JP6112016B2 - 基板ホルダ及び基板貼り合わせ装置 - Google Patents
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Description
[特許文献1] 特開2011−216833号公報
12 環境チャンバ
14 大気環境部
16 真空環境部
18 制御部
20 基板カセット
22 基板ホルダラック
24 ロボットアーム
26 プリアライナ
28 アライナ
30 ロボットアーム
34 枠体
36 固定ステージ
38 移動ステージ
40 シャッタ
42 シャッタ
48 ロードロック室
50 アクセスドア
52 ゲートバルブ
53 ロボットチャンバ
54 ロボットアーム
55 収容室
56 加熱加圧装置
57 ゲートバルブ
58 ロボットアーム
60 冷却室
90 基板
92 重ね合わせ基板
94 基板ホルダ
95 貼り合わせ基板
96 積層半導体装置
100 上基板ホルダ
102 上載置部
104 上耳部
106 上静電パッド
107 上静電パッド
108 吸着部
110 上吸収部
112 上連結部
114 上連結部材
116 吸着部材
120 上給電端子
122 上給電端子
124 上耳片部材
126 切り欠き
127 ダミー切り欠き
128 スリット
130 間隙
132 外周薄部
134 大径部
136 小径部
140 内周薄部
144 ボルト孔
146 フレーム
148 セラミック膜
152 連結ボルト
154 皿バネ座金
156 ロック部材
160 上弾性部位
162 上変形領域
164 上静電吸着部
166 上静電吸着部
170 接続部材
172 外周薄部
174 ボルト孔
178 内周薄部
180 大径部
182 小径部
184 上耳部
186 上耳部
188 上締結部
190 上係止部
192 上耳部
194 上締結部
196 上摺動連結部
200 下基板ホルダ
202 下載置部
204 下耳部
206 下静電パッド
207 下静電パッド
208 被吸着部
210 切り欠き
212 ダミー切り欠き
214 下連結部材
216 下弾性部材
218 被吸着部材
220 下耳片部材
222 下給電端子
224 下給電端子
226 下吸収部
228 下連結部
232 下弾性部位
234 下変形領域
236 下静電吸着部
238 下静電吸着部
240 下耳部
248 下締結部
250 下係止部
252 内周薄部
254 外周薄部
256 下係止部
258 下係止部
260 凹部
262 凸部
264 凸部
266 凹部
268 下耳部
270 下締結部
272 下摺動連結部
278 内周薄部
280 外周薄部
282 間隙
284 下耳部
286 間隙
288 下摺動連結部
290 下摺動連結部
292 ナットプレート
294 大径部
295 ボルト孔
296 小径部
298 大径部
300 基板ホルダ
302 載置部
304 耳部
306 クランプ部
308 小径部
310 間隙
312 間隙
314 貫通穴
315 間隙
316 スリット
318 間隙
320 スリット
322 線状スリット
324 二重半円スリット
326 半円スリット
328 ピン
330 凹部
332 ピン
334 凹部
336 板部材
338 貫通穴
340 下足部
342 上載置部
344 ロボットアーム
346 貫通穴
348 加熱加圧プレート
350 凹部
352 ロボットアーム
354 吸引部
356 貫通穴
358 下耳部
360 吸引パッド
362 円筒部材
364 ベローズ
366 負圧源
368 下載置部
372 凹部
374 孔
400 下基板ホルダ
Claims (18)
- 基板と他の基板とを重ね合わせる場合に前記基板を保持し、前記基板を保持した状態で搬送される基板ホルダであって、
前記基板が載置される載置部と、
前記載置部に設けられ、搬送時に他の部材により支持される被支持部と、
温度変化が生じたときに、前記載置部と前記被支持部との伸縮の差によって生じる応力による破損を抑制する抑制部と、
を備え、
前記被支持部は、前記載置部と別部材であり、前記載置部に連結されている、基板ホルダ。 - 前記被支持部は、前記載置部の周囲に配置されており、
前記抑制部は、前記載置部が熱により伸縮したときに前記載置部の周方向に沿った前記被支持部の変形を吸収する請求項1に記載の基板ホルダ。 - 前記抑制部は、前記被支持部に形成されたスリットを含む請求項2に記載の基板ホルダ。
- 前記被支持部は前記載置部の周縁に支持されており、前記抑制部は、前記載置部を前記被支持部に対して径方向に移動可能に付勢している請求項2に記載の基板ホルダ。
- 前記抑制部は、前記載置部と前記被支持部とを弾性を有して連結している請求項2に記載の基板ホルダ。
- 前記抑制部は、前記載置部と前記被支持部との間の径方向の間隙を含む請求項2に記載の基板ホルダ。
- 前記載置部に設けられ、前記載置部に載置された前記基板と前記基板に重ね合わされた前記他の基板との位置ずれを防止すべく前記他の基板を前記基板に押さえつけるクランプ部を備える請求項1から6のいずれか1項に記載の基板ホルダ。
- 前記載置部に設けられ、前記載置部と他の部材との間で前記基板を挟むべく前記他の部材に結合されるクランプ部をさらに備える請求項1から6のいずれか1項に記載の基板ホルダ。
- 前記他の部材は、前記基板に重ね合される他の基板を保持する他の基板ホルダである請求項8に記載の基板ホルダ。
- 前記他の部材は、前記基板に重ね合される他の基板上に載置され、前記クランプ部に結合する結合部を有する板部材である請求項8に記載の基板ホルダ。
- 前記被支持部は、複数の耳片部材を有し、前記複数の耳片部材は互いに離間して前記載置部の周縁に連結される請求項1から10のいずれか1項に記載の基板ホルダ。
- 前記載置部には前記基板を保持する静電パッドが設けられ、前記被支持部は導電性金属を含む材料により形成され、前記静電パッドと前記被支持部とは電気的に接続される請求項1から11のいずれか1項に記載の基板ホルダ。
- 前記被支持部は、前記基板の面に垂直な方向に弾性を有し、他の基板ホルダとの間で前記基板を挟む場合に前記他の基板ホルダの一部と静電吸着力で結合する結合部を有する請求項1から12のいずれか1項に記載の基板ホルダ。
- 径方向において、前記被支持部の線熱膨張量は、前記載置部の線熱膨張量と等しい請求項1から13のいずれか1項に記載の基板ホルダ。
- 基板と他の基板とを重ね合わせる場合に前記基板を保持し、前記基板を保持した状態で搬送される基板ホルダであって、
前記基板が載置される載置部と、
前記載置部に設けられ、搬送時に他の部材により支持される被支持部と、
温度変化が生じたときに、前記載置部と前記被支持部との伸縮の差によって生じる応力を吸収する吸収部と、
を備え、
前記被支持部は、前記載置部と別部材であり、前記載置部に連結されている、基板ホルダ。 - 基板と他の基板とを重ね合わせる場合に前記基板を保持し、前記基板を保持した状態で搬送される基板ホルダであって、
前記基板が載置される載置部と、
前記載置部に設けられ、搬送時に他の部材により支持される被支持部と
を備え、
前記被支持部の熱膨張係数は、前記載置部の熱膨張係数よりも大きい、基板ホルダ。 - 基板と他の基板とを重ね合わせる場合に前記基板を保持し、前記基板を保持した状態で搬送される基板ホルダであって、
前記基板が載置される載置部と、
前記載置部に設けられ、搬送時に他の部材により支持される被支持部と
を備え、
前記被支持部の許容応力は、前記載置部の許容応力よりも大きい、基板ホルダ。 - 請求項1から17のいずれか1項に記載の基板ホルダと、
前記基板ホルダに複数の基板を保持した状態で、前記複数の基板を貼り合わせる貼り合わせ部と、
を備える基板貼り合わせ装置。
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