JP2006111308A - 収納容器 - Google Patents

収納容器 Download PDF

Info

Publication number
JP2006111308A
JP2006111308A JP2004300587A JP2004300587A JP2006111308A JP 2006111308 A JP2006111308 A JP 2006111308A JP 2004300587 A JP2004300587 A JP 2004300587A JP 2004300587 A JP2004300587 A JP 2004300587A JP 2006111308 A JP2006111308 A JP 2006111308A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
storage container
main body
seal member
fitting groove
lid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004300587A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4634772B2 (ja
Inventor
Chiaki Matsudori
千明 松鳥
Tadahiro Obayashi
忠弘 大林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Miraial Co Ltd
Original Assignee
Miraial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Miraial Co Ltd filed Critical Miraial Co Ltd
Priority to JP2004300587A priority Critical patent/JP4634772B2/ja
Priority to TW094134933A priority patent/TW200616870A/zh
Priority to US11/245,105 priority patent/US20060081635A1/en
Priority to KR1020050095714A priority patent/KR20060052189A/ko
Priority to EP05022159A priority patent/EP1648025A1/en
Priority to CNA2005101137356A priority patent/CN1760094A/zh
Publication of JP2006111308A publication Critical patent/JP2006111308A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4634772B2 publication Critical patent/JP4634772B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D53/00—Sealing or packing elements; Sealings formed by liquid or plastics material
    • B65D53/02—Collars or rings
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D53/00—Sealing or packing elements; Sealings formed by liquid or plastics material
    • B65D53/04—Discs
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/021—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing
    • F16J15/022—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing characterised by structure or material
    • F16J15/024—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing characterised by structure or material the packing being locally weakened in order to increase elasticity
    • F16J15/025—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing characterised by structure or material the packing being locally weakened in order to increase elasticity and with at least one flexible lip
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/061—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with positioning means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/062—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces characterised by the geometry of the seat
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Closures For Containers (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

【課題】 シール部材３の脱落を防ぎつつシール部材３を容易に装着できるようにすると共に、シール性を向上させる。
【解決手段】 シール部材３は、容器本体１及び蓋体２のいずれか一方に形成された嵌合溝５内の突状部１４で仕切られた嵌合溝部分５ａ、５ｂに嵌め入れられる個別的に変形可能な複数の個別変形部９ａ、９ｂと、これらの個別変形部９ａ、９ｂを結合している結合部１０と、容器本体１及び蓋体２のいずれか他方の壁面に当接して封止するシール片１１とを有し、シール片１１は個別変形部９ａ、９ｂを結合している結合部１０に一体形成した。個別変形部９ａ、９ｂの対向する面側には、突状部１４の壁面に弾性的に密着する突状のリブ１２を各々形成した。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体ウエハ、記憶ディスク基板、液晶ガラス基板など清浄に保管する必要のある電子部品基板を保管、搬送、処理するための収納容器に関する。
従来、半導体ウエハ、記憶ディスク基板、液晶ガラス基板などの電子部品用基板は、保管、搬送、処理の過程でゴミや汚染物が付着すると基板表面に形成する薄膜や素子に欠陥が発生したり、素子特性が劣化したりするため、これらを清浄に収納する収納容器には様々な工夫がなされている。
特に、外部からゴミや汚染物が収納容器内部に入り込まないようにするため、収納容器本体と蓋体との間を密閉シールするためのシール手段が重要となっている。
そこで、例えば、嵌合保持溝に嵌入される弾性変形可能なエンドレス部と、このエンドレス部から先端部が外周外方向に略斜めに伸びる屈曲可能な突片と、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に凹み形成又は突出形成される嵌合リブとから構成したシール部材を備える密封容器が知られている（特許文献１）。
特開２００２−６８３６４号公報
しかしながら、特許文献１の密封容器にあっては、嵌合保持溝とシール部材のエンドレス部とが、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に凹み形成又は突出形成される嵌合リブだけによって嵌合されているため、シール部材と嵌合保持溝の間の嵌合力はエンドレス部を形成する弾性体材料自身の弾性力と、エンドレス部と嵌合保持溝との嵌め合い寸法精度だけでしか調節することができない。
そのため、上述した密封容器では、シール部材のエンドレス部と嵌合保持溝との結合力が充分ではなく、シール部材が嵌合保持溝から脱落しやすいという課題がある。この場合、このシール部材と嵌合保持溝の間の結合力を強くするために、シール部材のエンドレス部を形成する弾性体の弾性力を強くし過ぎると、嵌合保持溝からエンドレス部を取り外し難くなるという課題が生じる。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、シール部材が脱落し難くシール性が向上した収納容器を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の収納容器は、開口部を有する収納部を形成する容器本体と、この容器本体の開口部を塞ぐための蓋体とを備える収納容器において、容器本体及び蓋体のいずれか一方に両者を気密に封止するためのシール部材を有し、このシール部材は、容器本体及び蓋体のいずれか一方に形成された嵌合溝に嵌め入れられ、断面形状で嵌め入れる方向に沿う隙間を介して対向する個別的に変形可能な複数の部分と、他方の壁面に当接して封止するシール片とを有している構成としている。
本発明の収納容器においては、シール部材は個別的に変形可能な複数の部分の先端部側が嵌合溝の奥部側になる状態で嵌め入れられることが好ましい。この場合、嵌合溝には、シール部材の嵌合部の個別的に変形可能な複数の部分の間に嵌め入れられる突状部が設けられていることが好ましい。さらに、シール部材の個別的に変形可能な複数の部分の対向する側には突状部に密接して気密を保つための少なくとも１つのリブが形成されていることが、或いは、シール部材の個別的に変形可能な複数の部分の対向する側には突状部に密接して気密を保つための少なくとも１つのリップ状部が形成されていることが好ましい。
また、本発明の収納容器においては、シール部材の個別的に変形可能な複数の部分は連続的に形成され、シール部材は個別的に変形可能な複数の部分の先端部側が嵌合溝の奥部側と反対側になる状態で嵌合されること好ましい。この場合、シール部材の個別的に変形可能な複数の部分の間に嵌合部材が嵌め込まれていることが好ましい。また、シール部材の個別的に変形可能な複数の部分の対向する側と反対側には嵌合溝の壁面に密接して気密を保つための少なくとも１つのリブが形成されていることが、あるいは、シール部材の個別的に変形可能な複数の部分の対向する側と反対側には嵌合溝の壁面に密接して気密を保つための少なくとも１つのリップ部が形成されていることが好ましい。
さらに、本発明の収納容器においては、嵌合溝の開口側には、シール部材の抜けを防止する抜け止め防止手段が設けられていることが好ましい。また、嵌合溝は開口側に向かって１〜６度の傾斜面を有して拡開していることが好ましい。さらに、シール部材のシール片が当接する壁面は、シール片の先端が屈曲する範囲内で傾斜して形成されていることが好ましく、シール部材のシール片が当接する壁面は、水平受け部または垂直受け部であり、水平受け部または垂直受け部は、水平面または垂直面からシール片側に２〜８度の範囲内の角度で傾斜していることが好ましい。
さらにまた、シール部材の個別的に変形可能な複数の部分は、嵌合溝内に弾性的に圧縮されて挿入された状態になることが好ましい。また、シール部材の個別的に変形可能な複数の部分と嵌合溝の壁面との間には所定の容積を有する空隙が形成されることが好ましい。
また、容器本体には複数の薄板を所定の間隔で離間して支持する薄板支持部が、蓋体には薄板支持部で支持された複数の薄板を押圧して支持する薄板押えを有する構成とすることができる。
本発明の収納容器によれば、容器本体及び蓋体のいずれか一方に両者を気密に封止するためのシール部材を有し、このシール部材は、容器本体及び蓋体のいずれか一方に形成された嵌合溝に嵌め入れられ、断面形状で嵌め入れる方向に沿う隙間を介して対向する個別的に変形可能な複数の部分と、他方の壁面に当接して封止するシール片とを有しているので、シール部材が脱落しにくくなり、シール性が向上する。
以下に本発明の収納容器の実施形態について添付図面を参照して説明する。
まず、本発明に係る収納容器の第１実施形態について図２を参照して説明する。図２は同収納容器の構造を模式的に示した断面図である。
収納容器は、開口部１ａを有する収納部（内部空間）４を形成する容器本体１と、容器本体１の開口部１ａを塞ぐ蓋体２と、容器本体１の開口部１ａを蓋体２で塞いだ状態で、容器本体１の内部空間４を気密に保つためのシール部材３とを備えている。
また、蓋体２の内側面には薄板押え６が取り付けられており、容器本体１の内部側面には薄板支持部７が取り付けられている。これらの薄板押え６と薄板支持部７は、それぞれ等間隔で溝が形成されており、薄板８をこれら溝内に支持した状態で蓋体２を閉じるときに、薄板押え６及び薄板支持部７によって薄板８を所定の間隔を保ってほぼ平行に整列固定する。
容器本体１および蓋体２は、ガス発生の少ない例えばポリカーボネートなどの高分子材料で形成することが好ましい。また、薄板押え６や薄板支持部７はポリエチレンやポリブチレンテレフタレートなどの高分子材料で形成することが好ましい。
シール部材３は、図２で左側から見た状態では閉じた環状構造となっており、容器本体１と蓋体２との間に介在することによって容器本体１の内部空間４を外気から完全に隔離する。この収納容器１では、蓋体２の外壁面に沿って嵌合溝５が環状に形成されており、この嵌合溝５内にシール部材３の一方側を嵌め込み、他方側を容器本体１の内壁面１５に当接させることで、容器本体１と蓋体２との間を封止している。なお、嵌合溝５は図２においては容器本体１側に形成したが、蓋体２側に形成することもできる。図１は嵌合溝５を蓋体２側に形成した例である。
次に、シール部材３の詳細について図１及び図３をも参照して説明する。図１は嵌合溝５を蓋体２側に形成した例であり、蓋体２のシール材部分の拡大模式的断面図、図３（ａ）はシール部材３を嵌合溝５に装着する前の形状を示す説明図、同（ｂ）はシール部材３を嵌合溝５に装着して蓋体２を容器本体１に装着した後の形状を示す説明図である。ここでは、嵌合溝５に装着されたシール部材３を中心に説明するため、嵌合溝５を蓋体２側に形成した例と、容器本体１側に形成した例を区別せず一緒に説明する。
シール部材３は、図３にも示すように、容器本体１及び蓋体２のいずれか一方に形成された嵌合溝５に嵌め入れられ、断面形状で嵌め入れる方向に沿う隙間を介して対向する個別的に変形可能な複数の部分（以下、この部分を「個別変形部」という。）９ａ、９ｂと、これらの個別変形部９ａ、９ｂを結合している結合部１０と、容器本体１及び蓋体２のいずれか他方の壁面に当接して封止するシール片１１とを有し、シール片１１は個別変形部９ａ、９ｂを結合している結合部１０に一体形成されている。前記個別変形部９ａ、９ｂ及び結合部１０で本体部が構成され、この本体部が嵌合溝５に嵌合されて、シール片１１を支持する。
一方、嵌合溝５には奥部側（底側）から外方に向かって突出する突状部１４を形成している。この突状部１４は嵌合溝５の底面全周に沿って形成され、突状部１４と嵌合溝５の側壁面との間に嵌合溝部分５ａ、５ｂを形成している。即ち、２条の小溝部が形成されている。
そして、シール部材３の個別変形部９ａ及び個別変形部９ｂの対向する面側の突状部１４に向き合う領域内には、突状部１４の壁面に弾性的に密着する突状のリブ１２が各々２つずつ形成されている。これらリブ１２は、個別変形部９ａ及び個別変形部９ｂの壁面全周にわたって形成されており、閉じた環状構造をしている。
このように、個別変形部９ａ、９ｂに突状部１４の壁面に密着するリブ１２を設けることによって、間隙の密着がより確実なものとなり、シール性が向上する。なお、ここでは、個別変形部９ａ、９ｂにリブ１２が２条ずつ形成されている例を示しているが、１つでも、或いは３つ以上でも良い。また、リブ１２は、個別変形部９ａ及び個別変形部９ｂの突状部１４側だけでなく、その反対側にも設けるようにしてもよい。反対側にだけ設けるようにしてもよい。
このように嵌合溝５内に突状部１４を設けて複数の嵌合溝部分（小溝部）を形成し、この嵌合溝部分に個別変形部９ａ、９ｂを嵌め込む構造とすることにより、嵌合面積を増すことができて嵌合力を増すことができ、また、シール長を長く取ることができるので、シール性を高めることができる。また、個別変形部９ａ、９ｂに突状部１４の壁面に密着するリブ１２を設けることによって、間隙の密着がより確実なものとなり、シール性が一層向上する。
この効果は、突状部１４（小溝部）の数が多ければ多いほどよいが、突状部１４（小溝部）の数が多くなれば、成形及び個別変形部９ａ、９ｂの装着が難しくなると共に製造コストが上がるため、これらを考慮した個数に突状部１４の数を適宜設定することができる。
また、シール部材３のシール片１１の先端部は、容器本体１の密接部である壁面１５に弾性的に屈曲して当接することで、容器本体１の収納空間４と外気とを気密に隔離する。この場合、シール片１１とその先端部が当接する容器本体１の内壁面（これを「密接部」とも称する。）１５とは、シール片１１の先端部が壁面１５に密接するときに充分な密着力が得られるように、シール片１１と壁面１５とが相対的に傾斜した関係になっていることが好ましい。つまり、シール片１１の先端部が密接するときに屈曲する範囲内で相対的に傾斜して形成されていることが好ましく、これにより確実にシールを行なうことができ、シール性が向上する。
このシール部材３を形成する材料としては、ガス発生の少ない弾性体高分子を用いるのが好ましい。例えば、ポリエステルエラストマーやポリオレフィンエラストマーなどを用いることができる。ポリエステルエラストマーとは、具体的には、テレフタル酸と１，４−テトラメチレングリコールおよびポリオキシエチレングリコールを主要構成成分とする共重合体またはポリマー化合物を挙げることができる。
このように構成したシール部材３は、図３（ａ）に示すように、嵌合溝５に嵌め入れる前の状態では、個別変形部９ａ、９ｂが離間する方向に開いた状態となっており、また、シール片１１は変形を受けず真直ぐに伸びている状態にある。
このシール部材３では、図１及び図３（ｂ）に示すように、個別変形部９ａ、９ｂを、個別変形部９ａ、９ｂの先端部側が嵌合溝５の奥側（底側）になるように、かつ、個別変形部９ａ、９ｂの間に突状部１４が嵌まり込むように、嵌合溝５の壁面と突状部１４の壁面との間の嵌合溝部分５ａ、５ｂ内に嵌め入れる。
これにより、シール部材３の個別変形部９ａ、９ｂの弾性復元力によって図３（ａ）の状態に復元しようとするとともに、嵌合溝５と突状部１４との間に挟持されるので、嵌合溝５の壁面に密着する。このとき、図１に示すように、嵌合後には個別変形部９ａ及び個別変形部９ｂとの間に間隙はほとんど形成されず、これ以上の圧縮変形はできない状態となっている。そのため、嵌合溝５に与える押し付け力は、個別変形部９ａ、９ｂが元の状態に戻ろうとする弾性力とシール部材３を形成する材料自身の弾性力が付け加わり大きくなる。
そして、この状態で、蓋体２を容器本体１に装着することによって、シール部材３のシール片１１の先端部が容器本体１の壁面１５に密接して、シール部材３のシール片１１と容器本体１との間が封止される。したがって、容器本体１の収納空間４は外部から気密に隔離される。
このように、この収納容器は、容器本体１及び蓋体２のいずれか一方に両者を気密に封止するためのシール部材３を有し、このシール部材３は、容器本体１及び蓋体２のいずれか一方に形成された嵌合溝５に嵌め入れられる個別的に変形可能な複数の部分と、他方の壁面に当接して封止するシール片１１とを有しているので、嵌合溝５に嵌合する部分の弾性力を分岐、あるいは分散させることができ、シール部材３と嵌合溝５との密着力を調整し易くなり、シール部材３の脱落を防ぎつつシール部材３を容易に装着することができるようになるため、シール性も向上する。
なおここでは、突状部１４を肉厚に成形して、個別変形部９ａ、９ｂの間隔を突状部１４に合わせて広くとったが、図７のように、個別変形部９ａ、９ｂの間隔をスリット状に狭めて、突状部１４も薄い壁板状に形成してもよい。この場合も、シール性を向上させることができる。
次に、本発明の第２実施形態について図４及び図５を参照して説明する。図４は同実施形態における収納容器のシール部材部分の拡大模式的断面図、図５（ａ）はシール部材を嵌合溝に装着する前の形状を示す説明図、同（ｂ）はシール部材を嵌合溝に装着して蓋体を容器本体に装着した後の形状を示す説明図である。
この実施形態のシール部材３は、前記第１実施形態と同様に、容器本体１及び蓋体２のいずれか一方に形成された嵌合溝５に嵌め入れられる個別変形部９ａ、９ｂと、これらの個別変形部９ａ、９ｂを結合し、嵌合溝５内に嵌め入れられる結合部１０と、容器本体１及び蓋体２のいずれか他方の壁面に当接して封止するシール片１１とを有し、シール片１１は一方の個別変形部９ａに一体形成されている。なお、結合部１０の位置は前記第１実施形態とは逆になっている。これにより、個別変形部９ａ、９ｂと結合部１０とは、外側へ開放した断面Ｕ字状に形成されている。
このシール部材３の個別変形部９ａ、９ｂも嵌合溝５に嵌め入れられる前の状態では、図５（ａ）に示すように、互いに離間して開いた状態になるように形成している。また、個別変形部９ａ、９ｂには互いに対向する面と反対側の面に嵌合溝５の壁面に密着するリブ１２を形成している。
一方、嵌合溝５の壁面の開口部近傍には、シール部材３の個別変形部９ａ、９ｂに当接する突状の抜け止め部１６を形成している。この抜け止め部１６は、シール部材３の個別変形部９ａ、９ｂが外力や内外の気圧差などで嵌合溝５から抜けて外れてしまうことを防止する。そのため、抜け止め部１６は嵌合溝５の全周にわたって形成する必要はなく、部分的に形成されておれば良い。また、シール部材３の弾性復元力が充分強い場合は抜け止め部１６は必ずしも必要ではない。
このように構成したシール部材３は、図４及び図５（ｂ）に示すように、個別変形部９ａ、９ｂを結合している結合部１０が嵌合溝５の奥側になるように、つまり、個別変形部９ａ、９ｂの先端部側が嵌合溝５の奥側と反対側になるように嵌合溝５に嵌め入れている。
これにより、シール部材３を嵌め入れた状態では個別変形部９ａと９ｂとの間に隙間１９が形成されることになり、個別変形部９ａ、９ｂが嵌合前の元の状態に戻ろうとする弾性復元力を主体とした力のみによってリブ１２ａと１２ｂとが嵌合溝５の壁面に押し付けられる。
そのため、前記第１実施形態のシール部材に比べると、嵌合力は弱くなるが、個別変形部９ａ、９ｂの変形自由度が大きくなるためにリブ１２の嵌合溝５の壁面に対する密着性が向上し、その結果高いシール性が得られる。すなわち、リブ１２に後述するリップ２０と同様の作用をさせることができる。また、嵌合溝５との嵌合力が弱い分、外部からの振動などによる擦れで生じる嵌合部磨耗を低減させることができ、振動などが加わっても嵌合部分からのゴミの発生を低減することができる。この嵌合力は、隙間１９の容量と個別変形部９ａ、９ｂの肉厚及びシール部材３を形成する材料を選択することによって調整することができる。
この場合、嵌合溝５の開口近傍に抜け止め部１６を形成することによって、リブ１２ａと１２ｂが係止されて、弱い嵌合力にもかかわらず、通常の用いられ方をする限り嵌合溝５からシール部材５が脱落することはない。一方、嵌合状態では隙間１９が形成されているため、この隙間を力学的に押し潰すことによって、抜け止め部１６を回避して個別変形部９ａ、９ｂを結合部１０と一緒に嵌合溝５から取り外すこともできる。
半導体ウエハなどを収納して、清浄な雰囲気で保管・搬送・処理するような収納容器は、汚染物除去・汚染防止のために繰り返し洗浄をして用いるが、このときにシール部材３を取り外すことが容易になることによって、洗浄工程を容易にし、洗浄効果を高めることが可能となる。
次に、本発明の第３実施形態について図６を参照して説明する。図６は同実施形態における収納容器のシール部材部分の拡大模式的断面図である。
この実施形態では、上記第２実施形態のシール部材３の個別変形部９ａ、９ｂの間に嵌め込む嵌合部材１７を備えている。この嵌合部材１７は、個別変形部９ａ、９ｂの間に嵌め入れる膨らみ部１８ａと、個別変形部９ａ、９ｂうちのシール片１１を一体形成していない個別変形部９ｂの先端部に当接する押え部１８ｂとを一体に形成している。
この嵌合部材１７の膨らみ部１８ａがシール部材３の個別変形部９ａ、９ｂの間に挿入されることで、個別変形部９ａ、９ｂは押し開かれて嵌合溝５の壁面に押し付けられるので、個別変形部９ａ、９ｂと嵌合溝５との密着性が向上する。なお、この嵌合部材１７は、閉じた環状構造とすることもできるが、シール部材３の個別変形部９ａ、９ｂの間への挿入作業を容易にするためには、紐状の部材とすることが好ましい。また、嵌合部材１７の押え部１８ｂは必ずしも必要ではない。またリブ１２は必要に応じて設ける。
一方、この実施形態では、シール部材３のシール片１１が密に接する容器本体１の壁面（密接部）１５は、シール片１１の傾き方向と同じ方向で角度θだけ傾斜させて形成している。つまり、収納容器を横置きで使用する場合、容器本体１の開口部１ａの開口方向が水平方向となり、この状態で壁面１５は垂直方向の壁面（垂直受け部）となり、この壁面１５を垂直面に対して角度φだけシール片１１側に傾斜させている。
これによって、シール部材３のシール片１１が壁面１５に安定して密着することができる。本発明者の実験によると、角度φを２〜８度の範囲内とすることによって、蓋体２の容器本体１との脱着を繰り返し行っても、シール片１１が垂直受け部である壁面１５に安定して密着することが確認された。これは、この傾斜角度φが２°以上とすることによって、シール片１１の先端には外周方向の成分を有する押圧力が作用するために、シール片１１の先端部分に均一な応力を発生させることができて、これにより安定した密着力が得られるものと考えられる。また、傾斜角φが８°以上になると、密着性が不安定になるのは、シール片１１が壁面１５を押す押圧力が低下するためと考えられる。
なお、収納容器を縦置きで使用する場合、壁面１５は水平方向の壁面（水平受け部）となり、この壁面１５を水平面に対して角度φだけシール片１１側に傾斜させていることになる。
次に、本発明の第４実施形態について図７を参照して説明する。図７は同実施形態で用いるシール部材の拡大模式的断面図、同図（ａ）はシール部材を嵌合溝に装着する前の形状を示す説明図、同（ｂ）はシール部材を嵌合溝に装着して蓋体を容器本体に装着した後の形状を示す説明図である。
このシール部材３も、容器本体１及び蓋体２のいずれか一方に形成された嵌合溝５に嵌め入れられる個別変形部９ａ、９ｂと、これらの個別変形部９ａ、９ｂを結合し、嵌合溝５内に嵌め入れられる結合部１０と、容器本体１及び蓋体２のいずれか他方の壁面に当接して封止するシール片１１とを有し、シール片１１は一方の個別変形部９ａに一体形成されている。
そして、このシール部材３では結合部１０側を嵌合溝５の奥側にして嵌合溝５に嵌め入れたときに、図７（ｂ）に示すように、個別変形部９ａ、９ｂとの間にほとんど隙間がなく、それ以上の圧縮変形ができない状態になる形状に形成している。
したがって、結合部１０側を嵌合溝５の奥側にしてこのシール部材３を嵌合溝５に嵌め入れると、個別変形部９ａ、９ｂは図７（ａ）に示す互いに開いた状態に戻ろうとする弾性復元力によって嵌合溝５の壁面に密着する。
このとき、上述したように個別変形部９ａ、９ｂ間の隙間は殆どなくそれ以上に圧縮変形できない状態であるので、嵌合溝５の壁面に与える押し付け力は、個別変形部９ａ、９ｂの弾性復元力にシール部材３を形成する材料自身の弾性力が付け加わって大きな押し付け力が得られる。
なお、ここでは上記各実施形態で説明したリブは形成していないが、リブを形成しても良いことは言うまでもない。
次に、本発明の第５実施形態について図８を参照して説明する。図８は同実施形態で用いるシール部材を嵌合溝に嵌め入れる前の状態で示す拡大模式的断面図である。
このシール部材３は、第１実施形態のシール部材３と同様な構成であるが、個別変形部９ａ、９ｂの対向する面側に、リブ１２ではなく、１又は複数（ここでは１つのみ図示）のリップ２０を形成している。リップ２０は、屈曲変形を伴う弾性変形部であり、リブと比較すると嵌合力はほとんどないが、変形自由度が大きいために密着性とシール性をリブよりも向上することができる。また、嵌合力が弱い分、外部からの振動などに対するシール部材の磨耗を低減させることができる。
突状部１４は、嵌合溝５内において一方に偏って設けられている。これにより、一方の嵌合溝部分５ｂが一方の個別変形部９ｂと整合する寸法になっており、主にこの部分と本体部の両側面とで、シール部材３が嵌合溝５に支持されている。なお、リップ２０は、個別変形部９ａの内側面にだけ設けたが、必要に応じて、別変形部９ａの外側面にも設けるようにしてもよい。また、別変形部９ａの外側面だけ、別変形部９ｂ側の一側又は両側に設けるようにしてもよい。
次に、このシール部材３を用いた収容容器のシール材部分の拡大図を図９に示している。前述した第１実施形態と同様に、シール部材３の個別変形部９ａ、９ｂを蓋体２に形成された嵌合溝５の嵌合溝部分５ａ、５ｂに嵌め込む構造としている。
このとき、リップ２０を形成する個別変形部９ａと突状部１４の壁面との間には、間隙２１が形成されるように嵌合溝部分５ａを形成することで、リップ２０が屈曲して弾性変形で突状部１４の壁面に密着してシールすることができる。また、個別変形部９ａ、９ｂ全体の幅は嵌合溝５の溝幅よりも若干大きく形成することで、嵌合溝５の壁面に個別変形部９ａ、９ｂが密着する。
このとき、嵌合溝５の壁面（外周面と内周面）とは鉛直面に対して内側に互いに角度θだけ傾斜して形成している。すなわち、嵌合溝５は開口側に向かって開くように傾斜して形成している。この角度θは１°〜６°の範囲内とすることが好ましく、特に好ましくは３°〜５°の範囲内である。この範囲内の傾斜面とすることによって、シール部材３の個別変形部９ａ、９ｂ嵌合溝５に挿入し易く、かつ充分な嵌合力を保持できるようにすることができる。また、このことによって、成形時の型抜けをスムーズにすることができ、良好な嵌合面の加工が可能になる。
なお、以上の各実施形態では、嵌合溝５が蓋体２側に形成されている場合を例にして説明したが、容器本体１側に嵌合溝５を形成した場合でも同様の作用効果を得ることができる。
本発明に係る収納容器の第１実施形態の説明に供する全体概略模式的断面図である。 同収納容器のシール部材部分の模式的拡大断面図である。 同収納容器のシール部材の模式的断面図である。 本発明に係る収納容器の第２実施形態の説明に供するシール部材部分の模式的拡大断面図である。 同収納容器のシール部材の模式的断面図である。 本発明に係る収納容器の第３実施形態の説明に供するシール部材部分の模式的拡大断面図である。 本発明に係る収納容器の第４実施形態の説明に供するシール部材部分の模式的拡大断面図である。 本発明に係る収納容器の第５実施形態の説明に供するシール部材の模式的断面図である。 同じくシール材部分の拡大断面説明図である。
符号の説明
１：容器本体、２：蓋体、３：シール部材、４：内部空間、５：嵌合溝、６：薄板支持部、７：板押え、８：薄板、９ａ、９ｂ：個別変形部、１０：結合部、１１：シール片、１２：リブ、１４：突状部、１７：嵌合部材、２０：リップ。

Claims (25)

  1. 開口部を有する収納部を形成する容器本体と、この容器本体の開口部を塞ぐための蓋体とを備える収納容器において、前記容器本体及び蓋体のいずれか一方に両者を気密に封止するためのシール部材を有し、このシール部材は、前記容器本体及び蓋体のいずれか一方に形成された嵌合溝に嵌め入れられ、断面形状で嵌め入れる方向に沿う隙間を介して対向する個別的に変形可能な複数の部分と、他方の壁面に当接して封止するシール片とを有していることを特徴とする収納容器。
  2. 請求項１に記載の収納容器において、前記シール部材は前記個別的に変形可能な複数の部分の先端部側が前記嵌合溝の奥部側になる状態で嵌め入れられることを特徴とする収納容器。
  3. 請求項２に記載の収納容器において、前記嵌合溝には、前記シール部材の嵌合部の個別的に変形可能な複数の部分の間に嵌め入れられる突状部が設けられていることを特徴とする収納容器。
  4. 請求項３に記載の収納容器において、前記シール部材の個別的に変形可能な複数の部分の対向する側には前記突状部に密接して気密を保つための少なくとも１つのリブが形成されていることを特徴とする収納容器。
  5. 請求項３に記載の収納容器において、前記シール部材の個別的に変形可能な複数の部分の対向する側には前記突状部に密接して気密を保つための少なくとも１つのリップ状部が形成されていることを特徴とする収納容器。
  6. 請求項１に記載の収納容器において、前記シール部材の個別的に変形可能な複数の部分は連続的に形成され、前記シール部材は個別的に変形可能な複数の部分の先端部側が前記嵌合溝の奥部側と反対側になる状態で嵌合されることを特徴とする収納容器。
  7. 請求項６に記載の収納容器において、前記シール部材の個別的に変形可能な複数の部分の間に嵌合部材が嵌め込まれていることを特徴とする収納容器。
    に記載の収納容器。
  8. 請求項６又は７に記載の収納容器において、前記シール部材の個別的に変形可能な複数の部分の対向する側と反対側には前記嵌合溝の壁面に密接して気密を保つための少なくとも１つのリブが形成されていることを特徴とする収納容器。
  9. 請求項６又は７に記載の収納容器において、前記シール部材の個別的に変形可能な複数の部分の対向する側と反対側には前記嵌合溝の壁面に密接して気密を保つための少なくとも１つのリップ部が形成されていることを特徴とする収納容器。
  10. 請求項１ないし９のいずれかに記載の収納容器において、前記嵌合溝の開口側には、前記シール部材の抜けを防止する抜け止め防止手段が設けられていることを特徴とする収納容器。
  11. 請求項１ないし１０のいずれかに記載の収納容器において、前記嵌合溝は開口側に向って１〜６度の傾斜面を有して拡開していることを特徴とする収納容器。
  12. 請求項１ないし１１のいずれかに記載の収納容器において、前記シール部材のシール片が当接する壁面は、前記シール片の先端が屈曲する範囲内で傾斜して形成されていることを特徴とする収納容器。
  13. 請求項１２に記載の収納容器において、前記シール部材のシール片が当接する壁面は、水平受け部または垂直受け部であり、前記水平受け部または垂直受け部は、水平面または垂直面から前記シール片側に２〜８度の範囲内の角度で傾斜していることを特徴とする収納容器。
  14. 請求項１ないし１３のいずれかに記載の収納容器において、前記シール部材の個別的に変形可能な複数の部分は、前記嵌合溝内に弾性的に圧縮されて挿入された状態になることを特徴とする収納容器。
  15. 請求項１ないし１４のいずれかに記載の収納容器において、前記シール部材の個別的に変形可能な複数の部分と前記嵌合溝の壁面との間には所定の容積を有する空隙が形成されることを特徴とする収納容器。
  16. 請求項１ないし１５のいずれかに記載の収納容器において、前記容器本体には複数の薄板を所定の間隔で離間して支持する薄板支持部が、前記蓋体には前記薄板支持部で支持された複数の薄板を押圧して支持する薄板押えを有することを特徴とする収納容器。
  17. 開口部を有する収納部を形成する容器本体と、この容器本体の開口部を塞ぐための蓋体と、前記容器本体又は蓋体のいずれか一方に設けられ両者間を気密に封止するためのシール部材とを備える収納容器において、
    前記シール部材が、前記容器本体又は蓋体のいずれか一方に形成された嵌合溝に嵌め入れられる本体部と、当該本体部から対向する他方の壁面側へ延出して形成され当該壁面に当接して前記容器本体と蓋体との間を封止するシール片とを有し、
    前記嵌合溝が、その底部に複数条の小溝部を有し、
    前記本体部が、前記複数条の小溝部にそれぞれ嵌合する個別変形部を備えたことを特徴とする収納容器。
  18. 請求項１７に記載の収納容器において、
    前記個別変形部が、そのいずれか一側面又は両側面に、その全周に亘って突状の弾性リブを備えたことを特徴とする収納容器。
  19. 請求項１７に記載の収納容器において、
    前記個別変形部が、前記小溝部の内側の寸法よりも小さく設定されると共に、そのいずれか一側面又は両側面に、その全周に亘って、当該個別変形部よりも変形自由度の大きいリップを備えたことを特徴とする収納容器。
  20. 開口部を有する収納部を形成する容器本体と、この容器本体の開口部を塞ぐための蓋体と、前記容器本体又は蓋体のいずれか一方に設けられ両者間を気密に封止するためのシール部材とを備える収納容器において、
    前記シール部材が、前記容器本体又は蓋体のいずれか一方に形成された嵌合溝に嵌め入れられる本体部と、当該本体部から対向する他方の壁面側へ延出して形成され当該壁面に当接して前記容器本体と蓋体との間を封止するシール片とを有し、
    前記嵌合溝が、その底部に全周に亘って１又は複数条の壁板を有し、
    前記本体部が、前記壁板をその両側から挟み込む個別変形部を備えたことを特徴とする収納容器。
  21. 開口部を有する収納部を形成する容器本体と、この容器本体の開口部を塞ぐための蓋体と、前記容器本体又は蓋体のいずれか一方に設けられ両者間を気密に封止するためのシール部材とを備える収納容器において、
    前記シール部材が、前記容器本体又は蓋体のいずれか一方に形成された嵌合溝に嵌め入れられる本体部と、当該本体部と対向する他方の壁面に当接して封止するシール片とを有し、
    前記本体部が、外側へ開放した断面Ｕ字状に形成されたことを特徴とする収納容器。
  22. 請求項２１に記載の収納容器において、
    前記断面Ｕ字状の部分が前記嵌合溝の内側の寸法よりも大きくなるように開いた状態に成形されたことを特徴とする収納容器。
  23. 請求項２１又は２２に記載の収納容器において、
    前記本体部の断面Ｕ字状の部分に嵌め込まれて当該本体部を膨らませることで本体部を前記嵌合溝に圧接させる嵌合部材を備えたことを特徴とする収納容器。
  24. 請求項２１ないし２３のいずれか１項に記載の収納容器において、
    前記本体部が、そのいずれか一側面又は両側面に、その全周に亘って突状の弾性リブを備えたことを特徴とする収納容器。
  25. 開口部を有する収納部を形成する容器本体と、この容器本体の開口部を塞ぐための蓋体と、前記容器本体又は蓋体のいずれか一方に設けられ両者間を気密に封止するためのシール部材とを備える収納容器において、
    前記シール部材が、前記容器本体又は蓋体のいずれか一方に形成された嵌合溝に嵌め入れられる本体部と、当該本体部と対向する他方の壁面に当接して封止するシール片とを有し、
    前記本体部が、その外側に全周に亘ってスリットを設けて外側へ開放して形成されると共に、当該スリットの部分が開いた状態に成形されたことを特徴とする収納容器。
JP2004300587A 2004-10-14 2004-10-14 収納容器 Expired - Fee Related JP4634772B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004300587A JP4634772B2 (ja) 2004-10-14 2004-10-14 収納容器
TW094134933A TW200616870A (en) 2004-10-14 2005-10-06 Storage container
US11/245,105 US20060081635A1 (en) 2004-10-14 2005-10-07 Storage container
KR1020050095714A KR20060052189A (ko) 2004-10-14 2005-10-11 수납 용기
EP05022159A EP1648025A1 (en) 2004-10-14 2005-10-11 Storage container
CNA2005101137356A CN1760094A (zh) 2004-10-14 2005-10-14 收纳容器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004300587A JP4634772B2 (ja) 2004-10-14 2004-10-14 収納容器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006111308A true JP2006111308A (ja) 2006-04-27
JP4634772B2 JP4634772B2 (ja) 2011-02-16

Family

ID=35427635

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004300587A Expired - Fee Related JP4634772B2 (ja) 2004-10-14 2004-10-14 収納容器

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20060081635A1 (ja)
EP (1) EP1648025A1 (ja)
JP (1) JP4634772B2 (ja)
KR (1) KR20060052189A (ja)
CN (1) CN1760094A (ja)
TW (1) TW200616870A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007308161A (ja) * 2006-05-18 2007-11-29 Shin Etsu Polymer Co Ltd 収納容器
JP2009021369A (ja) * 2007-07-11 2009-01-29 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
KR20190124968A (ko) * 2018-04-27 2019-11-06 권오선 직수식 정수기
WO2022081629A1 (en) * 2020-10-13 2022-04-21 Entegris, Inc. Integral seal for container
JP2023120991A (ja) * 2022-02-18 2023-08-30 株式会社協同 フォトマスク収納ケース、及び、フォトマスク収納ケース用のフォトマスク用クッション部材

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7690527B2 (en) * 2003-07-28 2010-04-06 Gary Englund Shaped sealing gasket
FR2903090B1 (fr) * 2006-06-30 2010-03-19 Janny Sarl Conteneur pour le stockage de produits
JP4920387B2 (ja) * 2006-12-01 2012-04-18 信越半導体株式会社 基板収納容器
US7975870B2 (en) * 2007-08-29 2011-07-12 Ti Group Automotive Systems, L.L.C. Ring seal having sealing lobes
JP5264555B2 (ja) * 2008-03-06 2013-08-14 キヤノン株式会社 走査光学装置
DE102009000010A1 (de) * 2009-01-02 2010-07-08 Robert Bosch Gmbh Elektrisch kommutierte elektrische Maschine
US9662816B2 (en) * 2010-04-23 2017-05-30 Psion Inc. Overmould for sealing using double overmould
KR101252567B1 (ko) * 2010-12-02 2013-04-12 김권우 밀폐 용기
US9145238B2 (en) * 2011-06-13 2015-09-29 Tervis Tumbler Company Lid for beverage container and beverage container including same
US9476251B2 (en) * 2011-08-19 2016-10-25 Aerovironment, Inc. Water-tight compartment with removable hatch and two-sided gel seal for multiple conduit access
KR101223759B1 (ko) * 2012-02-24 2013-01-17 주식회사 보루인터내셔날 진공용기용 고무밀봉재 및 이를 이용한 진공용기 뚜껑
JP5240594B1 (ja) * 2012-04-12 2013-07-17 Ｎｏｋ株式会社 ガスケット
KR101383668B1 (ko) * 2012-04-27 2014-04-10 주식회사 테라세미콘 실링부재 및 이를 사용한 기판 처리 장치
GB2501774A (en) 2012-05-04 2013-11-06 Control Tech Ltd A sealing element for sealing between planar surfaces
KR20150037928A (ko) * 2012-07-30 2015-04-08 이턴 코포레이션 밸브용 중복 립 시일
US9097346B1 (en) * 2013-03-15 2015-08-04 Sypris Technologies, Inc. Closure lip seal relief
CN103287659B (zh) * 2013-05-08 2015-08-05 广东新宝电器股份有限公司 分段连接式容器
KR101833726B1 (ko) * 2014-03-26 2018-03-02 미라이얼 가부시키가이샤 기판수납용기
BR112016030142B1 (pt) * 2014-06-23 2021-10-13 Abate Basilio & C. S.N.C. Conjunto de recipiente e tampa feito de material plástico
US10197295B2 (en) * 2015-07-30 2019-02-05 Omar Crespo-Calero Highly efficient and easy to service air conditioning condenser unit
JP6660780B2 (ja) * 2016-03-17 2020-03-11 日本クレア株式会社 小動物用飼育装置
JP6552112B2 (ja) * 2016-03-29 2019-07-31 日本クレア株式会社 小動物用飼育装置
CN107489796A (zh) * 2016-06-13 2017-12-19 张家港市丰乐汽车设备有限公司 一种钢渣热焖蒸汽管道的防爆阀
CN107489797A (zh) * 2016-06-13 2017-12-19 张家港市丰乐汽车设备有限公司 防爆阀
DE102016215154A1 (de) * 2016-08-15 2018-02-15 Festo Ag & Co. Kg Abdichtungssystem
US11346743B2 (en) 2016-10-12 2022-05-31 Huawei Technologies Co., Ltd. Sealing performance test method, apparatus, and storage medium
US10473218B2 (en) * 2017-10-09 2019-11-12 Aptiv Technologies Limited Perimeter seal
CN114962641A (zh) * 2017-11-10 2022-08-30 Nok株式会社 垫圈
JP6687660B2 (ja) * 2018-03-27 2020-04-28 ファナック株式会社 シール装着装置およびシール装着方法
US11652253B2 (en) * 2018-08-09 2023-05-16 Ford Global Technologies, Llc Enclosure seal and sealing method
WO2020121448A1 (ja) * 2018-12-12 2020-06-18 ミライアル株式会社 基板収納容器
DE102019123996A1 (de) * 2019-09-06 2021-03-11 Elkamet Kunststofftechnik Gmbh Verbindungsanordnung
US11808354B2 (en) * 2021-03-11 2023-11-07 Sartorius Bioanalytical Instruments, Inc. Sample shaker system with sealed airflow
KR102294415B1 (ko) * 2021-06-09 2021-08-26 (주)상아프론테크 웨이퍼 수납 용기

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61187945U (ja) * 1985-05-17 1986-11-22
JPH023069U (ja) * 1988-06-17 1990-01-10
JP2000009230A (ja) * 1998-06-22 2000-01-11 Nec Eng Ltd 密閉容器のパッキン構造
JP2003222244A (ja) * 2002-01-29 2003-08-08 Mahle Tennex Corp シールパッキンおよび吸気系部品のシール構造
JP2003532594A (ja) * 2000-05-11 2003-11-05 アイアールエム，エルエルシー 標本プレート蓋及び使用方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3211322A (en) * 1963-03-18 1965-10-12 Rodger D Collons Container and closure therefor
US5112065A (en) * 1991-03-14 1992-05-12 Westinghouse Electric Corp. Double directional gasket
JP2946450B2 (ja) * 1993-04-27 1999-09-06 コマツ電子金属株式会社 半導体ウェーハ包装容器
US5568677A (en) * 1993-09-02 1996-10-29 Tobin; Robert A. Environmentally safe and economical burial casket
JP3292800B2 (ja) * 1995-10-12 2002-06-17 信越ポリマー株式会社 密封容器のクランプ構造
US5873468A (en) * 1995-11-16 1999-02-23 Sumitomo Sitix Corporation Thin-plate supporting container with filter means
US5785201A (en) * 1996-05-02 1998-07-28 Container Accessories, Inc. Molded lid with wave configured central portion
JPH11150177A (ja) * 1997-11-19 1999-06-02 Dainippon Ink & Chem Inc ウエハ収納容器
US6354601B1 (en) * 1999-01-06 2002-03-12 Fluoroware, Inc. Seal for wafer containers
JP3556185B2 (ja) 2000-06-13 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 シール部材、密封容器及びそのシール方法
TWI259501B (en) * 2000-12-07 2006-08-01 Shinetsu Polymer Co Seal and substrate container using same
US7413099B2 (en) * 2001-06-08 2008-08-19 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Sealing element with a protruding part approximately obliquely outward and a hermetic container using the same
WO2003042071A1 (en) * 2001-11-14 2003-05-22 Entegris, Inc. Wafer carrier with wafer retaining system
JP3968559B2 (ja) * 2001-11-30 2007-08-29 Ｎｏｋ株式会社 ガスケット

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61187945U (ja) * 1985-05-17 1986-11-22
JPH023069U (ja) * 1988-06-17 1990-01-10
JP2000009230A (ja) * 1998-06-22 2000-01-11 Nec Eng Ltd 密閉容器のパッキン構造
JP2003532594A (ja) * 2000-05-11 2003-11-05 アイアールエム，エルエルシー 標本プレート蓋及び使用方法
JP2003222244A (ja) * 2002-01-29 2003-08-08 Mahle Tennex Corp シールパッキンおよび吸気系部品のシール構造

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007308161A (ja) * 2006-05-18 2007-11-29 Shin Etsu Polymer Co Ltd 収納容器
JP2009021369A (ja) * 2007-07-11 2009-01-29 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
KR20190124968A (ko) * 2018-04-27 2019-11-06 권오선 직수식 정수기
KR102069803B1 (ko) * 2018-04-27 2020-01-28 권오선 직수식 정수기
WO2022081629A1 (en) * 2020-10-13 2022-04-21 Entegris, Inc. Integral seal for container
JP2023120991A (ja) * 2022-02-18 2023-08-30 株式会社協同 フォトマスク収納ケース、及び、フォトマスク収納ケース用のフォトマスク用クッション部材

Also Published As

Publication number Publication date
CN1760094A (zh) 2006-04-19
EP1648025A1 (en) 2006-04-19
TW200616870A (en) 2006-06-01
KR20060052189A (ko) 2006-05-19
US20060081635A1 (en) 2006-04-20
JP4634772B2 (ja) 2011-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4634772B2 (ja) 収納容器
KR100904799B1 (ko) 밀봉 용기
JP4173000B2 (ja) 基板収納容器
US7648041B2 (en) Gasket for precision-packaging substrate container
JP3556185B2 (ja) シール部材、密封容器及びそのシール方法
WO2007026760A1 (ja) シール部材
US20060213796A1 (en) Airtight container
JP5988854B2 (ja) 基板収納容器
JP4664610B2 (ja) シール部材
JPH0945759A (ja) パッケージ
KR101183027B1 (ko) 밀봉 수납용기
JP2005225545A (ja) シール部材
TW201740493A (zh) 用於基板容器之緩衝保持器
KR20200012923A (ko) 기판 수납 용기
JPH09282860A (ja) ハードディスク装置用ガスケット
JP3296108B2 (ja) 電子基板用コンテナ
JPH11154699A (ja) 容器の封止構造
JP7491750B2 (ja) 基板収納容器
JP2005127437A (ja) シール部材
JP2002145311A (ja) 容器とパッキン
JP4596952B2 (ja) 気密容器
KR200319007Y1 (ko) 웨이퍼 수납용기의 기밀구조
JP2019207903A (ja) 基板収納容器
JP2012253257A (ja) 電子機器およびそれに用いるカバー部材
JP3299047B2 (ja) 板状物の圧接固定用部材

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071003

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100423

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100511

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100712

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101116

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101119

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131126

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131126

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131126

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees