KR20070117996A

KR20070117996A - 페리클 수납용기 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR20070117996A
Application number: KR1020070025398A
Authority: KR
Inventors: 사토시 노자키
Original assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date: 2006-06-09
Filing date: 2007-03-15
Publication date: 2007-12-13
Also published as: TWI316920B; TW200744919A; CN101086612A; JP2007328226A; CN101086612B; HK1111230A1

Abstract

보관, 수송, 조작 중에 있어서 수납하는 페리클의 오염 및 손상을 방지하여 품질을 유지하는 것이 가능한 포토리소그래피용 페리클 수납용기를 제공하는 것.

페리클을 적재하는 용기 본체와, 페리클을 피복ㆍ유지함과 아울러 용기 본체와 서로 둘레 가장자리부에서 끼워맞춰져 걸리는 덮개체로 이루어지는 페리클 수납용기로서, 덮개체가 자체 중량에 의해 휘어서 페리클막에 부착되는 일이 없도록 미리 볼록형상으로 설계, 제작한 것을 특징으로 하는 페리클 수납용기.

Description

페리클 수납용기 및 그 제조방법{PELLICLE CONTAINER AND METHOD OF PRODUCING THE SAME}

도 1은 본 발명에 의한 페리클 수납용기의 일실시예를 나타내는 단면도이다.

도 2는 본 발명에 의한 페리클 수납용기의 다른 일실시예를 나타내는 단면도이다.

도 3은 본 발명에 사용하는 덮개체를 성형하는 진공 성형 금형의 일례를 나타내는 단면도이다.

도 4는 일반적인 페리클 수납용기의 종래예이다.

도 5는 일반적인 진공 성형 금형의 종래예이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1 : 용기 본체 2 : 덮개체

3 : 페리클막 4 : 페리클 프레임

5 : 시트재 6 : (진공 성형)금형 본체

7 : 진공처리 구멍 8 : 페리클

10 : 페리클 수납용기 W : 덮개체 중앙부의 폭

X : 중앙부를 수평으로 성형한 덮개체의 자체 중량에 의한 가라앉음의 깊이

Y : 중앙부를 외측방향으로 X의 변형을 상쇄하는 높이

본 발명은, 반도체 장치, 프린트 기판 혹은 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는, 리소그래피용 페리클의 수납용기 및 그 제조방법에 관한 것이다.

LSI 등의 반도체 장치 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는, 반도체 웨이퍼 또는 액정용 유리 원판에 광을 조사하여 패턴을 제작하지만, 이 때에 이용하는 포토마스크 혹은 레티클(이하, 단지 포토마스크로 기술)에 먼지가 부착되어 있으면, 이 먼지가 빛을 가리거나, 왜곡하거나 해버리기 때문에, 전사한 패턴이 손상된다는 문제가 있었다.

이 때문에, 이들 작업은 통상 클린룸 내에서 행해지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지 막이로서, 페리클을 붙이는 방법이 취해지고 있다.

이 경우, 이물은 포토마스크의 표면 상에는 직접 부착되지 않고, 페리클 상에 부착되기 때문에, 리소그래피공정에 있어서 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면, 페리클 상의 이물에는 초점이 맞지 않기 때문에 전사에 영향을 주지 않는다. 그러나, 페리클에는 마스크에 붙여진 후에 그들이 형성하는 폐공간의 외부로부터 내부로 이물이 침입하는 것을 방지하는 효과는 있지만, 페리클 자신에 이물이 부착되어 있고 게다가 그것이 폐공간의 내부에 있을 경우에는, 포토마스크 표면으 로의 이물 부착을 방지하는 것은 곤란하다. 따라서, 페리클 자신에 높은 청정성이 요구되는 것은 물론, 보관, 수송에 사용하는 페리클 수납용기에도 그 청정성을 유지할 수 있다는 성능이 강하게 요구된다.

또한, 페리클을 페리클 수납용기에 고정하는 구조를 개시한 특허문헌1이 있다.

[특허문헌1] 일본 등록실용신안 제3023612호 공보

상기와 같이, 페리클 수납용기에는 페리클의 보관중 및 수송중에 페리클의 청정성을 유지할 수 있다는 성능이 강하게 요구되고, 그것을 위해서는, 발진원으로 될 수 있는 요인을 가능한 한 적게 하는 것이 중요하다. 발진원으로 될 수 있는 요인에는, 페리클 수납용기를 구성하는 부품의 재질, 전기적 특성, 청정도, 페리클 수납용기를 구성하는 부품간의 접촉, 페리클 수납용기와 페리클막의 접촉 등을 들 수 있다. 따라서, 페리클 수납용기를 구성하는 재료의 재질, 강도, 전기적 특성 및 페리클의 고정 방법 등의 여러가지 요소에 배려할 필요가 있다.

일반적인 페리클 수납용기는 페리클을 적재하는 용기 본체와, 페리클을 피복ㆍ유지함과 아울러 용기 본체와 서로 둘레 가장자리부에서 끼워맞춰져 걸리는 덮개체로 구성되어 있고, 각각의 재질은 수지이고, 덮개체는 투명성을 갖고 있다. 반도체용 페리클을 수납하는 외형 200㎜ 정도의 용기는 사출성형으로 성형하고, 액정용 페리클을 수납하는 외형 500㎜ 이상의 대형 용기는 시트재의 진공 성형으로 성형하는 것이 일반적이다.

최근에는 액정용 페리클의 대형화가 진행되고, 페리클 프레임의 장변 또는 장변 및 단변이 1,000㎜를 초과하는 사이즈인 대형 페리클이 대형 패널 생산의 주류로 되고 있다. 페리클의 대형화에 따라 페리클 수납용기도 대형화되고 있지만, 시트재의 진공 성형에 의해 제조되는 대형 페리클 수납용기는, 대형화에 따라 덮개체 천정면의 자체 중량에 의한 휨을 무시할 수 없을 정도로 커지고, 수송중에 페리클 수납용기 덮개체와 페리클막이 접촉된다는 문제도 발생되고 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것이고, 그 목적은, 보관, 수송, 수납 또는 취출의 조작중에 있어서 수납하는 페리클막에 페리클 수납용기 덮개체가 접촉하지 않도록 함과 아울러, 페리클의 오염 및 손상을 방지하여 품질을 유지하는 것이 가능한 포토리소그래피용 페리클 수납용기 및 그 제조방법을 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명자들은, 이하의 수단 (1) 및 (4)를 찾아냈다. 바람직한 실시형태인 (2), (3) 및 (5)와 함께 열거한다.

(1) 페리클을 적재하기 위한 용기 본체, 및, 그 페리클을 수납함과 아울러 상기 용기 본체와 서로 둘레 가장자리부에서 밀폐하는 덮개체로 이루어지는 페리클 수납용기로서, 덮개체 중앙부가 밀폐상태에 있어서 평탄형상 또는 외측방향으로 볼록형상을 유지하는 것을 특징으로 하는 페리클 수납용기,

(2) 상기 덮개체 및/또는 상기 용기 본체의 재질이 수지이고, 상기 덮개체 및/또는 상기 용기 본체의 표면저항값이 1×10¹²Ω/□ 이하인 (1)에 기재된 페리클 수납용기,

(3) 상기 페리클의 프레임의 장변 및 단변의 합계가 1,000㎜를 초과하는 사이즈인 대형 페리클을 적재하는 용기 본체를 갖는 (1) 또는 (2)에 기재된 페리클 수납용기,

(4) 페리클을 적재하기 위한 용기 본체, 및, 그 페리클을 수납함과 아울러 상기 용기 본체와 서로 둘레 가장자리부에서 밀폐하는 덮개체로 이루어지는 페리클 수납용기의 제조방법으로서, 덮개체 성형용 시트재료를 볼록형상 표면을 갖는 금형 본체를 이용하여 진공 성형함으로써 덮개체를 성형하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 페리클 수납용기의 제조방법,

(5) 덮개체 중앙부가 용기의 밀폐상태에 있어서 평탄형상 또는 용기 외측방향으로 볼록형상을 유지할 정도의 볼록형상 곡률을 갖는 금형 본체를 이용한 (4)에 기재된 페리클 수납용기의 제조방법.

본 발명의 페리클 수납용기는, 페리클을 적재하기 위한 용기 본체 및 이것을 덮는 덮개체로 이루어진다. 용기 본체는, 용기바닥판 내지 트레이를 구성하고, 중앙부에는 페리클을 완전히 고정하거나, 또는, 알맞은 자유도를 갖고서 고정하는 것이 가능한 수단을 가져도 되고, 그 주변부에는 덮개의 둘레 가장자리부와 밀폐하거나 또는 개방하는 것이 가능한 고정수단을 갖는다.

덮개체는, 상측 덮개로서, 그 중앙부에 볼록함을 갖고, 용기 본체에 탈착 가 능하게 부착할 수 있다. 용기 본체와 덮개체가 일체로 결합된 상태에 있어서, 덮개체가 수납된 페리클의 페리클막과 접촉하지 않는 상태에서, 용기 본체와 덮개체 사이에 페리클의 수납공간을 형성할 수 있다.

여기서, 용기 본체에, 사이즈가 다른 페리클을 위치 결정하여 적재가능한 동심상의 선형 홈을 형성하여, 페리클 프레임의 크기에 대응한 선형 홈에 적재함으로써 덜컹거림을 억제하여 수납해도 된다(일본 특허공개 평10-142772호 공보 참조).

페리클 수납용기는, 용기 본체의 둘레 가장자리부와 덮개체의 둘레 가장자리부를 서로 밀폐하기 위한 고정수단을 갖는다.

용기 본체와 덮개체의 고정수단으로서는, 덮개체가 착탈 가능하면 임의의 수단을 선택할 수 있다. 용기 본체의 주변에 형성된 홈에, 뚜껑의 둘레 가장자리부에 형성한 볼록부가 끼워 넣어지는 끼워넣음 방식이어도 된다. 별도의 고정수단으로서는, 용기 본체와 덮개체의 양 둘레 가장자리부를 개폐할 수 있는 클램프로 끼워서 고정해도 된다.

용기 본체 및 덮개체를 구성하는 합성수지에 대해서는 특별히 제한되지 않지만, 성형(가열 변형을 포함한다.)이 용이하고, 대전 방지 처리가 용이하며, 열에 의해 변형되기 어려운 재질이 바람직하다.

용기 본체 및 덮개체를 구성하는 합성수지의 재질로서는, 아크릴수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 아크릴로니트릴ㆍ부타디엔ㆍ스티렌(ABS) 수지, 폴리스티렌 수지, 폴리카보네이트 수지, 염화비닐 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리에틸렌 수지, 아크릴로니트릴ㆍ에틸렌ㆍ스티렌을 예시할 수 있다. 이들 수지는 후술하는 바와 같이, 대전 방지 처리를 실시한 수지를 사용하는 것이 바람직하다.

용기 본체와 덮개체의 재질은 페리클 수납용기 전체의 경량화를 고려하여, 수지를 이용하는 것이 바람직하고, 합성수지를 이용하는 것이 보다 바람직하다. 덮개체의 판두께는, 경량화를 고려하면 얇은 쪽이 바람직하지만, 그 반면 판두께가 얇으면 그 만큼 덮개체의 천정면 중앙의 휨에 의한 변형이 커지기 때문에, 경량화와 휨에 의한 변형의 저감을 양립시키는 것이 요망된다. 일반적으로 덮개체는, 두께 5㎜ 이하, 바람직하게는 두께 1~4㎜의 수지를 이용하는 것이 바람직하고, 두께 2~3㎜의 수지가 보다 바람직하다.

또한, 덮개체의 성형과정에서 자체 중량에 의해 휘어서 페리클막에 부착되는 일이 없도록 미리 덮개체의 천정면 중앙부를 외측으로 볼록형상으로 설계하여, 제작하는 것이 바람직하다. 뒤에 상세하게 설명한다.

용기 본체 및 덮개체의 표면저항값을 1×10¹²Ω/□ 이하로 하는 것이 바람직하다. 이 표면저항값은, 1×10¹⁰Ω/□ 이하가 보다 바람직하고, 1×10⁸Ω/□ 이하가 특히 바람직하다.

용기 본체 및/또는 덮개체의 표면저항값을 1×10¹²Ω/□ 이하로 하는 대전방지의 방식도, 발진성에 문제가 없으면 특별히 한정되지 않고, 베이스 폴리머에 친수성 폴리머를 배합하는 방식, 성형수지에 도전재료를 배합하는 방식, 성형전의 판재 표면에 도전막을 도포 설치하는 방식, 성형후의 용기 본체 표면 또는 덮개체 표면에 도전막을 형성하는 방식 등으로부터 적절하게 선택하면 된다. 성형수지에 배 합하는 도전재료에는, 금속, 금속산화물, 도전성 폴리머가 포함된다.

제조 용이성 및 제조비용의 점으로부터는, 대전 방지 처리를 실시한 플라스틱을 바람직하게 사용할 수 있다. 대전 방지 처리로서는, 도전성 필러(카본블랙, 도전성 휘스커, 금속섬유 등)를 첨가하는 방법이 있다. 카본블랙을 첨가한 폴리카보네이트를 예시할 수 있다.

그 외의 대전 방지 처리로서는, 폴리머 얼로이 기술을 이용하여 친수성 폴리머를 매트릭스 수지 중에 분산시키는 처리이다. 매트릭스 수지에는, ABS계 수지, PMMA계 수지 및 HIPS계 수지가 포함되고, 친수성 폴리머에는 폴리에틸렌글리콜계 폴리아미드 공중합체, 폴리에틸렌글리콜메타크릴레이트 공중합체, 에틸렌옥사이드ㆍ에피크롤히드린 공중합체가 포함된다. 이와 같이 하여 얻어지는 대전방지수지는 시판되어 있고, 토레이(주), JSR(주), 아사히카세이고교(주), 쿠레하카가쿠고교(주)가 그 제조원에 포함된다.

상기한 바와 같은, 도전 필러를 첨가한 플라스틱도 친수성 폴리머를 매트릭스 수지에 분산시킨 수지도, 용기 본체 및/또는 덮개체의 진공 성형이나 사출성형의 성형재료로서 사용할 수 있다.

본 발명에 있어서 플라스틱에 배합할 수 있는 대전방지제는, 홋타 히로시 저술 「대전방지제」, 플라스틱 에이지(1993년 11월호, 134~145쪽) 및 그 참고 문헌에 기재되어 있다. 또한, 친수성 폴리머를 매트릭스 수지에 분산시킨 폴리머 얼로이에 대해서는, 우메다 노리아키 및 수에자와 히로수케 공저 「영구대전방지성 재료의 설계」, 플라스틱 에이지(1994년 4월호, 104~109쪽) 및 그 참고 문헌에 기재 되어 있다.

표면저항값은, 온도 24℃, 습도 50%의 분위기하에서 측정한다. 측정장치는, 도아덴파고교(주)가 제조하는 초절연계 SM-8205를 사용한다. 부하 전압은 1,000V를 표준으로 한다. 용기 본체 및 덮개체 모두, 측정하는 위치는 용기의 내측으로 하고, 직사각형의 경우 대각선의 교차점(게이트부)을 사이에 두고 측정 단자가 50㎜ 떨어지는 위치로 한다.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태를 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

도 1에 본 발명의 일실시형태인 페리클 수납용기를 나타낸다. 덮개체는, 밀폐상태에서 그 중앙부가 외측방향으로 볼록형상을 갖고 있다.

페리클 수납용기(10)는, 용기 본체(1) 및 덮개체(2)에 의해 구성되어 있고, 용기 본체(1) 및 덮개체(2)의 둘레 가장자리부가 서로 밀폐가능하며 폐공간을 형성할 수 있고, 이 폐공간 내에 페리클(8)을 수납하고 있다. 페리클(8)은, 페리클 프레임(4)에 페리클막(3)이 펼쳐져 설치되어 있다. 종래의 페리클 수납용기와 마찬가지로 용기 본체(1)의 중앙부에 한층 높은 적재대를 설치하여 페리클(8)을 적재하고, 이동중에 적재대로부터 이동하지 않도록 적재대의 둘레 가장자리에는 제방(도면에 나타내지 않는다)를 설치하여 이동 방지해도 된다. 용기 본체(1) 및 덮개체(2)를 밀폐하는 수단은 적절하게 선택할 수 있다. 이 실시형태에서는, 용기 본체(1)의 둘레 가장자리부에 형성한 홈에 덮개체(2)의 둘레 가장자리부에 형성한 볼록부를 끼워넣어 고정(끼워맞춤 걸림)할 수 있는 구성을 갖고 있고, 용기 본체(1) 에 덮개체(2)를 덮어 씌워 밀폐함으로써 페리클 수납용의 폐공간을 형성하고 있다.

도 2에, 본 발명의 페리클 수납용기의 다른 일실시형태를 나타낸다. 덮개체는, 밀폐상태에서 그 중앙부가 거의 평탄한 상태를 유지하고 있다.

이것도 도 1과 마찬가지로 하여, 덮개체(2)의 성형과정에서 자체 중량에 의해 휘어서 페리클막(3)에 부착되는 일이 없도록, 덮개체(2)의 천정면 중앙부를 미리 볼록형상으로 설계하여 제작한 것이다. 그러나, 자체 중량에 의한 휨을 상쇄할 양만큼 완만하게 볼록형상으로 하였으므로, 페리클 수납용기를 수평으로 두었을 때에 덮개체(2)의 천정면이 평탄(플랫)하게 되어 있다.

도 3에, 본 발명에 사용하는 덮개체(2)의 성형방법의 일례를 나타낸다. 본 예는, 진공 성형 금형 본체(6)를 사용하는 성형법이다. 이것은, 수지의 시트재(5)를 고온의 금형 본체(6)에 접촉시킨 후, 진공처리 구멍(7)으로 진공상태를 만듦으로써 덮개체(2)를 성형하는 것이다. 종래의 방법에 의하면, 페리클 수납용기 덮개체(2)와 같은 평면형상의 것은 금형도 편평하게 설계하는 것이지만, 본 발명에 사용하는 덮개체(2)에서는, 자체 중량에 의한 가라앉음의 깊이(X)(도 4 참조)를 미리 예상하여 금형 본체(6)의 천정면 부분을 외측방향으로 소정의 높이(Y)만큼 볼록형상으로 하고 있다.

이 때문에 이 덮개체(2)를 사용해도 덮개체(2)가 가라앉아서 페리클막(3)에 부착되는 일이 없다는 효과를 달성할 수 있다. 금형 본체(6)의 덮개체(2)의 천정면을 성형하는 부분은 자체 중량에 의한 휨(X)을 예상하여 미리 외부방향으로 어느 정도 볼록형상으로 할지, 즉 높이(Y)를 어느 정도의 크기로 할지는 천정면의 면적, 형상, 재질, 두께, 최종적인 페리클막면과의 거리 등에 의해 결정할 수 있다.

용기의 내외의 기압이 같은 밀폐상태에 있어서 덮개체(2)를 평탄형상(도 2에 예시함) 또는 외측방향으로 볼록형상(도 1에 예시함)으로 유지하기 위해서는, 도 3에 있어서의 높이(Y)의 크기는, 성형재료의 재질, 두께, 면적, 종횡비 등에 의해 변동하지만, 페리클막(3) 상에 위치하는 덮개체 중앙부의 폭(W)이 1,000㎜일 경우를 예로 하면, 이하의 범위인 것이 일반적이다:

0.001W≤Y≤0.2W

또한, 상기 폭(W)은, 페리클의 직경 또는 대각 길이에 거의 상당한다.

본 발명의 제조방법에 있어서, 금형 본체의 볼록형상을 위의 관계식에 적합하도록 결정함으로써 보다 바람직하게 본 발명의 페리클 수납용기를 제조할 수 있다.

[실시예]

이하, 본 발명의 실시예를 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

도 1 및 도 2에 나타내는 페리클 수납용기(10)를 제작했다. 페리클 수납용기(10)의 구성은, 주로 대전방지성 ABS수지(표면저항값 5×10¹¹Ω/□)를 진공 성형법에 의해 성형한 용기 본체(1)와, 마찬가지로 대전방지성 ABS수지(표면저항값 5×10¹¹Ω/□)를 진공 성형법에 의해 성형한 용기 덮개체(2)로 이루어진다.

도 1의 페리클 수납용기(10)는 덮개체(2)의 천정면이 페리클막(3)에 부착되 는 일이 없도록 양 천정면이 자체 중량에 의해 휘어도 볼록형상으로 되도록 설계했다.

도 2의 페리클 수납용기(10)는 덮개체(2)의 천정면이 수평해지도록 천정면의 자체 중량에 의한 휨을 상쇄하는 양만큼 완만하게 볼록형상으로 설계했다.

도 3에 본 발명의 덮개체(2)를 제조하기 위한 진공 성형 금형을 나타낸다. 진공 성형 금형의 구성은, 주로 열원을 구비한 금형 본체(6)와 시트재(5)를 금형 본체(6)에 밀착시키기 위한 진공처리 구멍(7)으로 이루어진다.

도 1의 페리클 수납용기(10)를 제작할 때에는, 성형품을 수평으로 두었을 때에 덮개체 천정면 중앙이 상방으로 5~10㎜ 볼록형상으로 되도록 높이(Y)의 값을 설계했다. 또한, 도 2의 페리클 수납용기(10)를 제작할 때에는 성형품을 수평으로 두었을 때에 덮개체 천정면 중앙이 수평해지도록 높이(Y)의 값을 설정했다.

이들 페리클 수납용기(10)에, 외측 치수 782×474×6㎜의 알루미늄합금제의 페리클 프레임(4)의 한쪽의 끝면에 페리클막 접착제로서 실리콘 점착제, 다른쪽의 끝면에 마스크 점착제로서 실리콘 점착제(상품명 KR120, 신에츠카가쿠고교(주) 제작)를 도포하고, 가열에 의해 경화시키고, 또한 불소계 폴리머(상품명 사이톱, 아사히가라스(주) 제작)를 스핀코트법에 의해 얻은 두께 약 4㎛의 페리클막(3)을 이 페리클 프레임(4)에 붙인 페리클(8)을 수납하고, 토쿄-후쿠오카간을 왕복으로 공중수송하여 수송 전후의 페리클막(3) 상의 이물증가수를 계측했다.

클래스100의 클린룸 내에서 페리클 수납용기(10)로부터 페리클(8)을 취출하고, 암실 내에서 40만룩스의 광을 조사하여 페리클막(3) 표면의 이물증가수를 조사 한 결과, 페리클막(3)에 손상이나 이물의 증가는 없고, 또한, 페리클(8)을 구성하는 부품의 변형, 손상도 보여지지 않았다. 또한, 수송 후의 페리클막(3)의 대전량을 ION SYSTEM/MODEL775로 측정한 결과 -0.1㎸이었다.

(비교예1)

도 4에 나타내는 바와 같은 덮개체(2)의 자체 중량에 의한 휨을 고려하지 않는 페리클 수납용기를 제작했다. 용기 본체(1) 및 덮개체(2)의 재질은 표면저항값 10¹⁸Ω/□ 이상의 아크릴성 수지를 사용했다. 이 페리클 수납용기는, 도 5에 나타내는 바와 같은 일반적인 천정면이 수평의 진공 성형 금형으로 제작했지만, 그 결과, 성형품을 수평으로 두었을 때에 덮개체 천정면 중앙이 하방으로 휘고, 가라앉음의 깊이(X)가 13㎜로 되었다.

이 페리클 수납용기에, 외측 치수 782×474×6㎜의 알루미늄합금제의 페리클 프레임(4)의 한쪽의 끝면에 페리클막 접착제로서 실리콘 점착제, 다른쪽의 끝면에 마스크 점착제로서 실리콘 점착제(상품명 KR120, 신에쓰 가가꾸 고교(주) 제작)를 도포하고, 가열에 의해 경화시키고, 또한 불소계 폴리머(상품명 사이톱, 아사히가라스(주) 제작)를 스핀코트법에 의해 얻은 두께 약 4㎛의 페리클막(3)을 이 페리클 프레임(4)에 붙인 페리클을 수납하고, 토쿄-후쿠오카 사이를 왕복으로 공중수송하여 수송 전후의 페리클막(3) 상의 이물 증가수를 계측했다.

클래스 100의 클린룸 내에서 페리클 수납용기로부터 페리클을 취출하고, 암실 내에서 40만룩스의 광을 조사하여 페리클막(3) 표면을 조사한 결과, 페리클 막(3) 중앙에는 직경 약 25㎜의 접촉 자국이 보여져 그 주위에는 10㎛ 이상의 이물이 무수하게 증가되어 있었다. 또한, 수송 후의 페리클막(3)의 대전량을 ION SYSTEM/MODEL775로 측정한 결과 -3.8㎸로 대전하고 있는 것을 나타내었다.

상기 본 발명(1)에 의하면, 보관, 수송, 조작중에 있어서 수납하는 페리클막에 페리클 수납용기 덮개체가 접촉하지 않도록 함과 아울러, 페리클의 오염 및 손상을 방지하여 품질을 유지할 수 있다.

상기 실시형태(2)에 의하면, 상기의 효과에 추가로, 상기 낮은 표면저항값이기 때문에, 대전방지성능이 부여됨으로써, 대형 액정 페리클 수납용기에서는 특히 문제로 되는 포장 주머니와의 마찰에 의해 생기는 정전기의 축적을 방지하는 등의 이물 부착 방지의 효과가 얻어진다.

또한, 특히 (3)에 규정하는 대형 페리클에서 상기 효과가 현저하다.

상기 (4)의 제조방법에 의하면 바람직하게 상기 본 발명의 페리클 수납용기를 제조할 수 있다.

Claims

페리클을 적재하기 위한 용기 본체, 및, 그 페리클을 수납함과 아울러 상기 용기 본체와 서로 둘레 가장자리부에서 밀폐하는 덮개체로 이루어지는 페리클 수납용기로서, 덮개체 중앙부가 밀폐상태에 있어서 평탄형상 또는 외측방향으로 볼록형상을 유지하는 것을 특징으로 하는 페리클 수납용기.
제1항에 있어서, 상기 용기 본체 및/또는 상기 덮개체의 재질이 수지이고, 상기 용기 본체 및/또는 상기 덮개체의 표면저항값이 1×10¹²Ω/□ 이하인 것을 특징으로 하는 페리클 수납용기.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 페리클의 프레임의 장변 및 단변의 합계가 1,000㎜를 초과하는 사이즈인 대형 페리클을 적재하는 용기 본체를 갖는 것을 특징으로 하는 페리클 수납용기.
페리클을 적재하기 위한 용기 본체, 및, 그 페리클을 수납함과 아울러 상기 용기 본체와 서로 둘레 가장자리부에서 밀폐하는 덮개체로 이루어지는 페리클 수납용기의 제조방법으로서,

덮개체 성형용 시트재료를 볼록형상 표면을 갖는 금형 본체를 이용하여 진공 성형함으로써 덮개체를 성형하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 페리클 수납용기의 제조방법.
제4항에 있어서, 덮개체 중앙부가 용기의 밀폐상태에 있어서 평탄형상 또는 용기 외측방향으로 볼록형상을 유지하는 정도의 볼록형상 곡률을 갖는 금형 본체를 이용하는 것을 특징으로 하는 페리클 수납용기의 제조방법.