JP2009021369A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2枚の半導体ウェーハを収納する容器本体1と、容器本体1の開口したリムフランジ12を開閉する蓋体20と、蓋体20に取り付けられて容器本体1との間に介在するガスケット40とを備え、ガスケット40を、蓋体20の裏面周縁部に嵌合するエンドレスの取付部と、取付部に形成されて容器本体1のリムフランジ12内に圧接して変形する接触部とから形成し、接触部には、高平滑性、耐磨耗性、耐腐食性、高ガスバリヤ性に優れるダイヤモンドライクカーボン50をコーティングする。ダイヤモンドライクカーボン50をコーティングするので、例えガスケット40が長時間容器本体1と蓋体20の間に介在したとしても、容器本体1内にガスケット40が貼り付くことがない。
【選択図】図5
Description
ガスケットは、所定のエラストマーを含む成形材料を使用して低硬度のエンドレスに成形され、蓋体に嵌合されて容器本体の開口した正面部と蓋体の周縁部との間に介在し、気密性や密閉性を確保するよう機能する。
ガスケットは、蓋体に取り付けられる取付部と、この取付部に形成されて容器本体の開口部内に接触する接触部とを備え、これら取付部と接触部のうち少なくとも接触部には、ダイヤモンドライクカーボンをコーティングしたことを特徴としている。
また、蓋体の基板に対向する裏面の周縁部に、ガスケット用の取付溝を形成することができる。
また、ガスケットの取付部を断面略矩形に形成し、この取付部から断面略U字形の接触部を伸ばしてその湾曲面を容器本体の開口部内に接触させることも可能である。
さらに、容器本体の背面壁と両側壁のうち少なくとも背面壁にリブフランジを成形し、このリブフランジを容器本体の金型からの脱型時に突出しピンに外側から略対向させることが可能である。
また、容器本体を、三枚以下の基板を収納可能な背の低いフロントオープンボックスタイプとすれば、LSIメーカ等で半導体ウェーハを短時間で加工処理する際に使用される容器本体の開口部内にガスケットが貼り付き、蓋体の開放に支障を来たすのを防ぐことができる。
ガスケット40の取付部41には、蓋体20の取付溝27内に圧接・変形する弾性変形可能な複数の抜け防止片43が間隔をおき一体形成される。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
4 リブフランジ
12 リムフランジ(開口部)
13 係止溝
20 蓋体
21 筐体
23 溝孔
27 取付溝
28 表面カバー
31 施錠機構
31A リンクプレート
37 係止爪
39 コイルバネ
40 ガスケット
41 取付部
42 接触部
50 ダイヤモンドライクカーボン
51 隙間
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (6)
- 基板収納用の容器本体の開口部を開閉する蓋体を備え、この蓋体に、容器本体との間に介在する弾性変形可能なガスケットを取り付けた基板収納容器であって、
ガスケットは、蓋体に取り付けられる取付部と、この取付部に形成されて容器本体の開口部内に接触する接触部とを備え、これら取付部と接触部のうち少なくとも接触部には、ダイヤモンドライクカーボンをコーティングしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体を、三枚以下の基板を収納可能な背の低いフロントオープンボックスタイプとした請求項1記載の基板収納容器。
- 蓋体の基板に対向する裏面の周縁部に、ガスケット用の取付溝を形成した請求項1又は2記載の基板収納容器。
- ガスケットの断面形を略U字形に形成してその両自由端部の長さを相違させ、この両自由端部の内側自由端部よりも外側自由端部を長くし、この外側自由端部の端面を尖らせて接触部とした請求項1、2、又は3記載の基板収納容器。
- ガスケットの取付部を断面略矩形に形成し、この取付部から断面略U字形の接触部を伸ばしてその湾曲面を容器本体の開口部内に接触させるようにした請求項1、2、又は3記載の基板収納容器。
- ダイヤモンドライクカーボンを複数に分割してコーティングし、この複数のダイヤモンドライクカーボンの間に隙間を形成した請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納容器。
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- 2007-07-11 JP JP2007182508A patent/JP4891853B2/ja not_active Expired - Fee Related
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