JP5487738B2 - プッシュアップピンおよび基板貼り合わせ装置 - Google Patents
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Claims (8)
- 貼り合わせ面を有する基板を、前記貼り合わせ面を下向きにして、前記貼り合わせ面と反対側の面を下向きの基板保持部に向けた状態で前記基板保持部に対して着脱するときに前記基板を下方から支持するプッシュアップピンであって、
前記基板保持部に向けて伸び、前記基板保持部に対して移動するピン本体と、
前記ピン本体に設けられ、前記貼り合わせ面に接触しないように前記基板を支持する支持部と、
を備え、
前記支持部は、前記基板の縁部に接触するプッシュアップピン。 - 前記支持部は、前記ピン本体の先端部に設けられている請求項1に記載のプッシュアップピン。
- 前記支持部は、前記基板の下縁に斜めに接触する請求項1または2に記載のプッシュアップピン。
- 前記ピン本体は上下方向に延在し、前記支持部は前記ピン本体から斜めに延在する請求項1から3のいずれか1項に記載のプッシュアップピン。
- 前記支持部の前記基板と接触する領域は、前記基板に対して大きな摩擦力を有する請求項1から4の何れか1項に記載のプッシュアップピン。
- 互いに積層して接合された基板のうち、外径の最も大きな基板を支持する請求項1から5のいずれか1項に記載のプッシュアップピン。
- 他の基板が保持され、前記基板保持部に対向して配置されたステージと、
前記基板保持部に保持された前記基板と、前記ステージに保持された前記他の基板とを互いに位置合わせすべく前記ステージを駆動する駆動部と、
前記ステージに配され、請求項1から6のいずれか1項に記載のプッシュアップピンと、
を備える位置合わせ装置。 - 請求項7に記載の位置合わせ装置と、
前記位置合わせ装置で位置合わせされた前記基板と前記他の基板とを加圧する加圧装置と、
を備える基板貼り合わせ装置。
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