CN106338884B - 一种光罩检查机及其检查方法 - Google Patents

一种光罩检查机及其检查方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106338884B
CN106338884B CN201610742586.8A CN201610742586A CN106338884B CN 106338884 B CN106338884 B CN 106338884B CN 201610742586 A CN201610742586 A CN 201610742586A CN 106338884 B CN106338884 B CN 106338884B
Authority
CN
China
Prior art keywords
clamping
photomask
frame
rack
inspection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610742586.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106338884A (zh
Inventor
张贺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201610742586.8A priority Critical patent/CN106338884B/zh
Publication of CN106338884A publication Critical patent/CN106338884A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106338884B publication Critical patent/CN106338884B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
    • G03F1/84—Inspecting
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Abstract

本发明公开了一种光罩检查机，包括：承载机构、搬运机构和设置在检查位置的旋转机构，旋转机构包括机架、可旋转地设于机架上的框体的旋转架以及设于旋转架上靠近机架的相对两边上设置的多对第一夹持组件，第一夹持组件可朝向对侧的机架移动。本发明还公开了一种光罩检查机的检查方法。在将光罩搬运至检查位置后，第一夹爪可以透过承载机构夹持在光罩靠近机架的两个相对侧面，光罩的承载机构可以自由取出而不影响检查，第一夹爪的实际夹持位置可调，可以用于检查多种规格的光罩且光罩不会发生滑动；而且在光罩的另两个侧面还设置有用于在承载机构退出后对光罩进行夹持的第二夹持组件，进一步保证了光罩的夹持可靠性，很好地保护了光罩不受损伤。

Description

一种光罩检查机及其检查方法
技术领域
本发明涉及光罩检查技术领域，尤其涉及一种光罩检查机及其检查方法。
背景技术
光罩检查机，英文名Mask Cleaner，该设备可以夹持光罩，用强光灯检查光罩上的微粒(Particle)，同时，用气枪进行清洁，防止微粒存在造成光罩损伤(Mask Defect)。
光罩正面和背面都需要进行微粒清洁，则要求设备能力清洁范围越大越好；此外，生产条件对光罩洁净度及品质要求非常高，不允许出现任何擦痕和损伤，否则该光罩将无法使用，直接影响整个工厂的生产。
目前业内传统的光罩检查机大致有两类：一类承载光罩直上直下式，该类设备占地面积小，放置光罩检查机的房间利用率高，但该类设备仅能在水平方向检查光罩，清洁范围有限，且操作人员容易碰触到光罩，损伤光罩风险大；另一类光罩检查机带有翻转机构，可近360度翻转，与前一类相比，人员操作更方便，且清洁范围更广。但由于需要翻转，该类光罩检查机要求夹爪夹持光罩时不能有任何损伤光罩侧面、正面和背面的风险。
通常，光罩检查机利用旋转机构上相对两侧伸出的夹爪夹持光罩，光罩随旋转机构的旋转而旋转。然而，在实际生产中，光罩有许多不同规格，当光罩尺寸稍微改小后，原来的光罩检查机中，用于夹持光罩的两对夹爪与光罩之间的间隙增大，原有光罩检查机的夹爪则无法很好地应用于新的光罩检测，夹爪夹持效果不佳，极易造成光罩翻转过程中的滑动而造成光罩损伤而报废。
发明内容
鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种光罩检查机及其检查方法，可以很好地避免光罩滑动而损伤。
为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：
一种光罩检查机，包括：
承载机构，包括用于承载光罩的承载框；
搬运机构，用于将所述承载机构搬运至检查位置；
旋转机构，设置在检查位置，包括机架、可旋转地设于所述机架上的框体的旋转架以及设于所述旋转架相对的边上的夹持组件，所述夹持组件包括所述旋转架上靠近所述机架的相对两边上设置的多对第一夹持组件，所述第一夹持组件可朝向对侧的所述机架移动。
作为其中一种实施方式，所述第一夹持组件包括第一气缸和第一夹爪，所述第一气缸固定在所述旋转架上，所述第一夹爪固定在所述第一气缸的活塞杆上。
作为其中一种实施方式，所述第一夹爪设于所述旋转架围成的空间内侧。
作为其中一种实施方式，所述第一夹爪包括第一夹块和第一弹性块，所述第一夹块上开设有第一缺口，所述第一弹性块嵌设于所述第一缺口内且夹持面沉于所述第一缺口内。
作为其中一种实施方式，所述第一缺口的开口处倒角设置形成斜面，所述倒角延伸至接触所述第一弹性块。
作为其中一种实施方式，所述夹持组件还包括第二夹持组件，多对所述第二夹持组件设置在所述旋转架上与所述第一夹持组件不同的另一对边上，且所述第二夹持组件的夹持长度可变。
作为其中一种实施方式，所述第二夹持组件包括第二气缸和第二夹爪，所述第二气缸固定在所述旋转架上，所述第二夹爪固定在所述第二气缸的活塞杆上。
作为其中一种实施方式，所述第二夹爪包括第二夹块和第二弹性块，所述第二夹块上开设有第二缺口，所述第二缺口两侧的端面的凸出长度不同，所述第二弹性块嵌设于所述第二缺口内，且所述第二弹性块的夹持面介于所述第二缺口两侧的两个端面之间，且所述第二缺口两侧较短的端面更远离所述旋转架。
作为其中一种实施方式，所述旋转架上设有凹陷部，所述第二夹持组件设于所述凹陷部内。
本发明的另一目的在于提供一种光罩检查机的检查方法，包括：
移动承载机构至检查位置下方；
提升承载机构至机架内；
启动第一夹持组件，第一夹爪夹持在光罩靠近机架的两个相对侧面；
降低承载机构高度，将承载机构移出检查位置；
启动第二夹持组件，第二夹爪夹持在光罩的另两侧；
旋转机架，检查光罩的清洁度。
本发明的光罩检查机在将光罩搬运至检查位置后，第一夹爪可以透过承载机构夹持在光罩靠近机架的两个相对侧面，光罩的承载机构可以自由取出而不影响检查，第一夹爪的实际夹持位置可调，可以用于检查多种规格的光罩且光罩不会发生滑动；而且在光罩的另两个侧面还设置有用于在承载机构退出后对光罩进行夹持的第二夹持组件，进一步保证了光罩的夹持可靠性，很好地保护了光罩不受损伤。
附图说明
图1为本发明实施例的光罩检查机的结构示意图。
图2为本发明实施例的光罩检查机的承载机构的结构示意图。
图3为本发明实施例的光罩检查机初始状态的俯视结构示意图。
图4为本发明实施例的光罩检查机的第一夹爪的结构示意图。
图5为本发明实施例的光罩检查机的第二夹爪的结构示意图。
图6为本发明实施例的光罩检查机的使用状态的局部结构示意图。
图7为本发明实施例的光罩检查机的检查过程示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
参阅图1，本发明的光罩检查机，包括：承载机构10、搬运机构20和旋转机构30，其中，承载机构10包括用于承载光罩1的承载框11；搬运机构20用于将承载机构10搬运至检查位置；旋转机构30设置在检查位置，包括机架31、可旋转地设于机架31上的框体的旋转架32以及设于旋转架32相对的边上的夹持组件40，夹持组件40包括旋转架32上靠近机架31的相对两边上设置的多对第一夹持组件41，第一夹持组件41可朝向对侧的机架31移动，即第一夹持组件41的实际夹持长度可调，用于夹持在光罩1靠近机架31的侧面，使得夹持组件40可适用于不同规格的光罩1。
如图2，为本发明的承载机构10，承载机构10包括承载框11和透明的翻盖12，承载框11的上与翻盖12安装边相邻的两条边内壁上凸设有弹性的光罩支撑块11a，光罩1放入后，该支撑块11a将光罩1托起，可以起到减震的作用，与普通的承载机构相比，翻盖式的操作更简便，光罩固定更好。
搬运机构20具有底部的滑动轨道(图未标)、在滑动轨道上水平移动的移动台和移动台上固定的纵移机构，优选纵移机构可以是固定在移动台上的气缸，而承载机构10固定在纵移机构的气缸自由端，滑动轨道延伸至检查位置；机架31具有两个间隔设置的纵梁，旋转架32的两边自中部由旋转轴连接并转动地固定在两个纵梁之间。
作为其中一种实施方式，第一夹持组件41包括第一气缸和第一夹爪410，第一气缸固定在旋转架32上，第一夹爪410固定在第一气缸的活塞杆上，第一夹爪410设于旋转架32围成的空间内侧，即第一夹爪410安装在旋转架32框体内侧，活动空间始终在旋转架32的框体内，用于自框体内侧伸长夹持光罩。
由于承载机构10为翻盖式，需要实现打开翻盖12，然后搬运机构20将承载机构10搬运至检查位置，结合图3所示，纵移机构顶起承载机构10，直至第一夹持组件41的第一夹爪410位于承载框11与旋转架32之间，此时，第一气缸工作而使第一夹爪410夹紧光罩1的相应两侧壁(如图3所示的左右两侧壁)。随后，纵移机构控制承载机构10下降，移出旋转架32。
如图4所示，第一夹爪410包括第一夹块411和第一弹性块412，第一夹块411上开设有第一缺口，第一弹性块412嵌设于第一缺口内且夹持面沉于第一缺口内。第一弹性块412为弹性比较好、阻尼系数大、不易打滑的材料，如硅胶、橡胶等，第一夹块411硬度较第一弹性块412大，且也具有一定弹性，如橡胶，即使意外接触光罩也不会造成划痕或损伤。
另外，第一缺口的开口处倒角设置形成斜面，倒角延伸至接触第一弹性块412。即使意外情况下光罩偏离第一弹性块412，该斜面也可以将其引导至滑入该第一缺口内，并且不会损伤光罩，可靠性好。
由于在夹持完成后，光罩即可随旋转架32旋转进行检查，在旋转过程中，在自重及向心力的作用下，光罩的夹紧效果可能会意外发生改变而发生松动，因此，为防止此意外发生，本实施例的夹持组件40还包括第二夹持组件42。
具体地，多对第二夹持组件42设置在旋转架32上与第一夹持组件41不同的另一对边上，且第二夹持组件42的夹持长度可变。
结合图5和图6所示，作为其中一种实施方式，第二夹持组件42包括第二气缸42a和第二夹爪420，第二气缸42a固定在旋转架32上，第二夹爪420固定在第二气缸42a的活塞杆上。优选地，第二夹爪420包括第二夹块421和第二弹性块422，第二夹块421上开设有第二缺口，第二缺口两侧的端面的凸出长度不同，第二弹性块422嵌设于第二缺口内，且第二弹性块422的夹持面介于第二缺口两侧的两个端面之间，且第二缺口两侧较短的端面更远离旋转架32。第二夹持组件42的夹持部与第一夹持组件41的夹持部朝向旋转架32的同一侧伸出。第二夹块421和第二弹性块422可以分别与第一夹块411和第一弹性块412的材料相同。
当纵移机构控制承载机构10下降，移出旋转架32后，第二气缸42a控制第二夹爪420伸出，对光罩1的另两侧壁进行夹紧(如图3所示的上下两侧壁)，这样，即使光罩1在旋转过程中也不会松脱或滑动，夹紧更可靠。值得注意的是，本实施例的第二夹爪420的第二缺口一侧较短的端面更远离旋转架32(即在初始状态下，第一夹爪410、第二夹爪420朝下凸出，第二缺口一侧较短的端面更朝下)，其相对于第二弹性块422内缩，使得第二弹性块422率先接触光罩1，而不会是第二夹爪420的端面先接触，最大程度低避免了任何划伤风险。
正是由于翻盖式承载机构10的翻盖连接侧与光罩1之间的距离d比承载机构10上与翻盖连接侧相邻的两侧面距离光罩1的距离D更小，承载框11两对边距承载光罩1的距离不同，且靠近机架31的两边与光罩1的距离大于另两边与光罩1的距离，导致翻盖连接侧与光罩1之间无法容纳夹爪，为克服这一难题，本实施例将第二气缸42a固定在旋转架32背部，初始状态下，第二气缸42a收缩，第二夹爪420并不伸出旋转架32，因此光罩可以自由升降。当承载机构10下降后，第二气缸42a工作，第二夹爪420才伸出。优选地，旋转架32上设有凹陷部320，第二夹持组件42设于凹陷部320内。
更加优选地，凹陷部320的深度不小于第二气缸42a，以保护第二气缸42a不收其他结构撞击。
如图7所示，本发明的另一目的在于提供一种光罩检查机的检查方法，包括：移动承载机构10至检查位置下方；提升承载机构10至机架31内；启动第一夹持组件41，第一夹爪410夹持在光罩1靠近机架31的两个相对侧面；
降低承载机构10高度，将承载机构10移出检查位置；启动第二夹持组件42，第二夹爪420夹持在光罩1的另两侧；旋转机架31，检查光罩1的清洁度。
由于光罩检查机在将光罩搬运至检查位置后，第一夹爪可以透过承载机构夹持在光罩靠近机架的两个相对侧面，光罩的承载机构可以自由取出而不影响检查，第一夹爪的实际夹持位置可调，可以用于检查多种规格的光罩且光罩不会发生滑动；而且在光罩的另两个侧面还设置有用于在承载机构退出后对光罩进行夹持的第二夹持组件，进一步保证了光罩的夹持可靠性，很好地保护了光罩不受损伤。
以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (7)

1.一种光罩检查机，其特征在于，包括：
承载机构（10），包括用于承载光罩（1）的承载框（11）；
搬运机构（20），用于将所述承载机构（10）搬运至检查位置；
旋转机构（30），设置在检查位置，包括机架（31）、可旋转地设于所述机架（31）上的框体的旋转架（32）以及设于所述旋转架（32）相对的边上的夹持组件（40），所述夹持组件（40）包括所述旋转架（32）上靠近所述机架（31）的相对两边上设置的多对第一夹持组件（41）和设置在所述旋转架（32）上与所述第一夹持组件（41）不同的另一对边上的多对第二夹持组件（42），所述第一夹持组件（41）可朝向对侧的所述机架（31）移动；
每对所述第二夹持组件（42）的夹持长度可变，所述第二夹持组件（42）包括第二气缸（42a）和第二夹爪（420），所述第二气缸（42a）固定在所述旋转架（32）上，所述第二夹爪（420）固定在所述第二气缸（42a）的活塞杆上；所述第二夹爪（420）包括第二夹块（421）和第二弹性块（422），所述第二夹块（421）上开设有第二缺口，所述第二缺口两侧的端面的凸出长度不同，所述第二弹性块（422）嵌设于所述第二缺口内，且所述第二弹性块（422）的夹持面介于所述第二缺口两侧的两个端面之间，且所述第二缺口两侧较短的端面更远离所述旋转架（32）。
2.根据权利要求1所述的光罩检查机，其特征在于，所述第一夹持组件（41）包括第一气缸和第一夹爪（410），所述第一气缸固定在所述旋转架（32）上，所述第一夹爪（410）固定在所述第一气缸的活塞杆上。
3.根据权利要求2所述的光罩检查机，其特征在于，所述第一夹爪（410）设于所述旋转架（32）围成的空间内侧。
4.根据权利要求3所述的光罩检查机，其特征在于，所述第一夹爪（410）包括第一夹块（411）和第一弹性块（412），所述第一夹块（411）上开设有第一缺口，所述第一弹性块（412）嵌设于所述第一缺口内且夹持面沉于所述第一缺口内。
5.根据权利要求4所述的光罩检查机，其特征在于，所述第一缺口的开口处倒角设置形成斜面，所述倒角延伸至接触所述第一弹性块（412）。
6.根据权利要求2-5任一所述的光罩检查机，其特征在于，所述旋转架（32）上设有凹陷部（320），所述第二夹持组件（42）设于所述凹陷部（320）内。
7.一种权利要求2-6任一所述的光罩检查机的检查方法，其特征在于，包括：
水平移动承载机构（10）至检查位置下方；
提升承载机构（10）至机架（31）内；
启动第一夹持组件（41），第一夹爪（410）夹持在光罩（1）靠近机架（31）的两个相对侧面；
降低承载机构（10）高度，将承载机构（10）移出检查位置；
启动第二夹持组件（42），第二夹爪（420）夹持在光罩（1）的另两侧；
旋转机架（31），检查光罩（1）的清洁度。
CN201610742586.8A 2016-08-26 2016-08-26 一种光罩检查机及其检查方法 Active CN106338884B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610742586.8A CN106338884B (zh) 2016-08-26 2016-08-26 一种光罩检查机及其检查方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610742586.8A CN106338884B (zh) 2016-08-26 2016-08-26 一种光罩检查机及其检查方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106338884A CN106338884A (zh) 2017-01-18
CN106338884B true CN106338884B (zh) 2020-01-17

Family

ID=57822610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610742586.8A Active CN106338884B (zh) 2016-08-26 2016-08-26 一种光罩检查机及其检查方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106338884B (zh)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102226867B (zh) * 2011-05-26 2012-08-29 常州瑞择微电子科技有限公司 光掩模冲洗的装卡装置
JP5843190B2 (ja) * 2011-06-29 2016-01-13 株式会社荒川樹脂 マスクケースのマスク係止具
CN203982079U (zh) * 2014-06-23 2014-12-03 上海飞为自动化系统有限公司 一种半自动及全自动曝光机的对位机构
CN105093820A (zh) * 2015-09-01 2015-11-25 武汉华星光电技术有限公司 光罩检查机和光罩检查方法
CN205594305U (zh) * 2016-05-10 2016-09-21 合肥京东方光电科技有限公司 一种掩膜版的固定装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN106338884A (zh) 2017-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104330417B (zh) 图像检测成像装置及图像检测设备
CN204241387U (zh) 图像检测成像装置及图像检测设备
CN104019758A (zh) 手机外壳翘曲变形自动检测系统及方法
KR101395219B1 (ko) 디스플레이 글라스 안착 모듈
CN115043215A (zh) 玻璃检测运载平台
CN106338884B (zh) 一种光罩检查机及其检查方法
CN104019961A (zh) 一种背光源检测设备
CN105823784A (zh) 卡钳内沟槽缺陷快速检测装置
KR101701213B1 (ko) 평탄도 검사장치
JP2019052914A (ja) 検査装置
CN107091844A (zh) 一种汽车钣金平面横向移动式检测机构
KR101730039B1 (ko) 평판디스플레이 패널 에지 검사장치 및 방법
KR100781605B1 (ko) 평판 디스플레이 패널 검사장치에 구비되는 패널 고정용클램프
CN212259469U (zh) 一种用于线路板的维修测试设备
CN108088857A (zh) 一种透光膜的检测方法
CN108002029B (zh) 一种面板移动装置
TWI518840B (zh) 吸著台
KR100834692B1 (ko) 불량 피시비 표시방법과 그 장치
TWI662287B (zh) 電路板測試系統及電路板測試方法
KR100810435B1 (ko) 웨이퍼 슬립 방지수단을 구비한 센터링 가이드
CN205157463U (zh) 避免铜屑造成误判的aoi检查仪
KR100456486B1 (ko) 유리기판의 에지검사용 기판고정장치
TWI567382B (zh) 光學檢測機
CN218974150U (zh) 上下分离式芯片测试工装
KR101428563B1 (ko) 셀 자투리 제거장치

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant