JP5768368B2 - 基板ホルダ、貼り合わせシステム、積層半導体装置製造方法及び貼り合わせ方法 - Google Patents
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特許文献1 特開2005−302858号公報
Claims (15)
- 基板を保持した状態で搬送される基板ホルダであって、
外部から測定可能な指標と、
外部からの測定により得られるべき前記指標の測定結果の情報が付された情報記憶部と、
を備える基板ホルダ。 - 前記情報記憶部は、測定されるべき前記指標を示す情報と前記測定結果の情報とが対応付けられている請求項1に記載の基板ホルダ。
- 前記指標は、測定により互いに異なる複数の前記測定結果のいずれか一つが測定されるべく設けられており、
前記情報記憶部は、前記複数の測定結果のうちの前記一つが、前記基板ホルダを識別する識別情報に対応付けられている請求項1または2に記載の基板ホルダ。 - 前記基板を保持する本体部をさらに備え、
前記指標は、前記本体部の外観形状である請求項1から3のいずれか一項に記載の基板ホルダ。 - 前記基板を保持する本体部をさらに備え、
前記指標は、前記本体部の物理量である請求項1から3のいずれか一項に記載の基板ホルダ。 - 外部からの電力供給により、前記基板を保持すべく静電吸着する電極をさらに備え、
前記指標は、前記電極の電気的な特性である請求項1から3のいずれか一項に記載の基板ホルダ。 - 前記情報記憶部は、バーコードである請求項1から6のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
- 前記情報記憶部は、QRコードである請求項1から6のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
- 基板を保持した状態で搬送される基板ホルダであって、
外部から測定可能な指標と、
外部からの測定により得られるべき前記指標の測定結果の情報を記憶する情報記憶部と、
を備える基板ホルダ。 - 前記情報記憶部は、測定されるべき前記指標を示す情報と前記測定結果の情報とを対応付けて記憶する請求項9に記載の基板ホルダ。
- 基板ホルダに保持された基板と他の基板とを互いに貼り合わせる貼り合わせシステムであって、
前記基板ホルダに設けられた指標を外部から測定したときに得られるべき測定結果の情報を読み出す読み出し部と、
前記指標を測定する指標測定部と、
前記読み出し部により読み出された前記測定結果の情報と前記指標測定部の測定の結果とを比較して出力する比較部と、
を備える貼り合わせシステム。 - 前記比較部による比較の結果、前記読み出し部により読み出された前記測定結果の情報と前記指標測定部の測定の結果とが一致していない場合、または、その違いが予め定められた閾値を超えた場合、警告を出す警告部を備える請求項11に記載の貼り合わせシステム。
- 前記基板を保持する前記基板ホルダを保持するステージ装置と、前記ステージ装置を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記比較部による比較の結果、前記読み出し部により読み出された前記測定結果の情報と前記指標測定部の測定の結果とが一致していない場合、または、その違いが予め定められた閾値を超えた場合、前記ステージ装置を停止させる請求項11または12に記載の貼り合わせシステム。 - 請求項11から13のいずれか一項に記載の貼り合わせシステムにより複数の基板を積層して積層半導体装置を製造する積層半導体装置製造方法。
- 基板ホルダに保持された基板と他の基板とを互いに貼り合わせる貼り合わせ方法であって、
前記基板ホルダに設けられた指標を外部から測定したときに得られるべき測定結果の情報を読み出す読み出し段階と、
前記指標を測定する指標測定段階と、
前記読み出し段階で読み出された前記測定結果の情報と前記指標測定段階での測定の結果とを比較して出力する比較段階と、
を含む貼り合わせ方法。
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