JPH10106946A - レチクルカセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐静電気性及び耐久性の向上されたレチクル
カセットを提供することを目的とする。 【解決手段】 レチクルの挿入される空間部が形成さ
れ、ＢＡＹＯＮよりなる胴体と、この胴体の背面に回動
自在に取付けられて胴体を覆い、ＢＡＹＯＮよりなる蓋
部と、この蓋部の前面に回動自在に取付けられて空間部
の入口を密閉して一側端部が胴体の側面から所定の長さ
ほど突出され、ＢＡＹＯＮよりなるドアと、胴体の両外
側壁に付着され、ステンレス鋼よりなるクリック止め３
１が付着されたクランプ手段とを含む構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は精密なレチクルをさ
らに安全に保管しうるレチクルカセットに係り、特に静
電気防除性と耐久性の向上されたレチクルカセットに関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の製造において、パターンを
形成するための写真工程及び蝕刻工程が必須的に要求さ
れ、写真工程で感光膜パターンを形成するためレチクル
が使用される。レチクルとは、通常ウェーハ上または液
晶表示素子用のガラス基板上にパターンを形成する場
合、このパターンと同一なパターンが刻まれたガラス基
板を言う。レチクルの基板面には通常活性領域パター
ン、ゲート電極パターンの相異なるクロムパターンが形
成される。

【０００３】本発明におけるレチクルとは、マスターマ
スクを製作する際、基本となる母板マスクを称する。こ
のようなレチクルはマスクとはその整列及び露光方式の
点において区別される。具体的に、感光原板とウェーハ
とが相互数十ミクロン離れた状態から１：１倍率でウェ
ーハに走査して露光させる近接形（ｐｒｏｘｉｍｉｔ
ｙ）に使用されるものをマスクと称し、光学レンズを用
いて拡大した感光原板の像を一定の倍率に縮少した後、
ウェーハに走査して露光させるステッパ（ｓｔｅｐｐｅ
ｒ）形に使用するものをレチクルと称する。このような
レチクルの構造はその上面に所定の露光パターン、例え
ばクロムパターンが形成されたガラス基板と、このガラ
ス基板の上下面に設けられて各々埃のような異物がガラ
ス基板に付着されることを防止する上下部薄膜を具備し
てなる。

【０００４】このようにレチクルはガラスよりなるた
め、他物とぶつかると傷付きやすい。また、レチクル表
面のパターンは約１ｋＶほどの静電気の影響を受ける
と、誘電破壊等の損傷を受ける。さらに、レチクルは製
作が非常に難しく、高価である。従って、レチクルは細
心に取扱われるべきであり、使用待機中や保管が必要な
場合にはレチクルカセットに保管されるべきである。

【０００５】図１は従来のレチクルカセットを蓋部１３
が開いた状態で簡略に示したものである。前記カセット
は内部にレチクルが挿入される空間部が形成され、前記
空間部の左右縁部に沿ってレチクル支持台１７が形成さ
れ、前記レチクル支持台１７の先端の所定位置にはレチ
クル固定ロッド１９が形成されている胴体１１と、この
胴体１１の後面に回動自在に設けられて前記胴体１１を
覆う蓋部１３と、この蓋部１３の前面に回動自在に設け
られて前記空間部の入口を密閉し、一側端部が胴体１１
の側面から所定長さほど突出されたドア１５と、前記胴
体１１の両外側壁に付着されたクランプ手段（２１・２
３）を含んで構成される。前記クランプ手段（２１・２
３）はクリック止め２９を具備したクランプ支持部材２
３とクランプ弾性部材２１で構成され、前記クランプ弾
性部材２１はレチクルカセットの胴体１１の前方に位置
したクランプ部２５とこれに連結された後方のロック部
２７で構成される。一方、前記クランプ支持部材２３の
後方の内側壁２２には前記ロック部２７に対応してクリ
ック止め２９が形成されている。

【０００６】前記クランプ弾性部材２１は前記クランプ
支持部材２３との前後連結部２４を軸として回動自在に
設けられる。前記クランプ支持部材２３の後方に形成さ
れたクリック止め２９は前記ロック部２７を係止して前
記クランプ弾性部材２１を固定させる。

【０００７】図２は前記蓋部１３が閉まった状態の従来
のレチクルカセットを簡略に示したものである。具体的
に、前記クランプ支持部材２３の前方に形成されたクラ
ンプ部２５が前記蓋部１３を押圧して蓋部１３と胴体１
１とを締結させる。以下、図１と図２に基づきクランプ
手段（２１・２３）によるレチクルカセットの開閉動作
を説明する。前記クランプ弾性部材２１はその両端にク
ランプ部２５とロック部２７を含んで構成され、前記ク
ランプ部２５は前記蓋部１３が胴体１１に係止されるよ
うにベンディングされており、前記ロック部２７を前記
クランプ支持部材２３の内側壁２２に突出されたクリッ
ク止め２９に掛けて前記蓋部１３と前記胴体１１とを固
く締結させる。即ち、図１において前記ロック部２７を
前記胴体１１の左右に押すと、前記クランプ弾性部材２
１は固定軸２４を中心として回転しながら前記クリック
止め２９の外部に抜出し、前記クランプ部２５は蓋部１
３を放して開いた状態となる。逆に、前記ロック部２７
に胴体１１側に向けて力を加え、クリック止め２９内に
押圧するとクランプ部２５は蓋部１３と係合されて前記
閉まった状態となる。

【０００８】図３は前記クリック止め２９の簡略な側面
図である。従来のクリック止め２９はその材質がプラス
チックで形成されている。前記のようにクリック止め２
９は開閉動作時に力を受け、かつその材質がプラスチッ
クよりなるため摩耗が早く発生する。このような摩耗は
破砕微粒子を発生させるだけでなくレチクルカセット製
品の寿命を早く短縮させる。即ち、ただクリック止め２
９のみが摩耗されてもレチクルカセット全体を交換すべ
き問題がある。

【０００９】以下、レチクルが前記レチクルカセットに
引入、引出される動作を説明する。レチクルはレチクル
支持台１７上に置かれてレチクル固定ロッド１９の内側
で固定されてから次のマニピュレータ（図示せず）によ
り引入、引出される。マニピュレータはレチクル固定ロ
ッド１９の内側に置かれたレチクルの下に入って吸着孔
を通した吸着でレチクルを取ってからこれを引出す。前
記従来のレチクル固定ロッド１９はこのようなレチクル
引入、引出過程で折れやすい問題があった。

【００１０】一方、前記カセットの形成材質のポリカー
ボネートは代表的なエンジニアリングプラスチックとし
てその機械的性質、絶縁性、透明性等が優秀である。し
かし、ポリカーボネート材質のレチクルカセットは半導
体装置の製造工程、またはカセットの使用時に発生する
静電気からレチクルを確実に保護できない短所がある。
具体的にポリカーボネートはその機械的性質が金属に近
いほど優秀であるが、１３ー１５ｋＶの静電気を発生さ
せる。このように発生された静電気はレチクル表面のパ
ターンに誘電破壊のような損傷を加える原因となる。結
局、従来のレチクルカセットは耐静電気性と、クリック
止め２９及びレチクル固定ロッド１９の耐久性面で短所
を有している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は耐静電気性と
耐久性を同時に向上させたレチクルカセットを提供する
にその目的がある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明では、レチクルの挿入される空間部が形成され、
前記空間部の左右側縁部に沿ってレチクル支持台が形成
され、前記レチクル支持台の先端の所定位置にはレチク
ル固定ロッドが形成されている胴体と、前記胴体の背面
に回動自在に取付けられて前記胴体を覆う蓋部と、前記
蓋部の前面に回動自在に取付けられて前記空間部の入口
を密閉して一側端部が前記胴体の側面から所定の長さほ
ど突出されたドアと、前記胴体の両外側壁に付着され、
クランプ支持部材とクランプ及びこれに繋がれたロック
部を具備したクランプ弾性部材よりなるクランプ手段
と、前記ロック部に対応して前記クランプ支持部材の一
端に形成され、ステンレス鋼で形成されたクリック止め
を含んで構成されたことを特徴とするレチクルカセット
を提供する。

【００１３】本発明の望ましい実施の形態によれば、前
記レチクル支持台は与えられたレチクルカセットの設計
モジュール下で最高の破断強度を有するように設計され
る。また、前記クリック止めは前記クランプ支持部材に
挿入されたピン形なので挿脱または交換可能なのが望ま
しい。このような本発明のレチクルカセット構造はその
耐久性を向上させる作用をする。前記胴体、蓋部、クラ
ンプ支持部材及びドアの材質はＢＡＹＯＮ（日本国呉羽
化学工業株式会社製）で形成する。また、前記ステンレ
ス鋼はｓｕｓステンレスであることが望ましい。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の望ましい実施の形
態を図面に基づき詳しく説明する。本発明のレチクルカ
セットは従来のクランプ手段を変えて形成した。図４を
参照すれば、本発明のクリック止め３１としてステンレ
ス鋼がピン形で挿入されている。望ましくは、前記ステ
ンレス鋼はｓｕｓステンレスである。前記ｓｕｓステン
レス鋼ピンはその耐静電気性に優れるだけでなく耐摩耗
性が抜群である。一方、ポリカーボネート材質のレチク
ルカセットが１３ー１５ｋＶの静電気を発生させるに比
べて本発明のＢＡＹＯＮ材質レチクルカセットは０．０
１ー０．０３ｋＶのみの静電気を発生させる。これは実
際の半導体製造工程で無視しても良い極微な数値であ
る。

【００１５】以下、ＢＡＹＯＮという商品名のみで呼ば
れ、その一般名称のない物質に対して詳述することによ
り前記物質を特定する。具体的に前記商品名、即ち、Ｂ
ＡＹＯＮを特許請求の範囲に記載しうるほどにその組成
及び物性を総合的に特定する。ＢＡＹＯＮは２つの共重
合体を混合して製造される。具体的に、ＢＡＹＯＮはブ
タジエン、メチルメタクリレート、ブチルアクリレー
ト、及びメトキシポリエチレングリコール、メタアクリ
レートよりなる第１共重合体と、メチルメタクリレー
ト、メチルアクリレートよりなる第２共重合体の混合物
で構成される。ＢＡＹＯＮの化学組成は前記第１共重合
体３０ー６０％と前記第２共重合体４０ー７０％の割合
で構成される。前述したように構成されるＢＡＹＯＮの
分子量はその溶融粘度を測ることにより計算される。

【００１６】前記ＢＡＹＯＮの外観、比重及び電気的抵
抗は次の表１のようである。測定はＹＭ−２０１、ＹＭ
−３０１の２つの等級のＢＡＹＯＮで行われた。

【表１】 前記表１に示されたようにＢＡＹＯＮは透明性を有する
のでＢＡＹＯＮでレチクルカセットを形成する際、内部
にレチクルが装着されたかを肉眼でも観察しやすい。ま
た、水で洗っても静電気の防除効果がほとんど劣らず、
低湿度下でも静電気の防除効果が十分に発揮され、長時
間に亙って静電気の防除効果がほとんど劣らない。一
方、ＢＡＹＯＮは押出成形、射出成形等の方法で成形し
やすい。

【００１７】下記の表２はＢＡＹＯＮの総合的な物性を
示したものである。

【表２】 ＢＡＹＯＮの耐静電気効果は前記表面電荷Ｖｍａｘと半
減期の測定を通して判断できる。具体的に試料の表面に
コロナ放電を用いて電荷を蓄積させて飽和帯電圧に達し
た後、放電して表面電荷が減少する挙動を検出電極で検
出する。飽和帯電圧が半分まで減少する時間を半減期と
称し、秒単位で示す。

【００１８】以上の説明からわかるように、本発明の１
つの構成要素となるＢＡＹＯＮはその物性及び組成が特
定されているため特許請求の範囲に記載されうる。本発
明のレチクルカセットはまた耐久性の弱い部分が補強さ
れたものである。具体的に、本発明のレチクル固定ロッ
ドは従来と異なって高さ３．０ｍｍ、直径３．０ｍｍの
円筒形で形成されることにより反復使用にも折れる恐れ
が減少されたものである。さらに、前記直径を４．０ｍ
ｍまでに形成しても良い。

【００１９】

【発明の効果】前述したような本発明の実施の形態によ
れば、静電気の発生が防止されるだけでなく、耐久性に
優れたレチクルカセットが提供される。特に、前記カセ
ットにおいて最も耐久性の脆弱な部分であったクリック
止め部分とレチクル固定ロッドが強化されることによ
り、前記脆弱部分から発生した破片等に起因した問題点
が解決されると同時にレチクルカセットの半永久的な使
用が可能になる。本発明は前記実施の形態に限定されな
く、当分野において通常の知識を有する者による他の変
形で類似のものについても実施可能なのは明白である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 従来のレチクルカセットを蓋部が開いた状態
で簡略に示した斜視図である。

【図２】 従来のレチクルカセットを蓋部が閉まった状
態で簡略に示した斜視図である。

【図３】 従来のレチクルカセットに具備されたクリッ
ク止めを簡略に示した断面図である。

【図４】 本発明のレチクルカセットに具備されたクリ
ック止めを簡略に示した断面図である。

【符号の説明】

３１ クリック止め ２３ クランプ支持部材

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レチクルの挿入される空間部が形成さ
   れ、前記空間部の左右側縁部に沿ってレチクル支持台が
   形成され、前記レチクル支持台の先端の所定位置にはレ
   チクル固定ロッドが形成されている胴体と、 前記胴体の背面に回動自在に取付けられて前記胴体を覆
   う蓋部と、 前記蓋部の前面に回動自在に取付けられて前記空間部の
   入口を密閉して一側端部が前記胴体の側面から所定の長
   さほど突出されたドアと、 前記胴体の両外側壁に付着され、クランプ支持部材とク
   ランプ及びこれに繋がれたロック部を具備したクランプ
   弾性部材よりなるクランプ手段と、 前記ロック部に対応して前記クランプ支持部材の一端に
   形成され、ステンレス鋼で形成されたクリック止めとを
   含んで構成されたことを特徴とするレチクルカセット。
2. 【請求項２】 前記胴体、前記蓋部、前記クランプ支持
   部材及び前記ドアはＢＡＹＯＮよりなることを特徴とす
   る請求項１に記載のレチクルカセット。
3. 【請求項３】 前記ステンレス鋼はｓｕｓステンレスで
   あることを特徴とする請求項１に記載のレチクルカセッ
   ト。
4. 【請求項４】 前記ステンレス鋼は前記クランプ支持部
   材に挿入されたピン形であることを特徴とする請求項１
   に記載のレチクルカセット。
5. 【請求項５】 前記レチクル固定ロッドは高さ３．０ｍ
   ｍ、直径３．０ｍｍ−４．０ｍｍである円筒形で形成さ
   れたことを特徴とする請求項１に記載のレチクルカセッ
   ト。