KR102138151B1

KR102138151B1 - 흡착 반전 장치

Info

Publication number: KR102138151B1
Application number: KR1020140016344A
Authority: KR
Inventors: 신타로 가메이
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2013-03-13
Filing date: 2014-02-13
Publication date: 2020-07-27
Also published as: KR20140113333A; JP6059565B2; JP2014176969A; CN104044917A; TW201434604A; TWI602669B; CN104044917B

Abstract

(과제) 흡착판이 반전 회전운동했을 때에, 흡착판으로 이어지는 에어 배관의 꼬임이나 얽힘을 막아, 회전축의 강도를 유지한 흡착 반전 장치를 제공한다.
(해결 수단) 취성 재료 기판(W)을 흡착한 흡착판(18)을 회전축(15)의 주위로 회전시켜 당해 취성 재료 기판(W)을 표리 반전시키는 흡착 반전 장치(C)로서, 회전축(15)을 회전 가능하게 지지하는 측틀(14)과, 회전축(15)의 일부를 둘러싸도록 측틀(14)에 고정되고, 또한, 일단부에 원형의 개구부(50a)를 갖는 중공 부재(50)와, 당해 중공 부재(50)의 원형 개구부(50a)를 밀봉함과 함께 회전축(15)과 일체적으로 회전하는 원반 형상의 플랜지(51)와, 플랜지(51)에 개구하고, 배관(53)을 통하여 흡착판(18)과 연통하는 제1 포트(52)와, 중공 부재(50)에 개구하고, 배관(56)을 통하여 에어 흡인 장치에 연통하는 제2 포트(55)로 이루어지는 구성으로 한다.

Description

흡착 반전 장치{ABSORPTION-REVERSING APPARATUS}

본 발명은, 유리, 실리콘, 세라믹, 화합물 반도체 등의 취성 재료(brittle material)로 이루어지는 기판에 분단(dividing)용의 스크라이브 라인을 가공하거나, 이 스크라이브 라인을 따라 기판을 분단하거나 하는 기판 가공 장치에서 이용되는 흡착 반전 장치에 관한 것이다.

종래부터, 테이블 상에 올려놓은 기판에 대하여, 커터 휠(스크라이빙 휠이라고도 함)을 소정의 스크라이브압을 가한 상태에서 전동(rolling)시키거나, 레이저 빔의 조사에 의한 열 변형을 이용하거나 하여, 서로 직교하는 복수조의 평행한 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후에, 기판을 표리 반전시켜, 당해 스크라이브 라인을 형성한 면과는 반대측의 면으로부터 브레이크 바를 눌러대어 기판을 휘게 함으로써 기판을 분단하고, 단위 제품을 취출하는 방법이, 예를 들면 특허문헌 1 등에서 알려져 있다.

또한, 2매의 유리 기판을 접합한 기판의 분단 방법에 대해서도, 예를 들면 특허문헌 2(도 45 등)에는, 이하에 나타내는 순서로 분단하는 방법이 개시되어 있다. 즉, 스크라이브 장치의 테이블 상에 올려놓여진 기판에 대하여, 커터 휠을 전동시킴으로써, 기판의 한쪽의 면인 a면에 스크라이브 라인을 형성한다. 이어서, 흡착 반전 장치로 기판을 흡착하여 반전시킨 후, 브레이크 장치의 테이블 상에 올려놓고, 기판 a면의 이면(裏面)이 되는 기판 b면을 브레이크 바 등으로 압압(pushing)하여 기판 a면을 브레이크한다. 이어서, 상기와 동일하게, 기판 b면에 스크라이브 라인을 형성하고, 기판을 반전시킨 후, 기판 a면을 브레이크 바 등으로 압압하여 기판 b면을 분단한다. 이후, 분단된 기판을 브레이크 장치로부터 제거하여 다음의 공정으로 이행하도록 하고 있다.

국제공개공보 WO2005/053925호 국제공개공보 WO2002/057192호

상기와 같은 기판의 가공 방법에 있어서, 기판을 흡착하여 표리 반전시키는 흡착 반전 장치가 일반적으로 이용되고 있다. 흡착 반전 장치는, 다수의 작은 에어 흡기구멍을 갖는 흡착판을 구비하고 있어, 이 흡착판에 기판을 테이블 등의 재치대로부터 흡착시킨 후, 재치대의 상방에서 반전에 필요한 높이까지 상승시켜 반전시키거나, 혹은, 재치대의 상방으로부터 반전에 필요한 공간을 갖는 반전 위치까지 횡방향으로 이동시켜 반전시키는 등의 수단이 취해지고 있다. 어느 경우도, 기판을 흡착하기 위한 흡기용의 배관을 진공 펌프 등의 에어 흡인 장치로부터 흡착판에 접속할 필요가 있다.

흡기용의 배관을 흡착판에 접속함에 있어서는, 흡착판이 반전할 때에 배관이 꼬이거나, 얽히거나 하지 않도록 배려해야 한다. 그래서, 예를 들면 상기 특허문헌 1(명세서 단락 0041란 참조)에 기재된 바와 같이, 흡착판의 회전축의 축심(軸芯) 내부에 에어 통로를 형성하고 이 에어 통로로부터 흡착판에 연통(communication)한 것이 개시되어 있다.

그러나, 이 종래 방법에서는, 회전축의 축심부를 도려내어 에어 통로를 가공할 필요가 있어 가공비가 높아짐과 함께, 회전축의 강도가 저하된다는 문제점이 있었다.

그래서 본 발명은, 상기한 종래 과제를 감안하여, 흡착판이 반전 회전운동했을 때에, 흡착판으로 이어지는 에어 배관이 꼬이거나, 얽히거나 하는 것을 없앰과 함께, 회전축의 강도를 유지한 상태에서 염가로 가공할 수 있는 흡착 반전 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉, 본 발명은, 취성 재료 기판을 흡착한 흡착판을 회전축 주위로 회전시켜 당해 취성 재료 기판을 표리 반전시키는 흡착 반전 장치로서, 상기 회전축을 회전 가능하게 지지하는 측틀과, 상기 회전축의 일부를 둘러싸도록 상기 측틀에 고정되고, 또한, 일단부에 원형 개구부를 갖는 중공(中空) 부재와, 상기 중공 부재의 상기 원형 개구부를 밀봉함과 함께 상기 회전축과 일체가 되어 회전하는 원반 형상의 플랜지와, 상기 플랜지에 개구하고, 배관을 통하여 상기 흡착판과 연통하는 제1 포트와, 상기 중공 부재에 개구하고, 배관을 통하여 에어 흡인 장치에 연통하는 제2 포트를 갖는 구성으로 했다.

본 발명의 흡착 반전 장치는 상기와 같이 구성했기 때문에, 흡착판과 일체가 되어 제1 포트로부터 흡착판으로 이어지는 배관이 회전운동하고, 배관이 꼬이거나, 얽히거나 하는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 종래와 같이 회전축 내부를 도려내어 에어 통로를 형성할 필요가 없기 때문에, 회전축의 강도를 높은 상태로 유지할 수 있음과 함께 가공비를 낮게 억제할 수 있다는 효과가 있다.

상기 발명에 있어서, 상기 제2 포트는, 상기 회전축의 연재(extending) 방향과 직교하는 방향을 향하여 개구되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다.

이에 따라, 제2 포트로부터 에어 흡인 장치에 접속하는 배관을, 회전축의 연재 방향과 직교하는 방향으로 인출할 수 있어 흡착판의 반전 동작의 방해가 되지 않도록 배치하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 흡착 반전 장치를 조입(incorporation)한 기판 가공 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판 가공 장치에 있어서의 스크라이브 장치의 개략적인 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 흡착 반전 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 3의 흡착 반전 장치의 일부 확대 단면도이다.
도 5는 도 3의 흡착 반전 장치에 있어서의 흡착판의 하동(下動) 상태를 나타내는 도 4와 동일한 단면도이다.
도 6은 도 3의 흡착 반전 장치의 반전 회전운동 기구 부분을 나타내는 측면도이다.
도 7은 도 3의 흡착 반전 장치의 중공 부재 부분을 나타내는 확대 종단면도이다.
도 8은 도 3의 흡착 반전 장치의 중공 부재 부분을 나타내는 확대 횡단면도이다.
도 9는 도 1의 기판 가공 장치에 있어서의 흡착 승강 장치를 나타내는 사시도이다.
도 10은 기판 가공 장치에 의한 기판 가공 공정의 제1 단계를 나타내는 설명도이다.
도 11은 기판 가공 공정의 제2 단계를 나타내는 설명도이다.
도 12는 기판 가공 공정의 제3 단계를 나타내는 설명도이다.
도 13은 기판 가공 공정의 제4 단계를 나타내는 설명도이다.
도 14는 기판 가공 공정의 제5 단계를 나타내는 설명도이다.
도 15는 기판 가공 공정의 제6 단계를 나타내는 설명도이다.
도 16은 기판 가공 공정의 제7 단계를 나타내는 설명도이다.
도 17은 기판 가공 공정의 제8 단계를 나타내는 설명도이다.
도 18은 기판 가공 공정의 제9 단계를 나타내는 설명도이다.
도 19는 기판 가공 공정의 제10 단계를 나타내는 설명도이다.
도 20은 기판 가공 공정의 제11 단계를 나타내는 설명도이다.
도 21은 기판 가공 장치에 부착된 조작 패널을 나타내는 도면이다.
도 22는 기판 가공 장치에 조입되는 브레이크 장치를 나타내는 정면도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 본 발명에 따른 흡착 반전 장치에 대해서 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 또한, 여기에서는, 기판에 스크라이브 라인을 가공하고, 그 후에 기판을 반전시키도록 한 기판 가공 장치에 조입된 흡착 반전 장치에서의 실시예에 기초하여 설명한다.

기판 가공 장치(A)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판(W)의 표면에 스크라이브 라인을 가공하는 스크라이브 장치(B)와, 기판(W)을 반전시키는 흡착 반전 장치(C)와, 스크라이브 장치(B)의 테이블의 상방에 배치되고 기판(W)을 흡착하여 승강시키는 흡착 승강 장치(D)를 구비하고 있다.

이들 스크라이브 장치(B), 흡착 반전 장치(C) 그리고 흡착 승강 장치(D)는, 기판 가공 장치(A)의 프레임(1)에 조입되어 있다. 프레임(1)은, 금속제의 틀재에 의해 장방체의 형태로 장착되어 있고, 도 1의 평면에서 볼 때 길이 방향을 따른 라인을 X방향으로 하고, X방향에 직교하는 방향을 Y방향으로 하여 이하 설명한다.

스크라이브 장치(B)는, 도 1, 2에 나타내는 바와 같이, 프레임(1) 내의 X방향을 따른 일단측(본 실시예에서는 도 1의 우측)에 조입되어 있고, 대판(台板;2) 상에서 Y방향으로 연장되는 레일(3)을 따라 이동하는 테이블(4)을 구비하고 있다. 대판(2)은, 평면에서 볼 때 Y방향으로 연장되는 장방형으로 형성되고, 그의 일단 부분이 프레임(1)으로부터 연장되어 있다.

테이블(4)은, 그의 상면에 다수의 흡착구멍을 갖는 흡착면(4a)을 구비하고, 모터를 내장하는 회전 구동부(5)에 의해 수평면 내에서 회전운동할 수 있게 되어 있다. 또한, 테이블(4) 그리고 회전 구동부(5)는, 레일(3)을 따라 이동하는 이동 스테이지(6) 상에 부착되어 있고, 모터(8)에 의해 회전하는 나사축(9)에 의해 Y방향으로 이동하도록 형성되어 있다. 또한, 프레임(1)에는, 가이드(10)를 갖는 빔(동살)(11)이 X방향을 따라 형성되고, 가이드(10)에는 커터 휠(12)을 갖는 승강 가능한 스크라이브 헤드(13)가 X방향으로 이동할 수 있도록 부착되어 있다.

흡착 반전 장치(C)는, 도 1, 도 3∼8에 나타내는 바와 같이, 좌우의 측틀(14, 14)에 의해 지지된 Y방향으로 연장되는 수평인 회전축(15)과, 당해 회전축(15)에 수평으로 부착되고, 회전축(15)과 함께 회전하는 지지 부재(16)와, 이 지지 부재(16)에 복수의, 본 실시예에서는 4개의 압하 부재(17)를 통하여 상하이동 가능하게 지지된 수평인 흡착판(18)을 구비하고 있다. 흡착판(18)은 하면에 다수의 흡착구멍을 갖는 흡착면(18a)을 구비하고, 복귀 스프링(19)에 의해 상시 상방을 향하여 탄성지지되고 있다. 본 실시예에서는 상기한 압하 부재(17)로서, ON 동작에서 하동하고, OFF 동작에서 압하력을 해제하는 피스톤을 구비한 에어 실린더로 형성되어 있다. 이 에어 실린더(17)를 ON 동작시킴으로써, 도 5에 나타내는 바와 같이, 흡착판(18)을 복귀 스프링(19)에 저항하여 하동시켜, 에어 실린더(17)를 OFF 동작시킴으로써, 복귀 스프링(19)의 복원력에 의해 흡착판(18)을 도 4의 원위치로 복귀할 수 있도록 형성되어 있다.

또한, 압하 부재(17)인 에어 실린더의 피스톤(17a)은, 그의 돌출 스트로크를 조정할 수 있도록 형성되어 있다. 이에 따라, 기판(W)의 두께 등의 작업 조건에 따라 흡착판(18)의 강하량을 적절하게 조정할 수 있게 되어 있다. 또한, 압하 부재인 에어 실린더(17)는, 배관을 통하여 별도 형성한 에어 공급원(도시 외)에 접속되어 있다.

흡착 반전 장치(C)의 회전축(15)은, 반전 회전운동 기구(42)에 의해 180도 회전할 수 있도록 형성되어 있다. 이 반전 회전운동 기구(42)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 그의 일단부에 피니언(20)을 구비하고, 이 피니언(20)에 맞물리는 랙(21)을 실린더(22)로 이동시킴으로써, 180도 회전할 수 있도록 형성되어 있다. 이에 따라, 흡착판(18)의 흡착면(18a)이 하향의 자세로부터 상향의 자세로, 또한 반대로, 상향의 자세로부터 하향의 자세로 반전할 수 있게 되어 있다.

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 프레임(1)의 X방향으로 연장되는 상부 틀재(1a, 1a)의 상면에는 레일(23, 23)이 형성되고, 흡착 반전 장치(C)의 측틀(14, 14)의 상단부에는, 당해 레일(23, 23)을 따라 슬라이드하는 가이드부(24, 24)가 형성되어 있다. 또한, 흡착 반전 장치(C)를 수동으로 이동시키기 위한 손잡이(25)가, 한쪽의 가이드부(24)로 이어져 프레임(1)의 외측으로 연장하여 형성되어 있다. 이에 따라, 흡착판(18)을, 반전 가능한 스페이스를 확보한 프레임(1) 내의 도 1에 있어서의 좌측, 즉 기판 반전 위치로부터, 스크라이브 장치(B)의 테이블(4)의 상방, 즉 기판 인수인도 위치까지 수동으로 이동할 수 있도록 형성되어 있다.

또한, 좌우의 측틀(14, 14)의 상단을 가교하는 연결판(26)에는, 프레임(1)에 부착된 출몰 가능한 로크 핀(locking pin;28, 28)이 걸어 넣어지는 걸어맞춤구멍(27)이 형성되어 있다.

로크 핀(28)은, 상기한 기판 반전 위치와 기판 인수인도 위치에 각각 배치되어 있고, 흡착 반전 장치(C)가 기판 반전 위치 그리고 기판 인수인도 위치에 왔을 때에, 위치 감지 부재(29)가 감지하여 자동적으로 걸어맞춤구멍(27)에 걸어 넣어지도록 형성되어 있다. 로크 핀(28)으로서는, 예를 들면 전자석의 ON/OFF에 의해 출몰하는 솔레노이드로 형성할 수 있다. 또한, 위치 감지 부재(29)로서는 광센서나 리미트 스위치 등을 이용할 수 있다.

또한, 흡착 반전 장치(C)의 회전축(15)을 지지하는 측틀(14)에서, 회전축(15)을 둘러싸도록 원형 통 형상의 중공 부재(50)가 형성되어 있다. 이 중공 부재(50)는 회전축(15)의 연재 방향을 향하여 개구하는 원형의 개구부(50a)를 구비하고, 회전축(15)과 일체가 되어 회전운동하는 원반 형상의 플랜지(51)에 의해 원형 개구부(50a)가 밀봉되어 있다. 또한, 상기 플랜지(51)에는, 내부의 중공부로 이어지는 좌우 한 쌍의 제1 포트(52, 52)가 회전축(15)을 사이에 두고 형성되어 있고, 이 제1 포트(52)로부터 배관(53)을 통하여 흡착판(18)의 흡인 에어 취입구(54)에 접속되어 있다. 이에 따라, 흡착 반전 장치(C)가 반전했을 때에, 제1 포트(52)로부터 흡착판(18)으로 이어지는 배관(53)이 꼬이거나, 얽히거나 하는 것을 방지하고 있다.

또한, 중공 부재(50)에는, 회전축(15)의 연재 방향과 직교하여 상향으로 개구하는 제2 포트(55)가 형성되어 있고, 이 제2 포트(55)로부터 상방으로 연장되는 배관(56)을 통하여 진공 펌프 등의 에어 흡인 장치(도시 외)로 연통되어 있다. 이에 따라, 제2 포트(55)로부터의 배관(56)이, 흡착판(18)의 반전 동작의 방해가 되지 않게 되어 있다.

또한, 중공 부재(50)의 원형 개구부(50a)와 플랜지(51)의 접촉 부분에는, 에어의 누설을 막기 위해 O링 등의 시일재를 끼우는 것이 바람직하다.

흡착 승강 장치(D)는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 프레임(1)에 고정된 수평인 고정판(30)과, 고정판(30)에 부착되고, 또한, 연직 하방을 향하여 왕복 운동을 하는 피스톤(31a)을 갖는 유체 실린더(31)와, 당해 유체 실린더(31)의 피스톤(31a)의 하단에 고정된 흡착판(32)을 구비하고 있다. 흡착판(32)은, 상기한 스크라이브 장치(B)의 테이블(4)의 상방에 배치되고, 하면에는 다수의 흡착구멍을 갖는 흡착면(32a)이 형성되어 있다.

또한, 흡착판(32)은, 그의 상면으로부터 연직 상방으로 연장되어 고정판(30)을 슬라이딩 가능하게 관통하는 4개의 수직인 가이드(33)를 구비하고 있어, 이에 따라, 흡착판(32)이 승강할 때에 자유 회전하는 것을 저지하고 있다.

본 실시예에 있어서, 흡착 반전 장치(C) 그리고 흡착 승강 장치(D)에 있어서의 흡착판(18, 32)의 승강 동작 그리고 버큠 동작 및, 흡착 반전 장치(C)의 흡착판(18)을 반전시키는 반전 회전운동 기구(42)의 구동은, 버튼 스위치에 의한 스위치 조작에 의해 수동으로 행할 수 있도록 되어 있다.

구체적으로는, 도 21에 나타내는 바와 같이, 흡착 반전 장치(C)의 로크 핀(28, 28)의 로크를 해제하기 위한 우측 로크 해제 버튼(34) 그리고 좌측 로크 해제 버튼(35), 기판 인수인도 위치에서 흡착판(18)을 하동시키기 위해 압하 부재(에어 실린더)(17)를 ON/OFF 조작하는 승강 버튼(36), 흡착 승강 장치(D)의 유체 실린더(31)를 작동시키기 위한 조작 버튼(37), 흡착 반전 장치(C)의 반전 회전운동 기구(42)를 구동하는 반전 조작 버튼(43)이, 기판 가공 장치(A)의 정면에 부착된 조작 패널(38)(도 1에서는 생략)에 형성되어 있다. 또한, 흡착 반전 장치(C)의 흡착판(18)의 버큠 버튼(39), 흡착 승강 장치(D)의 흡착판(32)의 버큠 버튼(40)이 상기 조작 패널(38)에 형성되어 있다.

상기한 스크라이브 장치(B)의 테이블(4), 그리고 흡착 승강 장치(D)의 흡착판(32)의 각 흡착면(4a, 32a)의 흡착구멍은, 상기한 흡착 반전 장치의 흡착판(18)과 동일하게, 흡기용의 배관을 개재하여 상기한 에어 흡인 장치(도시 외)에 접속되어 있고, 흡인 에어에 의해 기판(W)을 흡착 지지(holding)할 수 있도록 형성되어 있다. 도면 상에서는, 이들 흡기용의 배관 그리고 그의 부대 설비는, 도면의 복잡화를 피하기 위해 생략되어 있다. 또한, 흡착 반전 장치(C)의 흡착판(18)과 승강 장치(D)의 흡착판(32)은 버큠 버튼(40)을 누름으로써 전환 밸브(도시 외)에 의해 에어 흡인이 완전히 전환되도록 되어 있다.

다음으로, 상기한 기판 가공 장치(A)에 의해, 단판(單板)의 기판(W)의 상면에 스크라이브 라인을 가공한 후, 이 기판(W)을 반전시키는 공정을, 도 1, 도 7∼20을 이용하여 순서대로 설명한다.

도 1에 있어서, 스크라이브 장치(B)의 테이블(4) 상에 올려놓여져 있는 기판(W)은, 그의 상면이 커터 휠(12)에 의해 이미 스크라이브 라인이 가공된 상태에 있다. 커터 휠(12)에 의한 스크라이브 가공은, 테이블(4)을 대판(2)의 연장 단부까지 이동시켜 가공해야 할 기판(W)을 올려놓은 후, 테이블(4)을 스크라이브 헤드(13)의 위치까지 이행시키고, 커터 휠(12)을 강하시켜 커터 휠(12) 또는 테이블(4)을 상대적으로 이동시킴으로써 행해진다. 또한, 테이블(4)을 회전 구동부(5)에 의해 90도 회전시킴으로써, X-Y방향의 스크라이브 라인을 가공할 수 있다.

상면에 스크라이브 라인이 가공되어 테이블(4) 상에 올려놓여져 있는 기판(W)은, 이하의 공정을 거쳐 표리 반전된다.

우선, 흡착 반전 장치(C)의 좌측의 로크 핀(28)의 로크를, 좌측 로크 해제 버튼(35)을 조작하여 해제한다. 그리고, 손잡이(25)를 잡고 수동으로 도 10, 11에 나타내는 바와 같이 흡착판(18)을 스크라이브 장치(B)의 테이블(4)의 상방, 즉, 기판 인수인도 위치까지 이동시킨다.

흡착 반전 장치(C)가 기판 인수인도 위치까지 이동하면, 위치 감지 부재(29)(도 1 참조)가 흡착 반전 장치(C)의 위치를 감지하여 자동적으로 우측의 로크 핀(28)이 걸어맞춤구멍(27)에 걸어 넣어져 흡착 반전 장치(C)의 위치가 로크된다.

상기와 같이 하여 흡착 반전 장치(C)를 기판의 인수인도 위치에서 로크한 후, 승강 버튼(36)을 눌러 압하 부재(17)(도 5 참조)를 작동시키고, 흡착판(18)을 도 12에 나타내는 바와 같이 테이블(4)의 기판(W)에 접하는 위치까지 하동시킨다. 이 위치에서 버큠 버튼(39)을 눌러 기판(W)을 흡착판(18)에 흡착시킨다. 이때, 테이블(4)의 흡인 에어에 의한 흡착력은, 별도 형성한 테이블용의 흡착 해제 버튼(도시 외)에 의해, 버큠 버튼(39)를 누르기 전에 해제해 두거나, 혹은 상기한 버큠 버튼(39)을 누르는 조작과 연동하여 해제되도록 한다.

이어서, 재차 승강 버튼(36)을 눌러 압하 부재(17)의 압하력을 해제한다. 이 해제에 의해, 흡착판(18)은 복귀 스프링(19)(도 3 참조)의 복원력에 의해 도 13에 나타내는 바와 같이 원위치로 복귀한다.

이어서, 우측 로크 해제 버튼(34)을 눌러 우측의 로크 핀(28)의 로크를 해제한 후, 도 14에 나타내는 바와 같이, 흡착 반전 장치(C)를 수동으로 기판 반전 위치까지 이동시킨다. 이 기판 반전 위치에서 위치 감지 부재(29)가 감지하여 좌측의 로크 핀(28)이 걸어맞춤구멍(27)에 걸어 넣어져 흡착 반전 장치(C)의 위치가 로크된다. 이 위치에서, 도 15에 나타내는 바와 같이, 반전 조작 버튼(43)을 눌러 흡착판(18)을 반전시킨다.

흡착판(18)을 반전시킨 후, 좌측 로크 해제 버튼(35)을 눌러 로크를 해제하고, 흡착 반전 장치(C)를 수동으로 도 16의 기판 인수인도 위치까지 이동시킨다. 그 후, 흡착 승강 장치(D)의 조작 버튼(37)을 누르고, 도 17에 나타내는 바와 같이, 흡착판(32)을 흡착 반전 장치(C)의 흡착판(18)에 흡착되어 있는 기판(W) 상으로 강하시킨다. 이 상태에서 버큠 버튼(40)을 눌러 흡착 에어를 흡착 반전 장치(C)의 흡착판(18)으로부터 흡착 승강 장치(D)의 흡착판(32)으로 전환하여, 기판(W)을 흡착판(32)에 흡착시킨 후, 조작 버튼(37)을 누르고, 도 18에 나타내는 바와 같이, 흡착 승강 장치(D)의 흡착판(32)을 상승시킴과 함께, 상기한 조작에 의해 흡착 반전 장치(C)의 로크를 해제하여 흡착 반전 장치(C)(흡착판(18))를 기판 반전 위치로 되돌린다.

이어서, 조작 버튼(37)을 누르고, 도 19에 나타내는 바와 같이, 흡착 승강 장치(D)의 흡착판(32)을 스크라이브 장치(B)의 테이블(4) 위까지 강하시키고, 버큠 버튼(40)을 눌러 흡착판(32)의 흡착 에어를 OFF로 한다. 이에 따라, 기판(W)을 테이블(4)로 인수인도한다. 이후, 조작 버튼(37)을 누르고, 도 20에 나타내는 바와 같이, 흡착 승강 장치(D)의 흡착판(32)을 원래의 위치까지 상승시킨다. 또한, 반전 위치로 되돌려진 흡착 반전 장치(C)의 흡착판(18)은, 반전 조작 버튼(43)을 누름으로써 흡착면(18a)이 하향이 되도록 반전시키고 다음의 기판 반전 작업을 위해서 대기시켜 둔다.

이와 같이 하여 반전된 기판(W)은, 다음의 브레이크 공정을 위해 테이블(4)로부터 제거된다.

상기한 공정에 있어서, 흡착 반전 장치(C)의 흡착판(18)은, 스크라이브 장치(B)의 테이블(4)로부터 기판(W)을 수취한 후, 기판 반전 위치로 이동시켜 반전시키는 것이기 때문에, 테이블(4)로부터 기판(W)을 수취했을 때에 테이블(4)에 접촉하지 않을 정도로 들어 올리는 것만으로 좋다. 따라서, 도 3∼5에 나타내는 바와 같이, 흡착판(18)을 승강시키는 기구로서 상하 이동 스트로크가 작은 압하 부재(17)와, 압하 부재(17)의 압하력을 해제했을 때에 흡착판(18)을 원위치로 복귀시키는 복귀 스프링(19)에 의한 간단한 기구로 콤팩트하게 형성할 수 있다.

상기 실시예에 있어서, 스크라이브 장치(B)의 테이블(4) 상의 기판(W)을 반전하기 위해, 우선 흡착 반전 장치(C)에서 테이블(4) 상의 기판(W)을 집어들어 반전시킨 후, 흡착 승강 장치(D)로 기판(W)을 인수인도하여 테이블(4)에 올려놓도록 했지만, 이 순서를 대신하여, 우선 흡착 승강 장치(D)에서 기판(W)을 테이블(4)로부터 집어들어 흡착 반전 장치(C)로 인수인도하고, 기판(W)을 반전시킨 후, 흡착 반전 장치(C)에서 테이블(4)에 기판(W)을 올려놓도록 해도 좋다.

또한, 기판 가공 장치(A)에 조입한 스크라이브 장치(B)를 대신하여, 도 22에 나타내는 바와 같이, 실린더(44)에 의해 승강하는 판 형상의 브레이크 바(45)를 구비한 브레이크 장치(E)를 조입하는 것도 가능하다. 이 경우는, 미리 상면에 스크라이브 라인이 가공된 기판(W)을, 상기한 스크라이브 장치(B)의 테이블(4)과 동일한 이동 기구를 구비한 테이블(4)에 올려놓고, 흡착 반전 장치(C) 그리고 흡착 승강 장치(D)에 의해 상기한 공정과 동일한 순서를 거쳐, 스크라이브 라인이 이면측이 되도록 기판(W)을 반전시켜 테이블(4)로 되돌린다. 그리고, 테이블(4)을 브레이크 바(45)의 하방까지 이동시켜 브레이크 바(45)를 기판(W)에 눌러대어 기판(W)을 휘게 하여, 스크라이브 라인을 따라 분단한다. 이후, 분단된 기판(W)은 테이블(4)로부터 제거되게 된다.

이상 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시 형태에 특정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기 실시예에서는, 흡착 반전 장치(C) 그리고 흡착 승강 장치(D)에 있어서의 흡착판(18, 32)의 승강 동작 그리고 버큠 동작 및, 흡착 반전 장치(C)의 흡착판(18)을 반전시키는 반전 회전운동 기구(42)의 구동은, 버튼 조작에 의해 수동으로 행하도록 했지만, 컴퓨터 제어에 의해 자동으로 행하도록 구성하는 것도 가능하다. 또한, 상기 실시예에 있어서, 제1 포트(52)는 회전축(15)을 사이에 두고 2개소 형성했지만, 그 이상 또는 1개소라도 좋다. 그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절하게 수정, 변경하는 것이 가능하다.

본 발명은, 유리 등의 취성 재료 기판에 스크라이브 가공이나 브레이크 가공을 행하는 기판 가공 장치에 있어서, 기판을 반전시키는 흡착 반전 장치에 이용된다.

A : 기판 가공 장치
B : 스크라이브 장치
C : 흡착 반전 장치
D : 흡착 승강 장치
W : 기판(취성 재료 기판)
1 : 프레임
14 : 측틀
15 : 회전축
18 : 흡착판
50 : 중공 부재
50a : 원형 개구부
51 : 플랜지
52 : 제1 포트
53 : 배관
54 : 에어 취입구
55 : 제2 포트
56 : 배관

Claims

취성 재료 기판을 흡착한 흡착판을 회전축 주위로 회전시켜 당해 취성 재료 기판을 표리 반전시키는 흡착 반전 장치로서,
상기 회전축을 회전 가능하게 지지하는 측틀과,
상기 회전축의 일부를 둘러싸도록 상기 측틀에 고정되고, 또한, 일단부에 원형 개구부를 갖는 중공 부재와,
상기 중공 부재의 상기 원형 개구부를 밀봉함과 함께 상기 회전축과 일체가 되어 회전하는 원반 형상의 플랜지와,
상기 플랜지에 개구하고, 배관을 통하여 상기 흡착판과 연통하는 제1 포트와,
상기 중공 부재에 개구하고, 배관을 통하여 에어 흡인 장치에 연통하는 제2 포트를 갖는 흡착 반전 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 포트는, 상기 회전축을 사이에 두고 상기 플랜지에 복수 형성되어 있는 흡착 반전 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 포트는, 상기 회전축의 연재 방향과 직교하는 방향을 향하여 개구되어 있는 흡착 반전 장치.