JP5614081B2 - 基板位置合わせ装置、基板位置合わせ方法、基板貼り合わせ装置、積層半導体装置製造方法及び積層半導体装置 - Google Patents
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Description
特許文献1 特開2009−231671号公報
102 筐体
104 常温部
106 高温部
108 断熱壁
112 基板カセット
114 基板カセット
116 基板カセット
122 第1基板
123 第2基板
124 上基板ホルダ
125 下基板ホルダ
126 プリアライナ
128 基板ホルダラック
129 基板ホルダアライナ
134 搬送アーム
136 レール
140 ステージ装置
141 第1テーブル
142 第2テーブル
143 第3テーブル
144 第3テーブル
145 断熱壁
146 シャッタ
148 制御部
220 エアロック
222 シャッタ
224 シャッタ
230 搬送アーム
240 加熱室
250 冷却室
310 本体
312 天板
314 支柱
316 底板
342 第2顕微鏡
344 第1顕微鏡
346 第3顕微鏡
352 ガイドレール
354 Xステージ
356 Yステージ
360 昇降部
370 干渉計
372 変位センサー
374 第1固定鏡
376 第2固定鏡
402 押上ピン
Claims (19)
- それぞれに回路が形成された第1半導体基板と第2半導体基板とを互いに位置合わせする基板位置合わせ装置であって、
前記第1半導体基板を保持する第1テーブルと、
前記第2半導体基板が前記第1半導体基板に対向するように、前記第2半導体基板を保持する第2テーブルと、
前記第1半導体基板に設けられた第1指標を観察する第1顕微鏡と、
前記第2半導体基板に設けられた第2指標を観察する第2顕微鏡と、
前記第1半導体基板と前記第2半導体基板とを互いに位置合わせすべく、前記第1指標の位置および前記第2指標の位置に基づいて、前記第1テーブルおよび前記第2テーブルのいずれか一方の移動を制御する制御部と、
前記第1テーブルに保持された前記第1半導体基板および前記第2テーブルに保持された前記第2半導体基板が位置合わせされて前記第1テーブルおよび前記第2テーブルから搬出される搬出工程が完了する前に、次に位置合わせされる第3半導体基板を受け取る第3テーブルと、
を備える基板位置合わせ装置。 - 前記搬出工程が完了する前に、前記第3テーブルに保持された前記第3半導体基板の位置が検出される請求項1に記載の基板位置合わせ装置。
- 前記第3テーブルは、前記第2テーブルに対向する向きに配され、
前記制御部は、前記第2テーブルを前記第1テーブルに対して移動させ、
前記第2テーブルは、前記第1テーブルとの間での位置合わせ、および、前記第3テーブルとの間での位置合わせに共用される請求項2に記載の基板位置合わせ装置。 - 前記制御部は、前記第1指標の位置と前記第2指標の位置とに基づいて前記第2テーブルを移動させ、
前記第3テーブルは、前記第1テーブルに隣接して配され、前記第3半導体基板の第3指標は、前記第1顕微鏡により観察される請求項3に記載の基板位置合わせ装置。 - 前記第3テーブルに保持された前記第3半導体基板は、前記第1半導体基板および前記第2半導体基板が搬出された後に前記第2テーブルに保持された第4半導体基板と位置合わせされる請求項4に記載の基板位置合わせ装置。
- 前記第2テーブルに保持された前記第4半導体基板に設けられた第4指標を観察する第3顕微鏡を備え、
前記制御部は、前記第3指標の位置と前記第4指標の位置とに基づいて前記第2テーブルを移動させる請求項5に記載の基板位置合わせ装置。 - 前記第2テーブルは、前記第1テーブルに近接および離間して、前記第2半導体基板を前記第1半導体基板に重ね合わせる昇降機構を有する請求項1から6のいずれか一項に記載の基板位置合わせ装置。
- 前記第2テーブルは、前記第2半導体基板の面方向を前記第1半導体基板の面方向に平行に調整する調整機構をさらに備える請求項7に記載の基板位置合わせ装置。
- 前記第1テーブルは、前記第1半導体基板が下方に向くように保持し、
前記第3テーブルは、前記第2テーブルに隣接して前記第1テーブルに対向する向きに配され、前記第3半導体基板を受け取り、前記第1テーブルへ向けて上昇する請求項1に記載の基板位置合わせ装置。 - それぞれに回路が形成された第1半導体基板と第2半導体基板とを互いに位置合わせする基板位置合わせ方法であって、
前記第1半導体基板を第1テーブルに保持する第1保持ステップと、
前記第2半導体基板が前記第1半導体基板に対向するように、前記第2半導体基板を第2テーブルに保持する第2保持ステップと、
前記第1テーブルおよび前記第2テーブルのいずれか一方を移動させることにより前記第1半導体基板と前記第2半導体基板とを互いに位置合わせする位置合わせステップと、
前記位置合わせされた前記第1半導体基板および前記第2半導体基板を前記第1テーブルおよび前記第2テーブルから搬出する搬出ステップと、
前記搬出ステップが完了する前に、次に位置合わせされる第3半導体基板を第3テーブルに保持する第3保持ステップと、
を含み、
前記位置合わせステップは、
前記第1半導体基板に設けられた第1指標を第1顕微鏡で観察する第1観察ステップと、
前記第2半導体基板に設けられた第2指標を第2顕微鏡で観察する第2観察ステップと、
を含み、
前記位置合わせステップは、前記第1指標の位置および前記第2指標の位置に基づいて、前記第1テーブルおよび前記第2テーブルのいずれか一方の移動を制御する基板位置合わせ方法。 - 前記第1保持ステップおよび前記第2保持ステップの少なくとも一方が開始してから前記搬出ステップが完了する間に、前記第3テーブルに保持された前記第3半導体基板の位置が検出される請求項10に記載の基板位置合わせ方法。
- 前記搬出ステップの後に、第4半導体基板を前記第2テーブルに保持する第4保持ステップと、
前記第3テーブルに保持された前記第3半導体基板と前記第2テーブルに保持された第4半導体基板とを互いに位置合わせする第2位置合わせステップと、
を含む請求項10または11に記載の基板位置合わせ方法。 - 前記位置合わせステップは、前記第1指標の位置と前記第2指標の位置とに基づいて前記第2テーブルを移動させ、
前記第2位置合わせステップは、
前記第3半導体基板に設けられた第3指標を観察する第3観察ステップを含み、前記第3観察ステップは、前記第1顕微鏡により前記第3指標を観察する請求項12に記載の基板位置合わせ方法。 - 前記第2テーブルに保持された前記第4半導体基板に設けられた第4指標を第3顕微鏡で観察する第4観察ステップを含み、
前記第2位置合わせステップは、前記第3指標の位置と前記第4指標の位置とに基づいて前記第2テーブルを移動させる請求項13に記載の基板位置合わせ方法。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載の基板位置合わせ装置と、
位置合わせされた前記第1半導体基板および前記第2半導体基板を接合する接合部と、
を備える基板貼り合わせ装置。 - 請求項15に記載の基板貼り合わせ装置により基板を貼り合わせることを含む積層半導体装置製造方法。
- 請求項16に記載の積層半導体装置製造方法により製造された積層半導体装置。
- それぞれに回路が形成された第1半導体基板と第2半導体基板とを互いに位置合わせする基板位置合わせ装置であって、
前記第1半導体基板を保持する第1テーブルと、
前記第2半導体基板が前記第1半導体基板に対向するように、前記第2半導体基板を保持する第2テーブルと、
前記第1半導体基板に設けられた第1指標を観察する第1顕微鏡と、
前記第2半導体基板に設けられた第2指標を観察する第2顕微鏡と、
前記第1半導体基板と前記第2半導体基板とを互いに位置合わせすべく、前記第1指標の位置および前記第2指標の位置に基づいて、前記第1テーブルおよび前記第2テーブルのいずれか一方の移動を制御する制御部と、
前記第1テーブルに保持された前記第1半導体基板および前記第2テーブルに保持された前記第2半導体基板が位置合わせされて前記第1テーブルおよび前記第2テーブルから搬出される搬出工程が完了する前に、次に位置合わせされる第3半導体基板を搬入する搬送部と、
を備える基板位置合わせ装置。 - それぞれに回路が形成された第1半導体基板と第2半導体基板とを互いに位置合わせする基板位置合わせ方法であって、
前記第1半導体基板を第1テーブルに保持する第1保持ステップと、
前記第2半導体基板が前記第1半導体基板に対向するように、前記第2半導体基板を第2テーブルに保持する第2保持ステップと、
前記第1テーブルおよび前記第2テーブルのいずれか一方を移動させることにより前記第1半導体基板と前記第2半導体基板とを互いに位置合わせする位置合わせステップと、
前記位置合わせされた前記第1半導体基板および前記第2半導体基板を前記第1テーブルおよび前記第2テーブルから搬出する搬出ステップと、
前記搬出ステップが完了する前に、次に位置合わせされる第3半導体基板を搬入する搬入ステップと、
を含み、
前記位置合わせステップは、
前記第1半導体基板に設けられた第1指標を第1顕微鏡で観察する第1観察ステップと、
前記第2半導体基板に設けられた第2指標を第2顕微鏡で観察する第2観察ステップと、
を含み、
前記位置合わせステップは、前記第1指標の位置および前記第2指標の位置に基づいて、前記第1テーブルおよび前記第2テーブルのいずれか一方の移動を制御する基板位置合わせ方法。
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