JP2013195852A - ペリクルの製造方法及びペリクル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板30上に成膜した高分子材料からなるペリクル膜11を、開口部を有する枠体20にその開口面を覆うように貼り付ける第一の工程と、基板30から枠体20に貼り付けられたペリクル膜11を剥離する第二の工程と、枠体20のペリクル膜11を、開口部を有するペリクルフレーム10にその開口面を覆うように貼り付ける第三の工程と、をこの順に含む。第一の工程において枠体20の少なくとも1辺に枠体20の内側に向かう外力を加えて当該枠体20の辺を内側に変形させた状態でペリクル膜11を枠体20に貼り付ける。
【選択図】図4
Description
本実施の形態に係るペリクル1は、高分子材料からなるペリクル膜11を、開口部を有するペリクルフレーム10にその開口面Fを覆うように貼り付けたペリクルであって、張り付けたペリクル膜11の張力が、1.8〜6gf/mmであるペリクルである。より好ましくは、1.9〜5gf/mmであり、更に好ましくは、2.0〜4.5gf/mmである。
なお、図3(B)、(C)、(D)に示した枠体20の長辺或いは短辺の突出量Sについても、ペリクルフレーム10と同様の上記寸法の範囲が好ましい。
〔実施例1〕
大型ペリクル用の枠体として、材質がアルミニウム合金、厚み8mmであり、長辺と短辺の幅が20mm、内寸が1600mm×1600mmのものを用意した。当該枠体は、各辺中央付近を外側に凸にした形状にし、初期形状の外側に凸の突出量を3.3mmとした。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さ5.0mm、長辺幅、短辺幅とも12mm、内寸が1350mm×1140mmの大型ペリクル用のペリクルフレームを用意した。
尚、膜張力は、ペリクル膜を接着した製造後のペリクルフレームの寸法と元々のペリクルフレームの寸法の差(Δσ)とペリクルフレームの弾性率(E)、辺の長さ(L)、厚み(t)、幅(w)から計算した値であり、ペリクルフレーム長さL方向1mm当たりに掛かる張力のことである。
膜張力(gf/mm)=16×E×Δσ×w3×t/L4
測定結果は、表1の通りである。
大型ペリクル用の枠体として、材質がアルミニウム合金、厚み8mmであり、長辺と短辺の幅が20mm、内寸が1600mm×1600mmのものを用意した。枠体の各辺は、直線状の初期形状を有する。別途、大型ペリクル用のペリクルフレームとして、材質がアルミニウム合金、厚さ5.0mm、長辺幅、短辺幅とも12mm、内寸が1350mm×1140mm、長辺の2辺の初期形状の外側に凸の突出量が7mmのものを用意した。
大型ペリクル用のペリクルフレームとして、内寸が904mm×734mm、厚さ5mm、長辺幅8mm、短辺幅7mm、長辺の初期形状の外側に凸の突出量が5.5mmのものを用い、長辺の中央の外側に凸の突出量が4mmになるように治具で押え込んで、膜張力と膜の歪み量の測定を行った。それ以外は、実施例2と同様である。
実施例1で使用した大型ペリクル用の枠体を使用し、大型ペリクル用の枠体の長辺中央を押さえ込まないでペリクル膜を接着した以外は、実施例1と同様に行った。ペリクルフレームのコーナー部付近に湾曲部が残る形状になったため、外観に不具合が生じた。
実施例2で使用した大型ペリクル用の枠体を使用し、大型ペリクル用のペリクルフレームの長辺中央を押さえ込まないでペリクル膜を接着した以外は、実施例2と同様に行った。
ペリクルフレームのコーナー部付近に湾曲部が残る形状になったため、外観に不具合が生じた。
実施例3で使用した大型ペリクル用の枠体を使用し、大型ペリクル用のペリクルフレームの長辺中央を押さえ込まないでペリクル膜を接着した以外は、実施例3と同様に行った。
ペリクルフレームのコーナー部付近に湾曲部が残る形状になったため、外観に不具合が生じた。
10 ペリクルフレーム
10a 長辺
10b 短辺
11 ペリクル膜
20 枠体
20a 長辺
20b 短辺
30 基板
Claims (8)
- 基板上に成膜した高分子材料からなるペリクル膜を、開口部を有する枠体にその開口面を覆うように貼り付ける第一の工程と、
前記基板から前記枠体に貼り付けられたペリクル膜を剥離する第二の工程と、
前記枠体のペリクル膜を、開口部を有するペリクルフレームにその開口面を覆うように貼り付ける第三の工程と、をこの順に含み、
前記第一の工程において前記枠体の少なくとも1辺に枠体の内側に向かう外力を加えて当該枠体の辺を内側に変形させた状態で前記ペリクル膜を前記枠体に貼り付ける、ペリク
ルの製造方法。 - 基板上に成膜した高分子材料からなるペリクル膜を、開口部を有する枠体にその開口面を覆うように貼り付ける第一の工程と、
前記基板から前記枠体に貼り付けられたペリクル膜を剥離する第二の工程と、
前記枠体のペリクル膜を、開口部を有するペリクルフレームにその開口面を覆うように貼り付ける第三の工程と、をこの順に含み、
前記第三の工程において前記ペリクルフレームの少なくとも1辺にペリクルフレームの内側に向かう外力を加えて当該ペリクルフレームの辺を内側に変形させた状態で前記ペリクル膜を前記ペリクルフレームに貼り付ける、ペリクルの製造方法。 - 前記枠体及び/又は前記ペリクルフレームの少なくとも1辺が外側に凸に突出した初期形状を有している、請求項1又は請求項2に記載のペリクルの製造方法。
- 前記ペリクルフレームの開口面の面積が1000cm2以上である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のペリクルの製造方法。
- 高分子材料からなるペリクル膜を、開口部を有するペリクルフレームにその開口面を覆うように貼り付けたペリクルであって、
張り付けたペリクル膜の張力が、1.8〜6gf/mmであるペリクル。 - 前記ペリクルフレームが、一対の長辺と一対の短辺とからなる4辺を有している略矩形のペリクルフレームであって、
ペリクルフレームの形状が、長辺が外側に凸に突出した形状、短辺が外側に凸に突出した形状、または4辺が外側に凸に突出した形状のいずれかの形状である、請求項5に記載のペリクル。 - 前記長辺の突出量が、3.5mm以上20.0mm以下である、請求項5または請求項6に記載のペリクル。
- 前記ペリクルフレームの開口面の面積が1000cm2以上である、請求項5〜7のいずれか一項に記載のペリクル。
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