CN219842973U - 真空吸附拆卸顶升机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空吸附拆卸顶升机构，其由止挡件和约束件将磁力载具固定在顶板上，并由真空板对磁力载具中的基板进行真空吸附后，由顶升杆顶起磁力载具的顶盖，与现有技术相比，提高了效率和安全性。

Description

真空吸附拆卸顶升机构

技术领域

本实用新型属于精密加工制造技术领域，尤其涉及一种真空吸附拆卸顶升机构。

背景技术

在精密加工制造领域(如半导体加工制造)，通常通过磁力载具在流水线上输送基板，磁力载具由底盘和顶盖构成，基板设置在底盘上，需要取出基板时，现有的方式是由工人徒手取下顶盖，这样的方式效率较低，并且由于磁力较大，往往会对工人的手指甲造成伤害。

实用新型内容

基于此，针对上述技术问题，提供一种真空吸附拆卸顶升机构。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种真空吸附拆卸顶升机构，包括：

位置固定的顶板，所述顶板水平布置，其上具有上下贯通的矩形开口；

用于在前侧止挡磁力载具底盘的前边缘的止挡件和用于在上侧、左右两侧约束该底盘的左右边缘的一对约束件，所述止挡件和约束件均固定于所述顶板的上表面，且所述止挡件位于所述开口的前侧，所述一对约束件对称位于所述开口的左右两侧；

用于真空吸住所述底盘上的基板的真空板，所述真空板位于所述顶板的下方，其上具有与所述底盘的左右边缘的多个通孔上下一一对应的多个顶升通孔，且所述真空板上与所述开口对应的区域具有多个抽真空孔；

可同步升降、用于经所述多个顶升通孔顶起磁力载具顶盖的多个顶升杆，所述多个顶升杆与所述多个顶升通孔一一对应。

本实用新型由止挡件和约束件固定磁力载具，并由真空板对磁力载具中的基板进行真空吸附后，由顶升杆顶起磁力载具的顶盖，与现有技术相比，提高了效率和安全性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型前后方向的纵向剖视图；

图3为本实用新型左右方向的纵向剖视图；

图4为本实用新型的顶升杆在顶升状态的示意图；

图5为本实用新型固定磁力载具状态的示意图；

图6为本实用新型顶起磁力载具顶盖状态的示意图；

图7为本实用新型的弹性柱销的示意图。

具体实施方式

以下将结合说明书附图对本实用新型的实施方式予以说明。需要说明的是，本说明书中所涉及的实施方式不是穷尽的，不代表本实用新型的唯一实施方式。以下相应的实施例只是为了清楚的说明本实用新型专利的实用新型内容，并非对其实施方式的限定。对于该领域的普通技术人员来说，在该实施例说明的基础上还可以做出不同形式的变化和改动，凡是属于本实用新型的技术构思和实用新型内容并且显而易见的变化或变动也在本实用新型的保护范围之内。

如图5和图6所示，本申请实施例提供一种真空吸附拆卸顶升机构，用于将磁力载具20的顶盖21从底盘22上顶起，底盘22和顶盖21的左右边缘具有上下一一对应的多个通孔，顶盖21的通孔的孔径小于底盘22的通孔的孔径，并且底盘22上具有多个气孔。

如图1所示，本申请实施例提供的真空吸附拆卸顶升机构包括底板110、顶板120、止挡件130、一对约束件140、真空板150、多个顶升杆160以及升降动力源170。

底板110上具有位于四角的多个支撑柱111，顶板120水平固定于多个支撑柱111上，实现其位置的固定。

顶板120上具有上下贯通的矩形开口121和位于开口121的后侧且前后方向开放的U形槽122。

止挡件130呈块状，约束件140为竖向截面呈倒L形的约束条(参见图3和图7)，两者均固定于顶板120的上表面，且止挡件130位于开口121的前侧，一对约束件140对称位于开口121的左右两侧，使用时，将磁力载具放置在顶板120的后侧并向前推动，使磁力载具的底盘沿两侧的约束件140水平插入，由止挡件130在前侧止挡磁力载具底盘的前边缘，由一对约束件140在上侧和左右两侧约束底盘的左右边缘，其中，U形槽122用于方便向前推动磁力载具。

需要指出的是，为了便于推动磁力载具，底盘的左右边缘与约束件140在上下方向通常会存在一定的间隙，因此，在本实施例中，顶板120上具有与约束条上下相对的多个弹性柱销123，从而通过弹性柱销123向上顶住底盘，使磁力载具稳定地固定在顶板120上，参见图7。

如图1-3所示，真空板150位于顶板120的下方，其上具有与开口121对应的凸台151、位于下方的四个支撑杆152以及与底盘的左右边缘的多个通孔上下一一对应的多个顶升通孔(图中未示出)，凸台151上具有与底盘上的气孔上下一一对应的多个抽真空孔151a，四个支撑杆152的上端分别与真空板150的四角连接，且支撑杆152上套设有弹簧153。

多个顶升杆160固定于升降板180上，并与多个顶升通孔一一对应，升降板180被支撑杆152的下端穿过，且与弹簧153上下顶抵，升降板180通过导向套181与支撑柱111上下滑动配合，升降板180与升降动力源170连接，升降动力源170可以固定于底板110上，升降动力源170经升降板180可以带动多个顶升杆160同步升降。

其中，顶升杆160与底盘上的通孔的横截面形状适配，顶升杆160的顶部形成与顶盖的通孔的横截面形状适配的头端161，参见图4。

如图1所示，升降动力源170采用电缸，其可以通过开关座171进行控制，开关座171固定在底板110上，其上具有上升按钮、下降按钮以及暂停按钮，当然，升降动力源170也可以采用气缸。

使用时，首先，如图5所示，通过止挡件130和约束件140将磁力载具20固定在顶板120上，真空板150初始与顶板120未发生上下接触，然后，通过升降动力源170驱动升降板180上升，升降板180上升过程中压缩弹簧153并带动真空板150上升，使真空板150与顶板120的下表面相抵，此时，凸台151经开口121恰好与底盘相贴，启动抽真空设备，抽真空设备经抽真空孔151a和底盘上的气孔吸住基板，防止顶升顶盖时基板的位置发生微小偏移，同时，在升降板180上升过程中，还会带动多个顶升杆160经多个顶升通孔和底盘的通孔顶起磁力载具顶盖，参见图6。

在一种可能的实施方式中，也可以将U形槽122和弹性柱销123省略，将约束条设计为可恰好压住底盘，并且将真空板150的位置固定，使真空板150始终与顶板120的下表面相贴对开口121进行密封，同时，可以省略真空板150的凸台151，而在真空板150与开口121对应的区域设置多个抽真空孔151a，这样真空板150可以与开口121形成抽真空槽，抽真空设备经多个抽真空孔151a、抽真空槽和底盘上的气孔吸住基板，在这种实施方式中，由于真空板150的位置固定，故支撑杆152和弹簧153也可以省略。

由上可知，本申请实施例提供的真空吸附拆卸顶升机构由止挡件和约束件固定磁力载具，并由真空板对磁力载具中的基板进行真空吸附后，由顶升杆顶起磁力载具的顶盖，与现有技术相比，提高了效率和安全性。

显然，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求书范围内。

Claims (7)

1.一种真空吸附拆卸顶升机构，其特征在于，包括：

位置固定的顶板，所述顶板水平布置，其上具有上下贯通的矩形开口；

用于在前侧止挡磁力载具底盘的前边缘的止挡件和用于在上侧、左右两侧约束该底盘的左右边缘的一对约束件，所述止挡件和约束件均固定于所述顶板的上表面，且所述止挡件位于所述开口的前侧，所述一对约束件对称位于所述开口的左右两侧；

用于真空吸住所述底盘上的基板的真空板，所述真空板位于所述顶板的下方，其上具有与所述底盘的左右边缘的多个通孔上下一一对应的多个顶升通孔，且所述真空板上与所述开口对应的区域具有多个抽真空孔；

可同步升降、用于经所述多个顶升通孔顶起磁力载具顶盖的多个顶升杆，所述多个顶升杆与所述多个顶升通孔一一对应。

2.根据权利要求1所述的一种真空吸附拆卸顶升机构，其特征在于，还包括底板，所述底板上具有分别位于其四角的四个支撑柱，所述顶板固定于所述四个支撑柱上。

3.根据权利要求2所述的一种真空吸附拆卸顶升机构，其特征在于，所述顶板的上表面具有位于所述开口的后侧且前后方向开放的U形槽。

4.根据权利要求3所述的一种真空吸附拆卸顶升机构，其特征在于，所述真空板上具有在该真空板与所述顶板的下表面相抵时经所述开口恰好与所述底盘相贴的凸台以及位于下方的多个支撑杆，所述多个抽真空孔设于所述凸台上，且与所述底盘上的气孔上下一一对应，所述支撑杆的上端与所述真空板连接，且该支撑杆上套设有弹簧，所述多个顶升杆固定于一升降板上，所述升降板被所述支撑杆的下端穿过，且与所述弹簧上下顶抵，所述升降板与所述支撑柱上下滑动配合，所述升降板与升降动力源连接，所述升降动力源固定于所述底板上。

5.根据权利要求4所述的一种真空吸附拆卸顶升机构，其特征在于，所述顶升杆与所述底盘上的通孔的横截面形状适配，所述顶升杆的顶部形成与所述顶盖的通孔的横截面形状适配的头端。

6.根据权利要求5所述的一种真空吸附拆卸顶升机构，其特征在于，所述升降动力源为电缸。

7.根据权利要求6所述的一种真空吸附拆卸顶升机构，其特征在于，还包括用于控制所述电缸的开关座，所述开关座固定于所述底板上，其上具有上升按钮、下降按钮以及暂停按钮。