CN103456667A - 吸附台 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够不会造成结构的复杂化且在不会使较强的应力局部地作用于显示面板地使该显示面板在被交接时在吸附面上升降的吸附台。本发明的吸附台用于保持显示面板，其中，该吸附台包括：支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其以横穿上述吸附面的方式配置；多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上，用于将上述升降条收纳在上述支承台内而不使上述升降条自上述吸附面突出；支承机构，其位于上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位，以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条；升降装置，其为了使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收纳在上述凹部中的下降位置之间升降而与上述支承机构相关联地设置。

Description

吸附台

技术领域

本发明涉及一种适合于保持液晶显示面板、有机发光面板那样的显示板的吸附台。

背景技术

对于在玻璃基板上形成有电路的液晶显示面板那样的显示板，例如在制造工序中，使用探针台（prober）来对其进行电气检查。在该检查中，通常，利用负压将作为被检查体的液晶显示面板保持在被装入到探针台中的吸附台上。

为了将接受检查后的被检查体安全且迅速地自吸附台拆卸，在吸附台上，以能够自该吸附台的吸附面突出的方式设有用于使被检查体自该吸附面浮起的多个升降销（例如，参照专利文献1）。

位于突出位置的升降销在吸附面的上方自输送机器人接收到被检查体后下降到吸附面之下。在通过该升降销的下降来使被检查体移动到上述吸附面上后，通过装入到吸附台中的负压机构来使负压作用于上述吸附面。在上述被检查体接受检查的期间，该被检查体在上述负压的作用下被可靠地保持于上述吸附面。在检查后，随着升降销的上升，将被检查体自吸附面抬起。利用输送机器人将由上述升降销自吸附面抬起后的上述被检查体不受作用于吸附面与被检查体之间的较强的静电的影响地自吸附台除去。

但是，由于上述升降销与被检查体接触的接触面积较小，因此，随着被检查体的大型化导致的重量增加，被检查体的与升降销接触的接触部所受到的局部应力变大。具有该玻璃基板的被检查体的局部的应力集中会对被检查体带来较大的应力，故此不希望发生该局部的应力集中。

因此，提出有如下一种装置：由多个互相隔开间隔地平行配置的固定保持构件和在各固定保持构件之间以能够相对于该固定保持构件升降的方式配置的多个带状的升降构件来构成吸附面，在向该吸附面交接被检查体时，使上述升降构件相对于上述固定保持构件下降（例如，参照专利文献2）。

采用专利文献2所记载的装置，上述升降构件在其上升位置与上述固定保持构件共同构成平坦的吸附面。在吸附面与机械臂之间交接被检查体时，机械臂能够插入到由于多个带状的上述升降构件下降而形成的空间内，因此，机械臂与吸附面不会发生干涉，并且，由于互相平行地配置的多个固定保持构件以较大的带状面积支承被检查体，因此不会使较强的局部应力作用于被检查体而能够适当地处理被检查体。

然而，在专利文献2所记载的装置中，用于对被检查体进行吸附保持的负压所作用的吸附面由多个固定保持构件和能够分别在该固定保持构件之间进行升降的升降构件构成。因此，用于形成吸附面的支承台的结构变得复杂，且需要在支承台的内部设置用于使多个升降构件同时升降的机构，由于支承台的结构变得复杂，因此存在吸附装置因结构变得复杂而变得价格高昂这样的缺点

专利文献1：日本特开2002－246450号公报

专利文献2：日本特开2011－29565号公报

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够不会造成结构的复杂化且不会使较强的应力局部地作用于作为被检查体的显示面板地在交接该显示面板时使该显示面板在吸附面上升降的吸附台。

本发明提供一种吸附台，其用于保持显示面板，其中，该吸附台包括：支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其以横穿上述吸附面的方式配置；多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上，用于将上述升降条收纳在上述支承台内而使上述升降条不会自上述吸附面突出；支承机构，其在上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条；以及升降装置，其为了使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收纳在上述凹部中的下降位置之间升降而与上述支承机构相关联地设置。

在本发明的上述吸附台中，用于将上述升降条收纳于上述支承台的上述凹部以横穿上述支承台的上述吸附面的方式形成。能够收纳于上述凹部中的上述升降条通过设于上述支承台的侧部的上述支承机构而在收纳于上述凹部中的后退位置与自上述吸附面突出的突出位置之间升降。因而，不必如以往那样将上述支承台形成为多个固定构件和可动构件的集合体，另外，能够利用多个上述升降条来使该显示面板在上述吸附面上升降，以便将上述显示面板交接到上述吸附台上，因此，不会造成上述吸附台的结构的复杂化，即使是大型的显示面板，也能够防止较强的应力局部地作用于该显示面板。

能够在上述支承机构上设置用于对作用于上述升降条的冲击进行缓和的冲击缓和机构。在吸附台与例如机械臂之间交接上述显示面板时，通过该冲击缓和机构，不需要为了避免冲击作用于该显示面板而使机械臂的动作如以往那样显著地减速。因此能够不需要机械臂的缓慢的动作，因此能够谋求减少生产节拍时间。

上述冲击缓和机构能够由支柱和压缩螺旋弹簧构成，该支柱支承于上述支承台且在顶部形成有以能够沿着上下方向引导上述升降条的方式接收上述升降条的引导槽，该压缩螺旋弹簧配置在上述引导槽的底部与上述升降条之间。

能够在上述升降条上设置调整螺钉，该调整螺钉用于与上述压缩螺旋弹簧的端部相抵接以调整该螺旋弹簧的压缩量。通过利用该调整螺钉来调整压缩量，能够根据所处理的上述显示面板的大小即重量的变化来适当地调整该压缩螺旋弹簧的弹簧力，使得上述压缩螺旋弹簧的位移量大致恒定。

能够在各支柱上设置能够调整该支柱的长度方向上的位置的高度调整机构。设于各支柱的各高度调整机构能够针对每个上述升降条调整该升降条的倾斜和高度位置。

能够在上述支承机构上设置一对梁构件，该一对梁构件在上述支承台的两侧沿着该支承台配置。该一对梁构件以能够在上下方向上移动的方式支承于上述支承台，并能够通过上述升降装置的动作而在上下方向上移动。在该情况下，在各梁构件上能够借助上述支柱支承有所对应的上述升降条的端部。

另外，在上述梁构件与各支柱之间设有用于调整该支柱的高度位置的上述高度调整机构。

另外，能够在各升降条上形成肩部，该肩部用于与该升降条上的上述显示面板的缘相抵接以防止该显示面板脱落。通过该肩部的止挡功能，能够可靠地防止上述显示面板自上述升降条不慎脱落。

另外，能够与上述肩部相关联地在上述升降条的上表面的靠近上述肩部的部位设置退让槽，该退让槽用于防止因上述升降条上的上述被检查体的倾斜而导致上述被检查体的缘与上述上表面之间发生干涉。由此，即使在将上述被检查体配置在上述升降条上或将上述被检查体自该升降条上除去时上述被检查体相对于上述升降条倾斜，也能够防止该被检查体的缘与上述升降条的上表面抵接，因此能够防止因该抵接而造成被检查体损伤。

采用本发明，不必如以往那样将支承台形成为多个固定构件和可动构件的集合体，而能够使上述支承台成为具有用于收纳上述升降条的上述凹部的一体结构，并且能够利用设于上述支承台的侧方的上述升降装置来使上述升降条升降。因而，不会造成上述吸附台的结构的复杂化而能够较廉价地提供一种吸附台，该吸附台即使对于大型的显示面板也能够在不会使较强的应力局部地作用于该显示面板地处理该显示面板。

附图说明

图1是将本发明的吸附台连同输送机器人一起表示的立体图。

图2是图1所示的吸附台的俯视图。

图3是图1所示的吸附台的侧视图。

图4是沿着图3所示的IV－IV线剖切而得到的剖视图。

图5是沿着图3所示的V－V线剖切而得到的剖视图。

图6是沿着图3所示的VI－VI线剖切而得到的剖视图。

图7是将图3中的由附图标记A示出的圆圈围绕的部分放大表示的图。

图8是向由图6所示的附图标记B表示的箭头方向看去的支柱的高度调整机构的主视图。

图9是图1所示的吸附台的主视图，其中，图9的（a）表示升降条位于上升位置的状态，图9的（b）表示升降条位于下降位置的状态。

具体实施方式

如图1所示，本发明的吸附台10被装入到用于对液晶面板、有机发光面板那样的显示板12进行检查的探针台（未图示）中而被使用。在图1中，示出了在吸附台10与输送机器人14之间交接被检查体12的例子。

如以往公知那样，输送机器人14包括：可动台18，其能够在基座16上朝向吸附台10移动并能够向离开该吸附台10的方向移动；以及轴构件22，其由设置于该可动台上的支柱20同轴地支承，绕轴线进行旋转动作，并且沿着上述轴线相对于支柱20进行伸缩动作。在能够进行旋转动作和伸缩动作的该轴构件22上固定有以往公知那样的用于载置被检查体12的叉状的机械臂24。

输送机器人14在自例如未图示的盒将被收纳在该盒中的显示板即被检查体12接收到机械臂24上后，为了在使轴构件22伸长了的状态下将机械臂24朝向吸附台10上移动，而使可动台18动作。之后，轴构件22进行收缩动作而将被检查体12转移到吸附台10上后，使可动台18动作，以便在该收缩状态下使机械臂24离开吸附台10。

另外，在完成对吸附台10上的被检查体12进行的电气检查或目视检查后，输送机器人14使可动台18朝向吸附台10动作，以便在轴构件22收缩了的状态下使机械臂24插入到吸附台10上的被检查体12之下。之后，通过使轴构件22进行伸长动作来使吸附台10上的被检查体12转移到机械臂24上后，输送机器人14使可动台18动作，以便在该伸长状态下使机械臂24离开吸附台10。通过该输送机器人14的动作，将被检查体12自吸附台10经由输送机器人14转移到上述盒中。

用于与输送机器人14之间交接被检查体12的吸附台10包括支承台26，该支承台26具有吸附面26a。在图1所示的例子中，吸附台10的支承台26载置在以往公知的XYZθ台架28上。因而，支承台26能够与以往同样地绕作为铅垂轴线的Z轴进行旋转，并能够在与Z轴成直角的XY面上分别沿着X轴和Y轴移动。

吸附台10利用其支承台26的吸附面26a来保持来自输送机器人14的被检查体12。在图1和图2所示的例子中，该吸附面26a呈在XY面上具有长边和短边的矩形形状。另外，如图2明确地所示那样，在吸附面26a上形成有沿着吸附面26a的长边延伸且两端在吸附面26a的两侧敞开的、以往公知的多个细槽30a，另外，在吸附面26a上形成有描画出矩形的负压槽30b。

如以往公知那样，自负压源（未图示）对负压槽30b导入负压，该负压用于在将被检查体12保持在吸附面26a上时吸附该被检查体。细槽30a是防带电用的槽。在要使被检查体12离开吸附面26a时，如以往公知那样，细槽30a通过将空气引导到被检查体12与吸附面26a之间来减弱在被检查体12和吸附面26a这两者之间产生的空气流，由此抑制因该空气流而产生被导入到被检查体12上的静电的情况。

而且，如图2所示，在吸附面26a上形成有沿着吸附面26a的长边呈直线状延伸的多个凹部32。如图3明确地所示那样，各凹部32到达支承台26的两侧并在该两侧敞开。另外，与各凹部32相对应地设有沿着吸附面26a的长边方向横穿该吸附面26a的升降条34。凹部32具有用于收纳所对应的升降条34的充分的宽度尺寸，并具有用于使收纳后的升降条34的上表面与吸附面26a齐平的深度尺寸。

如图2和图3所示，在支承台26的两侧分别配置有升降条34的支承机构36和升降装置38。如图2和图3所示，支承机构36包括：梁构件40，其在该支承台的侧方沿着该支承台大致水平地配置；以及多个引导装置42，其沿着Z轴在铅垂方向上引导该梁构件（参照图3）。

如图4明确地所示那样，各引导装置42包括：安装板44，其以自支承台26向下方伸长的方式固定在该支承台上；导轨46，其安装在该安装板上且沿着铅垂方向延伸；以及滑动构件48，其固定在该梁构件40上，被导轨46沿着铅垂方向引导。在导轨46的两端设有用于与滑动构件48相抵接以限制该滑动构件48的移动范围的止挡件46a、46a。

因而，配置在支承台26的两侧的一对梁构件40以能够借助各引导装置42而在支承台26的两侧且在两止挡件46a、46a之间沿着铅垂方向移动的方式被保持于支承台26。

升降装置38为了使一对梁构件40在两止挡件46a、46a之间升降而设于支承台26的两侧。在图3和图5所示的例子中，升降装置由流体缸装置38构成，该流体缸装置38包括借助安装板50固定在支承台26上的缸主体38a和自该缸主体突出的活塞杆38b。缸装置38利用气压或液压进行动作。缸装置38的轴线沿着铅垂方向配置，活塞杆38b的顶端固定在结合构件52上，该结合构件52被固定在梁构件40上。

因而，通过使配置在支承台26的两侧的一对流体缸装置38同步地进行动作，能够使在支承台26的两侧沿着该支承台配置的一对梁构件40同步地升降。

如图3所示，上述支承机构36还包括用于使各升降条34与所对应的梁构件40相结合的支柱54。如图6和图7所示，在各支柱54的上端部设有冲击缓和机构56，各升降条34的端部借助各冲击缓和机构56与所对应的支柱54的上端部弹性地结合。

各冲击缓和机构56包括：凹部58，其开设在支柱54的上端，用于具有游隙地接收所对应的梁构件40的端部；槽60，其以横穿梁构件40的方式形成，且沿着大致水平方向贯穿该梁构件的端部；引导销62，其贯穿该槽内且两端支承于凹部58的铅垂壁58a；以及压缩螺旋弹簧64，其配置在梁构件40的端部与凹部58的底壁58b之间。

压缩螺旋弹簧64的下端收在被设置在凹部58的底壁58b上的孔66中，压缩螺旋弹簧64的上端与带切槽的定位螺钉构件68相抵接。定位螺钉构件68自该梁构件40的上方在该梁构件的端部与梁构件40螺纹结合，定位螺钉构件68的下端自梁构件40的下表面突出。压缩螺旋弹簧64通过与该带切槽的定位螺钉构件68的下端相抵接而被定位在梁构件40与底壁58b之间。另外，为了容许梁构件40随着压缩螺旋弹簧64的压缩变形而在上下方向上移动，槽60沿着上下（Z轴）方向延伸。因而，在压缩螺旋弹簧64的弹簧力的作用下，梁构件40的各端部对于向重力方向作用的外力呈现弹性地支承于支柱54。

由于通过槽60与由该槽接收的引导销62间的干涉来限制升降条34和凹部58的底壁58b之间的距离，因此能够通过自定位螺钉构件68的上端对定位螺钉构件68进行旋转操作来压缩压缩螺旋弹簧64，由此，能够调整压缩螺旋弹簧64的弹簧力。结果，定位螺钉构件68作为用于调整压缩螺旋弹簧64的压缩量的调整螺钉发挥作用。

另外，如图6所示，在各升降条34的端部形成有肩部34b，该肩部34b用于在升降条34的上表面34a上载置有被检查体12时与该被检查体的缘相抵接以防止被检查体12超出升降条34的端部。而且，在升降条34的上表面34a的靠近肩部34b的区域中形成有凹状的退让槽70，该退让槽70用于防止因被检查体12在升降条34上倾斜而使被检查体12的缘部与升降条34的上表面34a相抵接的情况。

各支柱54借助设于其下部的高度调整机构72支承于所对应的梁构件40。如图6和图8所示，各高度调整机构72包括：锚固构件76，其利用固定螺钉74固定于各支柱54的下部；紧固件78，其用于以能够解除结合的方式将该支承台与所对应的梁构件40结合；以及带切槽的定位螺钉80，其用于在松开了紧固件78的状态下调整锚固构件76相对于梁构件40的高度位置。

在锚固构件76上，为了容许紧固件78贯穿锚固构件76而形成有朝向梁构件40地贯穿锚固构件76的一对槽82。如图6所明确地所示那样，槽82为了在上下方向上具有游隙地接收所对应的紧固件78而沿着上下方向在锚固构件76中延伸。贯穿各槽82的紧固件78由顶端与形成在梁构件40上的螺纹孔84螺纹结合的螺栓构件构成。因而，在松开了螺栓构件78的状态下，能够在槽82的上下方向上的长度尺寸的范围内调整锚固构件76和下端被固定在该支承台上的支柱54的高度位置。

为了易于调整该锚固构件76的高度位置即支柱54的高度位置，定位螺钉80以其上端能够自固定在梁构件40上的螺纹座86的螺纹孔86a突出的方式与螺纹孔86a螺纹结合。螺纹孔86a在上下方向上贯穿螺纹座86，定位螺钉80的自该螺纹孔突出的上端与锚固构件76的底面相抵接。

因而，在如上述那样松开了螺栓78的状态下，通过对定位螺钉80进行旋转操作，能够利用该定位螺钉的上端来例如顶起锚固构件76，由此，能够在槽82的上述长度尺寸的范围内调整支柱54的高度位置。在利用该定位螺钉80来调整高度位置后，通过利用螺栓78将锚固构件76紧固于梁构件40，从而完成各支柱54的高度调整操作。

通过调整该支柱54的高度位置，能够校正端部支承于各支柱54的梁构件40的倾斜、高度位置的偏差，从而能够使升降条34的上表面34a与平行于支承台26的吸附面26a的假想平面齐平。

能够使上述锚固构件76与支柱54形成为一体。另外，也能够不需要高度调整机构72。

为了使所有的升降条34在如图9的（a）所示那样的、所有的升降条34自支承台26的吸附面26a的凹部32突出而位于吸附面26a的上方的上升位置与图9的（b）所示那样的、升降条34收纳在凹部32中而使升降条34的上表面34a位于吸附面26a以下的下降位置之间同步地进行动作，一对流体缸构装置38同步地进行动作。

在图9的（a）所示的上升位置处，如上所述，将输送机器人14的机械臂24上的被检查体12转移到升降条34上。此时，随着因输送机器人14的轴构件22的收缩动作而产生的机械臂24的下降动作，与被检查体12的重量相应的冲击作用于升降条34。然而，在将被检查体12转移到升降条34上时，由于设于各升降条34与支柱54之间的冲击缓和机构56的弹性支承作用，被检查体12不会受到冲击。

另外，由于设有冲击缓和机构56，因此不进行如以往那样对上述机械臂24的下降动作的减速就能够防止作用于被检查体12的冲击，因此，不需要机械臂24的缓慢动作，从而能够谋求缩短生产节拍时间。

通过如上所述那样根据所处理的被检查体12的重量的增减来对定位螺钉构件68进行旋转操作，从而即使被检查体12的重量发生增减，冲击缓和机构56也能够将压缩螺旋弹簧64的因被检查体12的重量而产生的变形量保持得大致恒定。因而，通过根据被检查体12的重量来对定位螺钉构件68进行旋转操作，能够利用冲击缓和机构56来有效地吸收冲击。

在被检查体12自机械臂24转移到各升降条34上时，即使该被检查体在升降条34的长边方向上产生倾斜，由于在各升降条34的两端部靠近肩部34b地形成有退让槽70，因此，被检查体12的向下方倾斜的缘不会与升降条34的上表面34a相抵接。由此，被检查体12不会受到因其与升降条34抵接而造成的损伤地转移到该升降条上，利用升降条34的肩部34b能够可靠地防止被转移到升降条34上的被检查体12自升降条34脱落。

在被检查体12被移动到升降条34上且机械臂24自支承台26上后退后，一对流体缸构件38同步地进行收缩动作，由此，将升降条34保持在图9的（b）所示的下降位置。

在升降条34移动到下降位置后，如上所述，利用作用于负压槽30b的负压将被检查体12可靠地保持在支承台26上，并对被检查体12进行规定的检查。

在完成被检查体12的上述检查后，通过一对流体缸构件38进行动作来使升降条34朝向图9的（a）所示的上升位置移动。在支承台26上的被检查体12随着该流体缸构件38而欲借助升降条34自支承台26的吸附面26a浮起时，由于细槽30a如上述那样发挥空气引导作用，从而能够防止在被检查体12上产生静电。

通过在将输送机器人14的机械臂24插入到升降条34之间的状态下使轴构件22进行伸长动作，将位于上升位置的升降条34上的检查完成后的被检查体12转移到机械臂24上，然后，利用输送机器人14使该被检查体12返回到上述盒中。

采用本发明的吸附台10，能够在支承台26上形成用于收纳升降条34的凹部32并利用设于支承台26的侧方的升降装置38来使升降条34升降。因而，不会造成吸附台10的结构的复杂化而能够较廉价地提供一种吸附台10，该吸附台10对于大型的显示面板12也能够不会使较强的应力局部地作用于该显示面板地处理该显示面板。

以上示出了与吸附面26a的长边平行地形成了凹部32的例子，但也能够替代这种形成方法，而以凹部32与吸附面26a的长边夹着角度地延伸的方式并列地形成多个凹部32。

另外，能够使该凹部32的深度尺寸大于升降条34的高度尺寸而在升降条34的下降位置将该升降条的上表面设定在吸附面26a下。

对于升降装置38，能够替代上述的流体缸装置，而适当地使用电动马达和齿轮齿条或者线性马达等各种升降装置。

本发明并不限定于上述实施例，只要不脱离本发明的主旨，就能够进行各种改变。

附图标记说明

10、吸附台；12、被检查体（显示面板）；26、支承台；26a、吸附面；32、凹部；34、升降条；36、支承机构；38、升降装置；40、梁构件；54、支柱；56、冲击缓和机构；58、支柱的凹部；58b、凹部的底壁；64、压缩螺旋弹簧；68、定位螺钉构件（调整螺钉）；70、退让槽；72、高度调整机构。

Claims (9)

1.一种吸附台，其用于保持显示面板，其中，

该吸附台包括：

支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；

多个升降条，其以横穿上述吸附面的方式配置；

多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上，用于将上述升降条收纳在上述支承台内而使上述升降条不会自上述吸附面突出；

支承机构，其在上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条；以及

升降装置，其为了使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收纳在上述凹部中的下降位置之间升降而与上述支承机构相关联地设置。

2.根据权利要求1所述的吸附台，其中，

在上述支承机构上设有用于对作用于上述升降条的冲击进行缓和的冲击缓和机构。

3.根据权利要求2所述的吸附台，其中，

上述冲击缓和机构包括：

支柱，其支承于上述支承台且在顶部形成有以能够沿着上下方向引导上述升降条的方式接收上述升降条的凹部；以及

压缩螺旋弹簧，其配置在上述凹部的底部与上述升降条之间。

4.根据权利要求3所述的吸附台，其中，

在上述升降条上设有调整螺钉，该调整螺钉用于与上述压缩螺旋弹簧的端部相抵接以调整该螺旋弹簧的压缩量。

5.根据权利要求3所述的吸附台，其中，

在各支柱上设有能够调整该支柱的高度位置的高度调整机构。

6.根据权利要求3所述的吸附台，其中，

上述支承机构包括一对梁构件，该一对梁构件在上述支承台的两侧沿着该支承台配置，并以能够在上下方向上移动的方式支承于上述支承台，且能够通过上述升降装置的动作而在上下方向上移动，在各梁构件上借助上述支柱支承有所对应的上述升降条的端部。

7.根据权利要求6所述的吸附台，其中，

在上述梁构件与各支柱之间设有用于调整该支柱的高度位置的高度调整机构。

8.根据权利要求1所述的吸附台，其中，

在各升降条上形成有肩部，该肩部用于与该升降条上的上述显示面板的缘相抵接以防止该显示面板脱落。

9.根据权利要求8所述的吸附台，其中，

在上述升降条的上表面的靠近上述肩部的部位形成有退让槽，该退让槽用于防止因上述升降条上的上述显示面板的倾斜而导致该显示面板的缘与上述上表面之间发生干涉。

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