CN207088231U - 一种单晶硅棒截断支撑平移车 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种单晶硅棒截断支撑平移车，包括小车式机架，以及设置于机架上的操作平台，还包括平台升降装置，以及设置于平台上的硅棒支撑座，所述硅棒支撑座通过一平移装置与平台相连。本实用新型具有结构简单、方便易用、成本低、可靠性好的特点，可以有效地避免长单晶硅棒在截断工序中发生断折事故以及降低劳动强度和操作危险系数。

Description

一种单晶硅棒截断支撑平移车

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒截断辅助设备领域，特别是涉及一种单晶硅棒截断支撑平移车。

背景技术

随着半导体行业的持续旺盛，单晶硅片的需求仍高歌猛进。单晶硅棒截断作为单晶硅片制备的重要工序，得到了广泛的关注。目前单晶截断设备生产技术主要通过人工上下料，在截断过程中，当截断机截完一段硅棒后，再次截断硅棒时，需推动硅棒沿纵向方向移动，以便进行剩余硅棒的截断。这样的操作方式，不仅劳动强度大，危险系数较高，而且容易发生硅棒将设备夹具拉断的事故，不但会导致硅棒等原材料损毁，严重时还会发生人员伤害事故。同时现有的单晶硅棒截断设备加工范围小。对于较长的硅棒，尤其是1.6m以上的硅棒，由于截断机固定部位长度较少，大部分硅棒伸出机台，悬在空中，夹具部分长期受力，易变形损坏，损坏设备。

实用新型内容

针对现有单晶硅棒截断工序中存在的设备缺陷和不足，本实用新型的目的在于弥补现有设备缺陷及降低劳动强度和操作危险系数。

本实用新型的技术方案如下：

一种单晶硅棒截断支撑平移车，包括小车式机架，以及设置于机架上的操作平台，其特征在于：还包括平台升降装置，以及设置于平台上的硅棒支撑座，所述硅棒支撑座通过一平移装置与平台相连。

可选的，所述平台升降装置包括设置于机架中部的中平台，以及设置于中平台上的蜗轮丝杆装置，所述蜗轮丝杠装置包括一竖直设置的丝杆和与之相匹配的蜗轮，所述丝杆上端与操作平台底端相连，所述蜗轮设置于一固定于中平台上的盒体内，所述蜗轮的两端轴向分别与一手柄相连，所述蜗轮在手柄驱动下连同丝杆转动并驱动操作平台做上下移动。

可选的，所述平移装置包括一个或一组光滑的导杆，所述硅棒支撑座与套装在导杆上的直线轴承相连。

可选的，所述硅棒支撑座包括两个与操作平台成30°角倾斜对称设置的楔状结构组成的“V”型结构。

可选的，所述楔状结构由一组平行设置的辊子组成。

可选的，所述小车式机架的底端设置有一组万向轮。

本实用新型的技术效果在于：

本实用新型的单晶硅棒截断支撑平移车通过一小车式机架，设置于机架上的操作平台，以及设置于平台上的硅棒支撑座，操作平台通过一组蜗轮丝杆结构实现上下移动，硅棒支撑座通过光滑导杆和直线轴承机构实现水平方向的平移，硅棒支撑座由两个与操作平台成30°角倾斜对称设置的楔状结构组成的“V”型结构，并作为支撑单晶硅棒的悬空端的滚筒，结合操作平台的上下移动和硅棒支撑座自身的水平方向的平移，可以精确调整硅棒支撑座的位置，实现对硅棒的支撑作用。

附图说明

图1所示为本实用新型的结构示意图。

图2所示为图1的侧向视图。

图3所示为图1的俯视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步说明。

如图1所示为本实用新型的结构示意图，图2所示为其侧向视图，图3所示为其俯视图。

本实例单晶硅棒截断支撑平移车包括小车式机架1，机架1上包括操作平台 2和中平台3。

机架1的底部沿四角设置有万向轮11，万向轮具有自锁机构，当需要移动机架1时，释放该自锁机构，并推动机架1移动到需要的位置处，然后锁定各万向轮11即可。

中平台3上设置有一蜗轮盒6，内置有蜗轮，丝杆7与蜗轮相适配，并穿置蜗轮盒6，且在盒内与蜗轮啮合，丝杆7的上端与操作平台2底面固定连接，蜗轮两端轴向分别通过一轴与手柄8相连，通过转动手柄8，可以驱动蜗轮转动，蜗轮通过与丝杆7啮合并驱动丝杆7上下移动，丝杆7带动操作平台2随之做上下移动。

操作平台2上设置有硅棒支撑座，包括两个对称设置的楔状支架，各楔状支架分别由一组平行设置的辊子4组成，楔状支架的支撑面与操作平台2成30°角倾斜设置，两支撑面成120°角，构成一滚筒，单晶棒5容置其间。

硅棒支撑座底部与直线轴承10相连，直线轴承10套装在光滑的导杆9上，导杆9固定设置于操作平台2上，硅棒支撑座可以随直线轴承10沿导杆9做水平方向移动。

本实用新型的工作原理为：

工作时，工人把长硅棒用液压车移动到单晶硅棒截断机上并固定于截断机夹具，然后将单晶硅棒截断支撑平移车移动到硅棒伸出截断机部分的下方，摇动手柄升高上平台，将硅棒压到滚筒支撑面上，使小车支撑到硅棒，然后移走液压车。

开启截断机，待截断机截断硅棒后，推动硅棒纵向移动至一定位置(根据需要硅棒截断的长短)，固定硅棒，再次截断硅棒，直至将单晶硅棒截断完毕。

最后，降低单晶硅棒截断支撑平移车平台高度，将其摆放到指定位置。

Claims (6)

1.一种单晶硅棒截断支撑平移车，包括小车式机架，以及设置于机架上的操作平台，其特征在于：还包括平台升降装置，以及设置于平台上的硅棒支撑座，所述硅棒支撑座通过一平移装置与平台相连。

2.如权利要求1所述的单晶硅棒截断支撑平移车，其特征在于：所述平台升降装置包括设置于机架中部的中平台，以及设置于中平台上的蜗轮丝杆装置，所述蜗轮丝杠装置包括一竖直设置的丝杆和与之相匹配的蜗轮，所述丝杆上端与操作平台底端相连，所述蜗轮设置于一固定于中平台上的盒体内，所述蜗轮的两端轴向分别与一手柄相连，所述蜗轮在手柄驱动下连同丝杆转动并驱动操作平台做上下移动。

3.如权利要求2所述的单晶硅棒截断支撑平移车，其特征在于：所述平移装置包括一个或一组光滑的导杆，所述硅棒支撑座与套装在导杆上的直线轴承相连。

4.如权利要求3所述的单晶硅棒截断支撑平移车，其特征在于：所述硅棒支撑座包括两个与操作平台成30°角倾斜对称设置的楔状结构组成的“V”型结构。

5.如权利要求4所述的单晶硅棒截断支撑平移车，其特征在于：所述楔状结构由一组平行设置的辊子组成。

6.如权利要求5所述的单晶硅棒截断支撑平移车，其特征在于：所述小车式机架的底端设置有一组万向轮。