リア１に収納されたウエハ２０の挿脱が可能となる。

【００１４】この場合ウエハ２０の挿脱が可能である状
態、すなわちバネ１１が撓んだ状態を保つために、キャ
リア１を押圧壁３１に付勢するための手段を設けること
が考えられる。例えば押圧壁３１のキャリア１を挟んだ
反対側にエアシリンダ等のアクチュエータを配置し、こ
れにより前記キャリア１を前記押圧壁３１側へ付勢する
場合が考えられる。またキャリア１を押圧壁３１に付勢
するための手段を設けない場合であっても、前記キャリ
ア１と載置台３０との摩擦係数を、前記キャリア１が移
動し得ないものに設定することにより上述の状態の維持
は可能となる。すなわちキャリア１の重量に前記摩擦係
数を乗した値が、バネ１１のバネ定数に前記バネ１１の
撓み量を乗した値より大きければ、前記キャリア１はウ
エハ２０の挿脱が可能な状態を維持する。

【００１５】

【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、ストッパがバネにより付勢されている状態において
は、収納されたウエハ（板状の物品）がキャリアより飛
び出すことは無い。つまりキャリアの搬送中、あるいは
外的要因等によりキャリアの転倒が発生した場合には、
プッシャへの押圧が解除されるため、ウエハ（板状の物
品）の飛び出しは発生しない。よって所定の状態、すな
わちプッシャを押圧した状態でのみウエハ（板状の物
品）の挿脱が可能で、他の状態においては常に飛び出し
防止機能が働き、前記ウエハ（板状の物品）がキャリア
より飛散することの無い板状物品収納キャリアを実現し
た。また本発明は、プッシャの押圧によりウエハ（板状
の物品）の挿脱が可能となる。特にバネ及びプッシャ突
出量の設定により、キャリアを平面上に載置することに
よりウエハ（板状の物品）の挿脱が可能となる。よって
非常に簡便な対応が可能であるという効果も奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる板状物品収納キャリアの一例を
示す外観図である。

【図２】ストッパの一例を示す正面図である。

【図３】他のキャリア載置方法を示す側面図である。

【符号の説明】

１ キャリア ２ 収納溝 １０ ストッパ １０ａ 閉鎖片 １１ バネ １２ プッシャ ２０ ウエハ（板状の物品）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の壁間に対向するように設けられた
   複数段の収納溝を介して板状の物品を積層状に収納する
   ためのキャリアにおいて、 前記収納溝の端縁で移動可能な状態に前記板状物品の飛
   び出し防止用のストッパを配置したものであって、 前記ストッパは、その一端が該ストッパを一方向に付勢
   するためのバネにより前記キャリアに連結され、 同他端は、前記バネに抗して前記ストッパを押圧するた
   めのプッシャが設けられるとともに、 前記ストッパは、前記バネによる付勢状態で前記収納溝
   を閉鎖する位置に閉鎖片が配置され、 前記バネの付勢力に抗する前記プッシャの押圧で、前記
   閉鎖片による前記収納溝の閉鎖が解除される状態を成す
   ことを特徴とする板状物品収納用キャリア。
2. 【請求項２】 前記バネが、前記キャリアの重量により
   撓み得るバネ定数により形成されたことを特徴とする請
   求項１記載の板状物品収納用キャリア。
3. 【請求項３】 前記閉鎖片が前記収納溝と等しいピッチ
   で、かつ各閉鎖片間を前記板状物品が通過し得る間隔で
   繰り返し形成されるとともに、 前記プッシャが前記カセットより突出した状態を成し、
   その突出量が収納溝のピッチの二分の一であることを特
   徴とする請求項１、または２記載の板状物品収納用キャ
   リア。
4. 【請求項４】 前記キャリアが、ウエハを収納するため
   のものであることを特徴とする請求項１、２、または３
   記載の板状物品収納用キャリア。