JP5471031B2 - ステージ装置、位置合わせ装置および基板貼り合わせ装置 - Google Patents
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Claims (8)
- 基板が載置されるステージと、
垂直成分を含む第1昇降方向に前記ステージを移動させる第1昇降アクチュエータと、
水平成分を含み且つ前記昇降方向と交差する第1交差方向に前記ステージを移動させる第1交差アクチュエータと、
垂直成分を含み、且つ、前記第1交差方向と交差する第2昇降方向に前記ステージを移動させる第2昇降アクチュエータと、
水平成分を含み、且つ、前記第1昇降方向および前記第2昇降方向のいずれとも交差する第2交差方向に前記ステージを移動させる第2交差アクチュエータと、
垂直成分を含み、且つ、前記第1交差方向および前記第2交差方向と交差する第3昇降方向に前記ステージを移動させる第3昇降アクチュエータと、
水平成分を含み、且つ、前記第1昇降方向、前記第2昇降方向および前記第3昇降方向のいずれとも交差する第3交差方向に前記ステージを移動させる第3交差アクチュエータと
を備え、
前記第1交差アクチュエータは、前記第1昇降アクチュエータの作用線と交差する作用線を有し、
前記第2交差アクチュエータは、前記第2昇降アクチュエータの作用線および前記第3昇降アクチュエータの作用線のうち少なくとも一方と交差する作用線を有し、
前記第3交差アクチュエータの作用線の水平成分は、前記第1交差アクチュエータの作用線の水平成分および前記第2交差アクチュエータの作用線の水平成分と交差し、
前記第3交差アクチュエータの作用線は、前記ステージおよび前記ステージと共に変位する部材を含む組立体全体の重心を通る垂直線と交差する
ステージ装置。 - 垂直成分を含み、且つ、前記第1交差方向と交差する第2昇降方向に前記ステージを移動させる第2昇降アクチュエータを更に備え、
前記第1交差アクチュエータの作用線は、前記第2昇降アクチュエータの作用線にも交差する請求項1に記載のステージ装置。 - 垂直成分を含み、且つ、前記第1交差方向と交差する第2昇降方向に前記ステージを移動させる第2昇降アクチュエータと、
水平成分を含み、且つ、前記第1昇降方向および前記第2昇降方向のいずれとも交差する第2交差方向に前記ステージを移動させる第2交差アクチュエータと
を更に備え、
前記第2交差アクチュエータは、前記第2昇降アクチュエータの作用線と交差する作用線を有する請求項1に記載のステージ装置。 - 前記第3昇降アクチュエータは、前記第1昇降アクチュエータの作用点および第2昇降アクチュエータの作用点を結ぶ直線を逸れた位置に作用点を有する請求項1に記載のステージ装置。
- 前記第3交差アクチュエータの作用線は、前記第1昇降アクチュエータの作用線、前記第2昇降アクチュエータの作用線、および、前記第3昇降アクチュエータの作用線の少なくともひとつと交差する請求項1に記載のステージ装置。
- 前記ステージおよび前記ステージと共に変位する部材を含む組立体全体の重心を、前記ステージの重心に接近させた請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載のステージ装置。
- 請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載のステージ装置を備えた位置合わせ装置。
- 請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載のステージ装置を備えた基板貼り合わせ装置。
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