CN209133483U - 一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，包括：吸盘机构，包括上下设置的第一吸盘和第二吸盘；翻转机构，连接所述第二吸盘，用于使所述第二吸盘翻转，带动所述第二吸盘吸附的晶圆类产品翻转；升降机构，连接所述第一吸盘，用于使所述第一吸盘下降，吸附所述第二吸盘上翻转后的晶圆类产品后，再使所述第一吸盘上升；水平移动机构，连接所述升降机构，用于带动所述升降机构上所述第一吸盘吸附的晶圆类产品平移。本实用新型整个定位过程结构简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体行业自动化设备技术领域，更具体地，涉及一种用于晶圆类产品的翻转和水平搬运装置。
背景技术
在半导体行业自动化制程中，经常需要让晶圆绕着其中心进行上下翻转。在翻转过程中，需要晶圆中心和旋转轴中心之间具有很高的同心度要求，并且，对翻转到位的角度准确性也有着很高的要求。这样就需要搬运机构和翻转机构之间具有很高的相对精度。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，包括：
吸盘机构，包括上下设置的第一吸盘和第二吸盘；
翻转机构，连接所述第二吸盘，用于使所述第二吸盘翻转，带动所述第二吸盘吸附的晶圆类产品翻转；
升降机构，连接所述第一吸盘，用于使所述第一吸盘下降，吸附所述第二吸盘上翻转后的晶圆类产品后，再使所述第一吸盘上升；
水平移动机构，连接所述升降机构，用于带动所述升降机构上所述第一吸盘吸附的晶圆类产品平移。
进一步地，所述第一吸盘和第二吸盘为伯努利气动吸盘。
进一步地，所述第一吸盘和第二吸盘的吸附面上设有多个触点。
进一步地，所述翻转机构设有第一电机，所述第一电机通过其转轴连接所述第二吸盘。
进一步地，所述第二吸盘的翻转轴与所述水平移动机构平移轴平行。
进一步地，所述升降机构设有气缸，所述气缸通过其活塞杆的端部连接所述第一吸盘。
进一步地，所述水平移动机构为一电缸。
进一步地，所述电缸设有缸体，所述缸体中设有丝杆，所述丝杆连接设于缸体一端的第二电机，所述丝杆上耦合有螺母，所述螺母通过滑块连接所述缸体上设有的滑轨，所述滑块同时连接所述升降机构。
进一步地，所述第一电机、第二电机为伺服电机。
进一步地，所述水平移动机构和所述翻转机构上下设于带有底座的支架上。
从上述技术方案可以看出，本实用新型通过采用点接触式的第二吸盘进行晶圆吸附，可以保证位置的精准性；然后通过翻转机构对晶圆进行翻转，由于点接触吸盘保证了晶圆的吸附稳定性，所以翻转的过程中不会产生漂移，然后采用另一个点接触式的第一吸盘及其连接的气缸，对吸附的晶圆进行上下移动和左右平移进行搬运。本实用新型整个机构为一个标准整体模块方便集成到自动化制程中，可以随意安装在设备上，使设备集成晶圆翻转平移功能，也可以单独将功能作为一个设备，完成晶圆翻转平移功能。使用直线模组进行水平移动，模组由伺服控制，精准度高，可以达到高精度水平定位的效果。还可以配合晶圆圆周视觉定位旋转装置，进行翻转平移后的进一步精定位。整个定位过程结构简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。本实用新型具有以下优点：
(1)能够降低搬运机构的搬运精度，在搬运时不需要对晶圆中心进行定位，不同规格的晶圆翻转可以通过同一台设备来实现。
(2)在旋转定位时晶圆中心和旋转轴中心有很高的同心度。
(3)旋转角度的准确性可得到更高的保证。
附图说明
图1是本实用新型一较佳实施例的一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。
需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。
在以下本实用新型的具体实施方式中，请参考图1，图1是本实用新型一较佳实施例的一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置结构示意图。如图1所示，本实用新型的一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，包括：吸盘机构5和6，翻转机构7，升降机构3，水平移动机构4等几个主要组成部分。
请参考图1。吸盘机构5和6包括上下设置的第一吸盘5和第二吸盘6。第一吸盘5和第二吸盘6用于吸附各种规格的晶圆类产品。
翻转机构7连接第二吸盘6，用于使第二吸盘6翻转，带动第二吸盘6吸附的晶圆类产品翻转。通常的翻转角度为80度，即使晶圆由正面向下翻转到正面向上的角度位置。
升降机构3连接第一吸盘5，用于使第一吸盘5下降，下降到第一吸盘5吸附上第二吸盘6上翻转后的晶圆类产品；然后，升降机构3再使第一吸盘5上升，带动第一吸盘5上吸附的晶圆类产品上升，对晶圆类产品进行垂直方向上的搬运。
水平移动机构4连接升降机构3，用于带动升降机构3平移，从而带动升降机构3所连接的第一吸盘5上吸附的晶圆类产品的平移，实现对晶圆类产品进行水平方向上的搬运。
请参考图1。第一吸盘5和第二吸盘6可采用伯努利气动吸盘。作为一优选的实施方式，在第一吸盘5和第二吸盘6的吸附面上还可设有多个触点，以增强吸附效果。
翻转机构7上可设有第一电机，第一电机通过其转轴连接第二吸盘6。这样，翻转机构7即可通过第一电机驱动其转轴旋转，从而可带动转轴连接的第二吸盘6翻转。第二电机可采用伺服电机，以精确控制翻转(旋转)角度。
第二吸盘6的翻转轴与水平移动机构4的平移轴平行。
升降机构3上可设有气缸，气缸通过其活塞杆的端部连接第一吸盘5。这样，升降机构3即可通过气缸驱动其活塞杆上下移动，从而可带动活塞杆连接的第一吸盘5上升或下降。
请参考图1。水平移动机构4可采用一个电缸。电缸可设有缸体，缸体中设有丝杆，丝杆连接设于缸体一端的第二电机，丝杆上耦合有螺母，螺母通过滑块连接缸体上设有的滑轨，滑块同时连接升降机构3的气缸。
第一电机可采用伺服电机，以精确控制平移精度。
请参考图1。水平移动机构4和翻转机构7可按上下位置安装在一个带有底座1的支架2上。
综上所述，本实用新型通过采用点接触式的第二吸盘进行晶圆吸附，可以保证位置的精准性；然后通过翻转机构对晶圆进行翻转，由于点接触吸盘保证了晶圆的吸附稳定性，所以翻转的过程中不会产生漂移，然后采用另一个点接触式的第一吸盘及其连接的气缸，对吸附的晶圆进行上下移动和左右平移进行搬运。本实用新型整个机构为一个标准整体模块方便集成到自动化制程中，可以随意安装在设备上，使设备集成晶圆翻转平移功能，也可以单独将功能作为一个设备，完成晶圆翻转平移功能。使用直线模组进行水平移动，模组由伺服控制，精准度高，可以达到高精度水平定位的效果。还可以配合晶圆圆周视觉定位旋转装置，进行翻转平移后的进一步精定位。整个定位过程结构简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。
以上的仅为本实用新型的优选实施例，实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，包括：
吸盘机构，包括上下设置的第一吸盘和第二吸盘；
翻转机构，连接所述第二吸盘，用于使所述第二吸盘翻转，带动所述第二吸盘吸附的晶圆类产品翻转；
升降机构，连接所述第一吸盘，用于使所述第一吸盘下降，吸附所述第二吸盘上翻转后的晶圆类产品后，再使所述第一吸盘上升；
水平移动机构，连接所述升降机构，用于带动所述升降机构上所述第一吸盘吸附的晶圆类产品平移。
2.根据权利要求1所述的晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，所述第一吸盘和第二吸盘为伯努利气动吸盘。
3.根据权利要求2所述的晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，所述第一吸盘和第二吸盘的吸附面上设有多个触点。
4.根据权利要求1所述的晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，所述翻转机构设有第一电机，所述第一电机通过其转轴连接所述第二吸盘。
5.根据权利要求1所述的晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，所述第二吸盘的翻转轴与所述水平移动机构平移轴平行。
6.根据权利要求1所述的晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，所述升降机构设有气缸，所述气缸通过其活塞杆的端部连接所述第一吸盘。
7.根据权利要求1所述的晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，所述水平移动机构为一电缸。
8.根据权利要求7所述的晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，所述电缸设有缸体，所述缸体中设有丝杆，所述丝杆连接设于缸体一端的第二电机，所述丝杆上耦合有螺母，所述螺母通过滑块连接所述缸体上设有的滑轨，所述滑块同时连接所述升降机构。
9.根据权利要求4或8所述的晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，所述电机为伺服电机。
10.根据权利要求1所述的晶圆类产品的翻转和水平搬运装置，其特征在于，所述水平移动机构和所述翻转机构上下设于带有底座的支架上。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN113113339A (zh) * | 2019-09-06 | 2021-07-13 | 杭州众硅电子科技有限公司 | 一种晶圆传输机械手 |
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