JPH0927543A - ウェーハカセット - Google Patents
ウェーハカセットInfo
- Publication number
- JPH0927543A JPH0927543A JP19570195A JP19570195A JPH0927543A JP H0927543 A JPH0927543 A JP H0927543A JP 19570195 A JP19570195 A JP 19570195A JP 19570195 A JP19570195 A JP 19570195A JP H0927543 A JPH0927543 A JP H0927543A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- housing
- groove
- guide piece
- wafer cassette
- Prior art date
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 56
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 14
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェーハカセットの収容溝にウェーハを収容
する際に、左右の収容溝の段を間違えないようにしたウ
ェーハカセットを提供する。 【解決手段】 対向する側板にウェーハを収容する収容
溝が複数形成されたウェーハカセットにおいて、前記収
容溝の前部又は後部の一方に、又は双方に溝を構成する
ガイド片に１段おきに対称の位置に切り欠きを設ける。
する際に、左右の収容溝の段を間違えないようにしたウ
ェーハカセットを提供する。 【解決手段】 対向する側板にウェーハを収容する収容
溝が複数形成されたウェーハカセットにおいて、前記収
容溝の前部又は後部の一方に、又は双方に溝を構成する
ガイド片に１段おきに対称の位置に切り欠きを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数枚のウェーハ
を収容するためのウェーハカセットに関する。
を収容するためのウェーハカセットに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハは、ウェーハカセットに
収容されてダイシング装置等のカセット載置領域に載置
され所要の処理が施される。このウェーハカセットは、
従来例えば図３（イ）に示すように対向する側板１の内
面にウェーハＷ（粘着テープＮを介してフレームＦに保
持されている）を収容するための収容溝１ａがガイド片
１ｂによって複数形成され、その収容溝１ａに対してウ
ェーハＷをウェーハカセットＣ1 の前部Ａから出し入れ
し、ウェーハＷが背部Ｂから抜け落ちないようにストッ
パ２が側板１の後部にそれぞれ取り付けられている。
又、図３（ロ）に示すように側板１１の後部に開閉自在
のストッパ１２を設け、このストッパ１２はスプリング
１３に抗してレバー１４を前方（矢印方向）に押すと、
枢支部１５回りに回転して側板１１の内面に形成された
凹部１１ｃ内に入り込みストッパ１２が開状態になるよ
うに構成されており、この開状態においてガイド片１１
ｂによって構成される収容溝１１ａに収容されているウ
ェーハ（図略）をウェーハカセットＣ2 の背部Ｂから出
し入れ出来るようにしたものもある。出し入れ後にレバ
ー１４から手を離すと、スプリング１３の復元力によっ
てレバー１４が押し戻されると共に、ストッパ１２が逆
回転して凹部１１ｃから突出し、背部Ｂからのウェーハ
の抜け落ちを防止するストッパ作用をなす。
収容されてダイシング装置等のカセット載置領域に載置
され所要の処理が施される。このウェーハカセットは、
従来例えば図３（イ）に示すように対向する側板１の内
面にウェーハＷ（粘着テープＮを介してフレームＦに保
持されている）を収容するための収容溝１ａがガイド片
１ｂによって複数形成され、その収容溝１ａに対してウ
ェーハＷをウェーハカセットＣ1 の前部Ａから出し入れ
し、ウェーハＷが背部Ｂから抜け落ちないようにストッ
パ２が側板１の後部にそれぞれ取り付けられている。
又、図３（ロ）に示すように側板１１の後部に開閉自在
のストッパ１２を設け、このストッパ１２はスプリング
１３に抗してレバー１４を前方（矢印方向）に押すと、
枢支部１５回りに回転して側板１１の内面に形成された
凹部１１ｃ内に入り込みストッパ１２が開状態になるよ
うに構成されており、この開状態においてガイド片１１
ｂによって構成される収容溝１１ａに収容されているウ
ェーハ（図略）をウェーハカセットＣ2 の背部Ｂから出
し入れ出来るようにしたものもある。出し入れ後にレバ
ー１４から手を離すと、スプリング１３の復元力によっ
てレバー１４が押し戻されると共に、ストッパ１２が逆
回転して凹部１１ｃから突出し、背部Ｂからのウェーハ
の抜け落ちを防止するストッパ作用をなす。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記のように半導体ウ
ェーハＷは、粘着テープＮを介してフレームＦに配設さ
れ、このフレームＦと共にウェーハカセット内に収容さ
れるが、収容の際にカセットの両側板に対向して配設さ
れた左右の収容溝の段を間違えて斜めに収容してしまう
場合がある。又、ダイシングの際にダイシング状態等を
途中でチェックする場合においては、前記ウェーハカセ
ットＣ2 の背部Ｂからオペレータがウェーハを出し入れ
するが、その出し入れの際にも収容溝の段を間違えるこ
とがある。ウェーハを斜めに収容する場合として、一番
多いのが収容溝を１段間違えることであり、２段若しく
はそれ以上間違えることは殆どない。従って、本発明は
収容溝を１段間違える防止策について検討した結果、ウ
ェーハの斜め収容を未然に防止出来るようにしたウェー
ハカセットを提供するものである。
ェーハＷは、粘着テープＮを介してフレームＦに配設さ
れ、このフレームＦと共にウェーハカセット内に収容さ
れるが、収容の際にカセットの両側板に対向して配設さ
れた左右の収容溝の段を間違えて斜めに収容してしまう
場合がある。又、ダイシングの際にダイシング状態等を
途中でチェックする場合においては、前記ウェーハカセ
ットＣ2 の背部Ｂからオペレータがウェーハを出し入れ
するが、その出し入れの際にも収容溝の段を間違えるこ
とがある。ウェーハを斜めに収容する場合として、一番
多いのが収容溝を１段間違えることであり、２段若しく
はそれ以上間違えることは殆どない。従って、本発明は
収容溝を１段間違える防止策について検討した結果、ウ
ェーハの斜め収容を未然に防止出来るようにしたウェー
ハカセットを提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、対向する側板にウェ
ーハを収容する収容溝が複数形成されたウェーハカセッ
トにおいて、前記収容溝の前部又は後部のいずれか一方
に、又は双方に溝を構成するガイド片に１段置きに対称
の位置に切り欠きを設けたウェーハカセットを要旨とす
る。
するための手段として、本発明は、対向する側板にウェ
ーハを収容する収容溝が複数形成されたウェーハカセッ
トにおいて、前記収容溝の前部又は後部のいずれか一方
に、又は双方に溝を構成するガイド片に１段置きに対称
の位置に切り欠きを設けたウェーハカセットを要旨とす
る。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて（従来と同一部材は同一符号で）詳説す
る。図１は本発明の第１形態例を示すもので、１はウェ
ーハカセットＣ3 の対向側板であり、その内面にフレー
ムＦ付きウェーハＷを収容するための収容溝１ａがガイ
ド片１ｂによって一定の間隔をあけて複数形成されてい
る。
図面に基づいて（従来と同一部材は同一符号で）詳説す
る。図１は本発明の第１形態例を示すもので、１はウェ
ーハカセットＣ3 の対向側板であり、その内面にフレー
ムＦ付きウェーハＷを収容するための収容溝１ａがガイ
ド片１ｂによって一定の間隔をあけて複数形成されてい
る。
【０００６】前記収容溝１ａを構成するガイド片１ｂに
は、前部Ａ側の端部において１段おきに切り欠き３が左
右対称に設けられている。尚、２は側板１の後部に取り
付けられたストッパである。
は、前部Ａ側の端部において１段おきに切り欠き３が左
右対称に設けられている。尚、２は側板１の後部に取り
付けられたストッパである。
【０００７】このように構成されたウェーハカセットＣ
3 は、従来と同様に前部ＡからウェーハＷを出し入れす
るが、ウェーハＷを収容溝１ａに収容する際に前記切り
欠き３の有無を見ながら収容すれば、左右の収容溝１ａ
の段を間違えることなく正しく収容することが出来る。
3 は、従来と同様に前部ＡからウェーハＷを出し入れす
るが、ウェーハＷを収容溝１ａに収容する際に前記切り
欠き３の有無を見ながら収容すれば、左右の収容溝１ａ
の段を間違えることなく正しく収容することが出来る。
【０００８】図２は本発明の第２形態例を示すもので、
背部Ｂからもウェーハの出し入れが出来るようにしたも
のであり、ウェーハカセットＣ4 の対向側板１１の内面
に形成された収容溝１１ａを構成するガイド片１１ｂの
後端部には、１段おきに切り欠き２３が左右対称に設け
られている。尚、１２は側板１１の後部に開閉自在に設
けられたストッパであり、従来と同様にスプリング１３
に抗してレバー１４を前方（矢印方向）に押すと、枢支
部１５回りに回転して側板１１の内面に形成された凹部
１１ｃ内に入り込んでストッパ１２が開状態になり、レ
バー１４から手を離すと、スプリング１３の復元力によ
ってレバー１４が押し戻されると共に、ストッパ１２が
逆回転して凹部１１ｃから突出して閉状態になるように
してある。
背部Ｂからもウェーハの出し入れが出来るようにしたも
のであり、ウェーハカセットＣ4 の対向側板１１の内面
に形成された収容溝１１ａを構成するガイド片１１ｂの
後端部には、１段おきに切り欠き２３が左右対称に設け
られている。尚、１２は側板１１の後部に開閉自在に設
けられたストッパであり、従来と同様にスプリング１３
に抗してレバー１４を前方（矢印方向）に押すと、枢支
部１５回りに回転して側板１１の内面に形成された凹部
１１ｃ内に入り込んでストッパ１２が開状態になり、レ
バー１４から手を離すと、スプリング１３の復元力によ
ってレバー１４が押し戻されると共に、ストッパ１２が
逆回転して凹部１１ｃから突出して閉状態になるように
してある。
【０００９】従って、ダイシングの際にダイシング状態
等を途中でチェックするためストッパ１２を開状態にし
てウェーハカセットＣ4 の背部Ｂからオペレータがウェ
ーハを出し入れするが、チェック後にウェーハを収容溝
１１ａに戻す際に前記切り欠き２３の有無を見ながら収
容すれば、左右の収容溝１１ａの段を間違えることなく
ウェーハを正しく収容することが出来る。
等を途中でチェックするためストッパ１２を開状態にし
てウェーハカセットＣ4 の背部Ｂからオペレータがウェ
ーハを出し入れするが、チェック後にウェーハを収容溝
１１ａに戻す際に前記切り欠き２３の有無を見ながら収
容すれば、左右の収容溝１１ａの段を間違えることなく
ウェーハを正しく収容することが出来る。
【００１０】この場合、ウェーハカセットＣ4 の収容溝
１１ａを構成するガイド片１１ｂの前端部にも１段おき
に切り欠き（図示せず）を左右対称に設けておけば、ウ
ェーハカセットＣ4 の前部からウェーハを収容する際に
も左右の収容溝１１ａの段を間違えることなくウェーハ
を正しく収容することが出来る。
１１ａを構成するガイド片１１ｂの前端部にも１段おき
に切り欠き（図示せず）を左右対称に設けておけば、ウ
ェーハカセットＣ4 の前部からウェーハを収容する際に
も左右の収容溝１１ａの段を間違えることなくウェーハ
を正しく収容することが出来る。
【００１１】尚、切り欠きの形状は前記形態例のものに
限定されず、例えば１段おきに段差が生じるような切り
欠き形状にしても良い。又、段差を利用して機械的にウ
ェーハを間違いなく収容溝内に収容することも出来る。
即ち、切り欠きが形成されたガイド片には接触しない程
度にウェーハを僅かに溝内に挿入し、その状態でウェー
ハを上部に移動させると切り欠きのないガイド片の下面
に両サイドのウェーハの上面が接触することとなり、自
動的に左右の収容溝が規制される。そして、そのままウ
ェーハを収容すれば切り欠きが形成されたガイド片にウ
ェーハは支持される。下にウェーハを押し下げた場合
は、切り欠きのないガイド片の上面に両サイドのウェー
ハの下面が接触することとなり、自動的に左右の収容溝
が規制される。そして、そのままウェーハを収容すれば
切り欠きがないガイド片にウェーハは支持される。
限定されず、例えば１段おきに段差が生じるような切り
欠き形状にしても良い。又、段差を利用して機械的にウ
ェーハを間違いなく収容溝内に収容することも出来る。
即ち、切り欠きが形成されたガイド片には接触しない程
度にウェーハを僅かに溝内に挿入し、その状態でウェー
ハを上部に移動させると切り欠きのないガイド片の下面
に両サイドのウェーハの上面が接触することとなり、自
動的に左右の収容溝が規制される。そして、そのままウ
ェーハを収容すれば切り欠きが形成されたガイド片にウ
ェーハは支持される。下にウェーハを押し下げた場合
は、切り欠きのないガイド片の上面に両サイドのウェー
ハの下面が接触することとなり、自動的に左右の収容溝
が規制される。そして、そのままウェーハを収容すれば
切り欠きがないガイド片にウェーハは支持される。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
対向側板に収容溝を設けたウェーハカセットにおいて、
収容溝の前部又は後部のいずれか一方に、又は双方に１
段おきに対称の位置に切り欠きを設けたので、ウェーハ
を収容する際にその切り欠きの有無を見ながら左右の収
容溝の段を間違えることなく収容することが出来、これ
によりウェーハを斜めに収容するのを未然に防止する効
果を奏する。
対向側板に収容溝を設けたウェーハカセットにおいて、
収容溝の前部又は後部のいずれか一方に、又は双方に１
段おきに対称の位置に切り欠きを設けたので、ウェーハ
を収容する際にその切り欠きの有無を見ながら左右の収
容溝の段を間違えることなく収容することが出来、これ
によりウェーハを斜めに収容するのを未然に防止する効
果を奏する。
【図１】 本発明の第１形態例を示すもので、ウェーハ
カセットの上下部破断斜視図である。
カセットの上下部破断斜視図である。
【図２】 本発明の第２形態例を示すもので、ウェーハ
カセット後部の概略斜視図である。
カセット後部の概略斜視図である。
【図３】 (イ) 、(ロ) はいずれも従来例の説明図であ
る。
る。
１…側板 １ａ…収容溝 １ｂ…ガイド片 ２…
ストッパ ３…切り欠き １１…側板 １１ａ…収容溝 １１ｂ…ガイド片
１１ｃ…凹部 １２…ストッパ １３…スプリン
グ １４…レバー １５…枢支部 ２３…切り欠
き
ストッパ ３…切り欠き １１…側板 １１ａ…収容溝 １１ｂ…ガイド片
１１ｃ…凹部 １２…ストッパ １３…スプリン
グ １４…レバー １５…枢支部 ２３…切り欠
き
Claims (1)
- 【請求項１】 対向する側板にウェーハを収容する収容
溝が複数形成されたウェーハカセットにおいて、前記収
容溝の前部又は後部のいずれか一方に、又は双方に溝を
構成するガイド片に１段置きに対称の位置に切り欠きを
設けたことを特徴とするウェーハカセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19570195A JPH0927543A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | ウェーハカセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19570195A JPH0927543A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | ウェーハカセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0927543A true JPH0927543A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=16345549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19570195A Pending JPH0927543A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | ウェーハカセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0927543A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6119865A (en) * | 1998-11-12 | 2000-09-19 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Accommodation container and accommodating method |
| JP2014007344A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 収容カセット |
| KR20160099479A (ko) | 2015-02-12 | 2016-08-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼 처리 시스템 |
| KR20180083793A (ko) | 2017-01-13 | 2018-07-23 | 가부시기가이샤 디스코 | 프레임 유닛 반송 시스템 |
| KR20180115223A (ko) | 2017-04-12 | 2018-10-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 프레임 유닛 및 피가공물의 레이저 가공 방법 |
| KR20190070299A (ko) | 2017-12-12 | 2019-06-20 | 가부시기가이샤 디스코 | 디바이스 칩의 제조 방법 및 픽업 장치 |
| DE102019205588A1 (de) | 2018-04-19 | 2019-10-24 | Disco Corporation | Fördermechanismus |
-
1995
- 1995-07-10 JP JP19570195A patent/JPH0927543A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6119865A (en) * | 1998-11-12 | 2000-09-19 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Accommodation container and accommodating method |
| JP2014007344A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 収容カセット |
| US9455167B2 (en) | 2012-06-26 | 2016-09-27 | Disco Corporation | Accommodation cassette |
| US10170379B2 (en) | 2015-02-12 | 2019-01-01 | Disco Corporation | Wafer processing system |
| KR20160099479A (ko) | 2015-02-12 | 2016-08-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼 처리 시스템 |
| KR20180083793A (ko) | 2017-01-13 | 2018-07-23 | 가부시기가이샤 디스코 | 프레임 유닛 반송 시스템 |
| US10037907B1 (en) | 2017-01-13 | 2018-07-31 | Disco Corporation | Frame unit transfer system |
| KR20180115223A (ko) | 2017-04-12 | 2018-10-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 프레임 유닛 및 피가공물의 레이저 가공 방법 |
| KR20190070299A (ko) | 2017-12-12 | 2019-06-20 | 가부시기가이샤 디스코 | 디바이스 칩의 제조 방법 및 픽업 장치 |
| US10847403B2 (en) | 2017-12-12 | 2020-11-24 | Disco Corporation | Method of manufacturing device chips and pick up apparatus |
| DE102019205588A1 (de) | 2018-04-19 | 2019-10-24 | Disco Corporation | Fördermechanismus |
| KR20190122147A (ko) | 2018-04-19 | 2019-10-29 | 가부시기가이샤 디스코 | 반송 기구 |
| US10622237B2 (en) | 2018-04-19 | 2020-04-14 | Disco Corporation | Conveying mechanism |
| DE102019205588B4 (de) | 2018-04-19 | 2022-12-29 | Disco Corporation | Fördermechanismus zum fördern einer wafereinheit |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050920 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050927 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060207 |