TWI535642B - The mask of the mask mask - Google Patents

Description

光罩盒之光罩卡止具

本發明係一種用以保存或搬運用於製造半導體元件或液晶顯示元件等之光罩基板之盒子，且係關於一種光罩盒之光罩卡止具，其可緊密地安置於盒內，並且不接觸光罩面即施加了光罩圖案之面或圖案化前之表面，進而可防止光罩之破損或由偏移所引起之靜電之產生。

自先前以來，關於半導體積體電路等之製造步驟中所使用之光罩基板，例如用以製造半導體元件或液晶顯示元件等之光微影步驟等中所使用之光罩基板，極其排斥基板表面之污染，而關於在保存或搬運該光罩基板時收納其之光罩盒，其係以於光罩基板上防止塵埃之附著或劃傷等為主要目的而使用者。

光罩基板係細微之照相製版品，光罩基板上之塵埃之附著或劃傷等成為光罩之缺陷，會於光阻劑上再現，若將該光罩基板直接組裝入微電子器件中，則會破壞器件之正常之功能，且因塵埃之附著而導致重大之損傷，因此必需排除一切污染物，並極力防止塵埃之附著。

因此，例如於光罩基板之處理上採用不接觸端面以外之面等處理上之規定，或採用如下之構成，即以收納時塵埃不附著於光罩基板上之方式小心地處理、進而以塵埃不進入至光罩盒內之方式小心地收納、進而塵埃不進入至收納後之光罩盒內。

進而，於施加了光罩圖案之光罩基板上，利用框架支撐光罩護膜即以硝化纖維素為代表之光學上透明之薄膜而防止光罩圖案面上之塵埃之附著或損傷。

進而，先前之透明導電樹脂會導致有害氣體之產生等，必需提供一種可代替其的素材，特別是可防止由帶電所引起之塵埃之附著的樹脂材料。

考慮到導電體積電阻率這一點或防止有害氣體之產生、或者長時間之使用等，而要求使用碳。

因此，藉由以聚碳酸酯為主體之樹脂而利用碳賦予導電性，且可阻止有害氣體之產生及維持導電體積電阻率之合理值(E3~9 Ω)，雖然於這一點上非常有用，但相反地碳之混入使用量變多，光罩盒，特別是與光罩基板接觸之卡止部變脆，而導致微粒之產生等。

尤其，關於卡止部，即便於由高密度聚乙烯或低密度聚乙烯或者聚丙烯樹脂等比較具有黏性之材質構成之光罩盒中，亦存在為了防止與光罩基板之接觸部分處之微粒之產生而於卡止具中具有特徵的光罩盒。

例如，作為光罩盒之卡止具即光罩支撐體，存在日本專利特開2001-301877所示之構成者。

該作為卡止具之光罩支撐體係必要數量之保持枝部自本體及蓋體之內表面突出而以該部分載置光罩基板者，關於該保持枝部，揭示有於幹部具備具有傾斜平面之台板部之保持枝部或於幹部具有帽子部之保持枝部。

或者，作為用以防止與光罩基板之接觸並防止光罩基板之收納時之偏移的構成，有日本專利特開2003-222992或日本專利特開2005-321529。

日本專利特開2003-222892之構成係如下之光罩盒：關於該卡止具，使用具有傾斜面之卡止具，本體之開口部方向之卡止具係以使傾斜面朝向盒中心部逐漸變低之方式配設，內部方向之卡止具係以使傾斜面朝向盒開口部方向逐漸變低之方式配設，進而蓋體之開口部方向之卡止具係以使傾斜面朝向盒內部方向逐漸變低之方式而配設，蓋體之內部方向之卡止具係以使傾斜面朝向盒中央部逐漸變低之方式配設，且於關閉蓋體時自上下方向並且自前後左右方向按壓光罩之稜線部分。

又，日本專利特開2005-321529中所示之構成係包含如下之光罩盒之具有卡止具之光罩盒：於光罩基板之各角部方向上，用以分別於一個角部附近朝兩個方向載置或按壓光罩基板之進行卡止之卡止具，並且該卡止具分別具有適合於光罩基板之稜線面之傾斜面。

[專利文獻1]日本專利特開2001-301877

[專利文獻2]日本專利特開2003-222992

[專利文獻3]日本專利特開2005-321529

首先，藉由以聚碳酸酯為主體之樹脂而利用碳賦予導電性之導電性樹脂於阻止有害氣體之產生及耐長時間之使用這一點上非常有用，相反地導電體積電阻率會因碳之混入比率而產生變動，且素材本身之脆性亦會產生變動。

因此，要求使用具有最適當之導電體積電阻率之聚碳酸酯樹脂。

尤其，至少為因含有碳而表現出作為素材之脆性者，且必需防止卡止光罩基板之卡止具之破損、或防止卡止具與光罩基板之接觸部分之微粒之產生、以及極力消除由此所引起之光罩盒內之光罩基板之偏移等。

於此情形時，關於日本專利特開2001-301877中，將與光罩之接觸部分設為帽子部或具有傾斜平面之台板部而極力減小接觸面，但至少在該部分與光罩之面接觸，而不可避免該部分之污染或損傷。

尤其，有如下之可能性：成為利用帽子部之支撐或利用具有傾斜平面之台板部之自四方之支撐，因搬運時等之衝擊而使內部之光罩搖晃，從而自保持枝部偏移，帽子部之接觸面擴大並且與各部分接觸，因該部分摩擦且被削去而產生塵埃。

尤其，特別之應抑制之力係由蓋體之封鎖力所產生的力，而非緊密地固定地抑制者。

因此，光罩基板之偏移等一定會產生。

其次，日本專利特開2003-222992與其不同，其係利用具有傾斜面之卡止具自上下方向朝前後左右方按壓光罩之稜線部分之構成，故為不接觸光罩之表面部分者，由於自上下方向朝前後左右方向按壓，因此不易因搬運時等之衝擊而使內部之光罩搖晃，進而即便產生偏移，亦不會因與光罩之稜線部分之接觸部分偏移而與光罩之面接觸。

其係於搬運時等一定會產生若干偏移者，且為無法否定伴隨該偏移而於光罩之稜線部分產生粉塵之可能性者。

關於日本專利特開2005-321529，其包含具有於一個角部附近自兩個方向進行卡止之卡止具，並且該卡止具分別具有適合於光罩基板之稜線面之傾斜面的構成，於包含高密度聚乙烯或低密度聚乙烯或者聚丙烯樹脂等比較具有黏性之材質之光罩盒之情形時，可恰當地按壓並且以極細微之偏移等位準防止微粒等之產生，但相反地若為具有既硬又脆之性質之碳混入之聚碳酸酯樹脂素材，則有可能產生微粒等。

進而，於該構成中存在傾斜面上具有薄壁厚部之撓曲部之構成，雖然亦可謀求偏移之防止，但於該構成中亦殘留若干之偏移之可能性。

因此，關於可防止有害氣體之產生，且具有可防止帶電之適當之導電體積電阻率，且耐長時間之使用，與使用包含更高品質之素材之聚碳酸酯樹脂之光罩盒之光罩基板接觸的光罩卡止具，期望提供一種防止該光罩基板之偏移並且可防止粉塵之產生之光罩盒之光罩卡止具。

如上所述，作為最適當之光罩盒，具體而言作為光罩盒之光罩卡止具，技術方案1之發明係包含至少混入有碳且具有10之3次方至10次方Ω左右之導電體積電阻之樹脂的光罩盒之光罩卡止具；且該卡止具包含於光罩盒之內面之四角之各角部方向上載置應收納之光罩之四角之卡止具，該卡止具自其卡止具基體經由彎曲臂而具有枝部，於該枝部之上表面方向具有突起部與設置於該突起部之一面之傾斜面，藉由以傾斜面與載置之光罩之稜線接觸而將光罩載置於枝部上，且藉由該彎曲臂，朝下方向撓曲而具有彈力地保持光罩。

藉由如此構成而可解決上述問題。

或者，亦可如技術方案2之發明般使用如下之光罩盒之光罩卡止具：彎曲臂之前端具有朝2個方向上張開90度之枝部，於各枝部之上表面方向具有突起部、及設置於該突起部之一面上之傾斜面，且藉由各個傾斜面分別與設置於夾著載置之光罩之一角之兩邊的稜線接觸而將光罩載置於該枝部上。

於此情形時，亦可如技術方案3之發明般使用如下之光罩盒之光罩卡止具：於彎曲臂之下面具有止動銷，當彎曲臂已撓曲時，藉由該止動銷之前端接觸光罩盒之底面部或卡止具基體底部，而阻止彎曲臂之進一步之撓曲。

代替該方案，亦可為如技術方案4之發明般於彎曲臂之橫方向上突出形成止動銷，當彎曲臂已撓曲時，藉由該止動銷之突出部分接觸光罩盒之卡止具基體，而阻止彎曲臂之進一步之撓曲的光罩盒之光罩卡止具。

進而，可如技術方案5之發明般至少混入有碳之樹脂係以聚碳酸酯為主體之樹脂，亦可如技術方案6之發明般至少混入有碳之樹脂係以ABS樹脂為主體之樹脂，且亦可如技術方案7之發明般使用以丙烯樹脂為主體之樹脂作為至少混入有碳之樹脂。

除該等以外，亦可如技術方案8之發明般使用以氟樹脂、聚苯醚樹脂、環烯烴聚合物樹脂之任一者為主體之樹脂作為至少混入有碳之樹脂。

進而，亦可如技術方案9之發明般使用以聚對苯二甲酸乙二脂樹脂、聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂之任一者為主體之樹脂。

於該等情形時，關於應混入至該等樹脂中之碳，亦可為如技術方案10之發明般使用碳纖維者。

因如以上般構成，故可防止自光罩盒及光罩盒之光罩卡止具之有害氣體之產生。

因此，可防止光罩本身之變質或光罩護膜等變質，且可謀求光罩基板之防護。

進而，其係具有可防止帶電之適當之導電體積電阻率者，而成為不僅可防止微粒之產生或附著，亦可防止存在於空氣中之各種粉塵類等之附著者。

又，其係混入碳材料者，且係可提高強度或耐久性、具有長時間之耐久性者。

尤其，於使用此種素材之情形時強度增加而變得牢固，但相反地會變脆，且藉由與光罩基板之接觸而可能導致微粒之產生。

因此，伴隨於此以彎曲臂構成光罩卡止具而可具有彈力性地載置，且藉由彎曲臂之撓曲而控制光罩之微動以緊密地保持，並且能夠以突起之傾斜面與光罩稜線緊密地接觸而加以保持。

藉此，可防止由光罩所引起之對於光罩卡止具之劃傷，並可防止微粒之產生。

進而，若載置或拆除光罩時之彎曲臂之撓曲達到一定以上之撓曲，則會產生斷裂或折斷，但藉由止動銷可防止一定以上之撓曲，從而可防止彎曲臂部之破損。

藉由本發明而可發揮如上所述之各種有用之效果。

圖1係表示本發明之光罩盒之光罩之卡止具之一例者，其係於可經由鉸鏈3而使大致四角形狀之本體1與蓋部2開閉之光罩盒之本體內部之各角部方向分別具有卡止具4者。

即，卡止具4包含於光罩盒之四角之各角部方向上載置應收納之光罩之四角之光罩卡止具。

圖式中，光罩之四角載置於光罩卡止具上。

因此，為了於光罩基板之處理上，不接觸端面以外之面，而將收納於光罩盒內之光罩特別按壓於四角上。

進而，就阻止有害氣體之產生及維持合理之導電體積電阻率等方面而言，該光罩卡止具4包含以聚碳酸酯為主體之碳混入樹脂。

再者，容器本體1與蓋體2等亦係包含碳混入之聚碳酸酯樹脂者。

藉此，可防止由帶電所引起之塵埃之附著，亦排除極少之塵埃等之附著等。

相反地，因碳混入之聚碳酸酯樹脂較脆，故卡止具必需採用特殊構成。

即，即便在與硬質之光罩之接觸或收納時之盒之搬運或處理時產生極小之震動或搖晃等，在光罩與接觸其之卡止具之間，卡止具亦會受到摩擦而導致微粒之產生等，必需防止搖晃或震動。

因此，期望可具有彈力地緊密保持。

就此方面而言，本發明之卡止具4係具有具備該等要求之特殊構成者。

又，不限於聚碳酸酯，亦可為由包含可謀求阻止有害氣體之產生及維持合理之導電體積電阻率等方面之碳混入樹脂的素材所構成者。

圖2係該卡止具4之放大圖，其具有自卡止具基體40經由彎曲臂41朝兩個方向張開90度之枝部42。

進而，於其上表面方向具有朝張開90度之枝部42之內側方向具有傾斜面44之突起部43。

又，雖未對彎曲臂41與枝部42之根部部分進行圖示，但於下方方向上具有止動銷45，且具有突起部43之枝部42可藉由彎曲臂41朝下方向撓曲。

因此，藉由彎曲臂41，枝部42至少朝下方方向移動，進而，藉由止動銷45而控制作為一定程度以上之下沉之一定程度以上之朝下方方向的移動。

藉由如此構成，當將光罩收納於光罩盒內時，光罩之四角載置於該卡止具4之枝部42上，並於該枝部42之突起43之傾斜面44與光罩之稜線接觸之狀態下藉由卡止具而進行卡止。

於此情形時，藉由彎曲臂41而具有彈力地保持，並且於已關閉盒之蓋2之情形時，蓋體2之卡止具自上表面按壓光罩，而可具有彈力地保持光罩。

尤其，因藉由卡止具4而將光罩緊密地保持，故不會產生光罩於容器內之震動或搖晃，且可防止在與卡止具之間產生摩擦等。

藉此可排除微粒之產生。

於先前之光罩盒中，亦具有橡膠等之彈性構件彈力，進行彈壓而保持，但應按壓之寬度較少。

於此情形時，尤其於卡止具4並非聚碳酸酯樹脂，而是先前之高密度聚乙烯、或低密度聚乙烯、或聚丙烯樹脂等之情形時，因樹脂本身具有黏性或強度，故微粒之產生等亦可藉由搬運或少許之衝擊等而大致得到抑制。

然而，因卡止具於使用聚碳酸酯樹脂時為既硬且脆之性質，故即便恰當地受到抑制，於該先前之卡止具中仍會產生微粒。

PE(polyethylene，聚乙烯樹脂)、PP(polypropylene，聚丙烯樹脂)等當然有產生極少之有害氣體之虞。

鑒於此點，可藉由彎曲臂41而謀求彈力之提高，並且藉由朝2個方向設置之突起部43之傾斜面44而防止光罩之偏移或震動。

圖3係圖2所示之卡止具之剖面圖，表示止動銷45之狀態之一例、及該卡止具4之枝部42之突起部43之傾斜面44與光罩之稜線接觸之狀態的一例。

如本圖般，當將光罩收納於光罩盒中時為，將光罩之四角載置於卡止具4之枝部42之突起部43之傾斜面44上而收納光罩的狀態，且藉由彎曲臂41而具有彈力地予以支撐。

進而，藉由止動銷45而防止必要程度以上之下沉，從而防止彎曲臂41之破損。

再者，本圖所示之構成係表示於枝部42上具有止動銷45之構成，但亦可代替該構成，而為自下方方向之例如底部或容器底面朝枝部底面方向突出形成止動銷，並藉由止動銷控制枝部之下沉之構成。

例如止動銷之上部與枝部之底部通常具有一定間隔而分離構成，但亦可為枝部因彎曲臂41之撓曲而下沉，藉此該枝部之底部接觸止動銷之上部而防止進一步之下沉。

或者，可為自其他部位朝枝部或彎曲臂等具有止動銷之構成，或亦可為自枝部或彎曲臂等朝其他方向具有止動銷之構成。

於任一情形時，只要是如下之構成即可：雖然枝部42因彎曲臂41之撓曲而下沉，但藉由該止動銷46而控制一定程度以上之下沉，藉此可防止包含聚碳酸酯樹脂等之彎曲臂等之破損，或控制超過必要程度之上下移動而防止光罩本身與其他部位之不必要的接觸或振動。

再者，46係具有用以將本卡止具嵌嵌合安裝於光罩盒本體上所設置之突起之孔的部分。

又，為了至少避免與光罩之接觸，該部分之上部係以位於較低之位置之方式構成。

圖4係圖2所示之卡止具4之前視圖，於基體40之中央部經由彎曲臂41而具有枝部42，該枝部42以大致90度分成兩股，且分別具備具有傾斜面44之突起部43。

再者，之前以枝部42被分成兩股且分別具有突起部43之構成進行了說明，但並不限定於此，亦可為如下之構成：不將連接於一個彎曲臂41之前端部即枝部分成兩股等而於其處具備具有傾斜面44之突起部43，該傾斜面44係以大致90度相向之傾斜面，且係具有與光罩之角部之兩側部分之各2邊的稜線部平行地構成之傾斜面。

或者，亦可為分成兩股以上，並至少具有對應於光罩之角部之兩側部分之各2邊之稜線部的突起部與傾斜面者。

圖5係表示其他止動銷之例之圖。

該構成具有自作為連接於彎曲臂41之前端部之一例而表示的枝部42之兩側方向突出形成之止動銷45，並且該止動銷45具有達到卡止具基體40為止之程度之長度，通常在止動銷45與基體40之間具有一定之間隔，但當前端部例如枝部42下沉一定程度時，止動銷45會接觸基體40，而控制進一步之下沉。

再者，亦可為如下之構成：自基體40朝作為連接於彎曲臂41之前端部之枝部42方向突出形成止動銷45，通常在止動銷45與枝部之間具有一定之間隔，但當前端部例如枝部下沉一定程度時，藉由自該基體40突出形成之止動銷45而控制進一步之下沉。

圖6係圖5所示之卡止具4之側視圖，表示止動銷45之狀態之一例、及該卡止具4之枝部42之突起部43之傾斜面44與光罩之稜線接觸之狀態的另一例。

與上述相同，本圖之情形亦為將光罩收納於光罩盒中時將光罩之四角載置於卡止具4之枝部42之突起部43的傾斜面44上而收納之狀態，且藉由彎曲臂41而具有彈力地支撐。

本圖所示之構成成為止動銷45朝枝部之側面方向突出形成，且該止動銷45對應於彎曲臂41之撓曲而朝下方方向撓曲者。

於此情形時，藉由以鏈線表示之基體40之上部側面接觸止動銷45，藉此可控制進一步之下沉。

藉由以上之構成，防止彎曲臂41之必要程度以上之下沉，從而防止其破損。

藉由如以上所示般構成，可構成使用以聚碳酸酯為主體而利用碳賦予導電性之樹脂的光罩盒、或者使用以與其相似之樹脂為主體而利用碳賦予導電性之樹脂之光罩盒，尤其，即便將以該等樹脂為主體之導電性樹脂用於卡止具，亦不會產生破損且可穩定地保持光罩。

於此情形時，尤其關於混入有碳之該等樹脂之導電體積電阻率，針對迄今為止之超過10之10次方Ω之電阻值較高之透明導電樹脂，藉由碳混入而使電阻值少於10之10次方，且藉由具有10之3次方至10次方Ω之導電體積電阻率之碳混入樹脂而提高導電性能，藉此變成黑色而可防止帶電等。

又，可防止有害氣體等之產生。

然而，碳之混入越多，變得越脆弱。

因此，為了獲得最適合之導電性，最佳為具有10之3次方至10次方Ω左右之導電體積電阻率。

若如此構成，則碳之混入率雖然亦根據該碳之質量而不同，但大約需要10%左右之混入。

因此，較理想的是使用該以具有10之3次方至10次方Ω左右之導電體積電阻率之聚碳酸酯為主體的碳混入樹脂，但材質之脆性會顯現。

因此，為了應對此種脆性，最佳為上述之構成，藉此可安全地使用。

再者，使用藉由以聚碳酸酯為主體之樹脂而利用碳之導電性樹脂，此種樹脂係混入有碳或碳纖維等導電材料之樹脂，聚碳酸酯樹脂或ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene，丙烯腈-丁二烯-苯乙烯)樹脂等較符合。

作為主體樹脂，聚碳酸酯樹脂較符合，除此以外，亦可為略有ABS樹脂或PFTE(Polytetrafluoroethylene，聚四氟乙烯)(氟樹脂)之混入品。

然而，擔心會產生極少之有害氣體。

此外，當然亦可為使用丙烯酸系樹脂者。

或者，亦可為以ABS樹脂為主體樹脂而混入有碳或碳纖維等導電材料之樹脂。

又，代替聚碳酸酯，亦可為PPO(Polyphenylene oxide)/PPE(Polyphenylene ether)(聚苯醚樹脂)或COP樹脂(Cycloolefin polymer，環烯烴聚合物樹脂)、PET(Polyethylene terephthalate，聚對苯二甲酸乙二脂樹脂)等。

進而，並不限定於該等，根據需要亦可為於有害氣體之產生較少之PE(聚乙烯)或PP(聚丙烯)等多用之樹脂中混入碳或碳纖維等導電材料而成之樹脂。

如以上般，最佳為使用有害氣體之產生較少，而且導電性較高之材料。

當然，亦可為使用原本添加有添加劑之樹脂材料者。

1．．．光罩盒本體

2．．．光罩盒蓋體

3．．．鉸鏈部

4．．．卡止具

40．．．卡止具基體

41．．．彎曲臂

42．．．枝部

43．．．突起部

44．．．傾斜面

45．．．止動銷

圖1係表示使用本發明之卡止具之光罩盒之一例的圖。

圖2係表示本發明之卡止具之另一例的圖。

圖3係圖2所示之卡止具之剖面圖。

圖4係圖2所示之卡止具之前視圖。

圖5係表示本發明之卡止具之另一例的圖。

圖6係圖5所示之卡止具之側視圖。

1．．．光罩盒本體

2．．．光罩盒蓋體

3．．．鉸鏈部

4．．．卡止具

Claims (5)

1. 一種光罩盒之光罩卡止具，其特徵在於：其係包含至少混入有碳且具有10之3次方至10次方Ω左右之導電體積電阻之樹脂的光罩盒之光罩卡止具(4)；且該卡止具(4)包含於光罩盒之內面之四角之各角部方向上載置應收納之光罩之四角之卡止具(4)，該卡止具(4)自其卡止具基體(40)經由彎曲臂(41)而具有枝部(42)，於該枝部(42)之上表面方向具有突起部(43)與設置於該突起部(43)之一面之傾斜面(44)，藉由以傾斜面(44)與載置之光罩之稜線接觸而將光罩載置於枝部(42)上，藉由該彎曲臂(41)，朝下方向撓曲而具有彈力地保持光罩。
2. 如請求項1之光罩盒之光罩卡止具，其中於彎曲臂(41)上具有止動銷(45)，當彎曲臂(41)撓曲時，藉由該止動銷(45)接觸光罩盒，而阻止彎曲臂(41)之進一步之撓曲。
3. 如請求項1之光罩盒之光罩卡止具，其中彎曲臂(41)之前端具有朝2個方向上張開90度之枝部(42)，於各枝部(42)之上表面方向具有突起部(43)、及設置於該突起部(43)之一面上之傾斜面(44)，且藉由各個傾斜面(44)分別與設置於夾著載置之光罩之一角之兩邊的稜線接觸，而將光罩載置於該枝部(42)上。
4. 如請求項1之光罩盒之光罩卡止具，其中至少混入有碳之樹脂係以聚碳酸酯為主體之樹脂。
5. 如請求項1之光罩盒之光罩卡止具，其中至少混入有碳之樹脂係ABS樹脂或以PE、PP為主體之樹脂。