JP2010267821A - ホルダユニット、基板貼り合わせ装置および静電装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】素子を形成された基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、前記基板に対して処理を実行する3以上の処理部と、前記3以上の処理部の夫々に対して前記基板を搬送する搬送部とを備え、前記3以上の処理部のいずれかは、前記基板を互いに位置合わせして重ね合わせる位置合わせ装置であり、前記3以上の処理部の夫々は前記搬送部の回動中心に対する円周上に配される。
【選択図】図1
Description
FC=1/2・ε・(V1/d1)2・・・(式1)
ただし、εはホルダ本体222の誘電率、V1は印加電圧、d1は内部電極219、229から基板102までの間のホルダ本体222の厚さ、をそれぞれ意味する。
FJR=1/8π・(V2/d2)2・・・(式2)
ただし、V2はホルダ本体222および基板102の界面にかかる電圧、d2はホルダ本体222および基板102の間隔、をそれぞれ意味する。
Claims (14)
- 素子が形成された基板をそれぞれが保持する一対のホルダと、
前記基板を挟んだ前記一対のホルダを静電作用により互いに吸着する静電吸着部と
を備えるホルダユニット。 - 前記静電吸着部は、前記基板の外周に隣接する領域において前記一対のホルダを吸着する請求項1に記載のホルダユニット。
- 前記静電吸着部は、前記一対のホルダの一方から離間する待機位置と、前記一方のホルダに当接する吸着位置との間を移動する請求項1または請求項2に記載のホルダユニット。
- 前記静電吸着部は、磁性体部材を一体的に有し、外部から印加された磁力に引かれて前記待機位置に移動する請求項3に記載のホルダユニット。
- 前記静電吸着部は、弾性部材を介して前記一対のホルダの他方から支持され、
前記弾性部材は、自然状態にある場合に前記静電吸着部を前記吸着位置に保持する
請求項3または請求項4に記載のホルダユニット。 - 前記弾性部材は磁性体である請求項5に記載のホルダユニット。
- 前記弾性部材は導電性を有し、
前記静電吸着部は、前記弾性部材を介して電圧を印加される
請求項5または請求項6に記載のホルダユニット。 - 前記静電吸着部は、前記吸着位置にある場合に、前記他方のホルダが前記基板を保持する面から突出する請求項5から請求項7までのいずれかに記載のホルダユニット。
- 前記静電吸着部が吸着する面は、前記静電吸着部との間に介在する高抵抗材料層を有する請求項1から請求項8までのいずれかに記載のホルダユニット。
- 前記静電吸着部は、前記一対のホルダの各々が前記基板を吸着する静電電圧よりも高い静電電圧で吸着する請求項1から請求項9までのいずれかに記載のホルダユニット。
- 前記静電吸着部は、共通の電圧源に並列に接続される請求項1から請求項10までのいずれかに記載のホルダユニット。
- 前記静電吸着部は、前記静電作用が消滅する消滅温度まで加熱された場合に、前記消滅温度よりも低い温度まで冷却された後に、再び電圧を印加されて静電作用を取り戻す請求項1から請求項11までのいずれかに記載のホルダユニット。
- 請求項1から請求項12までのいずれかに記載のホルダユニットを備え、
前記一対のホルダが保持する前記基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置。 - 素子が形成された基板を挟んだ一対のホルダどうしを静電作用により吸着する静電装置。
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