JPH09255078A - 板状物収納容器 - Google Patents
板状物収納容器Info
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- JPH09255078A JPH09255078A JP9469196A JP9469196A JPH09255078A JP H09255078 A JPH09255078 A JP H09255078A JP 9469196 A JP9469196 A JP 9469196A JP 9469196 A JP9469196 A JP 9469196A JP H09255078 A JPH09255078 A JP H09255078A
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
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- G—PHYSICS
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/16—Making multilayered or multicoloured articles
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Rigid Containers With Two Or More Constituent Elements (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 新しい発塵の要因を作ることなく、帯電防止
性を付与する。 【解決手段】 レチクル等の板状物１を水平に保持する
保持部を有する下皿２と、前記板状物の上面に空隙を設
けるよう配置され、該板状物の収納室を形成する上蓋３
と、この上蓋３に支持され前記下皿を引き出し方向に沿
って引き出しおよび挿入可能に支持するスライド板４
と、前記上蓋に支持され前記空隙内で、下方に付勢され
ることにより前記板状物を前記保持部に対して弾性的に
押さえつけ、さらに下皿引き出し防止のロック機構とな
る弾性板５と、前記上蓋に回動自在に支持され、前記引
き出し方向に沿って離間している開位置から閉位置へ回
動された際、前記弾性板を下方に付勢することにより前
記効果を発生させる開閉レバーを有する収納容器におい
て、前記上蓋と下皿内の全体または所定の部分を、ベー
スとなる樹脂に親水性高分子を相溶化させて導電性を持
たせたポリマーアロイにより構成し、かつ、前記上蓋と
前記下皿の摺動が発生する部分に、他種材料で成形した
部材をインサートし、２色成形する。
性を付与する。 【解決手段】 レチクル等の板状物１を水平に保持する
保持部を有する下皿２と、前記板状物の上面に空隙を設
けるよう配置され、該板状物の収納室を形成する上蓋３
と、この上蓋３に支持され前記下皿を引き出し方向に沿
って引き出しおよび挿入可能に支持するスライド板４
と、前記上蓋に支持され前記空隙内で、下方に付勢され
ることにより前記板状物を前記保持部に対して弾性的に
押さえつけ、さらに下皿引き出し防止のロック機構とな
る弾性板５と、前記上蓋に回動自在に支持され、前記引
き出し方向に沿って離間している開位置から閉位置へ回
動された際、前記弾性板を下方に付勢することにより前
記効果を発生させる開閉レバーを有する収納容器におい
て、前記上蓋と下皿内の全体または所定の部分を、ベー
スとなる樹脂に親水性高分子を相溶化させて導電性を持
たせたポリマーアロイにより構成し、かつ、前記上蓋と
前記下皿の摺動が発生する部分に、他種材料で成形した
部材をインサートし、２色成形する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ等の半導体
素子または液晶表示素子等を製造する際に使用されるフ
ォトマスク、レチクルもしくはウエハまたはガラスプレ
ート等の基板（板状物）を収納する板状物収納容器に関
する。
素子または液晶表示素子等を製造する際に使用されるフ
ォトマスク、レチクルもしくはウエハまたはガラスプレ
ート等の基板（板状物）を収納する板状物収納容器に関
する。
【０００２】
【従来の技術】この種の収納容器としては、フォトマス
クやレチクル等の基板（以下、レチクルと総称する）を
その清浄度を十分保持した状態で収納し、かつレチクル
使用時のレチクルの取出し、収納時の開閉動作によって
も発塵を伴わないものが望まれる。従来、この種の容器
は、蓋側部材（上蓋）に支持された開閉レバーが回動す
ることにより、弾性板が下方へ付勢され、レチクル押さ
え力を発生させていた。また、その際に弾性板先端が下
皿凹部にはまり込むことにより容器開閉を防止するロッ
ク機構となっていた。また、容器自体に静電気に対する
帯電防止の考慮は特にはなされておらず、帯電防止が要
求される場合は、表面に帯電防止剤をスプレー等で塗布
する程度であった。
クやレチクル等の基板（以下、レチクルと総称する）を
その清浄度を十分保持した状態で収納し、かつレチクル
使用時のレチクルの取出し、収納時の開閉動作によって
も発塵を伴わないものが望まれる。従来、この種の容器
は、蓋側部材（上蓋）に支持された開閉レバーが回動す
ることにより、弾性板が下方へ付勢され、レチクル押さ
え力を発生させていた。また、その際に弾性板先端が下
皿凹部にはまり込むことにより容器開閉を防止するロッ
ク機構となっていた。また、容器自体に静電気に対する
帯電防止の考慮は特にはなされておらず、帯電防止が要
求される場合は、表面に帯電防止剤をスプレー等で塗布
する程度であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のよう
な収納容器の開閉機構では、開閉レバーの回転軸受け部
や開と閉の位置を離間するカム部等に摺動部分があり、
それらの摺動部分から発塵が起こり容器内に収納される
レチクルに塵等が付着する可能性があるため、汎用樹脂
のような比較的柔らかい樹脂を用いることはできなかっ
た。また、従来の収納容器（カセット）は帯電防止の考
慮がなされてなかったため、カセットに電荷が溜まるこ
とより、レチクル特にクロム（Ｃｒ）パターンの帯電を
助長し、Ｃｒパターンの静電破壊を引き起こす一因とな
っていた。また、静電気対策のために帯電防止材料の使
用を考えたとしても、上記摺動部分からの発塵問題が懸
念され、一般的に柔らかく、摺動に弱い帯電防止性の樹
脂を用いることはできなかった。
な収納容器の開閉機構では、開閉レバーの回転軸受け部
や開と閉の位置を離間するカム部等に摺動部分があり、
それらの摺動部分から発塵が起こり容器内に収納される
レチクルに塵等が付着する可能性があるため、汎用樹脂
のような比較的柔らかい樹脂を用いることはできなかっ
た。また、従来の収納容器（カセット）は帯電防止の考
慮がなされてなかったため、カセットに電荷が溜まるこ
とより、レチクル特にクロム（Ｃｒ）パターンの帯電を
助長し、Ｃｒパターンの静電破壊を引き起こす一因とな
っていた。また、静電気対策のために帯電防止材料の使
用を考えたとしても、上記摺動部分からの発塵問題が懸
念され、一般的に柔らかく、摺動に弱い帯電防止性の樹
脂を用いることはできなかった。
【０００４】本発明は、上述の問題点に鑑みてなされた
もので、新しい発塵の要因を作ることなく、カセットに
帯電防止性を持たせることを目的とする。
もので、新しい発塵の要因を作ることなく、カセットに
帯電防止性を持たせることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記の目的を解決するた
め、本発明による板状物収納容器は、例えば図１のよう
にレチクル等の板状物１を水平に保持する保持部（不図
示）を有する下皿２と、前記板状物１の上面に空隙を設
けるよう配置され、該板状物１の収納室を形成する上蓋
３と、前記上蓋３に支持され前記下皿２を第１方向（引
き出し方向）に沿って引き出しおよび挿入可能に支持す
るスライド板（スライダー）４と、前記上蓋３に支持さ
れ前記空隙内で、下方に付勢されることにより前記板状
物１を前記保持部に対して弾性的に押さえつけ、さらに
下皿引き出し防止のロック機構となる弾性板５と、前記
上蓋に回動自在に支持され、前記引き出し方向に沿って
離間している開位置から閉位置へ回動された際、前記弾
性板５を下方に付勢することにより前記効果を発生させ
る開閉レバー６を有する収納容器において、前記上蓋３
と下皿２内の全体または所定の部分を、ベースとなる樹
脂に親水性高分子を相溶化させて導電性を持たせたポリ
マーアロイにより構成したことを特徴とする。本発明に
おいて、上蓋は透明な樹脂により形成することが望まし
い。また上蓋摺動部分には摺動発塵の少ない樹脂で成形
した部材をインサートし、２色成形を行うことが望まし
い。
め、本発明による板状物収納容器は、例えば図１のよう
にレチクル等の板状物１を水平に保持する保持部（不図
示）を有する下皿２と、前記板状物１の上面に空隙を設
けるよう配置され、該板状物１の収納室を形成する上蓋
３と、前記上蓋３に支持され前記下皿２を第１方向（引
き出し方向）に沿って引き出しおよび挿入可能に支持す
るスライド板（スライダー）４と、前記上蓋３に支持さ
れ前記空隙内で、下方に付勢されることにより前記板状
物１を前記保持部に対して弾性的に押さえつけ、さらに
下皿引き出し防止のロック機構となる弾性板５と、前記
上蓋に回動自在に支持され、前記引き出し方向に沿って
離間している開位置から閉位置へ回動された際、前記弾
性板５を下方に付勢することにより前記効果を発生させ
る開閉レバー６を有する収納容器において、前記上蓋３
と下皿２内の全体または所定の部分を、ベースとなる樹
脂に親水性高分子を相溶化させて導電性を持たせたポリ
マーアロイにより構成したことを特徴とする。本発明に
おいて、上蓋は透明な樹脂により形成することが望まし
い。また上蓋摺動部分には摺動発塵の少ない樹脂で成形
した部材をインサートし、２色成形を行うことが望まし
い。
【０００６】
【作用】本発明の板状物収納容器によれば、上蓋と下皿
内の全体または所定の部分を、ベースとなる樹脂例えば
汎用の樹脂に、親水性高分子を混入しポリマーアロイ化
させた樹脂を使用している。したがって、樹脂に導電性
を付与する方法として一般的に行われている、カーボン
や金属粉等の練り込みや、表面層への金属粉等の蒸着、
界面活性剤の混入等のように、混入物の脱落による発塵
や経時変化、洗浄による帯電防止性の劣化等の心配がな
い。また、摺動部分に摺動発塵の少ない樹脂を２色成形
することにより、摺動部分でない部分に使用する材料の
選択の幅が広がり上述のような比較的柔らかい帯電防止
効果を持つ樹脂等をも採用することができる。
内の全体または所定の部分を、ベースとなる樹脂例えば
汎用の樹脂に、親水性高分子を混入しポリマーアロイ化
させた樹脂を使用している。したがって、樹脂に導電性
を付与する方法として一般的に行われている、カーボン
や金属粉等の練り込みや、表面層への金属粉等の蒸着、
界面活性剤の混入等のように、混入物の脱落による発塵
や経時変化、洗浄による帯電防止性の劣化等の心配がな
い。また、摺動部分に摺動発塵の少ない樹脂を２色成形
することにより、摺動部分でない部分に使用する材料の
選択の幅が広がり上述のような比較的柔らかい帯電防止
効果を持つ樹脂等をも採用することができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明による板状物収納容器の一実施
例であるレチクル収納ケースについて、図面を参照し説
明する。
例であるレチクル収納ケースについて、図面を参照し説
明する。
【０００８】図１は、本実施例の収納ケースの開閉レバ
ーが開状態で下皿が途中まで引き出されている状態の斜
視図である。図中、１はレチクルまたはペリクル付レチ
クル、２はレチクル１を積載している下皿である。３は
上蓋で下皿２と共に密閉状態を保つことによりレチクル
１に異物等が付着することを防いでいる。４は前記上蓋
に取り付けられ、前記下皿を引き出し方向に沿って引き
出せかつその逆方向に沿って挿入できるように支持する
と共に、補強の役割を果たすスライド板、５は弾性板、
６は開閉レバーである。
ーが開状態で下皿が途中まで引き出されている状態の斜
視図である。図中、１はレチクルまたはペリクル付レチ
クル、２はレチクル１を積載している下皿である。３は
上蓋で下皿２と共に密閉状態を保つことによりレチクル
１に異物等が付着することを防いでいる。４は前記上蓋
に取り付けられ、前記下皿を引き出し方向に沿って引き
出せかつその逆方向に沿って挿入できるように支持する
と共に、補強の役割を果たすスライド板、５は弾性板、
６は開閉レバーである。
【０００９】上蓋３は例えば本発明に係る収納容器を複
数個格納する不図示の収納棚の内壁に固定される。弾性
板５は上蓋３の左右内側にその一端を固定され支持され
る。開閉レバー６は上蓋３に支持される箇所を支点とし
て図中矢印方向に回動し、閉の位置で前記弾性板５を下
方向に付勢する。その際、弾性板５の先端Ｌ字部５ａが
下皿凹部２ｃにはまり込み、下皿２が引き出し方向へ引
き出されるのを防止するロック機構となる。また、レチ
クル１を下方向へ押し付ける力が発生することにより、
レチクル１を固定しレチクルの上下左右方向の変位を防
止する。また前記上蓋３中の摺動部分３ａには摺動発塵
の少ない樹脂をインサートし２色成形を行う。図２は下
皿２の詳細図である。図中２ａは下皿２の底面に設けら
れ、レチクルを平行に保つ凸起状のレチクル支持部、２
ｂはレチクルの前後方向の変位を防止するレチクルスト
ッパー部、２ｃは弾性板５が下方向に付勢されたときに
弾性板先端５ａがはまり込み、下皿引き出しを防止する
凹部である。
数個格納する不図示の収納棚の内壁に固定される。弾性
板５は上蓋３の左右内側にその一端を固定され支持され
る。開閉レバー６は上蓋３に支持される箇所を支点とし
て図中矢印方向に回動し、閉の位置で前記弾性板５を下
方向に付勢する。その際、弾性板５の先端Ｌ字部５ａが
下皿凹部２ｃにはまり込み、下皿２が引き出し方向へ引
き出されるのを防止するロック機構となる。また、レチ
クル１を下方向へ押し付ける力が発生することにより、
レチクル１を固定しレチクルの上下左右方向の変位を防
止する。また前記上蓋３中の摺動部分３ａには摺動発塵
の少ない樹脂をインサートし２色成形を行う。図２は下
皿２の詳細図である。図中２ａは下皿２の底面に設けら
れ、レチクルを平行に保つ凸起状のレチクル支持部、２
ｂはレチクルの前後方向の変位を防止するレチクルスト
ッパー部、２ｃは弾性板５が下方向に付勢されたときに
弾性板先端５ａがはまり込み、下皿引き出しを防止する
凹部である。
【００１０】次に図３、図４、図５にて開閉レバー６の
作動を説明する。図３は開閉レバーを閉方向に回動した
ときの引き出し方向に対し直角方向から見た断面図であ
る。図４は開閉レバーを開方向に回動したときの引き出
し方向に対し直角方向から見た断面図である。図５は上
方から見た図である。図３で、開閉レバーが閉方向に回
動することにより、弾性板５は下方向に付勢され図５の
ように先端のＬ字部分５ａが下皿凹部２ｃにはまり込
み、下皿２が引き出し方向に引き出されるのを防止す
る。図４で開閉レバーが開状態にあるときは、弾性板５
は無負荷の状態であり上方に復帰して、下皿はフリーの
状態であるので、図中向かって右方向の引き出し方向へ
の変位が自由になる。実機上では、図６の位置から下皿
をスライド板４から若干上方に平行変位させて上蓋３お
よびスライド板４と接触させずに引き出し方向に引き出
す。
作動を説明する。図３は開閉レバーを閉方向に回動した
ときの引き出し方向に対し直角方向から見た断面図であ
る。図４は開閉レバーを開方向に回動したときの引き出
し方向に対し直角方向から見た断面図である。図５は上
方から見た図である。図３で、開閉レバーが閉方向に回
動することにより、弾性板５は下方向に付勢され図５の
ように先端のＬ字部分５ａが下皿凹部２ｃにはまり込
み、下皿２が引き出し方向に引き出されるのを防止す
る。図４で開閉レバーが開状態にあるときは、弾性板５
は無負荷の状態であり上方に復帰して、下皿はフリーの
状態であるので、図中向かって右方向の引き出し方向へ
の変位が自由になる。実機上では、図６の位置から下皿
をスライド板４から若干上方に平行変位させて上蓋３お
よびスライド板４と接触させずに引き出し方向に引き出
す。
【００１１】次に本実施例では、図１の収納ケースに安
定した帯電防止効果を持たせるために、ベース材中に親
水性高分子を均一に相溶化させたポリマーアロイを用い
る。樹脂に帯電防止効果を持たせるためには、一般的に
帯電防止剤（界面活性剤）の練込や表面への塗布、カー
ボンブラックや金属粉などの練り込み、表面への金属粉
等の蒸着などが用いられているが、それらの方法では、
混入物の脱落による発塵、および洗浄や経時変化による
帯電防止性の劣化などが発生するため不適当であった。
親水性高分子は空気中の水蒸気を内部に取り込み、電気
を通す性質を持つようになるもので、ベースとなる樹脂
の内部と表面に均一に相溶化しポリマーアロイ化するの
で、上記のような混入物の脱落による発塵や帯電防止効
果の劣化の心配がなく、半永久的に帯電防止効果が持続
する。
定した帯電防止効果を持たせるために、ベース材中に親
水性高分子を均一に相溶化させたポリマーアロイを用い
る。樹脂に帯電防止効果を持たせるためには、一般的に
帯電防止剤（界面活性剤）の練込や表面への塗布、カー
ボンブラックや金属粉などの練り込み、表面への金属粉
等の蒸着などが用いられているが、それらの方法では、
混入物の脱落による発塵、および洗浄や経時変化による
帯電防止性の劣化などが発生するため不適当であった。
親水性高分子は空気中の水蒸気を内部に取り込み、電気
を通す性質を持つようになるもので、ベースとなる樹脂
の内部と表面に均一に相溶化しポリマーアロイ化するの
で、上記のような混入物の脱落による発塵や帯電防止効
果の劣化の心配がなく、半永久的に帯電防止効果が持続
する。
【００１２】動的状態での帯電防止に要求される表面固
有抵抗値は、一般的に１０10〜１０12Ω／ｃｍ程度と言
われており、また、帯電圧減衰半減期や飽和帯電圧など
に着目すると、表面固有抵抗値が１０13Ω／ｃｍ付近か
ら材料特性が急激に悪化することが観察されている。し
たがって、十分な帯電防止効果を得るための表面固有抵
抗値の上限は１０12Ω／ｃｍ程度であるといえる。
有抵抗値は、一般的に１０10〜１０12Ω／ｃｍ程度と言
われており、また、帯電圧減衰半減期や飽和帯電圧など
に着目すると、表面固有抵抗値が１０13Ω／ｃｍ付近か
ら材料特性が急激に悪化することが観察されている。し
たがって、十分な帯電防止効果を得るための表面固有抵
抗値の上限は１０12Ω／ｃｍ程度であるといえる。
【００１３】前記ポリマーアロイは、内部に取り込んだ
水分を保持することより、湿度が４０％以下の乾燥した
環境でも、表面固有抵抗値は１０10〜１０11Ω／ｃｍ程
度であり、十分な帯電防止効果を示すことが観察されて
いる。このような性質を持つ材料として、例えばＡＢＳ
（アクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体）をベ
ース材にしたトヨラックパレルなどを用いる。さらに、
上蓋３には、開閉機構の構造上前記のような摺動部分が
発生することから、上蓋摺動部分３ａに摺動発塵の極め
て少ない他種の樹脂をインサート成形することによる２
色成形を行うことにより、摺動部分からの発塵を防止し
レチクルへの異物の付着を防ぐ。このような摺動発塵の
少ない樹脂としては、例えば、結晶性のスーパーエンプ
ラであるＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等を
用いる。
水分を保持することより、湿度が４０％以下の乾燥した
環境でも、表面固有抵抗値は１０10〜１０11Ω／ｃｍ程
度であり、十分な帯電防止効果を示すことが観察されて
いる。このような性質を持つ材料として、例えばＡＢＳ
（アクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体）をベ
ース材にしたトヨラックパレルなどを用いる。さらに、
上蓋３には、開閉機構の構造上前記のような摺動部分が
発生することから、上蓋摺動部分３ａに摺動発塵の極め
て少ない他種の樹脂をインサート成形することによる２
色成形を行うことにより、摺動部分からの発塵を防止し
レチクルへの異物の付着を防ぐ。このような摺動発塵の
少ない樹脂としては、例えば、結晶性のスーパーエンプ
ラであるＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等を
用いる。
【００１４】なお、上述の実施例はレチクルの収納ケー
スに本発明を適用したものであるが、本発明はレチクル
のパターンが転写されるウエハやガラスプレートなどの
収納ケースにも同様に適用できるものである。このよう
に、本発明は上述実施例に限定されず、本発明の要旨を
逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
スに本発明を適用したものであるが、本発明はレチクル
のパターンが転写されるウエハやガラスプレートなどの
収納ケースにも同様に適用できるものである。このよう
に、本発明は上述実施例に限定されず、本発明の要旨を
逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、板状物収
納容器において、摺動部分の発生する構造を選択せざる
得ない場合、新しい発塵の要因を作ることなく、帯電防
止性を持たせることができる。さらに、摺動部分に摺動
発塵の少ない樹脂をインサートし２色成形することによ
り、摺動部分以外に用いられる材料の選択の幅が広が
り、例えば帯電防止材料などの一般的に柔らかく摺動に
弱い樹脂をも採用することが可能になる。
納容器において、摺動部分の発生する構造を選択せざる
得ない場合、新しい発塵の要因を作ることなく、帯電防
止性を持たせることができる。さらに、摺動部分に摺動
発塵の少ない樹脂をインサートし２色成形することによ
り、摺動部分以外に用いられる材料の選択の幅が広が
り、例えば帯電防止材料などの一般的に柔らかく摺動に
弱い樹脂をも採用することが可能になる。
【図１】 本発明の一実施例に係るレチクルカセットに
おいて下皿を上蓋から半分引き出した状態の斜視図であ
る。
おいて下皿を上蓋から半分引き出した状態の斜視図であ
る。
【図２】 図１における下皿の詳細図である。
【図３】 図１における開閉レバーを閉方向に回動した
ときの引き出し方向に対し直角方向から見た断面図であ
る。
ときの引き出し方向に対し直角方向から見た断面図であ
る。
【図４】 図１における開閉レバーを開方向に回動した
ときの引き出し方向に対し直角方向から見た断面図であ
る。
ときの引き出し方向に対し直角方向から見た断面図であ
る。
【図５】 図１のカセットのレチクル収納状態の上方か
ら見た図である。
ら見た図である。
【図６】 図５の状態を引き出し方向から見た断面図で
ある。
ある。
１：レチクル等の基板、２：下皿、２ａ：基板支持部、
２ｂ：基板ストッパー部、２ｃ：凹部（弾性板先端はま
り込み部）、３：上蓋、３ａ：摺動部（２色成形部）、
４：スライド板、５：弾性板、５ａ：Ｌ字部、６：開閉
レバー。
２ｂ：基板ストッパー部、２ｃ：凹部（弾性板先端はま
り込み部）、３：上蓋、３ａ：摺動部（２色成形部）、
４：スライド板、５：弾性板、５ａ：Ｌ字部、６：開閉
レバー。
Claims (2)
- 【請求項１】 板状物を水平に保持する保持部を有する
下皿と、前記板状物の上面に空隙を設けるよう配置さ
れ、該板状物の収納室を形成する上蓋と、前記上蓋に支
持され前記下皿を第１の方向とその逆方向に沿って挿入
および引き出し自在に支持するスライド板と、前記上蓋
に支持され前記空隙内で、下方に付勢されることによ
り、前記板状物を前記保持部に対して弾性的に押さえ付
け、かつ下皿引き出し防止のロック機構となる弾性板
と、前記上蓋に回動自在に支持され、前記第１の方向ま
たはその逆方向に沿って離間している開位置から閉位置
へ回動された際、前記弾性板を下方に付勢する開閉レバ
ーとを有する収納容器において、 前記上蓋および下皿の全体または所定の部分を、ベース
となる樹脂中に親水性高分子を相溶化させ、導電性を持
たせたポリマーアロイにより構成したことを特徴とする
板状物収納容器。 - 【請求項２】 前記上蓋と前記下皿の摺動が発生する部
分に、他種材料で成形した部材をインサートし、２色成
形することを特徴とする請求項１記載の板状物収納容
器。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP9469196A JP3014640B2 (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 板状物収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9469196A JP3014640B2 (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 板状物収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09255078A true JPH09255078A (ja) | 1997-09-30 |
| JP3014640B2 JP3014640B2 (ja) | 2000-02-28 |
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ID=14117224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9469196A Expired - Fee Related JP3014640B2 (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 板状物収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3014640B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1018462C2 (nl) * | 2001-07-04 | 2003-01-08 | Antonius Adrianus Arnold Smits | Werkwijze en inrichting voor het afscheiden van vellen van een stapel. |
| JP2006128188A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Nikon Corp | 基板搬送装置、基板搬送方法および露光装置 |
| JP2007201066A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Murata Mach Ltd | 枚葉搬送用トレイ及び枚葉搬送用トレイの保管又は搬送装置 |
| JP2007201341A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Murata Mach Ltd | 枚葉搬送用トレイ |
| DE10246788B4 (de) * | 2002-10-08 | 2007-08-30 | Infineon Technologies Ag | Schutzvorrichtung für Reflexionsmasken und Verfahren zur Verwendung einer geschützten Reflexionsmaske |
| US7607543B2 (en) | 2005-02-27 | 2009-10-27 | Entegris, Inc. | Reticle pod with isolation system |
| JP2011054999A (ja) * | 2010-11-30 | 2011-03-17 | Nikon Corp | 露光装置及び方法 |
| CN113454007A (zh) * | 2019-02-22 | 2021-09-28 | 村田机械株式会社 | 盖开闭装置 |
| KR20210119875A (ko) * | 2020-03-24 | 2021-10-06 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | 용기 시스템 |
-
1996
- 1996-03-26 JP JP9469196A patent/JP3014640B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1018462C2 (nl) * | 2001-07-04 | 2003-01-08 | Antonius Adrianus Arnold Smits | Werkwijze en inrichting voor het afscheiden van vellen van een stapel. |
| DE10246788B4 (de) * | 2002-10-08 | 2007-08-30 | Infineon Technologies Ag | Schutzvorrichtung für Reflexionsmasken und Verfahren zur Verwendung einer geschützten Reflexionsmaske |
| JP2006128188A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Nikon Corp | 基板搬送装置、基板搬送方法および露光装置 |
| US7607543B2 (en) | 2005-02-27 | 2009-10-27 | Entegris, Inc. | Reticle pod with isolation system |
| JP2007201066A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Murata Mach Ltd | 枚葉搬送用トレイ及び枚葉搬送用トレイの保管又は搬送装置 |
| JP2007201341A (ja) * | 2006-01-30 | 2007-08-09 | Murata Mach Ltd | 枚葉搬送用トレイ |
| JP2011054999A (ja) * | 2010-11-30 | 2011-03-17 | Nikon Corp | 露光装置及び方法 |
| CN113454007A (zh) * | 2019-02-22 | 2021-09-28 | 村田机械株式会社 | 盖开闭装置 |
| CN113454007B (zh) * | 2019-02-22 | 2023-02-17 | 村田机械株式会社 | 盖开闭装置 |
| KR20210119875A (ko) * | 2020-03-24 | 2021-10-06 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | 용기 시스템 |
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| JP3014640B2 (ja) | 2000-02-28 |
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