TWI518840B - 吸著台 - Google Patents

Description

吸著台

本發明係有關適用於液晶顯示板與有機發光板之類的顯示板之保持的吸著台。

在玻璃基板上形成電路之液晶顯示板之類的顯示板係例如在製造過程中使用探針台以接受電性檢査。在此試驗中，一般而言，於組裝在探針台之吸著台上，利用負壓將被檢查體之液晶顯示板予以保持。

為了從吸著台安全且迅速地移除接受檢査之被檢査體，吸著台上係設置有可從吸著面突出之複數個升降銷，以使被檢査體從其吸著面浮起(例如，參照專利文獻1)。

位於突出位置之升降銷係在吸著面的上方從搬運機器人接收被檢査體時，下降到吸著面下。透過此升降銷的下降，使得被檢査體移動到前述吸著面上時，利用組裝在吸著台之負壓機構使負壓作用在前述吸著面。在前述被檢査體接受檢査期間，該被檢查體藉由前述負壓而確實地被保持在前述吸著面。檢查後，隨著升降銷的上升，被檢査體從吸著面被舉起。透過前述升降銷而從吸著面被 舉起之前述被檢査體，不會受到作用在吸著面與被檢査體之間的靜電之強大影響，而藉由搬運機器人從吸著台移除。

但是，前述升降銷與被檢查體之接觸面積小，故隨著被檢査體之大型化所造成之重量增加，被檢査體在與升降銷之接觸部所受到之局部性的應力變大。包含如此的玻璃基板的被檢査體之局部性的應力之集中，係因對被檢査體造成大的扭曲力而希望可避免。

在此，已有一提案，其係由多數相互隔著間隔而平行配置之固定保持構件，以及在各固定構件間以可升降於該固定構件而配置的多數個帶狀的升降構件來構成吸著面，而朝該吸著面收授被檢查體時，使前述升降構件相對於前述固定保持構件降低。(例如，參照專利文獻2)。

依據專利文獻2所記載之裝置，前述升降構件係在其上升位置與前述固定保持構件共同構成平坦的吸著面。於吸著面與機器臂間收授被檢査體時，由於可將機器臂插入到透過多數個帶狀的前述升降構件下降所形成之空間，機器臂與吸著面不發生干涉，且相互平行配置之複數個固定保持構件係以寬廣的帶狀面積支撐被檢査體，故不會使強大之局部性應力作用在被檢查體，而可適當地處理被檢查體。

但是，在專利文獻2所記載之裝置中，使吸附保持被檢查體之負壓作用之吸著面係由多數個固定保持構件，以及各別在固定保持構件間可升降之升降構件所構成。因此，形成吸著面之支撐台的構成變得複雜化，並且 必須將同時使多數個升降構件升降之機構設置在支撐台的內部，因支撐台的構成變得複雜化，而有所謂的吸著裝置的構成變得複雜化且價格變高之缺點。

[先前技術文獻]

[專利文獻1]日本特開2002-246450號公報

[專利文獻2]日本特開2011-29565號公報

因此，本發明的目的係在提供一種吸著台，其係不引起構成的複雜化，且不使強大之局部性應力作用在被檢査體之顯示板，而使顯示板在其收授時可在吸著面上升降。

本發明係保持顯示板之吸著台，其包含：支撐台，其具有負壓開口敞開的吸著面；複數根升降桿，其橫跨前述吸著面而配置；複數個凹處，其係為了不使前述升降桿從前述吸著面突出而將之收容在前述支撐台內，且相互並行地設置在前述吸著面；支撐機構，其係在前述複數個凹處敞開之前述支撐台的側部，以可升降之方式將前述升降桿予以支撐；以及升降裝置，其係為了使前述升降桿在從前述凹處突出之上升位置以及收容在前述凹處的下降位置之間進行升降而與前述支撐機構連結設置。

本發明之前述吸著台中，在前述支撐台形成 有橫跨前述支撐台的前述吸著面之用以收容前述升降桿之前述凹處而。可收容在前述凹處之前述升降桿係藉由設置在前述支撐台的側部之前述支撐機構，而在收容於前述凹處的下降位置與從前述吸著面突出的上升位置之間進行升降。因此，不必如以往地將前述支撐台形成為多數個固定構件及可動構件的集合體，且為了前述顯示板對於前述吸著台的收授，以複數根前述升降桿使該顯示板可在前述吸著面上進行升降，故不會導致前述吸著台的構成之複雜化，且即使為大型的顯示板亦可防止強大的局部性應力作用在該顯示板。

可在前述支撐機構設置將作用於前述升降桿之衝擊予以緩和之衝擊緩和機構。藉由此衝擊緩和機構，例如在機器臂之間收授前述顯示板時，為了避免衝擊作用於顯示板，不必如以往地將機器臂的作動顯著地減速。因此，可不需機器臂之緩慢的動作，而可謀求減低產距時間。

前述衝擊緩和機構可由：支柱，由前述支撐台所支撐，且在頂部形成導溝，該導溝可於上下方向引導地接受前述升降桿；以及壓縮線圈彈簧，係配置在前述導溝的底部與前述升降桿之間所構成。

前述升降桿可設置調整螺釘，該調整螺釘係靠接於前述壓縮線圈彈簧的端部，用以調整該壓縮線圈彈簧的壓縮量。藉由利用此調整螺釘來調整壓縮量，而可按照所處理之前述顯示板的大小亦即重量的變化，適當調整該壓縮線圈彈簧的彈簧力，以使前述壓縮線圈彈簧的位移 量幾乎成為一定。

各支柱係可設置可調整該支柱的長度方向尺寸之高度調整機構。設置在各支柱之各高度調整機構係可按前述各升降桿而調整該升降桿的傾斜及高度位置。

前述支撐機構係可設置一對樑構件，該樑構件係在前述支撐台的兩側沿著該支撐台而配置。該一對樑構件係可移動於上下方向地由前述支撐台所支撐，透過前述升降裝置的作動而可移動於上下方向。此時，各樑構件可介由前述支柱而將對應之前述升降桿的端部予以支撐。

此外，前述樑構件與各支柱之間，係設置有用以調整該支柱的高度位置之前述高度調整機構。

各升降桿可形成肩部，該肩部係與該升降桿上之前述顯示板的邊緣靠接，以防止該顯示板脫落。透過此肩部的止擋功能，可確實防止前述顯示板從前述升降桿意外脫落。

再者，與前述肩部相關地，在前述升降桿的上面可設置切槽(Clearance groove)，該切槽係靠進前述肩部，用以防止因前述升降桿上之前述被檢查體的傾斜而引起該被檢查體的邊緣與前述上面之干涉。藉此，將前述被檢査體配置在前述升降桿上，或從該升降桿上移除時，前述被檢査體即使相對於前述升降桿傾斜，亦可防止該被檢査體的邊緣與前述升降桿的上面之靠接，故可防止因此靠接所引起之該被檢査體的損傷。

依據本發明，不必如以往以多數個固定構件及可動構件的集合體形成支撐台，而可將前述支撐台設為具有用以收容前述升降桿的前述凹處之一體的構成，且亦可利用設置在前述支撐台的側方之前述升降裝置使前述升降桿升降。因此，可提供比較廉價的吸著台，其不導致前述吸著台的構成之複雜化，即使為大型的顯示板，亦不局部性地使強大應力作用於該顯示板而可處理該顯示板。

10‧‧‧吸著台

12‧‧‧被檢査體(顯示板)

14‧‧‧搬運機器人

16‧‧‧底座

18‧‧‧可動台

20‧‧‧支柱

22‧‧‧軸構件

24‧‧‧機器臂

26‧‧‧支撐台

26a‧‧‧吸著面

28‧‧‧XYZ θ基座

30a‧‧‧細溝

30b‧‧‧負壓溝

32‧‧‧凹處

34‧‧‧升降桿

34a‧‧‧上面

34b‧‧‧肩部

36‧‧‧支撐機構

38‧‧‧升降裝置

38a‧‧‧汽缸本體

38b‧‧‧活塞桿

40‧‧‧樑構件

42‧‧‧導引裝置

44‧‧‧安裝板

46‧‧‧導軌

46a‧‧‧止擋器

48‧‧‧滑動構件

50‧‧‧支柱

52‧‧‧結合構件

54‧‧‧支柱

56‧‧‧衝擊緩和機構

58‧‧‧支柱的凹部

58b‧‧‧凹部的底壁

60‧‧‧插槽

62‧‧‧導銷

64‧‧‧壓縮線圈彈簧

66‧‧‧導銷

68‧‧‧固定螺釘構件(調整螺釘)

70‧‧‧切槽

72‧‧‧高度調整機構

74‧‧‧固定螺釘

76‧‧‧錨固構件

78‧‧‧結合件

80‧‧‧固定螺釘

82‧‧‧插槽

84‧‧‧螺釘孔

86‧‧‧螺釘台

86a‧‧‧螺釘孔

第1圖係將本發明的吸著台與搬運機器人一起顯表示之立體圖。

第2圖係第1圖所示之吸著台的俯視圖。

第3圖係第1圖所示之吸著台的側視圖。

第4圖係沿著第3圖所示之線Ⅳ-Ⅳ而得到之剖面圖。

第5圖係沿著第3圖所示之線V-V而得到之剖面圖。

第6圖係沿著第3圖所示之線Ⅵ-Ⅵ而得到之剖面圖。

第7圖係將第3圖中符號A所示之圓形記號所包圍的部分擴大顯示之圖。

第8圖係朝向第6圖所示之符號B所指示的箭頭符號方向看到之支柱的高度調整機構的前視圖。

第9圖(a)及第9圖(b)係第1圖所示之吸著台的前視圖，(a)係顯示升降桿於上升位置的狀態，(b)係顯示升降桿於下降位置的狀態。

本發明之吸著台10係如第1圖所示，組裝於用以檢查液晶板、有機發光板等之類的顯示板12之探針台(未圖示)來使用。第1圖係顯示在搬運機器人14之間收授被檢查體12之例子。

搬運機器人14係如以往為人所熟知地，具備：可動台18，其可將底座16上朝吸著台10及從吸著台10分離的方向移動；以及軸構件22，其係同軸地支撐於該可動台上設置之支柱20，並繞著軸線旋轉動作，且沿著前述軸線對支柱20進行伸縮動作。可進行此旋轉及伸縮動作之軸構件22係如以往被人所熟知地，固設有用以載置被檢查體12之叉狀的機器臂24。

搬運機器人14係例如從未圖示之卡匣將收容在該卡匣之顯示板，亦即被檢査體12收取到機器臂24上時，以使軸構件22伸展之狀態使機器臂24朝吸著台10上移動而使可動台18作動。之後，軸構件22進行收縮動作，將被檢査體12移動到吸著台10時，可動台18係進行作動，以於此收縮狀態下使機器人臂從吸著台10離開。

此外，吸著台10上的被檢査體12之電性或視覺上的檢査結束時，搬運機器人14在使軸構件22收縮之狀態下，以將機器臂24插入到吸著台10上的被檢查體之方式，使可動台18朝吸著台10進行作動。之後，藉由將軸構件22進行伸展動作，將吸著台上的被檢查體12移到機器臂24上時，搬運機器人14係在此伸展狀態下以機 器臂24從吸著台10離開之方式，使可動台18進行作動。透過此搬運機器人14的動作，將被檢查體12從吸著台10經由搬運機器人移到前述卡匣。

在與搬運機器人14之間收授被檢查體12之吸著台10係具備支撐台26，該支撐台26係具有吸著面26a。在第1圖所示之例中，吸著台10之支撐台26係載置在以往所熟知之XYZ θ基座28上。因此，支撐台26係可與以往相同地，可繞著垂直軸之Z軸旋轉，且可在與Z軸呈直角之XY面上，分別沿著X軸及Y軸移動。

吸著台10係在支撐台26的吸著面26a上保持來自搬運機器人14之被檢查體12。在第1圖及第2圖所示之例中，此吸著面26a係於XY面上具有長邊及短邊的矩形形狀。再者，如第2圖的明確顯示，吸著面26a上形成有沿著其長邊而延伸，且兩端開啟在支撐台的兩側之以往為人所熟知的複數個細溝30a，另外，在吸著面26a上形成有描繪矩形之負壓溝30b。

負壓溝30b係如以往所熟知，將被檢查體保持在吸著面26a時，從負壓源(未圖示)導入用以吸附該被檢查體之負壓。細溝30a係用以防止帶電之溝。細溝30a係使被檢查體12從吸著面26a離開時，如以往所熟知地，藉由將空氣導引到被檢查體12與吸著面26a之間，而弱化在兩者12、26a間產生之氣流，藉此，抑制因氣流而被導入到被檢查體12之靜電的產生。

並且，如第2圖所示，吸著面26a係形成有 沿著其長邊直線狀地延伸的複數個凹處32。如第3圖的明確顯表示，各凹處32係到達支撐台26的兩側，且在該兩側敞開。再者，對應各凹處32，設置有跨越吸著面26a其長邊方向之升降桿34。凹處32係具有可充分收容對應之升降桿34的寬度尺寸，且具有所收容的升降桿34的上面與吸著面一致的深度尺寸。

如第2圖及第3圖所示，於支撐台26的兩側分別配置有升降桿34的支撐機構36及升降裝置38。如第2圖及第3圖所示，支撐機構36係具備；樑構件40，在支撐台26的側方沿著該支撐台而幾乎水平地配置；以及複數個導引裝置42，將該樑構件40沿著Z軸導引於垂直方向(參照第3圖)。

如第4圖的明確顯示，各導引裝置42係具備：安裝板44，從支撐台26向下方延伸之方式固定在該支撐台；導軌46，安裝在該安裝板，延伸於垂直方向；以及滑動構件48，藉由導軌46而被導引在垂直方向。導軌46的兩端係設置有與滑動構件48靠接而限制該移動範圍之止擋器46a、46a。

因此，配置在支撐台26的兩側之一對樑構件40係藉由各導引裝置42而於支撐台26的兩側，並在兩止擋器46a、46a之間，以可朝垂直方向移動之方式被保持於支撐台26。

升降裝置38係為了使一對樑構件40在兩止擋器46a、46a間升降，而設置在支撐台26的兩側。第3 圖及第5圖所示之例中，升降裝置38係由具備汽缸本體38a與活塞桿38b之流體汽缸裝置38(以下亦有將升降裝置38稱為流體汽缸裝置38的情形)所構成，其中汽缸本體38a係介由安裝板50而固定在支撐台26，而活塞桿38b係從該汽缸本體突出。流體汽缸裝置38係利用空氣壓或油壓而作動。該流體汽缸裝置38係其軸線沿著垂直方向而配置，活塞桿38b的前端係固定在樑構件40上所固定之結合構件52。

因此，藉由使配置在支撐台26的兩側之一對流體汽缸裝置38同步作動，可使在支撐台26的兩側沿著該支撐台而配置之一對樑構件40同步升降。

如第3圖所示，前述支撐機構36更具備將各升降桿34結合在對應的樑構件40之支柱54。如第6圖及第7圖所示，各支柱54的上端部設置有衝擊緩和機構56，各升降桿34的端部介由各衝擊緩和機構56，彈性地結合在對應之支柱54的上端部。

各衝擊緩和機構56係具備：凹部58，係開啟在支柱54的上端，而鬆動地接收對應之樑構件40的端部；插槽60，係橫越樑構件40而形成，於略水平方向貫穿該升降桿34的端部；導銷62，係貫穿該插槽內，而兩端係由凹部58的垂直壁58a所支撐；以及壓縮線圈彈簧64，係配置在升降桿34的端部與凹部58的底壁58b之間。

壓縮線圈彈簧64的下端係由設置在凹部58的底壁58b之孔66所承接，而壓縮線圈彈簧64的上端係 靠接在有溝槽的固定螺釘構件68。固定螺釘構件68係在該升降桿34的端部從該升降桿34的上方螺合在升降桿34，且從升降桿34的下面使下端突出。壓縮線圈彈簧64藉由靠接在有溝槽的固定螺釘構件68的下端而定位在升降桿34與及底璧58b之間。此外插槽60係為了容許伴隨壓縮線圈彈簧64的壓縮變形之升降桿34的上下方向的移動，而於上下(Z軸)方向延伸。因此，利用壓縮線圈彈簧64的彈簧力，使得升降桿34的各端部係相對於朝重力方向作用之外力而被支柱54彈性支撐。

利用插槽60與承接於插槽之導銷62的抵觸來限制升降桿34與凹部58的底璧58b之間的距離，故透過來自固定螺釘構件68的上端的旋轉操作，可將壓縮線圈彈簧64予以壓縮，藉此，可調整壓縮線圈彈簧64的彈簧力。其結果，固定螺釘構件68具有調整壓縮線圈彈簧64的壓縮量之調整螺釘的功能。

再者，如第6圖所示，在各升降桿34的端部形成有肩部34b，該肩部34b係於被檢查體載置在升降桿34的上面時，靠接於該被檢查體的邊緣而防止被檢查體12超出升降桿34。並且，於接近升降桿的上面34a的肩部34b之區域，形成有凹狀的切槽70，該切槽70係用以防止因被檢查體於升降桿34上的傾斜而造成之被檢查體12的邊緣部靠接於升降桿34的上面34a。

各支柱54係隔著設置在其下部之高度調整機構72而由對應之樑構件40所支撐。如第6圖及第8圖所 示，各高度調整機構72具備：錨固構件76，係利用固定螺釘74而固定在各支柱54的下部；結合件78，係將該支撐台以可解除之方式結合在對應之樑構件40；以及有溝槽的固定螺釘80，係在結合件78放鬆之狀態下，用以調整錨固構件76相對於樑構件40的高度位置。

錨固構件76係為了容許結合件78的插通而形成有朝向樑構件40貫穿錨固構件76之一對插槽82。插槽82係如第6圖的明確顯示，為了將對應之結合件78於上下方向鬆動地承接，因而於上下方向伸展錨固構件76。貫穿各插槽82之結合件78係由前端螺合於樑構件40上形成的螺釘孔84之螺栓構件所構成。因此，在螺栓構件78(以下亦有將結合件78稱為螺栓構件78的情形)放鬆之狀態下，可在插槽82的上下方向的長度尺寸的範圍內，調整錨固構件76及下端固定在該支撐台之支柱54的高度位置。

為了使此錨固構件76的高度位置即支柱54的高度位置容易調整，固定螺釘80係上端可突出於固定在樑構件40之螺釘台86的螺釘孔86a而螺合。螺釘孔86a係於上下方向貫穿螺釘台86，從該螺釘孔突出之固定螺釘80的上端係靠接於錨固構件76的底面。

因此，如前述，在螺栓構件78放鬆之狀態下，藉由將固定螺釘80進行旋轉操作，可由該固定螺釘的上端例如將錨固構件76頂起，藉此，可在插槽82的長度範圍內，調整支柱54的高度位置。利用此固定螺釘80進行高 度調整後，利用螺栓構件78將錨固構件76鎖固在樑構件40，完成各支柱54的高度調整作業。

藉由此支柱54之高度位置的調整，可將端部支撐在各支柱54之升降桿34的傾斜與高度位置之參差不一予以修正，且可使升降桿34的上面34a跟與支撐台26的吸著面26a平行之虛擬平面一致。

前述錨固構件76與支柱54可一體地形成。再者，可不需高度調整機構72。

一對流體汽缸裝置38係進行同步作動，以使所有的升降桿34在如第9圖(a)所示地，所有的升降桿34從支撐台26的吸著台26a的凹處32突出而位於吸著台26a的上方之上升位置，以及如第9圖(b)所示地，升降桿34收容在凹處32且其上面34a位於吸著台26a以下的下降位置之間，同步地作動。

在第9圖(a)所示之上升位置，如前述，搬運機器人14的機器臂24上的被檢查體12係移動到升降桿34。此時，隨著搬運機器人14之軸構件22的收縮動作所造成之機器臂24的下降動作，按照被檢查體12的重量之衝擊係作用於升降桿34。但是，被檢查體12移到升降桿34時，藉由設置在各升降桿34與支柱54之間的衝擊緩和機構56的彈性支撐作用，使得被檢查體12不會受到衝擊。

此外，由於設置有衝擊緩和機構56，而不需將前述之機器臂24的下降動作如以往地予以減速，而可防止作用於被檢查體12之衝擊，故不需要機器臂24之緩慢 的動作，而可謀求產距時間的短縮化。

衝擊緩和機構56係如前述，藉由按照所處理之被檢查體12之重量的增減之固定螺釘構件68的旋轉操作，而可不受限於被檢查體12的重量之增減，將被檢查體12的重量所引起之壓縮線圈彈簧64的變形量幾乎保持一定。因此，藉由按照被檢查體12的重量之固定螺釘構件68的旋轉操作，而可利用衝擊緩和機構56有效地吸收衝擊。

被檢查體12從機器臂24移轉到各升降桿34時，該被檢查體即使相對於升降桿34的長邊方向產生傾斜，因在各升降桿34的兩端部，形成有靠近肩部34b的切槽70，故傾斜於被檢查體12下方的邊緣不會靠接於升降桿34的上面34a。藉此，被檢查體12不會受到因與升降桿34的靠接造成的損壞而移到該升降桿，而被移到升降桿34上之被檢查體12透過升降桿34的肩部34b，可確實防止從升降桿34脫落。

被檢查體12被移到升降桿34，且機器臂24從支撐台26上後退時，一對流體汽缸裝置38係同步進行收縮動作，藉此，升降桿34係保持在第9圖(b)所示之下降位置。

升降桿34移動到下降位置時，如前述，藉由作用於負壓溝30b之負壓，確實地將被檢查體12保持在支撐台26，且使被檢查體12接受預定的檢查。

被檢查體12的前述檢查結束時，藉由一對流 體汽缸裝置38的作動，使升降桿30b朝第9圖(a)所示之上升位置移動。伴隨此流體汽缸裝置38，支撐台26上之被檢查體12透過升降桿34而將從支撐台26的吸著面26a浮上時，如前述，藉由細溝30a的空氣導引作用，抑制在被檢查體12之靜電的產生。

位於上升位置之升降桿34上之檢査完的被檢查體12，係在搬運機器人14的機器臂24插入到升降桿34間之狀態下，藉由軸構件22進行伸展動作，而被移到機器臂24，之後藉由搬運機器人14送回到前述卡匣。

依據本發明之吸著台10，可將用以收容升降桿34之凹處32形成在支撐台26，且可利用設置在支撐台26的側向之升降裝置38使升降桿34升降。因此，可提供比較廉價的吸著台10，其不導致吸著台10的構成之複雜化，即使為大型的顯示板12，亦不會局部性地使強大應力作用於該顯示板而可處理該顯示板。

前述中，已顯示將凹處32平行地形成在吸著面26a的長邊之例子，但取而代之，亦可為以凹處32與吸著面的長邊呈預定角度延伸之方式，並行地形成複數個凹處32。

此外，可將此凹處32的深度尺寸設得比升降桿34的高度尺寸更大，且在升降桿34的下降位置，將該升降桿的上面設定在吸著面26a下。

升降裝置38可適當使用電動馬達及齒條與小齒輪或線性馬達等之種種升降裝置取代前述流體汽缸裝 置。

【產業上之利用可能性】

本發明不限定於上述實施例，只要不脫離該宗旨亦可作種種變更。

10‧‧‧吸著台

12‧‧‧被檢査體(顯示板)

14‧‧‧搬運機器人

16‧‧‧底座

18‧‧‧可動台

20‧‧‧支柱

22‧‧‧軸構件

24‧‧‧機器臂

26‧‧‧支撐台

26a‧‧‧吸著面

28‧‧‧XYZ θ基座

32‧‧‧凹處

34‧‧‧升降桿

36‧‧‧支撐機構

38‧‧‧升降裝置

Claims (9)

1. 一種吸著台，係保持顯示板，包含：支撐台，其具有負壓開口敞開的吸著面；複數根升降桿，其橫跨前述吸著面而配置；複數個凹處，其係為了不使前述升降桿從前述吸著面突出而將之收容在前述支撐台內，且相互並行地設置在前述吸著面；支撐機構，其係在前述複數個凹處敞開之前述支撐台的側部，以可升降之方式將前述升降桿予以支撐；以及升降裝置，其係為了使前述升降桿在從前述凹處突出之上升位置以及收容在前述凹處的下降位置之間進行升降而與前述支撐機構連結設置。
2. 如申請專利範圍第1項所述之吸著台，其中前述支撐機構設置有將作用於前述升降桿的衝擊予以緩和之衝擊緩和機構。
3. 如申請專利範圍第2項所述之吸著台，其中前述衝擊緩和機構具備：支柱，由前述支撐台所支撐，且在頂部形成凹部，該凹部可於上下方向導引地接受前述升降桿；以及壓縮線圈彈簧，係配置在前述凹部的底面與前述升降桿之間。
4. 如申請專利範圍第3項所述之吸著台，其中前述升降桿設置有調整螺釘，該調整螺釘係靠接於前述壓縮線圈彈簧的端部，用以調整該壓縮線圈彈簧的壓縮量。
5. 如申請專利範圍第3項所述之吸著台，其中各支柱設置有可調整其高度位置之高度調整機構。
6. 如申請專利範圍第3項所述之吸著台，其中前述支撐機構具備一對樑構件，該一對樑構件係在前述支撐台的兩側沿著支撐台而配置，並以可移動於上下方向之方式而由前述支撐台所支撐，且透過前述升降裝置的作動而可移動於上下方向，各樑構件介由前述支柱而將對應之前述升降桿的端部予以支撐。
7. 如申請專利範圍第6項所述之吸著台，其中前述樑構件與各支柱之間，係設置有用以調整該支柱的高度位置之高度調整機構。
8. 如申請專利範圍第1項所述之吸著台，其中各升降桿可形成肩部，該肩部係與該升降桿上的前述顯示板的邊緣靠接，以防止該顯示板脫落。
9. 如申請專利範圍第8項所述之吸著台，其中前述升降桿的上面係形成有切槽，該切槽係靠近前述肩部，用以防止因前述升降桿上之前述被檢查體的傾斜而引起之該被檢查體的邊緣與前述上面的干涉。