KR100339768B1 - 디바이스를제조할때원판으로서사용되는레티클을수납하는레티클수납케이스및이를사용하는디바이스제조방법 - Google Patents

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Abstract

디바이스를 제조할 때 원판으로서 사용되는 레티클을 수납하는 레티클 수납 케이스는 상부 뚜껑 부재를 가지며, 상기 상부 뚜껑 부재의 적어도 일부를 메타크릴릭 수지를 사용한 투명한 도전성 재료로 형성된다.

Description

디바이스를 제조할 때 원판으로서 사용되는 레티클을 수납하는 레티클 수납 케이스 및 이를 사용하는 디바이스 제조 방법
<발명의 배경>
발명의 분야
본 발명은 LSI와 같은 반도체 소자 또는 액정 표시 소자를 제조하는데 사용되는 포토마스크, 레티클(reticle), 웨이퍼 또는 유리판 등과 같은 기판을 수납하기 위한 케이스에 관한 것이다.
종래의 기술
LSI와 같은 반도체 소자 또는 액정 표시 소자 등을 제조할 때, 원판(原版)으로서 사용되는 포토마스크 또는 레티클(이하, "레티클"로 총칭한다)은 매우 높은 레벨로 먼지 등의 이물질의 부착을 방지할 필요가 있기 때문에, 전용의 수납 케이 스내에 수납되어 보관된다. 레티클용 수납 케이스를 종래의 기술의 일례로 설명한다.
일본 특공평 1-36255호 공보 및 그에 대응하는 미국특허 제 4,422,547호, 또 는 일본 특공소 63-18734호 공보에 개시된 바와 같이, 이러한 종류의 종래의 수납 케이스는 전방면이 개방된 상자형 케이스와 상기 케이스에 피봇식으로 제공된 전방 뚜껑을 포함하며 상기 전방 뚜껑이 개방된 후에 상자형 케이스내에 레티클이 배치된다. 종래의 수납 케이스는 합성 수지 또는 표면 처리 금속으로 제조된다. 그러나, 대부분의 경우에 정전기가 케이스상에 대전(帶電)되는 것을 방지하는 것에 대해서는 고려되지 않고 있다. 대전 방지 수단을 고려한 경우에도, 이러한 수단은 단순히, 합성 수지내에 계면 활성제를 혼입하거나, 수납 케이스에 정전기 방지 효과를 제공하기 위하여 탄소 섬유나 탄소 파우더(탄소 입자)와 같은 도전성 물질과 합성 수지를 혼합함으로써, 합성 수지의 표층상에 연속적인 정전기 방지층이 형성 되도록 구성되거나, 수납 케이스의 표면을 정전기 방지 효과를 제공하는 물질로 도포하는 정도이다.
상술된 종래의 기술에 있어서, 수납 케이스는 정전기 방지 물질로 제조되어 있지 않다. LSI 등이 제조되는 크린 룸(clean room) 등의 저습도의 환경하에서 운반 또는 세정하기 위하여 수납 케이스를 취급할 때, 정전기 방지 수단을 구비하지 않은 포(cloth)나 장갑에 대해 수납 케이스가 마찰되면, 이러한 마찰에 의해 대전될 우려가 있다. 보관 셸(storing shell)이 대전되어 있으면, 수납 케이스와 보관 셀의 마찰에 의해 수납 케이스가 대전될 우려가 있다. 수납 케이스는 또한 다양한 다른 원인에 기인하여 대전될 우려가 있다.
수납 케이스가 대전됨에 따라, 수납 케이스내에 저장된 레티클의 표면상에 정전기가 또한 발생되며, 레티클에 먼지가 부착될 우려가 있는 단점이 있다. 레티클상에 형성된 미세한 패턴은, 그 위에 대전된 정전기가 너무 많을 때 파괴될 우려가 있다.
종래의 기술에서 수납 케이스에 정전기 방지 효과를 제공하기 위해 수납 케이스를 형성하는 합성 수지에 계면 활성제를 혼입한 경우에, 계면 활성제의 정전기 방지 기능은 수납 케이스가 물로 세척되는 동안 계면 활성제가 갖는 친수기에 기인하여 저하된다. 탄소 섬유 또는 탄소 파우더(탄소 입자)와 같은 도전성 물질이 혼입되어 혼합되면, 상기 도전성 물질이 탈락될 가능성이 있으며, 따라서 먼지 발생 의 원인이 증가하는 단점이 있다. 즉, 수납 케이스내에서 레티클과 레티클 지지 부재가 서로 접촉하거나 수납 케이스내의 가동 부품들이 서로 마찰됨에 따라, 도전성 물질은 그것이 혼합되어 있는 합성 수지로부터 탈락되어 먼지로 된다. 이러한 먼지는 수납 케이스내의 레티클에 부착될 우려가 있다.
합성 수지가 탄소계 또는 금속계의 도전성 물질과 혼합되면, 합성 수지는 투명하지 않게 된다. 따라서, 수납 케이스내의 레티클이 케이스 외부로부터 시각적으로 관찰될 수 없는 단점이 있다. 통상의 수납 케이스는 전방 뚜껑 뿐만 아니라 개방될 수 있는 상부 뚜껑을 가진다. 수납 케이스가 불투명한 경우에, 레티클상의 문자 등을 확인하기 위하여 상부 뚜껑이 개방되어야만 한다. 이러한 개방 작업은 비효율적이며, 케이스내의 레티클에 먼지가 부착될 우려가 있는 문제를 야기시킨다.
발명의 요약
본 발명의 목적은, 본래의 기능인 방진성을 손실하지 않으며, 또한 임의의 새로운 먼지 발생 원인을 발생시키지 않고, 디바이스를 제조할 때 원판으로서 사용되는 레티클을 수납하는 수납 케이스의 일부 또는 전체에 정전기 방지 효과를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 수납 케이스 내의 레티클을 외부에서 관찰할 수 있도록 하는 것이다.
본 발명에 따르면, 디바이스를 제조할 때 원판으로서 사용되는 레티클을 수납하는 레티클 수납 케이스가 제공되며, 상기 레티클 수납 케이스는 상부 뚜껑 부재를 가지며, 상기 상부 뚜껑 부재의 적어도 일부를 메타크릴릭 수지를 사용한 투명한 도전성 재료로 형성된다.
상자형 케이스의 상부면은 투명한 도전성 물질로 제조되는 것이 적합하다.
도전성 공중합체가 내부에 형성되어 있는 합성 수지에는 플루오르가 혼입되 는 것이 적합하다.
본 발명에 따르면, 개방된 전방면을 갖는 상자형 케이스의 소정 부분 또는 전방 뚜껑이 제조되는 합성 수지는, 저분자형이며 합성 수지와 융화되지 않는 계면 활성제 또는 도전성 섬유나 파우더를 포함하지 않는다. 그러나, 합성 수지는 고분자형이며 합성 수지와 융화되는 공중합체로 형성되므로, 합성 수지 자체는 정전기 방지 효과를 갖는다. 따라서, 도전성 물질의 탈락에 기인하여 발생될 수 있는 먼지가 발생되지 않으므로, 합성 수지가 대전되는 것을 방지한다.
상자형 케이스의 상부판이 투명한 도전성 합성 수지로 제조되면, 케이스의 상부판은 도전성을 갖게 되고, 케이스내의 레티클 또는 웨이퍼의 상태를 상부판을 통하여 쉽게 시각적으로 관찰할 수 있다.
도전성 공중합체가 내부에 형성된 합성 수지를 포함하는 재료에 플루오르가 혼입된 경우에, 내마모성이 향상되기 때문에, 레티클 등이 상기 재료와 접촉하여 서로 마찰될지라도, 먼지가 거의 발생되지 않는다.
적합한 실시예의 상세한 설명
본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예는 본 발명이 적용되는 레티클을 수납하기 위한 소위 카세트형 케이스이다.
제 1 도에는, 수납 케이스의 상부 뚜껑(4)이 개방된 상태로 도시되어 있다. 대체로 U 형인 측면 부재(2)가 직사각형 금속 바닥판(1)상에 고정 장착되어 있다. 상부판 또는 뚜껑(4)은 힌지(3)에 의해 측면 부재(2)의 후방부에 피봇식으로 장착되어 있고, 전방 뚜껑(6)은 힌지(5)에 의해 상부 뚜껑(4)의 전방면에 피봇식으로 장착되어 있다. 측면 부재(2)는 도전성 접착재에 의한 접착 또는 나사 등에 의한 고정에 의해 금속 바닥판(1)에 연결되어 있다.
측면 부재(2)는 배면부(2c)와, 그 대응하는 단부가 배면부를 사이에 두는 한쌍의 레티클 지지부(2a, 2b)를 포함하며, 상기 레티클 지지부(2a, 2b)는 배면부(2c)와 일체로 형성되어 있다. 제 1 도의 좌측 레티클 지지부(2a)의 내측에는 깊은 홈(groove)(2d)이 형성되어 있다. 돌기부(2f)가 홈(2d)의 종방향 중심부에 형성되어 있다. 상부 뚜껑(4)이 밀착되는 얕은 단차부(2h)가 홈(2d)을 둘러싸도록 형성되어 있다. 한 쌍의 기다란 핀형 스토퍼(9A, 12A)가 돌기부(2f)에 대해 홈(2d)의 내측부상에 일체로 형성되어 있으며, 또한 한 쌍의 짧은 레티클 지지핀(10A, 11A)이 스토퍼(9A, 12A) 사이에 일체로 형성되어 있다. 바닥판(1), 측면 부재(2) 및 힌지(3)는 개방된 전방면을 가지는 케이스를 구성한다.
또한, 우측 레티클 지지부(2b)는 깊은 홈(2e), 돌기부(2g) 및, 상부 뚜껑(4)이 밀착되는 얕은 단차부(2i)를 구비한다. 깊은 홈(2e), 돌기부(2g) 및 얕은 단차부(2i)는 좌측 레티클 지지부(2a)의 대응부와 대칭적으로 배치되어 있다. 스토퍼(9B, 12B)는 돌기부(2g)에 대해 홈(2e)의 내측상에 일체로 형성되고, 레티클 지지핀(10B, 11B)은 스토퍼(9B, 12B) 사이에 일체로 형성되어 있다. 제 1 도에는스토퍼(9B)만 도시되어 있다.
가이드부(7A, 7B)는 레티클 지지부(2a, 2b)의 외부면상에 일체로 형성되어 있다. 상부 뚜껑이 단차부(2h, 2i)와 밀착된 상태로 고정 스프링(8A, 8B)이 가이드부(7A, 7B)내에 삽입되어, 고정 스프링(8A, 8B)이 상부 뚜껑(4)을 하방으로, 즉 측면 부재(2)를 향해 압박하여 상부 뚜껑(4)을 측면 부재(2)에 고정시킨다. 제 2 도는 상부 뚜껑(4)이 측면 부재(2)에 대해 압박되는 상태를 도시하는 평면도이다. 제 2 도에 도시된 바와 같이, 상부 뚜껑(4)은 고정 스프링(8A, 8B)의 원호부에 의해 압박되어 고정된다. 반면에, 힌지(3) 둘레로 상부 뚜껑(4)을 회전시켜 개방시키기 위해서는, 고정 스프링(8A, 8B)을 가이드부(7A, 7B)로부터 단순히 분리하면 된다. 가이드부(7A, 7B)는 수납 케이스를 보관 셸로 반입하거나 보관 셸로부터 반출시킬 때 가이드로서 사용된다. 고정 스프링(8A, 8B)은 피아노선과 같은 금속 와이어를 굴곡하여 형성된다.
제 1 도를 재차 참조하면, 서로 일체적으로 형성된 베어링부(13A, 14A)가 상부 뚜껑(4)의 저면의 좌측의 중앙부에 제공되어 있다. 레티클 홀더(15A)가 베어링부(13A, 13B) 사이에 회전 가능하게 제공되어 있다. 레티클 홀더(15A)는 기다란 고정부(15Aa) 및, 상기 고정부(15Aa)로부터 90°비틀려 일체로 형성된 작은 스프링 결합부(15Ab)를 포함한다. 힌지(3)의 측부에 있는 상부 뚜껑(4)의 저면의 부분에 형성된 스프링 걸기부(17A)는 인장 코일 스프링(16A)에 의해 스프링 결합부(15Ab)에 연결되어 있다. 전방 뚜껑(6)의 내부면상에 일체로 형성된 스프링 걸기부(19A)는 인장 코일 스프링(18A)에 의해 스프링 결합부(15Ab)에 연결되어 있다.
상부 뚜껑(4)의 저면의 우측에는, 베어링부(13B, 14B) 및 상기 베어링부(13B, 14B)사이에 배치된 회전 가능한 레티클 홀더(15B)가 일체로 형성되며, 상부 뚜껑(4)의 저면의 좌측에 제공된 대응 부품들과 대칭적으로 배치되어 있다. 상부 뚜껑(4)의 저면상에 형성된 스프링 걸기부(17B) 및 레티클 홀더(15B)는 인장 코일 스프링(18B)에 의해 서로 연결되어 있다. 전방 뚜껑(6)이 힌지(5)를 중심으로 방향(θ2)의 한 방향으로 회전되어 개방되면, 레티클 홀더(15A, 15B)는 인장 코일 스프링(16A, 16B, 18A, 18B)의 작용에 의해 회전되고, 고정부(15Aa, 15Ba)는 상부 뚜껑(4)과 대체로 평행하게 된다. 한편, 전방 뚜껑(6)이 방향(θ2)의 다른 방향으로 회전되어 폐쇄되면, 레티클 홀더(15A, 15B)의 고정부(15Aa, 15Ba)는 상부 뚜껑(4)과 수직이 되도록 회전된다. 따라서, 수납 케이스내의 레티클은 고정부(15Aa, 15Ba)에 의해 고정될 수 있다.
제 1 도에 도시된 수납 케이스에 정전기 방지 효과를 제공하기 위하여 하기에 설명하는 재료가 사용된다. 금속 바닥판(1)은 표면 경도를 증가시키고 도전성을 제공하도록 니켈 도금된 알루미늄 기판을 포함한다. 알루미늄으로 제조된 기판상에 금속을 도금하는 대신에, 알루미늄 기판을 단순히 양극 산화 처리할 수도 있다. 바닥판(1)은 얇은 전체 수납 케이스의 강도를 증가시키기 위하여 금속으로 제조된다. 중량 제한을 받지 않는다면, 표면 처리되지 않은 스테인레스강이 바닥판(1)의 재료로서 사용될 수도 있다. 두께 제한을 받지 않는다면, 바닥판(1)은 측면 부재(2)와 일체로 합성 수지로 성형될 수도 있다.
측면 부재(2)와 레티클 홀더(15A, 15B)는, 정전기 방지 효과를 제공하도록폴리에테르 및 폴리아미드의 블록 공중합체가 그 안에 형성된 스티렌 변성 PPE(폴리페닐렌에테르)의 합성 수지로 제조된다. 베이스를 형성하는 합성 수지로서는, 폴리카보네이트 등이 변성 PPE 대신에 사용될 수 있다. 블록 공중합체는 도전성을 가지는 고분자 중합체이다. 이것은 합성 수지와 융화되며 계면 활성제와 같은 저분자 중합체 보다 내용제성이 높다. 본 실시예의 측면 부재(2)는 경량이며 소정의 정도의 도전성을 가지며, 따라서 정전기 방지 효과를 가진다. 도전성 공중합체가 합성 수지내에 형성되기 때문에, 도전성 공중합체는 레티클이 측면 부재(2)와 접촉하거나, 측면 부재(2) 및/또는 레티클 홀더(15A, 15B)가 서로 마찰될지라도 탈락되어 먼지가 되지 않는다.
일반적으로, 동적 상태에서 대전 방지가 가능한 재료의 표면 고유 저항치 [Ω]의 상한치는, 통상 1010내지 1012 Ω정도이며, IC, LSI 등을 포장하기 위한 정전기 방지 효과가 부여된 포장 재료의 표면 고유 저항치는 108내지 109 Ω정도이다. 본 실시예에서 폴리에테르 및 폴리아미드의 블록 공중합체가 내부에 형성된 변성 PPE 로 제조된 측면 부재(2)의 표면 고유 저항치는 109 Ω정도이고, 따라서 충분한 정전기 효과를 갖는다. 측면 부재(2)가 습도 35% 의 매우 건조한 분위기에서 23℃ 의 온도로 설치된 상태에서 실행된 실험에서, 표면 고유 저항치는 1010 Ω정도였고 충분한 정전기 방지 효과가 얻어졌다. 이와 반대로, 종래의 방법으로 합성 수지에 저분자 계면 활성제를 혼입함으로써 형성된 재료는 습도 35% 에서 극단적으로 높은표면 고유 저항치를 가지며 정전기 방지 효과가 거의 없다는 것이 공지되어 있다. 따라서, 본 실시예의 재료로 제조된 측면 부재(2)는 매우 건조한 분위기에서 충분한 정전기 방지 효과를 제공한다.
측면 부재(2) 및 레티클 홀더(15A, 15B)의 내마모성 및 활주성(sliding property)을 높이기 위해 변성 PPE 등의 베이스를 갖는 합성 수지에 플루오르가 혼입될 수도 있다.
정전기 방지 효과와 투명성을 얻기 위하여, 상부 뚜껑(4)의 재료는 PMMA(메타크릴릭 수지)를 주성분으로 포함하는 수지이다. 이러한 수지는 고무형 내부 구조를 가지는 부분을 포함하며, 수분을 흡수 및 유지한다. 상기 수지는 투명하지만, 수분을 함유하기 때문에 도전성을 갖는다. 구체적으로, 이러한 재료로 제조된 상부 뚜껑(4)의 표면 고유 저항치는 1011내지 1012 Ω정도이므로, 충분한 정전기 방지 효과를 제공한다.
전방 뚜껑(6)은, 상부 뚜껑(4)의 재료와 마찬가지로 고무형 내부 구조를 가지며 수분을 흡수 및 유지하는 PMMA를 주성분으로 포함하는 수지 또는, 측면 부재(2)의 재료인 변성 PPE 내에 도전성 공중합체를 형성한 수지로 제조될 수 있다. 그러나, 수납 케이스내의 레티클 및 펠리클(하기에 설명됨)을 전방면으로부터 시각적으로 관찰할 수 있는 것이 요구되면, 전방 뚜껑(6)은 상부 뚜껑(4)과 동일한 투명한 수지로 제조될 수도 있다. 본 발명에 따른 수납 케이스와 정전기 효과를 가지지 않는 수납 케이스를 구별하기 위하여, 전방 뚜껑(6)이 성형될 때 본 발명의전방 뚜껑(6)의 외부면상에 오목부 또는 돌출부를 포함하는 마크(24)가 형성된다(제 2 도 참조).
전체 수납 케이스{즉, 바닥판(1), 측면 부재(2), 상부 뚜껑(4) 및 전방 뚜껑(6)}가 도전성 공중합체로 형성된 변성 PPE 베이스를 포함하는 수지로 제조될 수도 있다. 케이스내의 레티클을 시각적으로 관찰하기 위하여 투명창이 케이스의 부분{예를 들면, 상부 뚜껑(4)의 부분}에 형성될 수도 있다. PMMA를 주성분으로 포함하며 고무형 내부 구조를 가지는 수지가 투명창의 재료로 사용될 수 있다. 보관 셸상에서 미끄럼 운동하는 부분{예를 들면, 측면 부재(2)상에 형성된 가이드부(7A, 7B)}만이 도전성 공중합체로 형성된 변성 PPE 베이스를 포함하는 수지로 제조될 수도 있다. 또한, 오퍼레이터 또는 유지 장치에 의해 고정되는 부분도, 도전성 공중합체로 형성된 변성 PPE 베이스를 포함하는 수지로 제조될 수도 있다.
수납 케이스내에 레티클을 수납하는 작동 방법에 대해 설명한다. 제 3 도에 도시된 바와 같이, 레티클 운반용 아암(23)상에 장착된 레티클(R)이 수납 케이스의 전방면으로 이동된다. 먼지와 같은 이물질 부착 방지용의 매우 얇은막(이하, "펠리클"이라 칭함)이 직사각형 프레임(20)에 의해 레티클(R)의 유리 기판의 상부면에 배치된다. 다른 펠리클(도시 안됨)은 다른 직사각형 프레임(22)에 의해 레티클(R)의 유리 기판의 저면(패턴 형성면)에 배치된다. 본 실시예의 수납 케이스는 통상의 레티클 뿐만 아니라 양면상에 펠리클이 형성된 레티클(R)을 보관할 수 있다.
제 4A 도 및 제 4B 도는 측면 부재(2)의 A-A 선을 따라 취한 단면도이다. 제 4A 도에 도시된 바와 같이, 펠리클이 부착된 레티클(R)은, 전방 뚜껑(6)이 개방된상태에서 전방면으로부터 수납 케이스내로 도입한다. 레티클 홀더(15A)는 전방 뚜껑(6)에 연결된 인장 코일 스프링(18A)과 상부 뚜껑(4)에 연결된 인장 코일 스프링(16A)에 의해 회전되며, 고정부(15Aa)는 상부 뚜껑(4)과 대체로 평행하게 위치된다. 따라서, 레티클(R)은 바닥판(1), 측면 부재(2) 및 상부 뚜껑(4)에 의해 한정된 공간내로 도입될 수 있다.
그 후, 제 4B 도에 도시된 바와 같이, 레티클(R)의 유리 기판은 그 저면이 두 개의 레티클 지지핀(10A, 11A)과 접촉하도록 배치된다. 레티클(R)의 유리 기판은 또한, 제 4B 도의 지면(紙面) 상부에 배치된 두 개의 레티클 지지핀(10B, 11B)(제 1 도 참조)상에 배치된다. 전방 뚜껑(6)이 개방되면, 레티클 홀더(15A)의 고정부(15Aa) 및 레티클 홀더(15B)(제 1 도)의 고정부는 레티클(R)의 유리 기판의 상부면에 대해 압박되며, 레티클(R)이 측면 부재(2)상에 안정되게 고정된다. 스토퍼(9A, 11A)가 레티클 지지핀(10A, 11A)을 지나는 부분에 형성되어 있으며, 돌기부(2f, 2g)가 레티클 지지핀(10A, 11A)의 외측에 형성되어 있다. 따라서, 레티클(R)은 수납 케이스내에 수납되는 레티클(R)의 운반 중에 크게 벗어나지 않게 되며, 레티클(R)상에 배치된 펠리클 및 펠리클 지지용 직사각형 프레임 등이 손상을 입지 않는다.
제 4B 도에 도시된 바와 같이, 전방 뚜껑(6)은 인장 코일 스프링(18A)에 의해 바닥판(1)의 전방 단부면과 측면 부재(2)의 전방 단부면에 대해 압박된다. 따라서, 수납 케이스는 양호하게 밀폐되며, 운반 중에, 수납 케이스내에 수납된 레티 클(R)에 먼지와 같은 이물질이 부착되지 않는다.
본 실시예에 있어서, 본 발명은 레티클 수납 케이스에 적용되지만, 본 발명은 레티클 패턴이 전사되는 웨이퍼, 유리 기판등을 수납하는 케이스에 적용될 수 있다. 이와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 제한되지 않고 본 발명의 범위내에서 다양하게 변형될 수 있다.
본 발명에 있어서, 수납 케이스의 소정의 부분의 재료는 도전성 섬유 및 도 전성 입자가 혼합된 합성 수지가 아니라, 양호한 도전성을 가지며 합성 수지와 융화되는 고분자 공중합체로 형성된 합성 수지이다. 따라서, 수납 케이스의 일부 또 는 전체가 본래의 기능인 방진성을 손실하지 않고, 또한 종래의 기술에서 혼입된 물질의 탈락에 기인하는 먼지의 발생 없이 정전기 효과를 제공하는 장점이 있다. 그 결과, 수납 케이스내에 수납되는 레티클, 웨이퍼 등이 대전되는 것이 방지되며, 대전에 기인한 먼지의 부착 및 패턴의 정전 파괴에 기인한 LSI의 결함 발생등이 방지된다. 또한, 정전기 방지 효과는 매우 건조한 분위기에서도 거의 저하되지 않는다.
상자형 케이스의 상부 표면이 투명한 도전성 재료로 제조되면, 케이스내의 레티클 또는 웨이퍼의 상태가 방진성의 손실 없이 케이스의 외부로부터 시각적으로 관찰될 수 있다. 전방 뚜껑 등을 개방하지 않고 케이스 내부의 상태를 확인할 수 있기 때문에, 먼지 등의 이물질이 외부 분위기로부터 케이스내로 들어가지 않는다. 플루오르가 정전기 방지 효과를 지닌 합성 수지에 혼입된 경우에, 내마모성 및 활주성이 개선되고, 레티클 등이 수납 케이스와 접촉될 때 먼지가 거의 발생되지 않는 장점이 있다.
제 1 도는 상부 뚜껑이 개방된 레티클 수납 케이스의 한 실시예를 도시한 사시도.
제 2 도는 상부 뚜껑이 폐쇄된 제 1 도의 수납 케이스의 평면도.
제 3 도는 수납 케이스에 수납되는 펠리클 부착 레티클이 전달되는 상태를 도시한 부분 절단 사시도.
제 4A 도는 제 2 도의 A-A 선을 따라 취한 전방 뚜껑이 개방된 수납 케이스의 단면도.
제 4B 도는 제 2 도의 A-A 선을 따라 취한 전방 뚜껑이 개방되고 케이스내에 레티클이 수납된 수납 케이스의 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 바닥판 2 : 측면 부재
3, 5 : 힌지 4 : 상부 뚜껑
6 : 전방 뚜껑 7A, 7B : 가이드부
8A, 8B : 고정 스프링 9A, 9B : 스토퍼
10A, 11A : 레티클 지지핀 15A, 15B : 레티클 홀더

Claims (6)

  1. 디바이스를 제조할 때 원판으로서 사용되는 레티클을 수납하는 레티클 수납 케이스에 있어서,
    상기 레티클 수납 케이스는 상부 뚜껑 부재를 가지며, 상기 상부 뚜껑 부재의 적어도 일부를 메타크릴릭 수지를 사용한 투명한 도전성 재료로 형성한 것을 특징으로 하는 레티클 수납 케이스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 레티클 수납 케이스의 상기 상부 뚜껑 부재 이외의 복수의 부재를 가지며, 상기 복수의 부재의 적어도 일부는, 도전성 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 레티클 수납 케이스.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 레티클에는 웨이퍼상에 전사되는 패턴이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 레티클 수납 케이스.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 레티클은, 펠리클이 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 레티클 수납 케이스.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 뚜껑 부재는, 상기 메타크릴릭 수지를 주성분으로 하여 내부를 고무 형상 구조로 한 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 수납 케이스.
  6. 제 1 항에 따른 레티클 수납 케이스를 사용하는 디바이스 제조 방법.
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