KR101141071B1 - 공기 부상 유리기판 이송 장치에 있어 유리 기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러 장치 - Google Patents

공기 부상 유리기판 이송 장치에 있어 유리 기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 LCD 또는 PDP 디스플레이 공정 분야에서 사용되는 유리기판의 패턴 및 이물질 등을 검사하는 장치에서, 유리기판의 양측 외곽부(side edge) 향상을 교정하기 위한유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러 검사장치에 관한 것으로, 상판의 길이방향 양측 모서리에 각각 장착된 복수의 상,하부 롤러들을 구비하고, 상기 상,하부 롤러들 사이로 유리기판의 양측 외곽부를 통과시켜서 그 형상을 평탄하게 교정하는 교정 수단을 포함하는 구성으로 이루어진다.
본 발명에 의하면 상,하부 롤러들을 포함하는 형상 교정 수단이 유리기판의 양측 외곽부(side edge)에서 상/하방측으로 휘어진 유리기판을 수평으로 교정하여 카메라 초점이 무너지는 형상을 방지함으로써 효과적으로 유리기판의 불량을 정확하게 검사할 수 있다. 뿐만 아니라, 본 발명에 의하면 교정 수단의 상,하부 롤러들을 통하여 유리기판의 양측 외곽부(side edge)에서 상/하방측으로 휘어진 유리기판을 수평으로 쉽게 교정할 수 있음으로써 고품질의 유리기판을 제작할 수 있는 우수한 효과를 얻을 수 있다.

Description

공기 부상 유리기판 이송 장치에 있어 유리 기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러 장치{IDLE ROLLER APPARATUS FOR IMPROVING FLATNESS ON THE SIDE EDGE OF GLASS SUBSTRATES}
본 발명은 LCD 또는 PDP 디스플레이 공정 분야에서 사용되는 유리기판의 표면상태를 검사하는 설비에 사용되는 공기 부상 유리기판 이송 장치의 보조 장치에 관한 것으로, 보다 상세히는 유리기판의 일방향 이동시키면서 표면상태 검사시 제품 생산 시 열과 압력에 기인한 양측 외곽부(side edge)에서 상/하방측으로 휘어짐으로 인해 검사 성능에 영향을 미치게 된다. 이러한 유리기판의 외곽부 형상을 수평하게 교정하여 표면상태를 정확하게 검사할 수 있도록 하는 아이들 롤러장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD나 PDP 등의 플랫 패널 디스플레이 유리기판을 제조하는 공정에서 기판의 표면상태를 검사하는 장치가 사용되고 있다.
이와 같은 유리기판 검사설비(1)의 일 례가 도 1 및 도 2에 도시되어 있다.
상기와 같은 유리기판 검사설비(1)는 상판(10)으로부터 유리기판(G)의 하면에 압착에어를 분사하여, 유리기판(G)을 상판(10) 위에 부상(浮上)시키게 된다.
이와 같은 유리기판 검사설비(1)는 공기(20)의 부상력을 이용하여 유리기판(G)을 부상시키고, 컨베이어(미 도시)를 이용하여 이송하는 것으로써 유리기판(G) 하부로부터 공기(20)를 분출함으로써 유리기판(G)의 표면을 손상시키지 않고 용이하게 반송할 수 있다.
또한, 여기에서, 공기(20) 분사에 의한 유리기판(G)의 부상높이(h)는, 예를 들면 200㎛정도이며, 유리기판 검사설비(1)에 마련된 카메라(30)를 통하여 유리기판(G)의 표면상태를 검사하게 된다.
그러나 이와 같은 유리기판은 제조 공정 중에 이송, 보관, 소성과정에서 변형이 발생하며, 특히 양측 외곽부(Ga) 부분의 변형이 극심하게 된다.
특히, 두께 500㎛의 유리기판(G)인 경우, 도 3에 도시된 바와 같이, 양측 외곽 모서리(Gb)로부터 10mm 내측 지점까지의 외곽부(Ga)는 그 변형량이 극심하여 검사 카메라(30)의 초점 범위를 크게 벗어나고, 그 결과 정확한 검사가 어려운 문제점을 갖는 것이었다.
즉, 이와 같은 유리기판 검사설비(1)에 구비된 검사 카메라(30)는 커메라 포커스 지점, 즉 상판(10)으로부터 대략 700㎛ 지점이 기준 심도가 되는데, 이와 같은 700㎛ 심도는 유리기판(G)의 두께 500㎛와, 유리기판(G)의 부상 높이 200㎛를 더하여 정해진 값이다.
또한 이와 같은 검사 카메라(30)는 기준 위치(Working Distacne)(h)로부터 상하로 일정 범위(초점 심도) 내에 위치해야만 정확한 검사를 할 수 있지만, 이를 넘어서는 유리기판(G)에 대해서는 카메라 초점이 일치하지 못하여 정확한 검사가 불가능한 것이다.
그러나, 두께 500㎛의 유리기판(G)인 경우, 양측 외곽 모서리(Gb)로부터 10mm 내측 지점까지의 외곽부(Ga)의 변형량은 보통 최대/최소 변화폭이 ±200㎛로서 최근과 같이 고배율 검사가 요구되는 경우, 검사 카메라의 초점 심도를 벗어나는 경우가 많은 것이다.
따라서 종래의 유리기판 검사설비(1)에서는 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)에서 카메라 초점을 잃게 되어 유리기판(G)을 정확하게 검사할 수 없고, 문제점을 갖는 것이었다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소시키기 위한 것으로서, 유리기판 제조 공정에 있어서 공기 부상에 의한 유리 기판의 이송 시 유리기판의 양측 외곽부(side edge)에서 상/하방측으로 휘어진 유리기판을 수평으로 교정하여 카메라 초점이 무너지는 형상을 방지하여 유리기판을 정확하게 검사할 수 있도록 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 유리기판의 표면상태를 검사하는 설비에 있어서, 유리기판을 공기 부상력에 의해서 들어서 입측으로부터 출측으로 이동시키는 상판; 상기 상판 위에서 유리기판의 불량을 검사하는 카메라; 및 상기 상판의 길이방향 양측 모서리에 각각 장착된 복수의 상,하부 롤러들을 구비하고, 상부롤러와 하부 롤러사이로 유리기판의 양측 외곽부를 통과시켜서 그 판형상을 평탄하게 교정하는 교정 수단;을 포함하고, 상기 카메라의 검사 초점 범위이내에 위치되도록 상기 유리기판의 양측 외곽부에서 발생하는 휨을 평탄하게 교정하는 것을 특징으로 하는 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치를 제공한다.
또한 본 발명은 바람직하게는 상기 교정 수단은 상기 상판의 측면에 고정된 장착판; 상기 장착판의 일측에 고정되어 높낮이 조절이 가능한 승강 스테이지; 상기 승강 스테이지에 의해서 하부 롤러들이 승하강이 가능하도록 상기 승강 스테이지의 상부측에 일체로 장착된 하부 롤러 장착부; 상기 하부 롤러 장착부의 상부측에서 하향으로 배치되어 상기 상부 롤러들이 하부 롤러들에 대해서 탄성적으로 승하강이 가능하도록 장착된 상부 롤러 장착부; 및 상기 하부 롤러 장착부의 하부 롤러측으로 진공압력을 형성시키고, 상기 유리기판을 하부 롤러측으로 진공 밀착시키는 진공 흡착부;를 포함하고, 상기 상,하부 롤러 장착부에 마련된 상,하부 롤러 사이로 유리기판의 양측 외곽부를 통과시켜서 형상을 교정하는 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치를 제공한다.
그리고 본 발명은 바람직하게는 상기 승강 스테이지는 장착판의 일측에 일체로 고정되는 고정대와, 상기 고정대에 대해서 상하로 슬라이딩이 가능하도록 장착된 승강대및, 상기 고정대에 대해서 승강대를 상하로 슬라이딩 동작시키는 조정 나사부를 포함하여 상기 조정 나사부를 통하여 상기 고정대에 대해서 승강대를 상하로 슬라이딩 위치이동시켜 조절할 수 있도록 구성된 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치를 제공한다.
또한 본 발명은 바람직하게는 상기 하부 롤러 장착부는 상기 승강 스테이지의 승강대 상부면에 푸셔 브라켓(pusher bracket)을 통하여 그 하부면이 일체로 연결된 하부 블럭을 구비하고, 상기 하부 블럭의 일측으로는 나란하게 한 쌍의 하부 롤러 스핀들이 수평으로 돌출하며, 상기 하부 롤러 스핀들에는 각각 하부 롤러들이 회전 가능하도록 장착된 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치를 제공한다.
그리고 본 발명은 바람직하게는 상기 상부 롤러 장착부는 상기 하부 롤러 장착부의 푸셔 브라켓에 연결대를 통하여 고정된 수평대로부터 하부측으로 연장된 한 쌍의 엘엠 가이드를 구비하고, 상기 엘엠 가이드에는 각각 스프링과 스프링 가이드들을 통하여 하향으로 탄력지지되면서 상하로 슬라이딩이 가능한 상부 블럭이 끼워지며, 상기 상부 블럭의 일측으로는 나란하게 한 쌍의 상부 롤러 스핀들이 수평으로 돌출되고, 상기 상부 롤러 스핀들에는 각각 상부 롤러들이 회전 가능하도록 장착되는 한편, 상기 각각의 엘엠 가이드 하단에는 엔드 캡들이 장착되어 상기 한 쌍의 상부 롤러들이 엘엠 가이드를 따라서 상하로 탄성적으로 위치조정이 가능하도록 구성된 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치를 제공한다.
또한 본 발명은 바람직하게는 상기 진공 흡착부는 상기 하부 롤러 장착부의 하부 블럭을 횡으로 관통하는 진공 흡입구를 구비하고, 상기 진공 흡입구에는 진공 흡입포트가 연결되어 상기 하부 롤러 장착부의 하부 롤러 주위에 진공 압력을 형성하고, 상기 하부 롤러측으로 유리기판의 양측 외곽부를 흡입시켜 밀착시키는 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치를 제공한다.
본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치에 의하면, 유리기판을 공기 부상 방식에 의해 이동 시키면서 표면상태를 카메라로 검사하는 장치에서 상판의 양측 모서리에 각각 장착된 복수의 상,하부 롤러들 사이로 유리기판의 양측 외곽부를 통과시키면서 유리기판의 양측 외곽부 형상을 카메라의 검사 초점 범위 이내로 형상 교정한다.
도 1은 종래의 기술에 따른 유리기판 검사설비를 도시한 외관 사시도이다.
도 2는 종래의 기술에 따른 유리기판 검사설비에서 유리기판이 공기에 의해서 부상하는 원리를 설명한 측면도이다.
도 3은 종래의 기술에 따른 유리기판 검사설비에서 유리기판의 외곽부 구조를 도시한 확대 사시도이다.
도 4는 종래의 기술에 따른 유리기판 검사설비에서 카메라가 정확한 형상 검사를 할 수 있는 적정 카메라 심도를 도시한 설명도이다.
도 5는 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치를 도시한 외관 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치에 적용된 유리기판의 외곽부 구조를 도시한 확대 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치에 구비된 교정 수단을 도시한 분해 조립도이다.
도 8은 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치에 구비된 교정 수단을 도시한 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치에 구비된 교정 수단을 도시한 정면도 및 측면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치에 구비된 상부 롤러 장착부를 도시한 분해 사시도이다.
도 11은 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치에 의해서 유리 기판의 형상이 교정되는 작동 상태를 도시한 단면도이다.
도 12a는 종래의 유리 기판 형상(평탄도)를 측정하여 도시한 그래프도이다.
도 12b는 본 발명을 적용한 후의 유리 기판 형상(평탄도)를 측정하여 도시한 그래프도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치(100)는 도 5에 전체적으로 도시된 바와 같이, 유리기판(G)의 표면상태를 카메라(30)로 검사하는 공기 부상 유리기판 이송 장치에서 상판(10)의 양측 모서리(12a,12b) 부분에 교정 수단(130)이 각각 장착된다.
이와 같이 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치(100)에 구비된 상판(10)은 기존의 구조와 같이, 유리기판(G)이 공기 부상력에 의해서 들려지고 입측으로부터 출측으로 이동시키는 구조이다.
또한 이와 같은 상판(10) 위에서 유리기판(G)의 불량을 검사하는 카메라(30)가 구비되어 있다. 이와 같은 카메라(30)는 도 5에서 설명의 간략화를 위하여 생략되었지만, 이는 도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상판(10) 위에서 횡방향으로 이동 가능하도록 구비되어 있다.
상기와 같은 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치(100)는 동일한 구조의 교정 수단(130)이 도 5에 도시된 바와 같이, 상판(10)의 양측 모서리(12a,12b) 부분에 각각 대향하여 장착된 것으로서, 이하에서는 설명의 간략화를 위하여 2 세트중 어느 하나에 대해서만 보다 상세히 설명하고, 다른 하나에 대해서는 도면상에서 간단하게 동일한 부호를 부여하여 표기하기로 한다.
본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치(100)는 도 6 및 도 7에 1세트가 도시된 바와 같이, 상기 상판(10)의 길이방향 양측 모서리(12a,12b)에 각각 장착된 복수의 상,하부 롤러들을 구비하고, 상기 상,하부 롤러들 사이로 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)를 통과시켜서 그 형상을 평탄하게 교정하는 교정 수단(130)을 구비하고 있다.
이와 같은 교정 수단(130)은 상기 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)를 상기 카메라(30)의 검사 초점 범위이내로 형상 교정하여 이송하기 위한 것으로서, 도 7 내지 도 9에 상세히 도시된 바와 같이, 상기 상판(10)의 측면에 고정되는 장착판(140)을 갖는다.
이와 같은 장착판(140)은 판형 구조로서 상판(10)의 측면에 볼트 등의 고정 수단(미 도시)을 통하여 일체로 고정된다.
그리고 이와 같은 상기 장착판(140)의 일측에는 높낮이 조절이 가능한 승강 스테이지(150)가 장착된다.
이와 같은 승강 스테이지(150)는 상기 장착판(140)의 일측에 일체로 고정되는 고정대(152)를 구비하고, 상기 고정대(152)에 대해서 상하로 슬라이딩이 가능하도록 맞물려서 장착된 승강대(154)를 구비한다.
이와 같은 고정대(152)와 승강대(154)는 서로 짝을 이루는 것으로서, 상기 고정대(152)에 대해서 승강대(154)의 상하이동이 가능하도록 서로 면접(面接)하고 있다.
또한 이와 같은 승강 스테이지(150)는 상기 고정대(152)에 대해서 승강대(154)를 상하로 슬라이딩 동작시키는 조정 나사부(156)를 포함하는데, 이와 같은 조정 나사부(156)는 작업자가 이를 통하여 상기 고정대(152)에 대해서 승강대(154)를 상하로 슬라이딩 위치이동시켜 조절할 수 있도록 구성된 것이다.
이와 같은 조정 나사부(156)는 내부에 스크류(미 도시)를 구비한 것으로서, 이러한 스크류의 회전을 통하여 작업자가 고정대(152)에 대해서 승강대(154)를 상하로 슬라이딩 동작시키고 원하는 위치에 고정시킬 수 있다.
이와 같은 경우, 상기 승강대(154)는 고정대(152)에 대해서 상하로 형성된 골(158)을 따라서 상하로 슬라이딩 동작할 수 있다.
그리고 이와 같은 교정 수단(130)은 상기 승강 스테이지(150)에 의해서 하부 롤러(168a,168b)들이 승하강이 가능하도록 상기 승강 스테이지(150)의 상부측에 일체로 장착된 하부 롤러 장착부(160)를 구비한다.
이와 같은 하부 롤러 장착부(160)는 도 7에 상세히 도시된 바와 같이, 상기 승강 스테이지(150)의 승강대(154) 상부면에 푸셔 브라켓(pusher bracket)(162)을 통하여 그 하부면이 일체로 연결된 하부 블럭(164)을 구비한다.
이와 같은 하부 블럭(164)은 그 하부면이 푸셔 브라켓(162)에 일체로 고정된 것으로써 이후에 설명되는 바와 같이, 진공 흡착부(200)의 진공 흡입구(210)를 횡으로 관통하고 있다.
또한 이와 같은 하부 롤러 장착부(160)는 상기 하부 블럭(164)의 일측으로 나란하게 한 쌍의 하부 롤러 스핀들(166a,166b)이 수평으로 돌출하며, 이와 같은 하부 롤러 스핀들(166a,166b)에는 각각 하부 롤러(168a,168b)들이 공회전 또는 아이들(idle) 회전 가능하도록 장착된 것이다.
그리고 상기 하부 롤러 장착부(160)의 상부측에는 상부 롤러 장착부(170)가 구비되는데, 이와 같은 상부 롤러 장착부(170)는 상기 하부 롤러 장착부(160)의 푸셔 브라켓(162)의 양측에 각각 연결대(171a,171b)를 통하여 양단이 일체로 연결된 수평대(172)를 구비한다.
또한 이와 같은 상부 롤러 장착부(170)는 상기 수평대(172)로부터 하향으로 배치된 한 쌍의 엘엠 가이드(176a,176b) 상에서 상부 롤러(174a,174b)들이 상기 하부 롤러(168a,168b)들에 대해서 탄성적으로 승하강이 가능하도록 장착된 구조이다.
즉, 이와 같은 상부 롤러 장착부(170)는 도 9 및 도 10에 상세히 도시된 바와 같이, 상기 하부 롤러 장착부(160)의 상부측에 위치된 수평대(172) 양단으로부터 상기 연결대(171a,171b)의 내측에서 하향 연장된 한 쌍의 엘엠 가이드(176a,176b)를 구비한다.
또한 이와 같은 한 쌍의 엘엠 가이드(176a,176b)에는 각각 스프링(178a,178b)과 스프링 가이드(180a,180b)들이 끼워지며, 상기 스프링 가이드(180a,180b)의 하부측으로는 엘엠 가이드(176a,176b)에 각각 그 양단이 부싱(182a,182b)을 통하여 상하로 슬라이딩이 가능하도록 상부 블럭(184)이 끼워진다.
그리고 상기 상부 블럭(184)의 일측으로는 나란하게 한 쌍의 상부 롤러 스핀들(186a,186b)이 수평으로 돌출되고, 상기 상부 롤러 스핀들(186a,186b)에는 각각 상부 롤러(174a,174b)들이 공회전 또는 아이들(idle) 회전 가능하도록 장착되며, 상기 각각의 엘엠 가이드(176a,176b) 하단에는 엔드 캡(188a,188b)들이 장착되어 상기 상부 블럭(184)이 엘엠 가이드(176a,176b)로부터 하부측으로 빠지는 것을 방지하고 있다.
이와 같은 상부 롤러 장착부(170)는 상부 블럭(184)이 한 쌍의 엘엠 가이드(176a,176b) 상에서 스프링(178a,178b)과 스프링 가이드(180a,180b)들에 의해서 하부측으로 탄력지지되므로, 상기 상부 블럭(184)에 장착된 한 쌍의 상부 롤러(174a,174b)들도 엘엠 가이드(176a,176b)를 따라서 상하로 탄성적으로 위치조정이 가능하게 되며, 이때 상부 블럭(184)은 엘엠 가이드(176a,176b) 상에서 부싱(182a,182b)을 통하여 쉽게 상하로 슬라이딩된다.
그리고, 이와 같은 교정 수단(130)은 상기 하부 롤러 장착부(160)의 하부 롤러(168a,168b) 측으로 진공압력(P)을 형성시키고, 상기 유리기판(G)을 하부 롤러(168a,168b) 측으로 흡착시키는 진공 흡착부(200)를 구비한다.
상기 진공 흡착부(200)는 도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 하부 롤러 장착부(160)의 하부 블럭(164)을 횡으로 관통하는 진공 흡입구(210)를 구비하고, 상기 진공 흡입구(210)에는 진공 흡입포트(212)가 연결되어 상기 하부 롤러 장착부(160)의 하부 롤러(168a,168b) 주위에 진공 압력(P)을 형성하는 것이다.
따라서 이와 같은 진공 흡착부(200)는 상기 하부 롤러(168a,168b) 측으로 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)를 흡입시켜 밀착시키게 되며, 상기 진공 흡입포트(212)에는 별도의 진공압력원(미 도시)이 연결되어 진공 압력(P)이 제공된다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치(100)는 상기 상,하부 롤러 장착부(170,160)에 마련된 상,하부 롤러(174a,174b)(168a,168b)들 사이로 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)를 통과시켜서 형상을 교정하게 된다.
즉, 상판(10) 위를 통과하는 유리기판(G)은 그 제조 공정 중에 이송, 보관, 소성과정에서 외곽부(Ga) 부분이 변형된다.
특히, 두께 500㎛의 유리기판(G)인 경우, 도 3에 도시된 바와 같이, 양측 외곽 모서리(Gb)로부터 10mm 내측 지점까지의 외곽부(Ga)는 변형량이 극심하여 보통 최대/최소 변화폭이 ±200㎛로서 검사 카메라(30)의 초점 심도 범위를 벗어나게 된다.
이와 같은 유리기판(G)은 도 5에 도시된 바와 같이, 교정 수단(130)의 상,하부 롤러 장착부(170,160)에 마련된 상,하부 롤러(174a,174b)(168a,168b) 사이로 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)가 통과된다.
이와 같은 경우, 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치(100)는 상기 상,하부 롤러 장착부(170,160)에 마련된 상,하부 롤러(174a,174b)(168a,168b) 사이의 유리기판(G) 통과 위치가 상판(10)으로부터 정확하게 700㎛ 지점 상부에 위치되어 있게 된다.
이때 상,하부 롤러(174a,174b)(168a,168b)의 상하 높이는 승강 스테이지(150)에 의해서 조정되는데, 작업자는 승강 스테이지(150)의 조정 나사부(156)를 회전시켜서 고정대(152)에 대해서 승강대(154)를 상하로 슬라이딩 위치이동시키게 된다.
따라서 상기 승강대(154) 상부면에 푸셔 브라켓(pusher bracket)(162)을 통하여 그 하부면이 일체로 연결된 하부 롤러 장착부(160)의 하부 블럭(164)이 상하로 이동하게 되고, 동시에 상기 하부 블럭(164)에 장착된 한 쌍의 하부 롤러(168a,168b)들도 상하로 이동한다.
또한 상기 푸셔 브라켓(162)에 연결대(171a,171b)를 통하여 결합된 수평대(172)도 상하로 이동하게 되고, 상기 한 쌍의 엘엠 가이드(176a,176b)를 따라서 끼워진 상부 블럭(184)의 한 쌍의 상부 롤러(174a,174b)들도 상하로 위치 조정된다.
그리고 이와 같이 그 위치가 상판(10)으로부터 정확하게 700㎛ 지점 상부에 위치한 상부 롤러(174a,174b)들과 하부 롤러(168a,168b)들은 서로 밀착하여 도 11에 도시된 바와 같이 접촉하고, 그 사이를 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)가 통과하도록 한다.
이와 같은 경우, 상부 롤러 장착부(170)의 상부 롤러(174a,174b)들은 상부 블럭(184)이 스프링(178a,178b)과 스프링 가이드(180a,180b)를 통하여 하부측으로 탄력적으로 지지되는 상태이므로, 가볍게 상기 하부 롤러(168a,168b)의 상부측에 접한 상태가 된다.
따라서 상,하부 롤러(174a,174b)(168a,168b)들 사이를 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)가 통과하면, 상부 롤러(174a,174b)는 스프링(178a,178b)을 상부측으로 탄성적으로 누르면서 살짝 들려서 유리기판(G)의 통과를 허용한다.
이와 같이 상,하부 롤러(174a,174b)(168a,168b)들 사이를 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)가 통과하게 되면, 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)는 그 최대/최소 변화폭이 ±40 ㎛ 내로 유지되어 그 평탄도가 교정된다.
한편, 이와 같은 과정에서 상기 진공 흡착부(200)는 진공압력원(미 도시)으로부터 진공압력을 받게 되고, 이는 진공 흡입포트(212)와 진공 흡입구(210)를 통하여 하부 롤러(168a,168b) 측으로 진공 압력(P)을 형성시키고, 상기 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)를 하부 롤러(168a,168b)측으로 흡착시켜서 양측 외곽부(Ga)의 하부면 형상을 교정한다.
그리고 상기 상부 롤러 장착부(170)의 상부 롤러(174a,174b)들은 스프링(178a,178b)의 탄성력을 이용하여 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)를 탄성적으로 누르면서 양측 외곽부(Ga)의 상부면 형상을 교정한다.
상기와 같이 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치(100)에 의하면, 유리기판(G)의 표면상태를 카메라(30)로 검사하는 장치에서 상판(10)의 양측 모서리(12a,12b)에 각각 장착된 복수의 상,하부 롤러(174a,174b)(168a,168b)들 사이로 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)를 통과시켜 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga) 형상을 카메라(30)의 검사 초점 범위 이내로 교정할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치(100)에 의한 효과를 검증하기 위하여 일련의 실험을 실시하고, 그 결과를 도 12에 그래프로서 도시하였다.
본 발명의 실험은 두께 500㎛의 LCD 유리기판(G)에 대해서, 그 양측 외곽 모서리(Gb)로부터 10mm 내측 지점까지의 외곽부(Ga) 변형량을 레이저 변위센서를 이용하여 293 매 측정하고, 그 평탄도를 그래프로서 기존의 유리기판과, 본 발명을 적용한 유리기판에 대해서 실시하여 그래프화하였다.
도 12a에 도시된 그래프는 본 발명의 적용전의 종래의 유리기판(G) 형상(평탄도)를 그래프로 도시한 것으로서, 그 결과는 유리기판(G)의 양측 외곽 모서리(Gb)로부터 10mm 내측 지점까지의 외곽부(Ga) 변형량이 최대 916㎛ ~ 최소 669㎛ 까지 형성되어 최대/최소 변화폭이 ±124㎛ 로서 카메라(30)의 심도 범위(±40 ㎛)를 벗어나고 있음을 나타내고 있다.
한편, 도 12b에 도시된 그래프는 본 발명을 적용한 후의 유리기판(G) 형상(평탄도)를 그래프로 도시한 것으로서, 그 결과는 유리기판(G)의 양측 외곽 모서리(Gb)로부터 10mm 내측 지점까지의 외곽부(Ga) 변형량이 대부분 700㎛±40㎛ 로서 카메라(30)의 심도 범위(±40㎛) 내에 유지되고 있음을 나타내고 있다.
이와 같이 본 발명에 따른 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치(100)에 의하면 상,하부 롤러(174a,174b)(168a,168b)들을 포함하는 형상 교정 수단(130)이 유리기판(G)의 양측 외곽부(side edge)(Ga)에서 상/하방측으로 휘어진 유리기판(G)을 수평으로 교정하여 카메라(30) 초점이 무너지는 형상을 방지함으로써 효과적으로 유리기판(G)의 표면상태를 검사할 수 있다.
뿐만 아니라, 상기 교정 수단(130)의 상,하부 롤러(174a,174b)(168a,168b)들을 통하여 유리기판(G)의 양측 외곽부(Ga)에서 상/하방측으로 휘어진 유리기판(G)을 수평으로 쉽게 교정할 수 있음으로써 고품질의 유리기판(G)을 제작할 수 있는 우수한 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 상기에서 도면을 참조하여 특정 실시 예에 관련하여 상세히 설명하였지만 본 발명은 이와 같은 특정 구조에 한정되는 것은 아니다. 당 업계의 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술 사상 및 권리범위를 벗어나지 않고서도 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있을 것이다. 예를 들면 상,하부 롤러 장착부(170,160)의 위치 조정을 승강 스테이지(150) 또는 스프링(178a,178b)에 의하지 않고서 공압 또는 유압을 적용하여 자동으로 상하 위치 조정을 할 수 있을 것이다. 그렇지만 그와 같은 단순한 설계적인 수정 또는 변형 구조들은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속하게 됨을 미리 밝혀 두고자 한다.
1: 유리기판 검사설비 10: 상판
12a,12b: 상판의 양측 모서리
20: 공기 30: 카메라
100: 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치
130: 교정 수단 140: 장착판
150: 승강 스테이지 152: 고정대
54: 승강대 156: 조정 나사부
158: 골 160: 하부 롤러 장착부
162: 푸셔 브라켓(pusher bracket) 164: 하부 블럭
166a,166b: 하부 롤러 스핀들 168a,168b: 하부 롤러
170: 상부 롤러 장착부 171a,171b: 연결대
172: 수평대 174a,174b: 상부 롤러
176a,176b: 엘엠 가이드 178a,178b: 스프링
180a,180b: 스프링 가이드 182a,182b: 부싱
184: 상부 블럭 186a,186b: 상부 롤러 스핀들
188a,188b: 엔드 캡 200: 진공 흡착부
210: 진공 흡입구 212: 진공 흡입포트
G: 유리기판 Ga: 외곽부
Gb: 외곽 모서리 h: 부상높이
P: 진공 압력

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 유리기판을 공기 부상력에 의해서 들어서 입측으로부터 출측으로 이동시키는 상판;
    상기 상판 위에서 유리기판의 불량을 검사하는 카메라; 및
    상기 상판의 길이방향 양측 모서리에 각각 장착된 복수의 상,하부 롤러들을 구비하고, 상부롤러와 하부 롤러사이로 유리기판의 양측 외곽부를 통과시켜서 그 판형상을 평탄하게 교정하는 교정 수단;을 포함하고,
    상기 교정 수단은,
    상기 상판의 측면에 고정된 장착판;
    상기 장착판의 일측에 고정되어 높낮이 조절이 가능한 승강 스테이지;
    상기 승강 스테이지에 의해서 하부 롤러들이 승하강이 가능하도록 상기 승강 스테이지의 상부측에 일체로 장착된 하부 롤러 장착부;
    상기 하부 롤러 장착부의 상부측에서 하향으로 배치되어 상기 상부 롤러들이 하부 롤러들에 대해서 탄성적으로 승하강이 가능하도록 장착된 상부 롤러 장착부; 및
    상기 하부 롤러 장착부의 하부 롤러측으로 진공압력을 형성시키고, 상기 유리기판을 하부 롤러측으로 진공 밀착시키는 진공 흡착부;를 포함하고, 상기 상,하부 롤러 장착부에 마련된 상,하부 롤러 사이로 유리기판의 양측 외곽부를 통과시켜서 형상을 교정하는 것임을 특징으로 하는 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 승강 스테이지는 장착판의 일측에 일체로 고정되는 고정대와, 상기 고정대에 대해서 상하로 슬라이딩이 가능하도록 장착된 승강대 및, 상기 고정대에 대해서 승강대를 상하로 슬라이딩 동작시키는 조정 나사부를 포함하여 상기 조정 나사부를 통하여 상기 고정대에 대해서 승강대를 상하로 슬라이딩 위치이동시켜 조절할 수 있도록 구성된 것임을 특징으로 하는 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 하부 롤러 장착부는 상기 승강 스테이지의 승강대 상부면에 푸셔 브라켓(pusher bracket)을 통하여 그 하부면이 일체로 연결된 하부 블럭을 구비하고, 상기 하부 블럭의 일측으로는 나란하게 한 쌍의 하부 롤러 스핀들이 수평으로 돌출하며, 상기 하부 롤러 스핀들에는 각각 하부 롤러들이 회전 가능하도록 장착된 것임을 특징으로 하는 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 상부 롤러 장착부는 상기 하부 롤러 장착부의 푸셔 브라켓에 연결대를 통하여 고정된 수평대로부터 하부측으로 연장된 한 쌍의 엘엠 가이드를 구비하고, 상기 엘엠 가이드에는 각각 스프링과 스프링 가이드들을 통하여 하향으로 탄력지지되면서 상하로 슬라이딩이 가능한 상부 블럭이 끼워지며, 상기 상부 블럭의 일측으로는 나란하게 한 쌍의 상부 롤러 스핀들이 수평으로 돌출되고, 상기 상부 롤러 스핀들에는 각각 상부 롤러들이 회전 가능하도록 장착되는 한편, 상기 각각의 엘엠 가이드 하단에는 엔드 캡들이 장착되어 상기 한 쌍의 상부 롤러들이 엘엠 가이드를 따라서 상하로 탄성적으로 위치조정이 가능하도록 구성된 것임을 특징으로 하는 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 진공 흡착부는 상기 하부 롤러 장착부의 하부 블럭을 횡으로 관통하는 진공 흡입구를 구비하고, 상기 진공 흡입구에는 진공 흡입포트가 연결되어 상기 하부 롤러 장착부의 하부 롤러 주위에 진공 압력을 형성하고, 상기 하부 롤러측으로 유리기판의 양측 외곽부를 흡입시켜 밀착시키는 것임을 특징으로 하는 유리기판 외곽부 형상 개선을 위한 아이들 롤러장치.
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