JP2005128512A - ペリクル - Google Patents

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Abstract

【課題】 本発明は、枠体に貼張される面積が１，０００ｃｍ２以上の大型ペリクル膜をフォトマスクに貼り付ける際に、前記大型ペリクル膜のシワの発生を防止すると共にペリクル膜の有効露光領域の減少を抑制するペリクルを提供することを可能にすることを目的としている。
【解決手段】 枠体１に貼着される大型ペリクル膜２をフォトマスクに貼り付ける際に大型ペリクル膜２のシワの発生を防止するために面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜２及び該ペリクル膜２を展張して貼着支持するための一対の長辺１ａと一対の短辺１ｂを有する枠体１からなる大型ペリクルにおいては、枠体１がその少なくとも一対の長辺１ａを枠体１の外側に向かって突出するように形成されたものであり、且つペリクル膜２を枠体１に展張することにより枠体１の長辺１ａ端部よりも内側に窪んでいることを特徴とする。
【選択図】 図２

Description

本発明は、ＴＦＴ−ＬＣＤ（薄膜トランジスタ−液晶ディスプレイ）等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクに異物が付着することを防止するために用いられる大型のペリクルに関するものである。
従来、ＴＦＴ−ＬＣＤ（薄膜トランジスタ−液晶ディスプレイ）等の製造においては、フォトマスクの両面側にペリクルと称する防塵手段を配置して該フォトマスクへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルは、フォトマスクの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の一方の縁面に厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体やフッ素ポリマー等の透明な高分子膜からなるペリクル膜を貼着し、且つ該枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクの表面に貼着される。
フォトマスクの表面に異物が付着した場合、その異物がＴＦＴ−ＬＣＤ（薄膜トランジスタ−液晶ディスプレイ）用マザーガラス上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となる。そこで、フォトマスクの両面側にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置のずれによってＴＦＴ−ＬＣＤ用マザーガラスに形成されたフォトレジスト上に結像することなく回路パターンに欠陥を生じさせないようにすることができる。
近年では、各種のマルチメディアの普及により、高画質、高精細表示が可能な大型のカラーＴＦＴ−ＬＣＤのフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用できる大型ペリクルが要望されている。
大型のＴＦＴ−ＬＣＤ等のフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用できる大型ペリクルの枠体としては、長辺と短辺を有する方形状ものが一般である。また、ペリクルの枠体幅は以下のことを理由に極力細く設計されている。マスク材質の石英ガラスは高価であり、極力面積が小さいことが要求されているため、ペリクルの外形も小さいことが要求されている。また、大きなマスクの有効露光領域を確保するため、ペリクルの内径は大きいことが望まれている。
この細い枠体にペリクル膜を貼り付けると、該ペリクル膜の張力により、特に枠体の長辺が撓み易く、この撓みによってフォトマスクの有効露光領域が小さくなってしまうという問題があり、大型ペリクル膜の貼張面積が大きくなるにつれてその現象が顕著になる。
このため、前記枠体の一対の長辺を該枠体の外側に向かって突出するように形成し、大型ペリクル膜の張力による該長辺の枠体の内側に向かう撓みを抑制してフォトマスク等の有効露光領域を確保する大型ペリクル（例えば、特許文献１参照）が知られている。
特開２００１−４２５０７号公報
しかしながら、上記特許文献１においては、図５（ａ）に示すように、大型ペリクル51の外側に突出した枠体にペリクル膜を貼り付けることによって、図５（ｂ）に示すように、枠体はほぼ直線になるが、少し凸形状を残している。この状態でジグ50に枠体をセットしてペリクル膜にシワＰが生じると、ペリクル膜上に異物が付着しているか否かの検査時に、シワＰの発生箇所の検査を十分に行うことができない。また、シワＰが発生した状態でペリクル膜をフォトマスク等に貼り付けてしまうと、ＴＦＴパターン等を露光する場合に露光光路が曲がる場合がある。
このシワＰの発生という問題は、ペリクルの大きさが大きくなり、その重量が重くなったり辺の長さが長くなったりすると、更に顕著になる。
本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、枠体に貼張される面積が１，０００ｃｍ２以上の大型ペリクル膜をフォトマスクに貼り付ける際に、前記大型ペリクル膜のシワの発生を防止すると共にペリクル膜の有効露光領域の減少を抑制するペリクルを提供せんとするものである。
前記目的を達成するための本発明に係るペリクルの第１の構成は、ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの外周縁辺の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの外周縁辺の対とを有し、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第２の構成は、前記第１の構成において、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの外周縁辺の各々は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第３の構成は、前記第１、第２の構成において、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第４の構成は、前記第１、第２の構成において、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の各々は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第５の構成は、ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの外周縁辺の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの外周縁辺の対と、を有し、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第６の構成は、ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの外周縁辺の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの外周縁辺の対と、を有し、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の各々は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第７の構成は、前記第１〜第６の構成において、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方の両端地点を結ぶ仮想直線は、該両端地点の間の中央地点に対して、該両端地点を結ぶ仮想直線に直角な方向において、０．２ｍｍ以上、且つ６ｍｍ以下離れるまで変形していることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第８の構成は、前記第１〜第６の構成において、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方の両端地点を結ぶ仮想直線は、該両端地点の間の中央地点に対して、該両端地点を結ぶ仮想直線に直角な方向において、０．２ｍｍ以上、且つ３ｍｍ以下離れるまで変形していることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第９の構成は、ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの梁（１ａ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に長い二つの梁（１ａ）の対とを有し、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、その中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの梁（１ａ）の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て当該相対的に長い二つの梁（１ａ）の少なくとも一方の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とする。
ここで、中立軸とは、材料力学で使用される用語であり、図心を通る線のことを意味するものである。
また、本発明に係るペリクルの第１０の構成は、前記第９の構成において、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの梁（１ａ）の各々は前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、当該相対的に長い二つの梁（１ａ）の各々の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第１１の構成は、前記第９、第１０の構成において、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁（１ｂ）の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て当該相対的に短い二つの梁（１ｂ）の少なくとも一方の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第１２の構成は、前記第９、第１０の構成において、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁（１ｂ）の各々は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て当該相対的に短い二つの梁（１ｂ）の各々の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第１３の構成は、ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの梁（１ａ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に長い二つの梁（１ａ）の対とを有し、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、その中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁（１ｂ）の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て当該相対的に短い二つの梁（１ｂ）の少なくとも一方の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とする。
また、本発明に係るペリクルの第１４の構成は、ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの梁（１ａ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に長い二つの梁（１ａ）の対とを有し、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、その中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁（１ｂ）の各々は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て当該相対的に短い二つの梁（１ｂ）の各々の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とする。
本発明に係るペリクルの第１の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、該枠を湾曲して、ペリクル膜の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して枠の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するよう変形されるので、相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方をジグ上にセットしてもペリクル膜にシワが発生することが防止される。
本発明に係るペリクルの第２の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、該枠を湾曲して、ペリクル膜の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して枠の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの外周縁辺の各々は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て、第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するように変形されるならば、相対的に長い二つの外周縁辺の何れをジグ上にセットしてもペリクル膜にシワが発生することが防止される。
本発明に係るペリクルの第３の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、該枠を湾曲して、ペリクル膜の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の少なくとも一方は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て、第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するように変形されるので、相対的に短い二つの外周縁辺の少なくとも一方をジグ上にセットしてもペリクル膜にシワが発生することが防止される。
本発明に係るペリクルの第４の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、該枠を湾曲して、ペリクル膜の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して枠の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の各々は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て、第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するよう変形されるならば、相対的に短い二つの外周縁辺のいずれをジグ上にセットしてもペリクル膜にシワが発生することが防止される。
本発明に係るペリクルの第５の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、該枠を湾曲して、ペリクル膜の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して枠の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の少なくとも一方は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するよう変形されるので、相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方をジグ上にセットしてもペリクル膜にシワが発生することが防止される。
本発明に係るペリクルの第６の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、該枠を湾曲して、ペリクル膜の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して枠の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の各々は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するよう変形されるので、相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方をジグ上にセットしてもペリクル膜にシワが発生することが防止される。
本発明に係るペリクルの第７、第８の構成によれば、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て、相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方の両端地点を結ぶ仮想直線が、両端地点の間の中央地点に対して、両端地点を結ぶ仮想直線に直角な方向において、０．２ｍｍ以上、且つ６ｍｍ（或いは３ｍｍ）以下離れるまで、変形しているならば、第三地点（第一地点と第二地点よりも相対的に短い二つの外周縁辺から離れて枠の中心に近い地点）附近の領域において、ペリクル膜に適正な引張応力を加えつつ、ペリクルの有効露光領域の減少を最小に抑制することが達成される。
本発明に係る大型ペリクルは、上述のように、前記枠体の長辺中央部が長辺端部よりも内側に窪んでいるため外側に突出することがない。このため、例えば、前記長辺端部を固定して枠体を押さえつけても、前記長辺中央部が撓むことがない。このように、枠体が撓むことを防止することによってペリクル膜上にシワが発生することを防止することが出来る。
また、窪み量を６ｍｍ以下に抑えることで、上記の効果に加えて、フォトマスクの有効露光領域が小さくなるといった問題を最小限にすることが出来る。
本発明に係るペリクルの第９の構成によれば、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て、相対的に長い二つの梁の少なくとも一方の中立軸（材料力学で使用される用語で図心を通る線）上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の中立軸上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するまで変形されていることにより、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張られる際に、第三地点（第一地点と第二地点よりも相対的に短い二つの梁から離れて枠の中心に近い地点）付近の領域においても、ペリクル膜に十分な引張応力を与えることが可能となり、ペリクル膜の安定支持が達成される。
本発明に係るペリクルの第１０の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、その中立軸は湾曲して、ペリクル膜の厚さ方向に見て該中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの梁の各々は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て、当該相対的に長い二つの梁の各々の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するように変形されるならば、相対的に長い二つの梁の何れをジグ上にセットしてもペリクル膜にシワが発生することが防止される。
本発明に係るペリクルの第１１の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、その中立軸は湾曲して、ペリクル膜の厚さ方向に見て該中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁の少なくとも一方は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て、当該相対的に短い二つの梁の少なくとも一方の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するように変形されるので、相対的に短い二つの梁の少なくとも一方をジグ上にセットしてもペリクル膜にシワが発生することが防止される。
本発明に係るペリクルの第１２の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、その中立軸は湾曲して、ペリクル膜の厚さ方向に見て、中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の中立軸上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの梁の各々は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て、相対的に長い二つの梁の各々の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の中立軸上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するまで変形されているならば、第三地点（第一地点と第二地点よりも相対的に短い二つの梁から離れて枠の中心に近い地点）付近の領域においても、ペリクル膜に十分な引張応力を与えることが可能となり、ペリクル膜のより一層の安定支持が達成される。
本発明に係るペリクルの第１３の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、その中立軸は湾曲してペリクル膜の厚さ方向に見て、中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の中立軸上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁の少なくとも一方は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て、相対的に短い二つの梁の少なくとも一方の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の中立軸上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するまで変形されているならば、第三地点（第一地点と第二地点よりも相対的に長い二つの梁から離れて枠の中心に近い地点）付近の領域においても、ペリクル膜に十分な引張応力を与えることが可能となり、ペリクル膜の安定支持が達成される。
本発明に係るペリクルの第１４の構成によれば、ペリクル膜を枠上に張る前には、その中立軸は湾曲してペリクル膜の厚さ方向に見て、中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の中立軸上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁の各々は、ペリクル膜を枠上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜の厚さ方向に見て、相対的に短い二つの梁の各々の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が、第一地点と第二地点との間の中立軸上の第三地点に対して、湾曲した枠の半径方向における外側を通過するまで変形されているならば、第三地点（第一地点と第二地点よりも相対的に長い二つの梁から離れて枠の中心に近い地点）付近の領域においても、ペリクル膜に十分な引張応力を与えることが可能となり、ペリクル膜のより一層の安定支持が達成される。
図を用いて本発明を実施するための最良の形態について説明する。図１は大型ペリクル用枠体の構成を示す斜視図であり、図２（ａ）は大型ペリクル用枠体の構成を示す平面図、図２（ｂ）は大型ペリクル用枠体にペリクル膜が貼着されて大型ペリクル用枠体の長辺が内側に窪んだ状態を示す平面図、図３は大型ペリクルをジグにより保持したときの状態を示す図、図４は枠体にペリクル膜を張る前と、枠体にペリクル膜が貼着された後の、図２に示される大型ペリクル用枠体の寸法の変化値を示す表である。
図１〜図２において、１は厚さ１０μｍ以下のニトロセルロースやセルロース誘導体や非晶質フッ素ポリマー（例えば、旭硝子（株）製のサイトップ（商品名）やデュポン(株）製のテフロンＡＦ（商品名）等）等の透明な高分子膜で構成される大型ペリクル膜（以下、単に「ペリクル膜」という）２を貼張して支持するアルミニウムやその合金、或いは鉄や鉄系の合金等により構成される大型ペリクル用枠体（以下、単に「枠体」という）である。
枠体１は、ペリクル膜２の厚さ方向（図２(ｂ)の紙面方向）に見て一つの方向（図２(ｂ)の左右方向）において、互いに向き合う相対的に長い二つの外周縁辺であり梁からなる一対の長辺１ａと、ペリクル膜２の厚さ方向（図２(ｂ)の紙面方向）に見て前記一つの方向（図２(ｂ)の左右方向）に直角なもう一つの方向（図２(ｂ)の上下方向）において、互いに向き合う相対的に短い二つの外周縁辺であり梁からなる一対の短辺１ｂを有しており、長辺１ａ及び短辺１ｂは所定の幅寸法と、互いに等しい所定の高さ寸法をそれぞれ有して構成されている。枠体１の長辺１ａ及び短辺１ｂの一方の面には、枠体１の全体に亘って平坦面で構成され、ペリクル膜２を貼着するための貼着面１ａ１、１ｂ１が形成されている。
枠体１のペリクル膜２を貼張した後の面積は、ペリクル膜２の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上で構成され、該枠体１の一対の長辺１ａは枠体１の外側に向かって突出するように形成されている。尚、本実施形態では、枠体１の一対の長辺１ａは所定の曲率を有して外側に向かって湾曲突出したものであるが、楕円形状や放物線形状、或いは他の各種形状で突出させてもよい。
また図示しない他の実施形態としては、一対の短辺１ｂを所定の曲率を有して外側に向かって湾曲突出したものであっても良いし、一対の長辺１ａ及び一対の短辺１ｂの４辺全てを所定の曲率を有して外側に向かって湾曲突出したものであっても良い。また一方の長辺１ａ或いは一方の短辺１ｂを所定の曲率を有して外側に向かって湾曲突出したものであっても良いし、これ等の種々の組み合わせで適宜長辺１ａ、短辺１ｂを選択的に所定の曲率を有して外側に向かって湾曲突出したものであっても良い。
このようにペリクル膜２を貼張する面積が１，０００ｃｍ２以上であることから、大型のＴＦＴ−ＬＣＤ（薄膜トランジスタ−液晶ディスプレイ）のフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクやレティクルに適用できる大型ペリクルとして利用することができる。
図２（ｂ）に示すように、枠体１の長辺１ａ及び短辺１ｂの貼着面１ａ１、１ｂ１には接着剤が塗布され、ペリクル膜２の周辺部が所定の引張応力を伴って貼張されて固定される。
ペリクル膜２を枠体１上に張る前には、図２（ａ）に示すように、長辺１ａを湾曲して、ペリクル膜２の厚さ方向に見てその上の第一地点（例えば長辺１ａの左端部）と第二地点（例えば長辺１ａの右端部）とを結ぶ図示しない仮想直線が第一地点と第二地点との間のその上の第三地点（例えば長辺１ａの中間部或いは中立軸）に対して、湾曲した長辺１ａの半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの外周縁辺であって梁となる長辺１ａは、図２（ｂ）に示すように、ペリクル膜２を枠体１上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜２の厚さ方向に見て第一地点（例えば長辺１ａの左端部）と第二地点（例えば長辺１ａの右端部）とを結ぶ図示しない仮想直線が該第一地点と第二地点との間の第三地点（例えば長辺１ａの中間部或いは中立軸）に対して、湾曲した長辺１ａの半径方向における外側を通過するよう変形される。
尚、図示しない他の実施形態として、短辺１ｂを所定の曲率を有して外側に向かって湾曲突出した場合も同様で、短辺１ｂを湾曲して、ペリクル膜２の厚さ方向に見てその上の第一地点（例えば短辺１ｂの上端部）と第二地点（例えば短辺１ｂの下端部）とを結ぶ図示しない仮想直線が第一地点と第二地点との間のその上の第三地点（例えば短辺１ｂの中間部或いは中立軸）に対して、湾曲した短辺１ｂの半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺であって梁となる短辺１ｂは、ペリクル膜２を枠体１上に引張応力を伴って張ることにより、ペリクル膜２の厚さ方向に見て第一地点（例えば短辺１ｂの上端部）と第二地点（例えば短辺１ｂの下端部）とを結ぶ図示しない仮想直線が該第一地点と第二地点との間の第三地点（例えば短辺１ｂの中間部或いは中立軸）に対して、湾曲した短辺１ｂの半径方向における外側を通過するよう変形される。
枠体１の貼着面１ａ１、１ｂ１に貼着されたペリクル膜２の張力は、枠体１の全周に均一に作用するが、必ずしも断面形状が全周にわたり等しい必要はないが、断面形状が等しい場合には、辺が長い方が撓みが大きくなる。
このため、図２（ｂ）に示すように、特に長辺１ａが枠体１の内側に向かって大きな撓みが発生するように作用し、ペリクル膜２が展張されて枠体１に貼着された後は、枠体１の向かい合う長辺１ａは共に内側に凹んでいる。ペリクル膜２を枠体１に貼り付けるには、ペリクル膜２の張力を維持したまま枠体１に貼り付けても良いし、ジグ３等を使用してペリクル膜２の張力を所定の張力にコントロールした後、枠体１に貼り付けても良い。
本実施形態においては、枠体１の一対の長辺１ａを枠体１の外側に向かって突出するように形成したことで、長辺１ａの枠体１の内側に向かう撓みが抑制される。このため、大型ペリクルが取り付けられる図示しないフォトマスクやレティクル等の有効露光領域を確保することができる。
ここで、本実施形態においては、枠体１にペリクル膜２を所定の引張応力を伴って貼着展張すると、ペリクル膜２の厚さ方向に見て相対的に長い二つの外周縁辺であって梁からなる長辺１ａの両端地点を結ぶ図示しない仮想直線は、該両端地点の間の中央地点に対して該両端地点を結ぶ仮想直線に直角な方向において、長辺１ａの中央部が長辺１ａの端部よりも内側に窪み量ｄだけ離れて窪むように形成する。ここで、窪み量ｄは、０．２ｍｍ以上、且つ６ｍｍ以下が好ましく、更に好ましい窪み量ｄは、０．２ｍｍ以上、且つ３ｍｍ以下である。このように、ペリクル膜２を貼り付けた状態で、長辺１ａの一部が突出することがない。
このため、図３に示すように、枠体１の端部をジグ３にセットしてマウンターにて押さえる際、ジグ３が突出した部分を押圧することはない。この結果、枠体１に展張されたペリクル膜２に不要な力が加わることがなく、シワが寄るというおそれがない。
また、窪み量ｄを３ｍｍ以下にすることにより、上記の作用に加えて、枠体１の長辺１ａが撓むことによってフォトマスクの有効露光領域が小さくなるといった問題を最小限にすることができる。
以下に、上記実施形態に基いて形成した枠体１の一実施例を説明する。窪み量ｄは、以下の数１式により概略求められる。ここで、ｄ：窪み量、ω：張力、Ｌ：長辺１ａの長さ、Ｅ：弾性率、ｈ：枠体１の高さ、ｂ：枠体１の幅とする。
Figure 2005128512
本実施例においては、Ｌ＝７７７．７ｍｍ、Ｅ＝７０５６０×１０６Ｐａ（７２００ｋｇｆ／ｍｍ２）、ｈ＝４．３ｍｍ、ｂ＝９ｍｍ、ω＝２．９×１０−２ＭＰａ／ｍｍ（３×１０−３ｋｇｆ／ｍｍ）と構成した結果、ｄ＝１．５ｍｍを得た。
尚、本実施例においては窪み量ｄを１．５ｍｍとしたが、窪み量ｄが３ｍｍ（或いは６ｍｍ）以下になる範囲内において、他の数値をどのように変更してもよい。
図４は枠体１にペリクル膜２を張る前と、枠体１にペリクル膜２が貼着された後の、図２（ａ），（ｂ）に示される大型ペリクル用枠体１の寸法の変化値を示す表であり、ｕは短辺１ｂ側梁の幅、Ｗは長辺１ａ側梁の幅、Ｖは短辺１ｂ側梁の長手方向中央部における短辺１ｂ側梁の外縁長さ、Ｘは長辺１ａ側梁の長手方向中央部における長辺１ａ側梁の外縁長さ、Ｙは短辺１ｂ側梁の長手方向長さ、Ｚは長辺１ａ側梁の長手方向長さを示す。
本発明の活用例として、大型ペリクル、即ち、より大きなフォトマスクに装着するためのペリクルとして用いられる。
大型ペリクル用枠体の構成を示す斜視図である。 （ａ）はペリクル膜を張る前の大型ペリクル用枠体の状態を示す平面図であり、（ｂ）は大型ペリクル用枠体にペリクル膜が貼着されて大型ペリクル用枠体の長辺が内側に窪んだ状態を示す平面図である。 大型ペリクルをジグにより保持したときの状態を示す図である。 枠体にペリクル膜を張る前と、枠体にペリクル膜が貼着された後の、図２に示される大型ペリクル用枠体の寸法の変化値を示す表である。 従来の大型ペリクルの構成を示す平面図である。
符号の説明
１…枠体
１ａ…長辺
１ａ１…貼着面
１ｂ…短辺
１ｂ１…貼着面
２…ペリクル膜
３…ジグ

Claims (14)

  1. ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、
    前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの外周縁辺の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの外周縁辺の対と、を有し、
    前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とするペリクル。
  2. 前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの外周縁辺の各々は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とする請求項１に記載のペリクル。
  3. 前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペリクル。
  4. 前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の各々は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペリクル。
  5. ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、
    前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの外周縁辺の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの外周縁辺の対と、を有し、
    前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とするペリクル。
  6. ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、
    前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの外周縁辺の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの外周縁辺の対と、を有し、
    前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記枠（１）を湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見てその上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間のその上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの外周縁辺の各々は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て前記第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するよう変形されることを特徴とするペリクル。
  7. 前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方の両端地点を結ぶ仮想直線は、該両端地点の間の中央地点に対して、該両端地点を結ぶ仮想直線に直角な方向において、０．２ｍｍ以上、且つ６ｍｍ以下離れるまで変形していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のペリクル。
  8. 前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て相対的に長い二つの外周縁辺の少なくとも一方の両端地点を結ぶ仮想直線は、該両端地点の間の中央地点に対して、該両端地点を結ぶ仮想直線に直角な方向において、０．２ｍｍ以上、且つ３ｍｍ以下離れるまで変形していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のペリクル。
  9. ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、
    前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの梁（１ａ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に長い二つの梁（１ａ）の対と、を有し、
    前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、その中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの梁（１ａ）の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て当該相対的に長い二つの梁（１ａ）の少なくとも一方の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とするペリクル。
  10. 前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に長い二つの梁（１ａ）の各々は前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、当該相対的に長い二つの梁（１ａ）の各々の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とする請求項９に記載のペリクル。
  11. 前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁（１ｂ）の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て当該相対的に短い二つの梁（１ｂ）の少なくとも一方の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載のペリクル。
  12. 前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、前記中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁（１ｂ）の各々は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て当該相対的に短い二つの梁（１ｂ）の各々の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載のペリクル。
  13. ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、
    前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの梁（１ａ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に長い二つの梁（１ａ）の対と、を有し、
    前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、その中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁（１ｂ）の少なくとも一方は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て当該相対的に短い二つの梁（１ｂ）の少なくとも一方の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とするペリクル。
  14. ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て面積が１，０００ｃｍ２以上のペリクル膜（２）と、その上にペリクル膜（２）が引張応力を伴って張られた枠（１）と、を有するペリクルであって、
    前記枠（１）は、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、一つの方向において互いに向き合う相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に短い二つの梁（１ｂ）の対と、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記一つの方向に直角なもう一つの方向において、互いに向き合う相対的に長い二つの梁（１ａ）の対であり、その上に前記ペリクル膜（２）の周辺部が固定される相対的に長い二つの梁（１ａ）の対と、を有し、
    前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に張る前には、その中立軸は湾曲して、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て、前記中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における内側を通過した相対的に短い二つの梁（１ｂ）の各々は、前記ペリクル膜（２）を前記枠（１）上に引張応力を伴って張ることにより、前記ペリクル膜（２）の厚さ方向に見て当該相対的に短い二つの梁（１ｂ）の各々の中立軸上の第一地点と第二地点とを結ぶ仮想直線が前記第一地点と第二地点との間の該中立軸上の第三地点に対して、湾曲した前記枠（１）の半径方向における外側を通過するまで変形していることを特徴とするペリクル。

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