KR20210137401A - 자동 탈착 기기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 자동 탈착 기기에 관한 것이고, 상기 탈착 기기는 정전 척을 흡착하는 정전기 생성부, 및 기판을 흡착하는 기판 이동부를 포함하며, 상기 기판 이동부는 상기 정전기 생성부에 대해 선형 변위할 수 있고, 상기 기판 이동부에 의해 기판이 상기 정전기 생성부의 정전 척 표면에 압접되도록 함으로써, 상기 정전기 생성부를 작동하여 정전 척이 정전기장을 생성하도록 하여, 상기 기판을 접착하고, 접착 효율을 높이고, 접착 실패율을 대폭적으로 낮추며, 균열 또는 파손의 발생을 감소한다.

Description

자동 탈착 기기{AUTOMATIC DEBONDING EQUIPMENT}
본 발명은 정전 척의 자동 탈착 기술에 관한 것이고, 구체적으로 자동 탈착 기기에 관한 것이다.
최근 반도체 제조 공정의 소형화 발전에 따라, 실리콘 웨이퍼의 두께는 100 마이크로미터 이하로 압축되었다. 또한 핸드폰 카메라 렌즈에 사용되는 초박형 블루 글라스 필터의 두께는 200 μm, 100 μm에 가깝고 심지어 50 μm보다 작다. 그러나 이러한 박형화된 기판의 면적이 클 수록, 특히 직경이 6 인치 이상이고, 두께가 300 um 이하일 경우, 상기 박형화된 기판들은 아주 유연하고 탄성을 구비하여 뒤틀림 현상이 발생한다. 기판이 제조 공정에서 뒤틀리면 평평하지 못하고 응력이 생성되어, 필름 코팅 시 두께가 불균일한 제조 불량이 발생하고, 심각하면 기판의 뒤틀림 문제로 인해 검측할 시 효과적으로 초점을 맞추지 못하여 검측 오류가 발생하거나 검측 시간이 지연되어, 불량품의 검측에 직접적으로 영향을 주며, 기판의 운송 및 조립 과정에도 저장량이 적고, 깨지기 쉬우며 취약한 등 문제가 존재한다. 따라서 기판이 뒤틀림 문제는 제조 공정의 신뢰도에 심각한 악영향을 미치고, 제조 원가 및 불량율이 높아진다.
기판이 평평함을 유지하면서 제조 공정에 진입할 수 있도록, 현재 기판은 임시 본딩(Temporary bonding) 프로세스를 수행하여, 기판의 장력을 강화하고, 임시 본딩 프로세스는 주로 다층 폴리머의 본딩 재료를 이용하여 기판을 가역적으로 캐리어에 장착하며, 제조 공정이 진행된 후에 또 박리를 진행할 필요가 있고, 이 처럼 본딩과 박리 사이에서 모두 기판 자체의 수율을 유지해야 하는 동시에 사용하는 본딩 재료의 열팽창 계수(CTE)도 매칭되지 않는 현상이 존재하며, 제조 환경이 본딩 재료의 산, 염기에 대한 문제는 모두 임시 본딩 프로세스를 진행함에 있어서 당면한 문제이다.
현재의 개선 방식은 무선 정전 척(E-Chuck 또는 Supporter)을 사용하여 기판을 접착하고, 기판이 제조 작업을 진행하도록 한다. 그러나 현재 정전 척이 기판을 접착할 시 수동 방식으로 진행되므로, 속도가 느리고 접착 품질 및 효율이 부진한 문제가 존재하며, 심지어 어긋나거나 미끄러짐 또는 압접이 불균일하여 균열 또는 파손이 발생할 수 있다.
따라서, 본 발명의 주요한 목적은 접착 효율을 높이고, 접착 실패율을 대폭 낮추며, 균열 또는 파손의 발생을 감소하는 자동 탈착 기기를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 주요한 목적은 빠르고 정확하게 정전 척과 기판을 자동 접착하며, 정전 척이 기판을 접착하여 후속되는 프로세스에서 응용될 수 있도록 하고, 기판의 프로세스 수율을 대폭적으로 높이는 자동 탈착 기기를 제공하는 것이다.
이로써, 본 발명은 주요하게 아래와 같은 기술수단을 통해, 상술한 목적 및 효과를 구체적으로 실현한다.
무선 정전 척과 박형화된 기판의 자동 접착 또는 분리에 사용되고, 상기 정전 척 저면에는 전기를 전도하여 정전기장을 생성하는 극(pole)이 구비되는 상기 탈착 기기는,
프레임;
상기 프레임에 설치되고, 정전 척을 평평하게 안착하는 작업 평면이 구비되며, 상기 작업 평면에 정전 척 저면과 대응되는 흡착 부재가 각각 설치되고, 상기 작업 평면에 두 개 또는 2의 배수개의 정전 척의 저면 극과 대응되게 접촉되는 극이 구비되며, 작동되어 상기 정전 척의 정전기장을 생성 또는 방출하고, 상기 작업 평면에 가이드 로드부가 구비되며, 상기 가이드 로드부는 트레이 가로 위치를 제한하는 적어도 두 개의 고정 가이드 로드 및 트레이를 가로로 밀어 고정 가이드 로드와 치합되는 적어도 하나의 이동 가이드 로드를 포함하고, 정전 척 또는 기판이 작업 평면의 정위치에 위치되도록 하는 정전기 생성부; 및
상기 프레임에 설치되고 상기 정전기 생성부와 마주하며, 상기 정전기 생성부에 대해 이동할 수 있고, 정위치가 구비된 기판을 흡착하는 기판 이동부를 포함하고,
상기 기판 이동부는 기판이 정전 척과 압접된 후, 상기 정전기 생성부를 작동하여 정전 척이 정전기장을 생성하도록 하여, 상기 기판을 접착한다.
도 1은 본 발명의 자동 탈착 기기의 외관 모식도이다.
도 2는 본 발명의 자동 탈착 기기의 측면 모식도이다.
도 3은 본 발명의 정전기 생성부의 외관 모식도이다.
도 4는 본 발명의 정전기 생성부의 위에서 내려다 본 모식도이다.
도 5는 본 발명의 기판 이동부의 외관 모식도이다.
도 6은 본 발명의 기판 이동부의 아래에서 올려다 본 모식도이다.
도 7은 본 발명의 정전기 생성부가 재료를 지지하는 상태의 측면 동작 모식도이다.
도 8은 본 발명의 정전기 생성부가 교정할 시의 측면 동작 모식도이다.
도 9는 본 발명의 정전기 생성부가 교정하는 동작을 위에서 내려다 본 모식도이다.
도 10은 본 발명의 정전기 생성부가 교정하는 동작을 위에서 내려다 본 부분적 모식도이다.
도 11은 본 발명의 정전기 생성부가 분리될 시의 부분적 측면 동작 모식도이다.
본 발명의 무선 정전 척에 사용되는 자동 탈착 시스템에 있어서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 무선 정전 척(100)(E-Chuck또는 Supporter)과 큰 사이즈의 박형화된 기판(200)(직경이 6 인치 이상이고, 두께가 300 um 이하인 기판)의 자동 접착 및 분리에 사용되고, 상기 기판(200)은 반도체 웨이퍼 또는 유리 시트 또는 플라스틱 시트일 수 있으며, 상기 탈착 기기(50)는 상대적으로 변위할 수 있는 정전 척(100)을 흡착하는 정전기 생성부(60) 및 기판(200)을 흡착하는 기판 이동부(80)를 포함하고, 상기 탈착 기기(50)에 본체(10)에 고정 설치될 수 있는 프레임이 구비되며, 상기 프레임은 하부 프레임(51) 및 상부 프레임(52)을 포함하고, 상기 정전기 생성부(60)는 상기 하부 프레임(51)의 최상부에 설치되며, 상기 기판 이동부(80)는 승강 기구(82)를 이용하여 상기 상부 프레임(52)의 상기 정전기 생성부(60)와 대응되는 상부에 설치되며, 상기 기판 이동부(80)에 의해 기판(200)이 상기 정전기 생성부(60)의 최상면의 정전 척(100) 표면에 대응되게 압접되도록 한다.
상기 정전기 생성부(60)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 메인 프레임판(61) 및 상기 메인 프레임판(61) 양측 가장자리에 피봇 설치되는 옆 날개판(65)이 구비되고, 상기 메인 프레임판(61) 및 양측의 옆 날개판(65)에 정전 척(100)을 평평하게 안착시키는 작업 평면이 구비되며, 상기 작업 평면의 메인 프레임판(61)에 감지 부재(610)가 구비되고, 상기 정전 척(100) 또는 기판(200)의 존재 여부를 감지하며, 다른 상기 메인 프레임판(61) 내에 재료 지지 부재(62)가 구비되고, 상기 재료 지지 부재(62)는 작업 평면과 비교적 높은 재료 수신 평면 사이에서 위치 이동할 수 있으며(도 7 및 도 8에 도시된 바와 같음), 전송 장치(20), 예를 들어 기계 팔의 집게발이 관통하여 정전 척(100) 또는 기판(200)을 안착 또는 클램핑하기 편리하고, 상기 재료 지지 부재(62)는 적어도 세 개의 동시에 승강할 수 있는 받침 바 또는 승강 할 수 있는 받침판으로 구성될 수 있으며, 양측 옆 날개판(65)은 메인 프레임판(61)과 다르게 외측 바닥 가장자리 센터와 하부 프레임(51) 사이에 신축 실린더(70)가 구비되고, 옆 날개판(65) 외측 가장자리를 선택적으로 작동시켜 아래로 기울게 하고 양측의 옆 날개판(65)의 상이한 외측 가장자리가 선택적으로 아래로 기울어질 수 있도록 하며(도 11에 도시된 바와 같음), 상기 정전 척(100)과 접합된 기판(200)이 바깥 가장자리에서 상대적으로 박리하고, 상기 메인 프레임판(61) 및 상기 옆 날개판(65)에 각각 정전 척(100) 저면과 대응되는 흡착 부재(64)(예를 들어 진공 척)가 설치되며, 정전 척(100)을 메인 프레임판(61) 및 옆 날개판(65)의 작업 평면에 선택적으로 고정하고, 상기 메인 프레임판(61)에 두 개 또는 2의 배수개의 극(63)이 구비되며, 정전 척(100)의 저면 플러스 마이너스 극(105)과 대응되어, 전력을 제공하고 정전 척(100) 표면이 기판(200)에 대해 정전기장이 생성 또는 방출되도록 하며, 정전 척(100)이 기판(200)과 접착 또는 분리되도록 하고, 양측의 옆 날개판(65)에 가이드 로드(66)가 구비되며, 상기 가이드 로드(66)는 정전 척(100) 외주연을 둘러싸며 적어도 두 개의 고정 가이드 로드(660) 및 적어도 하나의 이동 가이드 로드(665)를 포함하고, 본 발명은 두 개의 고정 가이드 로드(660) 및 두 개의 이동 가이드 로드(665)를 주요 실시예로 하며, 상기 두 개의 이동 가이드 로드(665)는 정전 척(100)을 상기 두 개의 고정 가이드 로드(660)의 수평 정위치에 밀어 위치 결정시킬 수 있고(도 9에 도시된 바와 같음), 상기 두 개의 고정 가이드 로드(660) 및 상기 두 개의 이동 가이드 로드(665)의 최상단 주연에 경사형 가이드 면(661, 666)이 형성되며, 상기 재료 지지 부재(62)가 하강할 시 상기 정전 척(100) 또는 기판(200)이 작업 평면의 정확한 범위 내에 가이드되도록 하고, 상기 정전기 생성부(60)의 정전 척(100) 외주연과 대응되는 곳에 터치형 감지부(67) 및 광학 감지부(68)가 각각 설치되며, 상기 터치형 감지부(67)는 신축 가능하고 정전 척(100) 외주연을 둘러싸는 적어도 두 개의 터치형 돌출 기둥(670) 및 적어도 하나의 앞뒤로 이동 가능한 교정형 돌출 기둥(675)을 포함하고, 상기 교정형 돌출 기둥(675)은 상기 정전 척(100) 또는 기판(200)의 포지셔닝 절개구(101, 201)와 대응될 수 있으며, 상기 교정형 돌출 기둥(675)이 상기 정전 척(100) 또는 기판(200)의 포지셔닝 절개구(101, 201)를 이용하여 축선을 중심으로 회전하여 교정할 수 있도록 하고(도 10에 도시된 바와 같음), 나아가서 정전 척(100) 또는 기판(200)이 바로 놓이지 못하여 임의의 하나의 터치형 돌출 기둥(670)을 터치할 시 경보를 트리거할 수 있으며, 상기 광학 감지부(68)는 정전 척(100) 외주연을 둘러싸는 적어도 세 개의 광전 부재(680)를 포함하고, 정전 척(100) 또는 기판(200)이 바로 놓이지 못하여 임의의 하나의 광전 부재(680)를 커버하면 경보를 트리거할 수 있으며, 정전 척(100) 및 기판(200)의 위치가 정확하게 대응되도록 보장한다. 또한 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 정전기 생성부(60)의 하부 프레임의 양측 옆 날개판(65)과 대응되는 곳에 블로잉 유닛(69)이 각각 구비되고, 상기 블로잉 유닛(69)에 정전 척(100) 외주연과 대응되고 축의 중심 방향으로 연장되는 분사 노즐(690)이 구비되며(도 11에 도시된 바와 같음), 정전 척(100)이 분리를 작동하고 양측 옆 날개판(65)에 의해 기판(200)과 박리될 시, 고속 기체를 불어 넣어 정전 척(100)과 기판(200)이 효과적으로 분리될 수 있도록 한다.
또한 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 기판 이동부(80)는 기판(200)을 선택적으로 흡착할 수 있는 프레임 베이스(81)로 구성되고, 상기 프레임 베이스(81)는 승강 기구(82)에 의해 상하로 선형 작동될 수 있으며, 기판(200)을 하부의 정전 척(100)에 대해 선택적으로 압접하며, 상기 프레임 베이스(81) 표면에 감지 부재(810)가 구비되고, 상기 기판(200)의 존재 여부를 감지하며, 상기 프레임 베이스(81)에 흡착 표면이 구비되고, 상기 프레임 베이스(81)의 흡착 표면에 복수개의 흡착 부재(83)가 구비되며, 기판(200) 범위 내에 대응되는 표면 흡착 부재(830) 또는 기판(200) 가장자리에 인접하는 가장자리 흡착 부재(835)가 구비되고, 표면 흡착 부재(830)는 베르누이 법칙(Bernoulli)의 흡착 기술일 수 있으며, 흡착 과정에서 기판(200)에 손상을 입히는 것을 감소한다. 또한 상기 기판 이동부(80)의 기판(200) 외주연과 대응되는 곳에 광학 감지부(85)가 구비되며, 상기 광학 감지부(85)는 기판(200) 외주연을 둘러싸는 적어도 세 개의 광전 부재(850)를 포함하고, 기판(200)이 바로 놓이지 못하여 임의의 하나의 광전 부재(850)를 커버하면 경보가 트리거되며, 기판(200)의 위치가정확하게 대응되도록 보장한다. 다른 일부 실시예에 따르면, 상기 기판 이동부(80) 주연에 선택적으로 신축 가능한 추락 방지 부재(86)가 구비되고, 인출 시 둘러싸는 범위는 기판(200)의 외경보다 작으며, 기판(200)이 기판 이동부(80)에 진입되어 표면을 흡착할 시, 추락 방지 부재(86)를 인출하여, 기판(200)이 효과적으로 흡착되지 못하여 추락되는 것을 방지하고, 기판(200)이 기판 이동부(80)에 의해 효과적으로 흡착된 것을 확인 후 축소하여 돌아오게 할 수 있다. 일부 실시예에 따르면, 상기 기판 이동부(80)는 정전기 생성부(60)에 대해 기판(200)을 클램핑할 수 있는 기계 팔일 수 있다.
이로써, 정전 척(100)과 기판(200)이 자동 접착 및 자동 분리될 수 있는 자동 탈착 시스템을 구성할 수 있다.
실제로 조작할 시, 도 1, 도 2, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 전송 장치(20)는 정전 척(100)을 상기 정전기 생성부(60)의 메인 프레임판(61) 및 옆 날개판(65)의 작업 평면에 안착하고(도 7 및 도 8에 도시된 바와 같음), 터치형 감지부(67) 및 광학 감지부(68)를 이용하여 상기 정전 척(100)이 지정 방위로 정확하게 위치가 결정되도록 보장한 후 (도 8 및 도 9에 도시된 바와 같음), 상기 정전기 생성부(60)는 흡착 부재(64)를 이용하여 상기 정전 척(100)을 고정하며, 또한 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 전송 장치(20)는 기판(200)을 상기 기판 이동부(80)의 저면에 안착하고, 터치형 감지부 및 광학 감지부(85)를 이용하여 상기 기판(200)이 지정 방위로 정확하게 위치가 결정되도록 보장한 후, 상기 기판 이동부(80)는 흡착 부재(83)를 이용하여 상기 기판(200)을 고정하며, 상기 정전 척(100) 및 상기 기판(200)이 동일한 지정 방위로 대응되도록 한다.
정전 척(100) 및 기판(200)이 동일한 지정 방위로 대응되는 표면에 고정된 후, 도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 기판 이동부(80)에 의해 기판(200)이 상기 정전기 생성부(60)의 정전 척(100)에 대해 선형 변위하고, 상기 기판(200)이 동일한 지정 방위로 상기 정전 척(100) 표면에 접합될 수 있도록 하며, 양자의 외주연은 완전히 중첩되고, 상기 정전 척(100)이 상기 기판(200)과 접합된 후, 상기 정전기 생성부(60)는 상기 정전 척(100)에 전기를 통하여, 상기 정전 척(100)이 상기 기판(200)에 대해 정전기장을 생성할 수 있도록 하며, 상기 정전 척(100)이 정전기에 의해 접착상기 기판(200)을 접착하는 작업을 완료한다.
또한, 상기 접착된 기판(200)과 정전 척(100)은 분리될 수도 있고, 상기 기판(200)이 접착된 정전 척(100)을 상기 정전기 생성부(60)에 안착하여 흡착 고정하며, 상기 기판 이동부(80)를 선형 변위하여 상기 기판(200)의 정전 척(100)과 다른 일측의 표면에 흡착 고정하고, 다음 상기 정전기 생성부(60)가 상기 정전 척(100)의 정전기장을 방출하도록 하며, 상기 정전 척(100)의 정전기가 방출되도록 하여, 상기 기판(200)이 분리될 수 있도록 하고, 상기 기판 이동부(80)가 반대방향으로 변위하여 상기 기판(200)과 상기 정전 척(100)이 서로 분리되도록 하며, 마지막으로 대응되는 전송 장치(20)를 이용하여 상기 정전 척(100) 및 상기 기판(200)을 대응되는 트레이 재료 투입부(18) 및 기판 재료 투입부(16)에 각각 안착한다. 일부 실시예에 따르면, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 정전 척(100)이 정전기를 방출한 후, 상기 정전 척(100) 외주연을 아래로 작동하고, 상기 정전 척(100) 외주연이 상기 기판(200)에 대해 사전 박리되어 개구를 형성하며, 블로잉 유닛(69)의 분사 노즐(690)을 통해 고속 기체를 정전 척(100) 외주연으로부터 불어넣어, 상기 정전 척(100)과 상기 기판(200)이 효과적으로 분리되도록 한다.
100: 정전 척 200: 기판 50: 탈착 기기
51: 하부 프레임 52: 상부 프레임 60: 정전기 생성부
61: 메인 프레임판 62: 재료 지지 부재 620: 감지 부재
63: 극(pole) 64: 흡착 부재 65: 옆 날개판
66: 가이드 로드 660: 고정 가이드 로드 661: 경사형 가이드 면
665: 이동 가이드 로드 666: 경사형 가이드 면 67: 터치형 감지부
670: 터치형 돌출 기둥 675: 교정형 돌출 기둥 68: 광학 감지부
680: 광전 부재 69: 블로잉 유닛 690: 분사 노즐
70: 신축 실린더 80: 기판 이동부 81: 프레임 베이스
810: 감지 부재 82: 승강 기구 83: 흡착 부재
830: 표면 흡착 부재 835: 가장자리 흡착 부재 85: 광학 감지부
850: 광전 부재 86: 추락 방지 부재

Claims (10)

  1. 무선 정전 척과 박형화된 기판의 접착 또는 분리에 사용되고, 상기 정전 척 저면에는 전기를 전도하여 정전기장을 생성하는 극이 구비되는 탈착 기기에 있어서,
    프레임；
    상기 프레임에 설치되고, 정전 척을 평평하게 안착하는 작업 평면이 구비되며, 상기 작업 평면에 정전 척 저면과 대응되는 흡착 부재가 각각 설치되고, 상기 작업 평면에 두 개 또는 2의 배수개의 정전 척의 저면 극과 대응되게 접촉되는 극이 구비되며, 작동되어 상기 정전 척의 정전기장을 생성 또는 방출하고, 상기 작업 평면에 가이드 로드부가 구비되며, 상기 가이드 로드부는 트레이 가로 위치를 제한하는 적어도 두 개의 고정 가이드 로드 및 트레이를 가로로 밀어 고정 가이드 로드와 치합되는 적어도 하나의 이동 가이드 로드를 포함하고, 정전 척 또는 기판이 작업 평면의 정위치에 위치되도록 하는 정전기 생성부; 및
    상기 프레임에 설치되고 상기 정전기 생성부와 마주하며, 상기 정전기 생성부에 대해 이동할 수 있고, 정위치가 구비된 기판을 흡착하는 기판 이동부를 포함하고,
    상기 기판 이동부는 기판이 정전 척과 압접된 후, 상기 정전기 생성부를 작동시켜 정전 척이 정전기장을 생성하도록 하여, 상기 기판을 접착하는 자동 탈착 기기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 작업 평면은 메인 프레임판 및 상기 메인 프레임판 양측 가장자리에 피봇 설치되는 옆 날개판으로 구성되고, 양측 옆 날개판은 메인 프레임판 일단과 다르게 선택적으로 하향 이동할 수 있는 자동 탈착 기기.
  3. 제2항에 있어서, 상기 메인 프레임판 내에 선택적으로 승강할 수 있는 재료 지지 부재가 구비되고, 상기 재료 지지 부재는 작업 평면과 비교적 높은 재료 수신 평면 사이에서 위치 이동할 수 있는 자동 탈착 기기.
  4. 제1항에 있어서, 상기 가이드 로드의 고정 가이드 로드 및 이동 가이드 로드의 최상단 주연에 경사형 가이드 면이 형성되는 자동 탈착 기기.
  5. 제1항에 있어서, 상기 정전기 생성부의 정전 척 외주연과 대응되는 곳에 터치형 감지부가 구비되고, 신축 가능하고 정전 척 외주연을 둘러싸는 적어도 두 개의 터치형 돌출 기둥 및 적어도 하나의 앞뒤로 이동 가능한 교정형 돌출 기둥을 포함하며, 상기 교정형 돌출 기둥은 상기 정전 척 또는 기판의 포지셔닝 개구를 이용하여, 축선을 중심으로 회전하여 교정할 수 있도록 하는 자동 탈착 기기.
  6. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 정전기 생성부의 정전 척 외주연과 대응되는 곳에 광학 감지부가 구비되고, 상기 광학 감지부는 정전 척 외주연을 둘러싸는 적어도 세 개의 광전 부재를 포함하며, 정전 척이 바로 놓이지 못하여 임의의 하나의 광전 부재를 커버하면 경보를 트리거할 수 있는 자동 탈착 기기.
  7. 제2항에 있어서, 상기 정전기 생성부의 양측 옆 날개판과 대응되는 곳에 블로잉 유닛이 각각 구비되고, 상기 블로잉 유닛에 정전 척 외주연과 대응되고 축의 중심 방향으로 연장되는 분사 노즐이 구비되는 자동 탈착 기기.
  8. 제1항에 있어서, 상기 기판 이동부에 프레임 베이스가 구비되고, 상기 프레임 베이스 표면에 복수개의 흡착 부재가 구비되며, 상기 흡착 부재는 기판 범위 내에 대응되는 표면 흡착 부재 또는 기판 가장자리에 인접하는 가장자리 흡착 부재를 포함하고, 표면 흡착 부재는 베르누이 법칙의 흡착 기술일 수 있는 자동 탈착 기기.
  9. 제1항 또는 제8항에 있어서, 상기 기판 이동부의 기판 외주연과 대응되는 곳에 광학 감지부가 구비되고, 상기 광학 감지부는 기판 외주연을 둘러싸는 적어도 세 개의 광전 부재를 포함하는 자동 탈착 기기.
  10. 제1항에 있어서, 상기 기판 이동부의 주연에 선택적으로 신축 가능한 추락 방지 부재가 구비되고, 인출 시 둘러싸는 범위는 기판의 외경보다 작은 자동 탈착 기기.
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