TWI291076B - Pellicle and frame for pellicle - Google Patents

Description

1291076 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於使用在防止異物附著於製造TFTLCD( 薄膜晶體管液晶顯示器）等時之平板印刷術步驟所使用的 光罩上的大型薄膜。 【先前技術】 以往，半導體電路圖案等的製造中，在光罩的兩側面 配置稱爲薄膜的防塵手段以進行對於該光罩之異物附著的 防止。 薄膜是在具有配合光罩形狀的形狀的厚度爲數mm左 右的框體一側緣面上黏貼厚度1 〇μιη以下的硝化纖維素或 纖維素衍生物等的透明高分子膜所構成的薄膜膜片，並且 該框體的另外側的緣面藉黏著材黏貼在光罩的表面上。 在光罩的表面附著有異物時，其異物在TFTLTD用基 樣玻璃上所形成的光致抗蝕劑上成像而造成電路圖案缺陷 的原因。其中，在光罩的兩面側配置薄膜時，附著在薄膜 表面的異物可藉著焦距位置的偏移不在TFTLCD用基樣玻 璃所形成的光致抗蝕劑上成像而不致在電路圖案上產生缺 近年來由於各種多媒體的普及而期待可運用於高画質 、可高精密顯示的大型彩色TFTLCD (薄膜晶體管液晶顯 示器）的平板印刷術步驟所使用大型光罩的大型薄膜。 可運用大型TFTLCD等的平板印刷術步驟所使用大型 -4- (2) (2)1291076 光罩之大型薄膜的大型框體一般爲具有長邊和短邊的方形 。並且，薄膜的框體寬度由於以下的理由而設計成極細。 遮光罩材質的石英玻璃價昂，而極力地要求小的面積，因 此同時要求小的薄膜的外型。又，爲了確保大的遮光罩的 有效曝光區域，期待有大的薄膜內徑。 在此細的框體上黏貼薄膜膜片時，藉著該薄膜膜片的 張力，尤其可以使框體的長邊容易撓曲，而會有因此一撓 曲減小光罩的有效曝光區域的問題，隨著大型薄膜膜片的 展開面積的增大使得其現象更爲顯著。 如上述，形成使上述框體的一對長邊朝著該框體的外 側突出，抑制因大型薄膜的張力產生朝著該長邊的框體內 側的撓曲以確保光罩等有效曝光區域的大型薄膜（例如， 參閱日本專利特開200 1 -425 07 )爲一般所熟知。 【發明內容】 〔發明的目的和槪要〕 但是在上述特開200 1 -42507中，如第4圖表示，在凸外 框上黏貼膜片雖然大致形成直線，但是少許殘留著凸形狀。 以此狀態將外框設定於型架上在薄膜膜片上產生皴摺 時，進行薄膜膜片上是否附著有異物的檢查時，不能充分 進行皺摺產生處的檢查。並且，皺摺產生的狀態下一旦將 薄膜膜片黏貼光罩等時，TFT圖案等曝光時會導致曝光光 路彎曲的場合。 該皺摺產生的問題會使得薄膜的大小增大，其重量加 -5- (3) 1291076 重使邊的長度增長等更爲顯著。 因此，本發明是以將黏貼在框體的面積爲l，000cm2 以上的大型薄膜膜片黏貼在光罩上時，防止上述大型薄膜 w 膜片皺摺的產生及/或抑制薄膜膜片的有效曝光區域的減 少爲目的。 爲了達成上述目的用的本發明涉及的代表性構成爲具 有其厚度方向的面積爲1，〇〇〇cm2以上的薄膜膜片，及在 其上方隨著拉伸應力而伸展的薄膜膜片的框所成的薄膜中 $ ，框具有從薄膜膜片的厚度方向顯示，在一個方向中彼此 對向的相對較短的兩個外圍側邊的對，及框從薄膜膜片的 厚度方向顯示，在上述一個方向形成直角的方向中，彼此 對向的相對較長的兩個外圍側邊的對。 i 薄膜膜片張貼在框上之前，彎曲，從薄膜膜片厚度方 . 向顯示連結其上的第一位置和第二位置的假想直線是相對 於第一位置和第二位置之間其上方的第三位置，通過框的 半¥方向內側的相對較長的兩個外圍側邊的至少一側隨著 φ 拉伸應力將薄膜膜片張貼在框上時，從薄膜膜片的厚度方 向顯示，相對於第一位置和第二位置之間的第三位置使連 結第一位置和第二位置的假想直線變形通過框半徑方向的 外側，因此將相對較長的兩個外圍側邊的至少一側設定在 型架上可防止在薄膜膜片上產生皴摺。 薄膜膜片張貼在框上之前，彎曲，從薄膜膜片厚度方 向顯示連結其上的第一位置和第二位置的假想直線是相對 於第一位置和第二位置之間其上方的第三位置，通過框的 -6 - (4) 1291076 半徑方向內側的相對較長的分別兩個外圍側邊隨著拉伸應 力將薄膜膜片張貼在框上時，從薄膜膜片的厚度方向顯示 ，連結第一位置和第二位置的假想直線一旦相對於第一位 、 置和第二位置之間的第三位置變形而通過框半徑方向的外 . 側時，將相對較長的兩個外圍側邊的其中之一設定在型架 上可防止在薄膜膜片上產生皺摺。 薄膜膜片張貼在框上之前，彎曲，從薄膜膜片厚度方 向顯示連結其上的第一位置和第二位置的假想直線是相對 φ 於第一位置和第二位置之間其上方的第三位置，通過框的 半徑方向內側的相對較短的兩個外圍側邊的至少一側隨著 拉伸應力將薄膜膜片張貼在框上時，從薄膜膜片的厚度方 向顯示，連結第一位置和第二位置的假想直線是相對於第 -一位置和第二位置之間的第三位置變形而通過框半徑方向 · 的外側，因此將相對較短的兩個外圍側邊的其中之一側設 定在型架上可防止在薄膜膜片上產生皺摺。 薄膜膜片張貼在框上之前，彎曲，從薄膜膜片厚度方 · 向顯示連結其上的第一位置和第二位置的假想直線是相對 於第一位置和第二位置之間其上方的第三位置，通過框的 半徑方向內側的相對較短的分別兩個外圍側邊隨著拉伸應 力將薄膜膜片張貼在框上時，從薄膜膜片的厚度方向顯示 ，連結第一位置和第二位置的假想直線一旦相對於第一位 置和第二位置之間的第三位置變形而通過框半徑方向的外 側時，將相對較短的兩個外圍側邊的其中之一設定在型架 上可防止在薄膜膜片上產生皺摺。 (5) 1291076 隨著拉伸應力將薄膜膜片張貼在框上時，從薄膜膜片 的厚度方向顯示，連結相對較長的兩個外圍側邊的至少一 側的兩端位置的假想直線相對於兩端位置間的中央位置， 和連結兩端位置的假想直線呈直角的方向中，變形以致分 開02 .mm以上6mm (或者3mm )以下時，第三位置（從 比第一位置和第二位置相對較短的兩個外圍側邊分開而接 近框的中心）附近的區域中，對於薄膜膜片持續地外加適 當的拉伸應力，可以達成使薄膜的有效曝光區域的減小抑 制在最小限。 本發明的大型薄膜是如上述，上述框體的長邊中央部 由於較長邊端部朝著內側凹陷，因此不會凸出外側。如上 述，即使例如固定上述長邊端部而按壓框體時，上述長邊 中央部也不致撓曲。因此，藉著框體撓曲的防止，可以防 止在薄膜膜片上產生皴摺。 並將凹陷量抑制在6mm以下，加上上述的效果，可 以使光罩的有效曝光區域形成較小問題的最小限。 有關構成上述目的用的本發明代表性的構成，係具有 面積l，〇〇〇cm2以上的大型薄膜膜片，及在其上薄膜膜片 隨著拉伸應力而張貼的框所成的大型薄膜中，框係具有： 從薄膜膜片的厚度方向所見的方向，在一個方向中彼此對 向的相對較短的兩個樑的對，在其上固定薄膜膜片的周邊 部所成的相對較短的兩個樑的對，及從薄膜膜片的厚度方 向所見的方向，和上述一個方向呈直角的另外一個方向中 ，係彼此對向的相對較長的兩個樑的對，在其上固定薄膜 -8 - (6) 1291076 膜片的周邊部所成的相對較長的兩個樑的對，將薄膜膜片 張貼在框上之前，其中立軸（材料力學所使用的用語爲中 立軸（通過形心的線））呈彎曲，從薄膜膜片的厚度方向 . 所見的方向，連結中立軸上的第一位置和第二位置的假想 ^ 直線相對於第一位置和第二位置之間的中立軸上的第三位 置，通過框的半徑方向的內側的相對較長的兩個樑的至少 一側是隨著拉伸應力將薄膜膜片張貼在框上，從薄膜膜片 的厚度方向所見的方向，連結相對較長的兩個樑的至少一 φ 側中立軸上的第一位置和第二位置的假想直線相對於第一 位置和第二位置之間的中立軸上的第三位置，變形以至通 過框的半徑方向的外側爲止，藉此隨著拉伸應力將薄膜膜 片張貼在框上時，即使在第三位置（從比第一位置和第二 -位置相對較短的兩個樑離開而接近框的中心）附近的區域 . ，可賦予薄膜膜片充分的拉伸應力，達成薄膜膜片的穩定 支撐。 將薄膜膜片張貼在框上之前，其中立軸（材料力學所 φ 使用的用語爲中立軸（通過形心的線））呈彎曲，從薄膜 膜片的厚度方向所見的方向，連結中立軸上的第一位置和 第二位置的假想直線相對於第一位置和第二位置之間的中 立軸上的第三位置，通過框的半徑方向的內側之相對較長 的分別兩個樑，隨著拉伸應力將薄膜膜片張貼在框上，藉 此從薄膜膜片的厚度方向所見的方向，連結相對較長的各 兩個樑中立軸上的第一位置和第二位置的假想直線相對於 第一位置和第二位置之間的中立軸上的第三位置，變形以 -9 - (7) 1291076 致通過框的半徑方向外側爲止時’即使在第三位置（從比 第一位置和第二位置相對較短的兩個樑離開而接近框的中 心）附近的區域，賦予薄膜膜片充分的拉伸應力，更可進 . 一步達成薄膜膜片的穩定支撐。 . 將薄膜膜片張貼在框上之前，其中立軸（材料力學所 使用的用語爲中立軸（通過形心的線））呈彎曲，從薄膜 膜片的厚度方向所見的方向，連結中立軸上的第一位置和 第二位置的假想直線相對於第一位置和第二位置之間的中 φ 立軸上的第三位置，通過框的半徑方向的內側之相對較短 的兩個樑的至少一側，隨著拉伸應力將薄膜膜片張貼在框 上，藉此從薄膜膜片的厚度方向所見的方向，連結相對較 短的兩個樑的至少一側中立軸上的第一位置和第二位置的 、 假想直線相對於第一位置和第二位置之間的中立軸上的第 . 三位置，變形以致通過框的半徑方向外側爲止時，即使在 第三位置（從比第一位置和第二位置相對較短的兩個樑離 開而接近框的中心）附近的區域，可賦予薄膜膜片充分的 φ 拉伸應力，達成薄膜膜片的穩定支撐。 將薄膜膜片張貼在框上之前，其中立軸（材料力學所 使用的用語爲中立軸（通過形心的線））呈彎曲，從薄膜 膜片的厚度方向所見的方向，連結中立軸上的第一位置和 第二位置的假想直線相對於第一位置和第二位置之間的中 立軸上的第三位置，通過框的半徑方向的內側之相對較短 的分別兩個樑，隨著拉伸應力將薄膜膜片張貼在框上，藉 此從薄膜膜片的厚度方向所見的方向，連結相對較短的各 -10- (8) 1291076 兩個樑中立軸上的第一位置和第二位置的假想直線相對於 第一位置和第二位置之間的中立軸上的第三位置，變形以 致通過框的半徑方向外側爲止時，即使在第三位置（從比 第一位置和第二位置相對較短的兩個樑離開而接近框的中 心）附近的區域，賦予薄膜膜片充分的拉伸應力，更可進 一步達成薄膜膜片的穩定支撐。 【實施方式】 使用圖示說明實施本發明用的最佳形態。第1圖是表 示大型薄膜用框體的構成的透視圖。第2(a)圖是表示大 型薄膜用框體的構成的上視圖，第2(b)圖是表示在大型 薄膜用框體上黏貼薄膜膜片使大型薄膜用框體的長邊朝內 側呈凹陷狀態的上視圖，第3圖是表示以型架保持大型薄 膜時的狀態的圖。 第1圖〜第2圖中，1是將厚度ΙΟμιη以下的硝化纖維 素或纖維素衍生物或非晶質含氟聚合物（例如旭硝子（股 )製的CYTOP (商品名））或杜邦（股）製的teflonAF ( 商品名）等）等高分子膜所構成的大型薄膜膜片（以下， 僅稱「薄膜膜片」）2展開支持的鋁或其合金、或者鐵系 的合金等所構成的大型薄膜用框體（以下，僅稱爲「框體 J ) ° 框體1具有一對長邊la和一對短邊lb，長邊la及短 邊1 b分別具有預定的寬度尺寸及彼此相等的預定高度所 構成。長邊1 a及短邊1 b的一側面上以框體1的整體呈平 -11 - (9) 1291076 坦面所構成’形成有黏貼薄膜膜片2用的黏貼面1 a丨、丨b i ο 黏貼框體1的薄膜膜片2之後的面積是以1000cm2 · 以上所構成’該框體1的一對長邊1 a是形成朝著框體1 · 的外側突出。並且’本實施形態中，框體i a的一對長邊 1 a雖具有預定的曲率朝著外側彎曲突出，但是也可以橢圓 形或拋物線形’或者其他各種形狀突出。 黏貼上述薄膜膜片2的面積由於在l，〇〇〇cm2以上，φ 因此可運用作爲大型TFTLCD (薄膜晶體管液晶顯示器） 的平板印刷術步驟所使用的大型光罩或光柵的薄膜等利用 〇 如第2(b)圖表示，在框體1的長邊ia及短邊ib的 -黏貼面1 a 1、1 b 1上塗敷黏著劑，展開薄膜膜片2。黏貼在 -框體1的黏貼面lal、lbl的薄膜膜片2的張力雖然均勻 作用於框體1的全周圍，但是其剖面形狀並非全周圍即必 須形成相等，剖面形狀相等時邊的較長側會形成大的撓曲 φ 。因此，尤其是長邊1 a會作用而朝著框體1的內側產生 大的撓曲。展開薄膜膜片2黏貼在框體1之後，和框體1 相對的邊同時朝著內側凹陷。將薄膜膜片黏貼在框體（框 架）時，也可以維持著薄膜膜片的張力而黏貼在框體上’ 也可以使用型架等將薄膜膜片的張力控制在預定的張力之 後，黏貼在框架上。 但是，本發明中，形成朝著框體1的外側突出的框體 1的一對長邊1 a，可藉此抑制朝著長邊1 a之框體1的內 -12 - (10) (10)1291076 側撓曲。可以確保安裝大型薄膜的未圖示光罩或光柵等的 有效曝光區域。 在此，本實施形態中，展開薄膜膜片2時長邊1 a的 中央部形成較長邊1 a的端部更向內側僅凹陷有凹陷量d。 如此，在黏貼薄膜膜片2的狀態下，長邊1 a的一部份不 致突出。 因此，如第3圖表示，將框體1的端部設定在型架3 上藉安裝器按壓時，不會按壓型架3突出的部分。其結果 ，對於展開於框體1上的薄膜膜片2不會施以不必要的力 ，不會有導致皺摺產生之虞。 並且，凹陷量爲3mm以下時，加上上述的作用，藉 著框體長邊的撓曲可以使得形成小的光罩有效曝光區域的 問題得以最小限。 以下是根據上述實施形態形成的框體1之一實施例的 說明。凹陷量d是以下列式槪略求得。其中，設定d :凹 陷量、ω :張力、L :長邊的長、E :彈性率、h ··框體的 高度、b :框體的高度。 d=12 0 L4 / 384xExhxb3 本發明中’構成 L = 777.7mm、E = 7200kgf/mm2、 h = 4.3mm、b = 9mm、〇ύ =3 xlO 3kgf/mm ( =3gf/mm 即 2.9 x 10_2Mpa/mm)的結果，獲得 d = 1.5mm。 再者，本實施例中，凹陷量d雖是設定爲i ·5mm，但 -13- (11) (11)1291076 是凹陷量d形成在3mm (或者6mm )以下的範圍內’其他 的數値可任意地變更。 本發明的大型薄膜是使用於安裝在更大型光罩用的薄 膜。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示大型薄膜用框體構成的透視圖。 第2圖的（a)部是表示張貼薄膜膜片前的大型薄膜 φ 用框體的狀態的上視圖。第2圖的（b )部是表示在大型 薄膜用框體上黏貼薄膜膜片使大型薄膜用框體的長邊朝內 側呈凹陷狀態的上視圖。 第3圖是表示以型架保持大型薄膜時的狀態的圖。 - 第4圖是表示習知大型薄膜的構成的上視圖。 - 第5圖是表示張貼薄膜膜片之前，黏貼薄膜膜片之後 的第2圖所示之大型薄膜用框體尺寸的變化値的表，u是 表示短邊側樑的寬度、W是表示長邊側樑的寬度、V是表 φ 示短邊側樑縱向中央部的短邊側樑的外緣長度、X是表示 長邊側樑縱向中央部的長邊側樑的外緣長度、Y是表示短 邊側機的縱向長度、Z是表不長邊側樑的縱向長度。 【主要元件符號說明】 1 框體 la 長邊 lb 短邊 -14- (12)1291076 1 al、 lb 1 黏貼 2 薄 膜 膜 片 3 型 架 b 框 體 寬 度 d 凹 陷 量 E 彈 性 率 H 框 體 尚 度 L 長 邊 的 長度 張力

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Claims (1)

1. i (1) 1291076 十、申請專利範圍 第93 1 28464號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國96年6月 8日修正 1 · 一種薄膜，包含 一薄膜膜片（2 )，其表面面積不小於1 000cm2，如 見於該薄膜膜片（2)之厚度方向，以及 一框（1)，以該薄膜膜片（2)之一張力在其上支持 該薄膜膜片（2 )， 其中該框（1 )包括： 一對相對較短的外圍側邊，彼此以在該薄膜膜片（2 )之厚度方向所見的方向相對，以及 一對相對較長的外圍側邊，彼此以垂直於在該薄膜膜 片（2)之厚度方向所見的另一方向相對， 其中該等相對較長外圍側邊至少其中之一於該薄膜膜 片（2 )被該框（1 )以薄膜膜片（2 )的張力支持之前， 具有一彎曲形狀，如見於該薄膜膜片（2)之厚度方向， 以致於通過該至少其中之一相對較長外圍側邊上之第一及 第二位置的一假想直線，關於該至少其中之一相對較長外 圍側邊上之第一與第二位置間的第三位置向該框（1 )的 半徑方向在一內側延伸， 藉著以該薄膜膜片（2 )的張力固定該薄膜膜片（2 ) 於該框（1 )上而變形，如見於薄膜膜片（2 )之厚度方向 (2) 1291076 ，以致於通過該至少其中之一相對較長外圍側邊上之第一 及第二位置的該假想直線，關於該第一與第二位置間之該 至少其中之一相對較長外圍側邊上的第三位置向該框（1 )的半徑方向在一外側延伸。 2.如申請專利範圍第1項所述之薄膜，其中各該等相 對較長外圍側邊於該薄膜膜片（2 )被該框（1 )以薄膜膜 片（2 )的張力支持之前具有一彎曲形狀’如見於該薄膜 膜片（2)之厚度方向，以致於通過各該等相對較長外圍 側邊上之第一及第二位置的該假想直線，關於各該等相對 較長外圍側邊上之第一與第二位置間的第三位置向該框（ 1 )的半徑方向在一內側延伸， 藉著以該薄膜膜片（2)的張力固定該薄膜膜片（2) 於該框（1 )上而變形，如見於薄膜膜片（2 )之厚度方向 ，以致於該通過各該相對較長外圍側邊上之第一及第二位 置的該假想直線，關於該第一與第二位置間各該等相對較 長外圍側邊上的第三位置向該框（1 )的半徑方向在外側 延伸。 3 ·如申請專利範圍第1項所述之薄膜，其中至少其中 之一該等相對較短外圍側邊於該薄膜膜片（2 )被該框（1 )以薄膜膜片（2 )的張力支持之前具有一彎曲形狀，如 見於該薄膜膜片（2)之厚度方向，以致於通過該至少其 中之一相對較短外圍側邊上之第一及第二位置的一假想直 線，關於該至少其中之一相對較短外圍側邊上之第一與第 二位置間的第三位置在向該框（1 )的半徑方向一內側延 -2- (3) (3)1291076 伸， 藉著以該薄膜膜片（2)的張力固定該薄膜膜片（2) 於該框（1 )上而變形，如見於薄膜膜片（2 )之厚度方向 ，以致於通過該至少其中之一相對較短外圍側邊上之第一 及第二位置的該假想直線，關於該至少其中之一相對較短 外圍側邊之第一與第二位置間的該至少其中之一相對較短 外圍側邊上的第三位置向該框（1 )的半徑方向在一外側 延伸。 4·如申請專利範圍第2項所述之薄膜，其中至少其中 之一該等相對較短外圍側邊於該薄膜膜片（2 )被該框（1 )以薄膜膜片（2 )的張力支持之前具有一彎曲形狀，如 見於該薄膜膜片（2)之厚度方向，以致於通過該至少其 中之一相對較短外圍側邊上之第一及第二位置的一假想直 線，關於該至少其中之一相對較短外圍側邊上之第一與第 二位置間的第三位置在向該框（1 )的半徑方向一內側延 伸， 藉著以該薄膜膜片（2 )的張力固定該薄膜膜片（2 ) 於該框（1 )上而變形，如見於薄膜膜片（2 )之厚度方向 ，以致於通過該至少其中之一相對較短外圍側邊上之第一 及第二位置的該假想直線，關於該至少其中之一相對較短 外圍側邊之第一與第二位置間的該至少其中之一相對較短 外圍側邊上的第三位置向該框（！）的半徑方向在一外側 延伸。 5 .如申請專利範圍第1項所述之薄膜，其中各該等相 -3- (4) 1291076 對較短外圍側邊於該薄膜膜片（2 )被該框（1 )以薄膜膜 片（2 )的張力支持之前具有一彎曲形狀，如見於該薄膜 膜片（2 )之厚度方向，以致於通過各該等相對較短外圍 側邊上之第一及第二位置的該假想直線，關於各該等相對 較短外圍側邊上之第一與第二位置間的第三位置向該框（ 1 )的半徑方向在一內側延伸， 藉著以該薄膜膜片（2)的張力固定該薄膜膜片（2) 於該框（1 )上而變形，如見於薄膜膜片（2 )之厚度方向 ，以致於通過各該等相對較短外圍側邊上之第一及第二位 置的該假想直線，關於各該等相對較短外圍側邊之第一與 第二位置間各該等相對較短外圍側邊上的第三位置向該框 (1 )的半徑方向在一外側延伸。 6 ·如申請專利範圍第2項所述之薄膜，其中各該等相 對較短外圍側邊於該薄膜膜片（2 )被該框（1 )以薄膜膜 片（2)的張力支持之前具有一彎曲形狀，如見於該薄膜 膜片（2 )之厚度方向，以致於通過各該等相對較短外圍 側邊上之第一及第二位置的該假想直線，關於各該等相對 較短外圍側邊上之第一與第二位置間的第三位置向該框（ 1 )的半徑方向在一內側延伸， 藉著以該薄膜膜片（2)的張力固定該薄膜膜片（2) 於該框（1 )上而變形，如見於薄膜膜片（2 )之厚度方向 ，以致於通過各該等相對較短外圍側邊上之第一及第二位 置的該假想直線，關於各該等相對較短外圍側邊之第一與 第二位置間各該等相對較短外圍側邊上的第三位置向該框 -4- 1291076 (5) (1 )的半徑方向在一外側延伸。 7 · —種薄膜，包含 一薄膜膜片（2 )，其表面面積不小於1 ο 〇 〇 c m2，如 見於該薄膜膜片（2 )之厚度方向，以及 一框（1)，以該薄膜膜片（2)之一張力在其上支持 該薄膜膜片（2 )， 其中該框（1 )包括： 一對相對較短的外圍側邊，彼此以在該薄膜膜片（2 )之厚度方向所見的方向相對，以及 一對相對較長的外圍側邊，彼此以垂直於在該薄膜膜 片（2)之厚度方向所見的另一方向相對， 其中該等相對較短外圍側邊至少其中之一於該薄膜膜 片（2 )被該框（1 )以薄膜膜片（2 )的張力支持之前具 有一彎曲形狀，如見於該薄膜膜片（2 )之厚度方向，以 致於通過該至少其中之一該等相對較短外圍側邊上之第一 及第二位置的一假想直線，關於該至少其中之一相對較短 外圍側邊上之第一與第二位置間的第三位置向該框（1 ) 的半徑方向在一內側延伸， 藉著以該薄膜膜片（2)的張力固定該薄膜膜片（2) 於該框（1 )上而變形，如見於薄膜膜片（2 )之厚度方向 ，以致於通過該至少其中之一相對較短外圍側邊上之第一 及第二位置的該假想直線，關於該至少其中之一相對較短 外圍側邊上之第一與第二位置間之至少其中之一相對較短 外圍側邊上的第三位置向該框（1 )的半徑方向在一外側 -5- (6) 1291076 延伸。 8 · —種薄膜，包含 一薄膜膜片（2 )，其表面面積不小於1 〇〇〇cm2，如 見於該薄膜膜片（2)之厚度方向，以及 一框（1 )，以該薄膜膜片（2 )之一張力在其上支持 該薄膜膜片（2 )， 其中該框（1 )包括： 一對相對較短的外圍側邊，彼此以在該薄膜膜片（2 )之厚度方向所見的方向相對，以及 一對相對較長的外圍側邊，彼此以垂直於在該薄膜膜 片（2)之厚度方向所見的另一方向相對， 其中各該等相對較短外圍側邊於該薄膜膜片（2 )被 該框（1 )以薄膜膜片（2 )的張力支持之前具有一彎曲形 狀，如見於該薄膜膜片（2)之厚度方向，以致於通過各 該等相對較短外圍側邊上之第一及第二位置的該假想直線 ，關於各該等相對較短外圍側邊上之第一與第二位置間的 第三位置向該框（1)的半徑方向在內側延伸， 藉著以該薄膜膜片（2)的張力固定該薄膜膜片（2) 於該框（1 )上而變形，如見於薄膜膜片（2 )之厚度方向 ，以致於通過各該等相對較短外圍側邊上之第一及第二位 置的該假想直線，關於各該等相對較短外圍側邊上之第一 與第二位置間之各該等相對較短外圍側邊上的第三位置向 該框（1 )的半徑方向在外側延伸。 9.如申請專利範圍第1、2、3、4、5、6、7或8項所 -6 - 1291076 (7) 述之薄膜，其中通過該至少其中之一相對較長 二終止端的一假想直線，係藉著以薄膜膜片< 固定該薄膜膜片（2 )於該框（1 )上而變形， 膜片（2 )之厚度方向，以便以一與通過二終 想直線垂直的方向，通過一距離該至少其中之 外圍側邊上之二終止端間一中央位置不小於〇. 於6mm的位置。 1 〇 ·如申請專利範圍第1、2、3、4、5、6 所述之薄膜，其中通過該至少其中之一相對較 之二終止端的一假想直線，係藉著以薄膜膜> 力固定該薄膜膜片（2 )於該框（1 )上而變形 膜膜片（2)之厚度方向，以便以一與通過二 假想直線垂直的方向，通過一距離該至少其中 長外圍側邊上之一終止端間一中央位置不小於 外圍側邊之 、2 )的張力 如見於薄膜 止端之該假 一相對較長 2mm且不大 、7或8項 長外圍側邊 ^ ( 2 )的張 ，如見於薄 終止端之該 之一相對較 0.2mm且不