JP5707793B2 - 基板貼り合せ装置、基板貼り合せ方法および積層半導体装置製造方法 - Google Patents
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Description
特許文献1 特開2009−245963号公報
Claims (25)
- 基板を載置する載置面を有するホルダ本体と、
前記ホルダ本体に設けられ、前記ホルダ本体が予め定められた位置に配された場合に外部の接続部に接続して電気的な閉回路を形成する接続部材と、
前記接続部材とは別個に前記ホルダ本体に設けられ、電力供給により、前記基板を前記載置面に静電吸着する静電吸着部と
を備える基板ホルダを用いて、前記基板を含む複数の基板を重ね合わせて貼り合せる基板貼り合せ装置であって、
前記基板ホルダが載置されるテーブルと、
前記テーブルに設けられ、前記静電吸着部に電力供給する静電給電部と
を備え、
前記外部の接続部は、前記テーブルに設けられており、前記基板ホルダが前記テーブルに前記位置で載置されたときに前記接続部材に接触され、
前記静電給電部は、前記閉回路が形成されたことを検出したら前記静電吸着部に電力供給する基板貼り合せ装置。 - 前記接続部材は、前記ホルダ本体に設けられた一対の端子、および、前記一対の端子間を電気的に接続する接続線を有し、前記一対の端子が前記外部の接続部に接触する請求項1に記載の基板貼り合せ装置。
- 前記静電吸着部は、前記ホルダ本体から露出して外部から接触される端子を有し、
前記接続部材の前記一対の端子のいずれの露出面積も、前記静電吸着部の前記端子の露出面積より小さい請求項2に記載の基板貼り合せ装置。 - 前記静電吸着部は、前記ホルダ本体から露出して外部から接触される端子を有し、
前記接続部材の前記一対の端子は、前記静電吸着部の前記端子に隣接して配される請求項2または3に記載の基板貼り合せ装置。 - 前記接続線は、他の部分よりも耐久性の低い材料で形成されるモニタ部を有する請求項4に記載の基板貼り合せ装置。
- 前記接続部材は、前記ホルダ本体に着脱可能なカセットに設けられている請求項1から5のいずれか一項に記載の基板貼り合せ装置。
- 前記閉回路に電力を供給する電源と、
前記閉回路に流れる電流を計測する電流計と、を備え、
前記電流計で計測した電流値に基づいて、前記基板ホルダが前記位置に載置されたか否かを検出する請求項1から6のいずれか一項に記載の基板貼り合せ装置。 - 基板ホルダを用いて複数の基板を重ね合わせて貼り合せる基板貼り合せ装置であって、
前記基板ホルダは、
それぞれが基板を載置する載置面を有し、前記基板を挟んで保持する一対のホルダ本体と、
前記一対のホルダ本体に配され、前記一対のホルダ本体が予め定められた位置に配された場合に外部の接続部に接続して電気的な閉回路を形成する接続部材と、
前記接続部材とは別個に前記一対のホルダ本体の少なくとも一方に設けられ、電力供給により、前記基板を前記載置面に静電吸着する静電吸着部と
を備え、
前記接続部材は、前記一対のホルダ本体の何れか一方における前記基板を挟んでいる面と反対の面に露出して配され、
基板貼り合せ装置は、
前記基板ホルダが載置されるテーブルと、
前記テーブルに設けられ、前記静電吸着部に電力供給する静電給電部と
を備え、
前記外部の接続部は、前記テーブルに設けられており、前記基板ホルダが前記テーブルに前記位置で載置されたときに前記接続部材に接触され、
前記静電給電部は、前記閉回路が形成されたことを検出したら前記静電吸着部に電力供給する基板貼り合せ装置。 - 前記接続部材は、前記一対のホルダ本体が前記基板を挟んで保持したときに、互いに電気的に接続される接続線、および、電気的に接続された前記接続線の両端に配された一対の端子を有し、前記一対の端子が前記外部の接続部に接触する請求項8に記載の基板貼り合せ装置。
- 前記閉回路に電力を供給する電源と、
前記閉回路に流れる電流を計測する電流計と、を備え、
前記電流計で計測した電流値に基づいて、前記基板ホルダが前記位置に載置されたか否かを検出する請求項8または9に記載の基板貼り合せ装置。 - 前記電流計で計測した電流値に基づいて、前記一対のホルダ本体がそれぞれ所定の位置に重ね合されているか否かを検出する請求項10に記載の基板貼り合せ装置。
- 基板ホルダを用いて複数の基板を重ね合わせて貼り合せる基板貼り合せ装置であって、
前記基板ホルダは、
それぞれが基板を載置する載置面を有し、前記基板を挟んで保持する一対のホルダ本体と、
前記一対のホルダ本体に配され、前記一対のホルダ本体が予め定められた位置に配された場合に外部の接続部に接続して電気的な閉回路を形成する接続部材と、
前記接続部材とは別個に前記一対のホルダ本体の少なくとも一方に設けられ、電力供給により、前記基板を前記載置面に静電吸着する静電吸着部と
を備え、
前記接続部材は、前記一対のホルダ本体が前記基板を挟んで保持したときに、互いに電気的に接続される接続線、および、電気的に接続された前記接続線の両端に配された一対の接続部を有し、前記一対の接続部が前記外部の接続部に接触し、
前記一対の接続部の一方は、前記一対のホルダ本体の一方における前記基板を挟んでいる面と反対の面に露出して配され、前記一対の接続部の他方は、前記一対のホルダ本体の他方における前記基板を挟んでいる面と反対の面に露出して配され、
基板貼り合せ装置は、
前記一対のホルダ本体の一方が保持される第1テーブルと、
前記一対のホルダ本体の他方が前記一対のホルダ本体の一方に対向するように保持する第2テーブルと、
前記第1テーブルおよび前記第2テーブルの少なくとも一方に設けられ、前記静電吸着部に電力供給する静電給電部と
を備え、
前記第1テーブルには、前記一対のホルダ本体の一方から露出した前記一対の接続部の一方が接触される前記外部の接続部が設けられており、前記第2テーブルには、前記一対のホルダ本体の他方から露出した前記一対の接続部の他方が接触される前記外部の接続部が設けられており、
前記外部の接続部は、前記基板ホルダのそれぞれが前記第1テーブルおよび前記第2テーブルにそれぞれ前記位置で載置されたときに、前記接続部材に接触され、
前記静電給電部は、前記閉回路が形成されたことを検出したら前記静電吸着部に電力供給する基板貼り合せ装置。 - 前記閉回路に電力を供給する電源と、
前記閉回路に流れる電流を計測する電流計と、を備え、
前記電流計で計測した電流値に基づいて、前記一対のホルダ本体がそれぞれ前記位置に載置されたか否かを検出する請求項12に記載の基板貼り合せ装置。 - 前記電流計で計測した電流値に基づいて、前記一対のホルダ本体がそれぞれ所定の位置に重ね合されているか否かを検出する請求項13に記載の基板貼り合せ装置。
- 基板を載置する載置面を有するホルダ本体と、
前記ホルダ本体に設けられ、前記ホルダ本体が予め定められた位置に配された場合に外部の接続部に接続して電気的な閉回路を形成する接続部材と、
前記接続部材とは別個に前記ホルダ本体に設けられ、電力供給により、前記基板を前記載置面に静電吸着する静電吸着部とを備える基板ホルダを用いて、前記基板を含む複数の基板を重ね合わせて貼り合せる基板貼り合せ方法であって、
前記基板ホルダをテーブルに載置する載置ステップと、
前記ホルダ本体に設けられた前記接続部材を前記テーブルに設けられた前記外部の接続部に接触させることにより前記閉回路を形成する形成ステップと、
前記形成ステップで前記閉回路が形成されたことを検出したら、前記テーブルに設けられた静電給電部から前記ホルダ本体に設けられた前記静電吸着部に電力を供給する供給ステップと
を含む基板貼り合せ方法。 - 前記閉回路に電力を供給する供給ステップと、
前記閉回路に流れる電流を計測する計測ステップと、
前記計測ステップで計測した電流値に基づいて、前記基板ホルダが前記位置に載置されたか否かを検出する検出ステップと、
を含む請求項15に記載の基板貼り合せ方法。 - 基板ホルダを用いて、複数の基板を重ね合わせて貼り合せる基板貼り合せ方法であって、
前記基板ホルダは、
それぞれが基板を載置する載置面を有し、前記基板を挟んで保持する一対のホルダ本体と、
前記一対のホルダ本体に配され、前記一対のホルダ本体が予め定められた位置に配された場合に外部の接続部に接続して電気的な閉回路を形成する接続部材と、
前記接続部材とは別個に前記一対のホルダ本体の少なくとも一方に設けられ、電力供給により、前記基板を前記載置面に静電吸着する静電吸着部とを備え、
前記接続部材は、前記一対のホルダ本体の何れか一方における前記基板を挟んでいる面と反対の面に露出して配され、
基板貼り合せ方法は、
前記基板ホルダをテーブルに載置する載置ステップと、
前記一対のホルダ本体に設けられた前記接続部材を前記テーブルに設けられた前記外部の接続部に接触させることにより前記閉回路を形成する形成ステップと、
前記形成ステップで前記閉回路が形成されたことを検出したら、前記テーブルに設けられた静電給電部から前記一対のホルダ本体に設けられた前記静電吸着部に電力を供給する供給ステップと
を含む基板貼り合せ方法。 - 前記閉回路に電力を供給する供給ステップと、
前記閉回路に流れる電流を計測する計測ステップと、
前記計測ステップで計測した電流値に基づいて、前記基板ホルダが前記位置に載置されたか否かを検出する検出ステップと、
を含む請求項17に記載の基板貼り合せ方法。 - 前記検出ステップは、前記計測ステップで計測した電流値に基づいて、前記一対のホルダ本体がそれぞれ所定の位置に重ね合されているか否かを検出する請求項18に記載の基板貼り合せ方法。
- 基板ホルダを用いて、複数の基板を重ね合わせて貼り合せる基板貼り合せ方法であって、
前記基板ホルダは、
それぞれが基板を載置する載置面を有し、前記基板を挟んで保持する一対のホルダ本体と、
前記一対のホルダ本体に配され、前記一対のホルダ本体が予め定められた位置に配された場合に外部の接続部に接続して電気的な閉回路を形成する接続部材と、
前記接続部材とは別個に前記一対のホルダ本体の少なくとも一方に設けられ、電力供給により、前記基板を前記載置面に静電吸着する静電吸着部とを備え、
前記接続部材は、前記一対のホルダ本体が前記基板を挟んで保持したときに、互いに電気的に接続される接続線、および、電気的に接続された前記接続線の両端に配された一対の接続部を有し、前記一対の接続部が前記外部の接続部に接触し、
前記一対の接続部の一方は、前記一対のホルダ本体の一方における前記基板を挟んでいる面と反対の面に露出して配され、前記一対の接続部の他方は、前記一対のホルダ本体の他方における前記基板を挟んでいる面と反対の面に露出して配され、
基板貼り合せ方法は、
前記一対のホルダ本体の一方を第1テーブルに保持する第1保持ステップと、
前記一対のホルダ本体の他方が前記一対のホルダ本体の一方に対向するように前記一対のホルダ本体の他方を第2テーブルに保持する第2保持ステップと、
前記一対のホルダ本体の一方に設けられた前記一対の接続部の一方を前記第1テーブルに設けられた前記外部の接続部に接触し、前記一対のホルダ本体の他方に設けられた前記一対の接続部の他方を前記第2テーブルに設けられた前記外部の接続部に接触することにより前記閉回路を形成する形成ステップと、
前記形成ステップで前記閉回路が形成されたことを検出したら、前記第1テーブルおよび前記第2テーブルの少なくとも一方に設けられた静電給電部から前記一対のホルダ本体に設けられた前記静電吸着部に電力供給する電力供給ステップと
を含む基板貼り合せ方法。 - 前記閉回路に電力を供給する供給ステップと、
前記閉回路に流れる電流を計測する計測ステップと、
前記計測ステップで計測した電流値に基づいて、前記一対のホルダ本体が前記位置に載置されたか否かを検出する検出ステップと、
を含む請求項20に記載の基板貼り合せ方法。 - 前記検出ステップは、前記計測ステップで計測した電流値に基づいて、前記一対のホルダ本体がそれぞれ所定の位置に重ね合されているか否かを検出する請求項21に記載の基板貼り合せ方法。
- 前記検出ステップで前記基板ホルダが前記位置からずれたと検出した場合、前記基板ホルダの位置合わせを再度行い、前記テーブルに載置し直す請求項16、18から19、および、21から22のいずれか一項に記載の基板貼り合せ方法。
- 前記供給ステップは、前記検出ステップで前記基板ホルダが前記位置に配置されたことを検出した後に実行される請求項16、18から19、および、21から23のいずれか一項に記載の基板貼り合せ方法。
- 請求項15から24のいずれか一項に記載の基板貼り合せ方法により複数の基板を積層して積層半導体装置を製造する積層半導体装置製造方法。
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