CN219226244U - 壳体升降结构及晶圆装载装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种壳体升降结构及晶圆装载装置，所述壳体升降结构包括从外到内依次分布的第一壳体、第二壳体以及第三壳体；还包括升降框架、导向板和导向柱；所述晶圆装载装置包括壳体升降结构、安装座、安装底板以及底座上设置的调节机构；本方案设计的晶圆装载装置，在三个位于内侧、中间以及外侧的壳体中，通过升降结构可以使第一壳体和第二壳体独立升降，保证晶圆装载装置上的检测机构在上升时，晶圆一直处于密封空间内，防止外部粉尘颗粒污染晶圆。

Description

壳体升降结构及晶圆装载装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种壳中壳结构、壳体升降结构及晶圆装载装置。

背景技术

在半导体的生产过程中，常常需要使用各种辅助设备，晶圆装载装置是一种用于存储晶圆的设备，晶圆在生产过程中，一般都存放在晶圆盒内，晶圆盒由支撑框架和盒罩组成，晶圆依次从上而下堆叠在支撑框架上，然后通过盒罩将支撑框架和晶圆都置于盒罩内部的密封腔体内；现阶段，在晶圆装载装置上都设置有检测机构，检测机构主要用于检测支撑框架上的晶圆是否存在有叠片、斜片以及脱离支撑框架的情况，避免后续在搬运晶圆时出现盒内晶圆的损坏，而检测机构在检测的过程中，具体的方法为：通过升降框架将晶圆盒的盒罩抬起，同时开始对支撑框架上的晶圆进行检测，而在这一检测过程中，一旦盒罩被抬起，晶圆会裸露在外，外部的粉尘颗粒会污染晶圆，对晶圆产品的质量造成影响。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种壳体升降结构及晶圆装载装置，从而有效地解决上述技术问题。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种壳体升降结构，包括：

壳体结构，

所述壳体结构包括从外到内依次分布的第一壳体、第二壳体以及第三壳体；

升降结构，

所述升降结构包括：

升降框架，所述升降框架连接升降驱动结构，所述升降框架与所述第一壳体固定连接，带动所述第一壳体同步升降；

导向板，所述导向板上开设有第一导向槽，所述升降框架上设置有第一导向轮，所述第一导向轮位于所述第一导向槽内；

导向柱，所述导向柱的端部固定设置在所述升降框架上，所述导向柱上开设有第二导向槽，所述第二壳体上设置有第二导向轮，所述第二导向轮位于所述第二导向槽内。

本方案设计的一种壳体升降结构，三个分别位于内侧、中间以及外侧的壳体，在移动时，互相不受影响；

当设备处于初始状态时，第一壳体、第二壳体和第三壳体处于三者重叠状态，当升降框架带着盒罩抬升时，位于最外侧的第一壳体会与其同步抬升，使晶圆处于第一壳体形成的封闭腔体内，同时第一壳体的移动行程不超过第二壳体的高度，第二壳体和第一壳体可以让晶圆晶圆始终处于封闭腔体内，从而有效地避免了外部粉尘微粒对晶圆的污染；

当第一壳体上移后，可以通过手动推动第二壳体向上移动，第二壳体在向上移动后便于电气接口的连接和检修。

第三壳体始终处于固定不动的状态，因为整个设备的电气控制系统都处于第三壳体形成的内部腔体内，这样可以有效地保护整个电气控制系统。

本方案设计的一种壳体升降结构，通过升降结构可以让第一壳体和第二壳体进行独立升降，具体原理如下：

当设备运行时，升降框架通过升降驱动机构带动上升，而升降框架又与第一壳体固定连接，所以升降框架可以带着第一壳体同步升降，在升降框架上升时，位于升降框架上的第一导向轮在位于导向板上的第一导向槽内平移，从而对升降框架的升降起到定位导向作用；

当需要使第二壳体上升时，通过操作人员手动抬起第二壳体，第二壳体在上升时，位于第二壳体上的第二导向轮在位于导向柱上的第二导向槽内平移，从而对第二壳体的升降起到定位导向作用，同时，导向柱的头部固定在升降框架上。

进一步地，所述升降框架上开设有嵌入槽，所述第一壳体的顶部设置有第一折边，所述第一折边嵌设在所述嵌入槽内；第一壳体与升降框架固定连接，具体结构为第一壳体顶部的第一折边嵌在升降框架上开设的嵌入槽内，这样第一壳体可以和升降框架同步移动。

进一步地，所述导向柱上还开设有与所述第二导向槽平行的卡槽，所述第一壳体的底部设置有折角，所述折角嵌设在所述卡槽内；第一壳体与升降框架固定连接，具体结构为第一壳体底部的折角嵌在导向柱上开设的卡槽内，由于导向柱与升降框架固定连接，所以第一壳体可以和升降框架同步移动。

进一步地，所述壳体升降结构还包括导杆，所述导杆上套设有导块，所述导块和所述导杆可相对移动，所述导杆固定在所述第一壳体上，所述导块固定在所述第二壳体上；为了保证第一壳体和第二壳体之间的相对移动，所以在第一壳体上固定设置导杆，在第二壳体上固定设置导块，这样当第一壳体移动，第二壳体不动时，导块不动，导杆移动；当第二壳体移动，第一壳体不动时，导杆不动，导块在导杆上移动。

进一步地，所述第一壳体的底部设置有与所述第一折边对称的第二折边，所述导杆的上端固定设置在所述第一壳体的第一折边上，所述导杆的下端固定设置在所述第一壳体的第二折边上；导杆与第一壳体的安装结构为：导杆的上下两端分别固定在第一壳体上下凸出且对称的第一折边和第二折边上。

进一步地，所述第一折边和所述第二折边上都开设有安装孔，所述导杆的上端和下端分别插入两个安装孔内，同时在所述导杆上端和下端插入两个安装孔的部位均设置有卡簧；导杆通过插入开设在第一折边和第二折边的两个对称的安装孔从而与第一壳体固定连接，同时，为了避免导杆出现上下晃动的情况，在导杆上开设环槽，在环槽内设置卡簧，通过卡簧对导杆进行上下限位。

进一步地，所述第二壳体上设置有S型弹性缓冲片，所述S型弹性缓冲片与所述导块固定连接，且所述S型弹性缓冲片的上端面高于所述第二壳体的顶部板边；当第一壳体和第二壳体相对移动时，移动至限制位置时，第一壳体与其连接的升降框架会碰到第二壳体，所以设置S型弹性缓冲片，当第一壳体下降接近第二壳体时或者第二壳体往上推接近第一壳体时，两者之间通过S型弹性缓冲片可产生缓冲接触；同时，S型弹性缓冲片的上端面必须高于第二壳体的顶部板边，这样S型弹性缓冲片才能起到效果。

一种晶圆装载装置，包括装置本体，所述装置本体包括：

上述的壳体升降结构；

安装座，用于放置晶圆盒以及晶圆盒内的晶圆；

安装底板，所述安装座、所述壳体升降结构均设置在所述安装底板上；

底座，所述底座上设置有调节机构，所述调节机构用于调节安装底板的位置；

所述晶圆装载装置通过所述安装底板和所述调节机构与设备安装座连接。

本方案设计的一种晶圆装载装置，因包括壳体升降结构，所以具备上述方案中相同的技术效果，再此不做赘述；同时，整个晶圆装载装置可装载于晶圆前端模块设备或晶圆分拣设备上，晶圆装载装置与晶圆前端模块设备或晶圆分拣设备上的设备安装座固定连接。在安装到合适位置前，需要对晶圆装载装置进行微调，而晶圆装置上的所有结构均安装在安装底板上，所以可以通过调节机构去调节安装底板，从而实现晶圆装载装置的微调功能。

进一步地，所述调节机构包括调节块、第一调节螺丝以及第二调节螺丝，其中：

所述调节块与所述安装底板固定连接；

所述第一调节螺丝使调节块左右平移，所述第二调节螺丝使调节块上下平移。

由于调节块与安装底板固定连接，所以通过调节块左右上下移动带动安装底板进行位置调节，通过旋拧第一调节螺丝带动调节块左右平移，通过旋拧第二调节螺丝带动调节块上下平移。

进一步地，所述设备安装座上设置有凸块，所述第一调节螺丝可转动地设置在所述凸块上，且所述第一调节螺丝的端部与所述调节块抵接；第一调节螺丝安装在凸块上，当旋拧第一调节螺丝时，第一调节螺丝抵住调节块并带动调节块移动；

所述第二调节螺丝可转动地设置在所述调节块上，且所述第二调节螺丝的端部与所述设备安装座的上表面抵接；第二调节螺丝安装在调节块上，当旋拧第二调节螺丝时，第二调节螺丝抵住设备安装座，由于设备安装座固定不动，所以调节块可以产生相对移动，从而带动安装底板上下平移。

进一步地，所述凸块包括左凸块和右凸块，所述调节块包括左调节块和右调节块，所述第一调节螺丝包括左调节螺丝和右调节螺丝，其中：

所述左调节螺丝可转动地设置在所述左凸块上，且所述左调节螺丝的端部与所述左调节块抵接；

所述右调节螺丝可转动地设置在所述右凸块上，且所述右调节螺丝的端部与所述右调节块抵接。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的壳体结构示意图。

图2为本实用新型实施例一的升降结构示意图1。

图3为本实用新型实施例一的升降结构示意图2。

图4为本实用新型实施例一的升降结构示意图3。

图5为本实用新型实施例一的升降结构示意图4。

图6为本实用新型实施例一的升降结构示意图5。

图7为本实用新型实施例二中晶圆装载装置整体结构示意图。

图8为实用新型实施例三中的调节机构的结构原理图。

图中：1、第一壳体；2、第二壳体；3、第三壳体；4、升降框架；5、导向板；6、第一导向槽；7、第一导向轮；8、导向柱；9、第二导向槽；10、第二导向轮；11、嵌入槽；12、第一折边；13、卡槽；14、第二折边；15、导杆；16、导块；17、卡簧；18、S型弹性缓冲片；19、安装座；20、安装底板；21、底座；22、调节块；23、第一调节螺丝；24、第二调节螺丝；25、凸块；26、设备安装座；27、折角。

22a、左调节块；22b、右调节块；

23a、左调节螺丝；23b、右调节螺丝；

25a、左凸块；25b、右凸块。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

请参阅图1-图8。须知，在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

一种壳体升降结构，包括壳体结构，如图1所示，所述壳体结构包括从外到内依次分布的第一壳体1、第二壳体2以及第三壳体3；

还包括升降结构，如图2-图3所示，所述升降结构包括：

升降框架4，所述升降框架4连接升降驱动结构，所述升降框架4与所述第一壳体1固定连接，带动所述第一壳体1同步升降；

导向板5，所述导向板5上开设有第一导向槽6，所述升降框架4上设置有第一导向轮7，所述第一导向轮7位于所述第一导向槽6内；

导向柱8，所述导向柱8的端部固定设置在所述升降框架4上，所述导向柱8上开设有第二导向槽9，所述第二壳体2上设置有第二导向轮10，所述第二导向轮10位于所述第二导向槽9内。

在实施例一中，三个分别位于内侧、中间以及外侧的壳体，在移动时，互相不受影响；

当设备处于初始状态时，第一壳体1、第二壳体2和第三壳体3处于三者重叠状态，当升降框架4带着盒罩抬升时，位于最外侧的第一壳体1会与其同步抬升，使晶圆处于第一壳体1形成的封闭腔体内，同时第一壳体1的移动行程不超过第二壳体2的高度，第二壳体2和第一壳体1可以让晶圆晶圆始终处于封闭腔体内，从而有效地避免了外部粉尘微粒对晶圆的污染；

当第一壳体1上移后，可以通过手动推动第二壳体2向上移动，第二壳体2在向上移动后便于电气接口的连接和检修。

第三壳体3始终处于固定不动的状态，因为整个设备的电气控制系统都处于第三壳体3形成的内部腔体内，这样可以有效地保护整个电气控制系统。

在实施例一中，通过升降结构可以让第一壳体1和第二壳体2进行独立升降，具体原理如下：

当设备运行时，升降框架4通过升降驱动机构带动上升，升降驱动机构可以使滚珠丝杠丝电机模组也可以是电机皮带传动结构，升降框架4与第一壳体1固定连接，所以升降框架4可以带着第一壳体1同步升降，在升降框架4上升时，位于升降框架4上的第一导向轮7在位于导向板5上的第一导向槽6内平移，从而对升降框架4的升降起到定位导向作用；

当需要使第二壳体2上升时，通过操作人员手动抬起第二壳体2，第二壳体2在上升时，位于第二壳体2上的第二导向轮10在位于导向柱8上的第二导向槽9内平移，从而对第二壳体2的升降起到定位导向作用，同时，导向柱8的头部固定在升降框架4上。

在上述实施例一的基础上，具体地：

如图3-图4所示，所述升降框架4上开设有嵌入槽11，所述第一壳体1的顶部设置有第一折边12，所述第一折边12嵌设在所述嵌入槽11内；第一壳体1与升降框架4固定连接；

所述导向柱8上还开设有与所述第二导向槽9平行的卡槽13，所述第一壳体1的底部设置有折角27，所述折角27嵌设在所述卡槽13内；

升降框架4与第一壳体1的固定结构为：

第一壳体1顶部的第一折边12嵌在升降框架4上开设的嵌入槽11内，这样第一壳体1可以和升降框架4同步移动。

同时，第一壳体1底部的折角27嵌在导向柱8上开设的卡槽13内，由于导向柱8与升降框架4固定连接，所以第一壳体1可以和升降框架4同步移动。

在上述实施例一的基础上，具体地：

如图5-图6所示，所述壳体升降结构还包括导杆15，所述导杆15上套设有导块16，所述导块16和所述导杆15可相对移动，所述导杆15固定在所述第一壳体1上，所述导块16固定在所述第二壳体2上。

为了保证第一壳体1和第二壳体2之间的相对移动，所以在第一壳体1上固定设置导杆15，在第二壳体2上固定设置导块16，这样当第一壳体1移动，第二壳体2不动时，导块16不动，导杆15移动；当第二壳体2移动，第一壳体1不动时，导杆15不动，导块16在导杆15上移动。

在上述实施例一的基础上，具体地：

如图6所示，所述第一壳体1的底部设置有与所述第一折边12对称的第二折边14，所述导杆15的上端固定设置在所述第一壳体1的第一折边12上，所述导杆15的下端固定设置在所述第一壳体1的第二折边14上。

导杆15与第一壳体1的安装结构为：导杆15的上下两端分别固定在第一壳体1上下凸出且对称的第一折边12和第二折边14上。

在上述实施例一的基础上，优选地：

如图6所示，所述第一折边12和所述第二折边14上都开设有安装孔，所述导杆15的上端和下端分别插入两个安装孔内，同时在所述导杆15上端和下端插入两个安装孔的部位均设置有卡簧17。

导杆15通过插入开设在第一折边12和第二折边14的两个对称的安装孔从而与第一壳体1固定连接，同时，为了避免导杆15出现上下晃动的情况，在导杆15上开设环槽，在环槽内设置卡簧17，通过卡簧17对导杆15进行上下限位。

在上述实施例一的基础上，优选地：

如图6所示，所述第二壳体2上设置有S型弹性缓冲片18，所述S型弹性缓冲片18与所述导块16固定连接，且所述S型弹性缓冲片18的上端面高于所述第二壳体2的顶部板边。

当第一壳体1和第二壳体2相对移动时，移动至限制位置时，第一壳体1与其连接的升降框架4会碰到第二壳体2，所以设置S型弹性缓冲片18，当第一壳体1下降接近第二壳体2时或者第二壳体2往上推接近第一壳体1时，两者之间通过S型弹性缓冲片18可产生缓冲接触；同时，S型弹性缓冲片18的上端面必须高于第二壳体2的顶部板边，这样S型弹性缓冲片18才能起到效果。

实施例二：

一种晶圆装载装置，包括装置本体，如图7所示，所述装置本体包括：

实施例一中的壳体升降结构；

用于放置晶圆盒以及晶圆盒内晶圆的安装座19；

用于固定安装座19、壳体升降结构的安装底板20。

底座21，所述底座21上设置有调节机构，所述调节机构用于调节安装底板20的位置。

本实施例二中公开的一种晶圆装载装置，因包括壳体升降结构，所以具备上述方案中相同的技术效果，同时，整个晶圆装载装置可装载于晶圆前端模块设备或晶圆分拣设备上，晶圆装载装置与晶圆前端模块设备或晶圆分拣设备上的设备安装座26固定连接。在安装到合适位置前，需要对晶圆装载装置进行微调，而晶圆装置上的所有结构均安装在安装底板20上，所以可以通过调节机构去调节安装底板20，从而实现晶圆装载装置的微调功能。

在上述实施例二的基础上，具体地：

如图8所示，所述调节机构包括调节块22、第一调节螺丝23以及第二调节螺丝24，其中，所述调节块22与所述安装底板20固定连接；所述第一调节螺丝23使调节块22左右平移，所述第二调节螺丝24使调节块22上下平移。

由于调节块22与安装底板20固定连接，所以通过调节块22左右上下移动带动安装底板20进行位置调节，通过旋拧第一调节螺丝23带动调节块22左右平移，通过旋拧第二调节螺丝24带动调节块22上下平移。

在上述实施例二的基础上，具体地：

如图8所示，所述设备安装座26上设置有凸块25，所述第一调节螺丝23可转动地设置在所述凸块25上，且所述第一调节螺丝23的端部与所述调节块22抵接。

所述凸块25包括左凸块25a和右凸块25b，所述调节块22包括左调节块22a和右调节块22b，所述第一调节螺丝23包括左调节螺丝23a和右调节螺丝23b，其中，所述左调节螺丝23a可转动地设置在所述左凸块25a上，且所述左调节螺丝23a的端部与所述左调节块22a抵接；所述右调节螺丝23b可转动地设置在所述右凸块25b上，且所述右调节螺丝23b的端部与所述右调节块22b抵接。

在对安装底板20进行左右调节时，具体方法为：

左调节：通过旋拧左凸块25a上的左调节螺丝23a，使左调节螺丝23a抵住左调节块22a并带动左调节块22a向左移动，从而让左调节块22a带动安装底板20向左调节位置。

右调节：通过旋拧右凸块25b上的右调节螺丝23b，使右调节螺丝23b抵住右调节块22b并带动右调节块22b向右移动，从而让右调节块22b带动安装底板20向右调节位置。

在上述实施例二的基础上，具体地：

如图8所示，所述第二调节螺丝24可转动地设置在所述调节块22上，且所述第二调节螺丝24的端部与所述设备安装座26的上表面抵接。

在对安装底板20进行上下调节时，具体方法为：

上调节：向下旋拧第二调节螺丝24，第二调节螺丝24设置在调节块22上开设的螺丝孔内，第二调节螺丝24抵住设备安装座26，由于设备安装座26固定不动，所以调节块22可以产生相对移动，从而带动安装底板20上平移。

上调节：向上旋拧第二调节螺丝24，第二调节螺丝24抵住设备安装座26的力变小，调节块22可以产生相对移动，从而带动安装底板20下平移。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (11)

1.一种壳体升降结构，其特征在于：其包括：

壳体结构，

所述壳体结构包括从外到内依次分布的第一壳体、第二壳体以及第三壳体；

升降结构，

所述升降结构包括：

升降框架，所述升降框架连接升降驱动结构，所述升降框架与所述第一壳体固定连接，带动所述第一壳体同步升降；

导向板，所述导向板上开设有第一导向槽，所述升降框架上设置有第一导向轮，所述第一导向轮位于所述第一导向槽内；

导向柱，所述导向柱的端部固定设置在所述升降框架上，所述导向柱上开设有第二导向槽，所述第二壳体上设置有第二导向轮，所述第二导向轮位于所述第二导向槽内。

2.根据权利要求1所述的壳体升降结构，其特征在于：所述升降框架上开设有嵌入槽，所述第一壳体的顶部设置有第一折边，所述第一折边嵌设在所述嵌入槽内。

3.根据权利要求1所述的壳体升降结构，其特征在于：所述导向柱上还开设有与所述第二导向槽平行的卡槽，所述第一壳体的底部设置有折角，所述折角嵌设在所述卡槽内。

4.根据权利要求2所述的壳体升降结构，其特征在于：所述壳体升降结构还包括导杆，所述导杆上套设有导块，所述导块和所述导杆可相对移动，所述导杆固定在所述第一壳体上，所述导杆固定在所述第二壳体上。

5.根据权利要求4所述的壳体升降结构，其特征在于：所述第一壳体的底部设置有与所述第一折边对称的第二折边，所述导杆的上端固定设置在所述第一壳体的第一折边上，所述导杆的下端固定设置在所述第一壳体的第二折边上。

6.根据权利要求5所述的壳体升降结构，其特征在于：所述第一折边和所述第二折边上都开设有安装孔，所述导杆的上端和下端分别插入两个安装孔内，同时在所述导杆上端和下端插入两个安装孔的部位均设置有卡簧。

7.根据权利要求4所述的壳体升降结构，其特征在于：所述第二壳体上设置有S型弹性缓冲片，所述S型弹性缓冲片与所述导块固定连接；所述S型弹性缓冲片的上端面高于所述第二壳体的顶部板边。

8.一种晶圆装载装置，包括装置本体，其特征在于：所述装置本体包括：

上述权利要求1～7中任一项所述壳体升降结构；

安装座，用于放置晶圆盒以及晶圆盒内的晶圆；

安装底板，所述安装座、所述壳体升降结构均设置在所述安装底板上；

底座，所述底座上设置有调节机构，所述调节机构用于调节安装底板的位置；

所述晶圆装载装置通过所述安装底板和所述调节机构与设备安装座连接。

9.根据权利要求8所述的晶圆装载装置，其特征在于：所述调节机构包括调节块、第一调节螺丝以及第二调节螺丝，其中：

所述调节块与所述安装底板固定连接；

所述第一调节螺丝使调节块左右平移，所述第二调节螺丝使调节块上下平移。

10.根据权利要求9所述的晶圆装载装置，其特征在于：所述设备安装座上设置有凸块，所述第一调节螺丝可转动地设置在所述凸块上，且所述第一调节螺丝的端部与所述调节块抵接；所述第二调节螺丝可转动地设置在所述调节块上，且所述第二调节螺丝的端部与所述设备安装座的上表面抵接。

11.根据权利要求10所述的晶圆装载装置，其特征在于：所述凸块包括左凸块和右凸块，所述调节块包括左调节块和右调节块，所述第一调节螺丝包括左调节螺丝和右调节螺丝，其中：

所述左调节螺丝可转动地设置在所述左凸块上，且所述左调节螺丝的端部与所述左调节块抵接；

所述右调节螺丝可转动地设置在所述右凸块上，且所述右调节螺丝的端部与所述右调节块抵接。

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