JP2014218328A - メタルマスクシート供給システム - Google Patents

Abstract

【課題】メタルマスクシートを損傷させずに自動供給する。
【解決手段】メタルマスクシート４と前記メタルマスクシートを保護する保護シートとを交互に積み重ねて収納するシートカセットを配置する配置部１０と、前記配置部を挟んだ位置に前記配置部の延びる方向に沿って設けられた少なくとも一対のマグネットフロータにより、前記配置部に配置された前記シートカセットに収納されている前記メタルマスクシートを一枚づつに分離させる分離装置１２と、前記分離装置により分離された前記メタルマスクシートの中の最上部に位置する前記メタルマスクシートを保持し、他の装置に搬送する搬送装置とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、シートカセットに積み重ねて収納されているメタルマスクシートを一枚づつに分離し、他の装置に搬送するメタルマスクシート供給システムに関するものである。

従来、有機ＥＬ素子の製造工程において真空蒸着を行う際に使用されるメタルマスクの製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４−２１８０３４号公報

ところで、一般的にメタルマスクの製造ラインにおいては、手作業によりメタルマスクシートの供給処理が行われている。しかし、メタルマスクシートは非常に薄く傷付き易い部材であるため、メタルマスクシートの供給を手作業で行った場合、供給時おける人的作業ミスによりメタルマスクシートが損傷するおそれがある。

本発明の目的は、メタルマスクシートを損傷させずに自動供給することができるメタルマスクシート供給システムを提供することである。

本発明のメタルマスクシート供給システムは、メタルマスクシートと前記メタルマスクシートを保護する保護シートとを交互に積み重ねて収納するシートカセットを配置する配置部と、前記配置部を挟んだ位置に前記配置部の延びる方向に沿って設けられた少なくとも一対のマグネットフロータにより、前記配置部に配置された前記シートカセットに収納されている前記メタルマスクシートを一枚づつに分離させる分離装置と、前記分離装置により分離された前記メタルマスクシートの中の最上部に位置する前記メタルマスクシートを保持し、他の装置に搬送する搬送装置とを備えることを特徴とする。

また、本発明のメタルマスクシート供給システムは、最上部に位置する前記メタルマスクシートが搬送された後、前記保護シートの中で最上部に位置する保護シートを所定の廃棄場所に移動させる廃棄装置を備えることを特徴とする。

また、本発明のメタルマスクシート供給システムは、前記搬送装置が、電磁力、または真空吸着により前記メタルマスクシートを保持する保持部を備えることを特徴とする。

また、本発明のメタルマスクシート供給システムは、前記分離装置により前記メタルマスクシートを一枚づつに分離させる際に前記マグネットフロータを前記シートカセットに近接させる移動装置を備えることを特徴とする。

また、本発明のメタルマスクシート供給システムは、前記メタルマスクシートを用いて製造されたメタルマスクが、有機ＥＬ素子、半導体素子、プリント基板、及び液晶表示素子の何れかの製造工程において用いられることを特徴とする

本発明のメタルマスクシート供給システムによれば、メタルマスクシートを損傷させずに自動供給することができる。

実施の形態に係るメタルマスクシート供給システムを上側から視た図である。 実施の形態に係るシートカセットに収納されたメタルマスクシート及び保護シートを示す斜視図である。 実施の形態に係る分離装置、及び分離装置を用いて分離されるメタルマスクシートを示す斜視図である。 実施の形態に係る分離装置、及び分離装置を用いて分離されるメタルマスクシートを示す図である。 実施の形態に係るメタルマスクの製造ラインで製造されたメタルマスクを示す図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係るメタルマスクシート供給システムについて、メタルマスクシートを検査装置に供給する場合を例に説明する。

図１は、実施の形態に係るメタルマスクシート供給システムを上側から視た図である。図１に示すように、メタルマスクシート供給システム２は、矩形状の平面を有するカセットポート８、及びメタルマスクシート４を検査装置に搬送する図示しない搬送ロボットを備えている。

カセットポート８は、カセットポート８の一辺に沿って延びる矩形状のシートカセット載置スペース１０、磁力を用いてメタルマスクシート４を一枚づつに分離させる分離装置１２、保護シート２０（図２参照）を廃棄するシート廃棄ロボット１４、廃棄された保護シート２０を収納する保護シート廃棄カセット１６を載置する廃棄スペース１８を備えている。

ここで、メタルマスクシート４は、一方向に長い帯状の金属薄板により構成されており、長手方向に沿って複数の矩形状の開口部４ａを有している。なお、メタルマスクシート４の厚さは３０〜７０μｍ程度である。また、シートカセット６は、図２（ａ）に示すように、直方体状の筐体６ａを備えており、筐体６ａの内部には、図２（ｂ）に示すように、メタルマスクシート４と、メタルマスクシート４の損傷を防止する保護シート２０が交互に積み重ねられている。ここで、保護シート２０は、メタルマスクシート４同士が直接接触しないように、長辺方向の長さ、及び短辺方向の幅がそれぞれメタルマスクシート４よりも１ｍｍ程度大きく形成されている。また保護シート２０は、通気性のないフィルム等の部材によって構成されている。

また、分離装置１２は、シートカセット載置スペース１０を挟んで互いに向かい合うように配置されたマグネットフロータ１２ａ、１２ｂを備えており、シートカセット載置スペース１０の延びる方向に沿って複数配置されている。

また、搬送ロボットは、電磁力を用いてメタルマスクシート４を吸着させ保持する、一方向に長い帯状の電磁石パッド（不図示）を備えている。また、廃棄ロボット１４は、空気吸着力を用いて保護シート２０を吸着させ保持する、一方向に長い帯状のエアパッド１４ａを備えている。

図３は、分離装置１２、及び分離装置１２を用いて分離されるメタルマスクシート４を示す図である。なお、図３において、シートカセット６の図示は省略されている。図３に示すように、マグネットフロータ１２ａは、メタルマスクシート４の位置する側の面に、鉛直方向に延びる帯状のマグネット２１を複数備えている。同様に、マグネットフロータ１２ｂは、メタルマスクシート４の位置する側の面に、鉛直方向に延びる帯状のマグネット（不図示）を複数備えている。このため、メタルマスクシート４は、マグネットフロータ１２ａの備えるマグネット２１、及びマグネットフロータ１２ｂの備えるマグネットから作用する磁力によって一枚づつに分離される。なお、具体的にどのようにしてメタルマスクシート４が分離されるかについては後述する。

次に、図面を参照して、実施の形態に係るメタルマスクシート供給システム２を用いてメタルマスクシート４を検査装置に自動供給する処理について説明する。

まず、図１に示すように、搬入されたシートカセット６がシートカセット載置スペース１０に載置される。この時点では、マグネットフロータ１２ａ、及びマグネットフロータ１２ｂは、図４（ａ）に示すように、マグネットの磁力が及ばない退避位置に退避している。次に、メタルマスクシート供給システム２の図示しない制御部は、図４（ｂ）に示すように、図示しない移動装置により、マグネットフロータ１２ａ、及びマグネットフロータ１２ｂをそれぞれシートカセット６の位置する方向に移動させ、マグネットフロータ１２ａ、１２ｂをシートカセット６に近接させる。

マグネットフロータ１２ａ、１２ｂがシートカセット６に近接すると、マグネットフロータ１２ａの備えるマグネット２１、及びマグネットフロータ１２ｂの備えるマグネットにより、シートカセット６に積み重ねて収納されているメタルマスクシート４に磁力が作用し、メタルマスクシート４が帯磁する。そして帯磁作用により、メタルマスクシート４同士が磁気的に反発分離し（図３参照）、図４（ｂ）に示すように、一枚づつに剥離して鉛直方向に浮上する。

次に、搬送ロボットは、図示しない搬送アームにより、電磁石パッドを最上部のメタルマスクシート４ｂの上に移動させた後（図４（ｂ）参照）、電磁石パッドに所定の電流を通電させて電磁力を発生させ、電磁石パッドにメタルマスクシート４ｂを吸着させる。次に、搬送ロボットは、搬送アーム１４ｂにより、電磁石パッドに吸着されたメタルマスクシート４を検査装置に移動させる。メタルマスクシート４は、電磁石パッドから放されて検査装置にセットされた後、所定の検査を受ける。

次に、廃棄ロボット１４は、アーム１４ｂ（図１参照）により、エアパッド１４ａをシートカセット６の内部に残された最上部の保護シート２０の上に移動させる。次に、エアパッド１４ａに保護シート２０を真空吸着させて保持し、廃棄カセット１６に廃棄する。なお、保護シート２０は通気性のない部材によって構成されているため、真空吸着時に保護シート２０下側のメタルマスクシートが吸着されることはない。

メタルマスクシート供給システム２は、以上の処理を繰り返して行うことにより、シートカセット６の内部のメタルマスクシート４を順次検査装置に搬送する。検査装置において所定の検査を受け、検査に合格したメタルマスクシートは、図５に示すように、メタルマスクフレーム２２に貼り付けられ、メタルマスク２４が製造される。メタルマスク２４は、有機ＥＬ素子の製造工程において真空蒸着を行う際に使用される。

この実施の形態に係るメタルマスクシート供給システム２によれば、供給処理における人的作業ミスの発生を防止することができるため、メタルマスクシートを傷付けたり折り曲げたりせずに自動供給することができる。また、供給処理を自動化することにより、メタルマスクの製造ラインの全自動化を図ることができる。また、メタルマスクシート４は、保護シート２０によって保護された状態でシートカセット６に収納されているため、シートカセット６の搬入時やシートカセット６をシートカセット載置スペース１０に載置した時などにおいて、衝撃などで損傷するおそれがない。このため、損傷によって廃棄されるメタルマスクシート４の数を減らすことができる。

また、分離装置１２をシートカセット載置スペース１０の延びる方向に沿って複数配置するため、メタルマスクシート４に磁力を作用させて浮上させる際にメタルマスクシート４が捩れないようにすることができる。また、電磁力を用いてメタルマスクシート４を電磁石パッドに吸着させるため、メタルマスクシート４が開口部４ａを有していても的確に保持することができる。

なお、上述の実施の形態においては、一つのカセットポート８が一つのシートカセット載置スペース１０を備える場合を例に説明しているが、一つのカセットポート８に複数のシートカセット載置スペース１０を備えてもよい。これにより、メタルマスクの製造ラインの規模が大きい場合には、複数のシートカセット６をカセットポート８に配置することができる。

また、上述の実施の形態において、マグネットフロータ１２ａ、及びマグネットフロータ１２ｂの退避位置や近接位置をシートカセット６の幅に応じて適宜調節することができるようにしてもよい。

また、上述の実施の形態において、搬送ロボットが電磁石パッドに代えてエアパッドを備え、エアパッドにメタルマスクシート４を真空吸着させるようにしてもよい。

また、上述の実施の形態においては、メタルマスクシート４を検査装置に供給する場合を例に説明しているが、メタルマスクシート４は、検査装置以外の他の装置に供給されてもよい。

また、上述の実施の形態においては、メタルマスク２４が有機ＥＬ素子の製造工程において用いられる場合を例に説明しているが、メタルマスク２４は、半導体素子、プリント基板、液晶表示素子等の製造工程において用いられるものであってもよい。

２…メタルマスクシート供給システム、４…メタルマスクシート、６…シートカセット、８…カセットポート、１０…シートカセット載置スペース、１２…分離装置、１２ａ、１２ｂ…マグネットフロータ、１４…シート廃棄ロボット、１６…保護シート廃棄カセット、１８…廃棄スペース、２０…保護シート

Claims (5)

1. メタルマスクシートと前記メタルマスクシートを保護する保護シートとを交互に積み重ねて収納するシートカセットを配置する配置部と、
   前記配置部を挟んだ位置に前記配置部の延びる方向に沿って設けられた少なくとも一対のマグネットフロータにより、前記配置部に配置された前記シートカセットに収納されている前記メタルマスクシートを一枚づつに分離させる分離装置と、
   前記分離装置により分離された前記メタルマスクシートの中の最上部に位置する前記メタルマスクシートを保持し、他の装置に搬送する搬送装置と
   を備えることを特徴とするメタルマスクシート供給システム。
2. 最上部に位置する前記メタルマスクシートが搬送された後、前記保護シートの中で最上部に位置する保護シートを所定の廃棄場所に移動させる廃棄装置
   を備えることを特徴とする請求項１記載のメタルマスクシート供給システム。
3. 前記搬送装置は、電磁力、または真空吸着により前記メタルマスクシートを保持する保持部を備えることを特徴とする請求項１または２記載のメタルマスクシート供給システム。
4. 前記分離装置により前記メタルマスクシートを一枚づつに分離させる際に前記マグネットフロータを前記シートカセットに近接させる移動装置
   を備えることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のメタルマスクシート供給システム。
5. 前記メタルマスクシートを用いて製造されたメタルマスクは、有機ＥＬ素子、半導体素子、プリント基板、及び液晶表示素子の何れかの製造工程において用いられることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のメタルマスクシート供給システム。

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