JP2012058267A - 大型ペリクル用枠体、大型ペリクル及び大型ペリクル用枠体の製造方法 - Google Patents
大型ペリクル用枠体、大型ペリクル及び大型ペリクル用枠体の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】略矩形状に形成されて大型ペリクル膜3を展張支持する大型ペリクル用枠体2を構成する長辺2a,2bの一部に、外側に向けて屈曲した屈曲部10a,10bを形成する。このように、長辺2a,2bの一部を屈曲させるという簡易な方法により屈曲部10a,10bを形成できるとともに、展張した大型ペリクル膜3の張力により大型ペリクル用枠体2の辺が内側に撓んだとしても、大型ペリクル用枠体2の内側に入り込む辺の最大変位量を小さくすることができるため、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 略矩形状に形成されて大型ペリクル膜を展張支持する大型ペリクル用枠体であって、
当該大型ペリクル用枠体を構成する辺の一部に、外側に向けて屈曲した屈曲部が形成されていることを特徴とする、大型ペリクル用枠体。 - 対向する一対の長辺と対向する一対の短辺とを有しており、
前記屈曲部は、少なくとも一方の前記長辺に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の大型ペリクル用枠体。 - 請求項1又は2に記載の大型ペリクル用枠体と、
前記大型ペリクル用枠体に展張支持された大型ペリクル膜と、
を有することを特徴とする大型ペリクル。 - 略矩形状に形成されて大型ペリクル膜を展張支持する大型ペリクル用枠体の製造方法であって、
前記大型ペリクル用枠体の辺の一部を外側に向けて屈曲した屈曲部を形成することを特徴とする、大型ペリクル用枠体の製造方法。
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- 2010-09-03 JP JP2010198236A patent/JP5579545B2/ja active Active
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