JP2019207903A - 基板収納容器 - Google Patents
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
前記容器本体の開口を閉止する蓋体とを備え、
前記容器本体における前記開口まわりの第1部位、及び、前記蓋体における前記第1部位に対向する第2部位の一方の部位は、他方の部位とは異なる材料により形成され、かつ、他方の部位に向けて突出する突起部であって端面が前記他方の部位に当接する突起部を有する、基板収納容器が提供される。
10 容器本体
10C 容器本体
11 開口
12 シール面
13 支持体
14 ロボティックフランジ
15 マニュアルハンドル
18 給気弁
19 排気弁
20 蓋体
20B 蓋体
20C 蓋体
21 蓋部本体
21B 蓋部本体
21C 蓋部本体
26 施錠機構
27 プレート
30 フロントリテーナ
60 弾性体
70A ラビリンスシール構造
101 表面
101C 表面
102 表面
102C 表面
110 第1部位
110C 第1部位
120C リブ群
120C−1 リブ
120C−2 リブ
210 第2部位
210B 第2部位
210C 第2部位
211 表面
211C 表面
212 表面
212C 表面
701 狭小部
702 拡大部
710 リブ群
710−1 リブ
710−2 リブ
710−3 リブ
710C リブ群
710C−1 リブ
710C−2 リブ
P0 内部
P1 外部
W 基板
δ1 隙間
Claims (8)
- 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体とを備え、
前記容器本体における前記開口まわりの第1部位、及び、前記蓋体における前記第1部位に対向する第2部位の一方の部位は、他方の部位とは異なる材料により形成され、かつ、他方の部位に向けて突出する突起部であって端面が前記他方の部位に当接する突起部を有する、基板収納容器。 - 前記突起部は、前記開口まわりの全周にわたり形成される、請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記第1部位及び前記第2部位は、前記容器本体に収納されるときの基板の表面に略平行な第1方向で、対向し合う第1表面を有し、
前記突起部は、前記第1部位の前記第1表面及び前記第2部位の前記第1表面により形成される、請求項1又は2に記載の基板収納容器。 - 前記突起部は、2本以上の突条の形態である、請求項1〜3のうちのいずれか1項に記載の基板収納容器。
- 前記突起部は、高低差が10mm以内である、請求項4に記載の基板収納容器。
- 前記一方の部位は、弾性体により形成される、請求項1〜5のうちのいずれか1項に記載の基板収納容器。
- 前記一方の部位は、前記第2部位である、請求項1〜6のうちのいずれか1項に記載の基板収納容器。
- 前記一方の部位は、前記第2部位であり、
前記第2部位は、前記蓋体の本体とは別体であり、弾性体を介して前記蓋体の本体に取り付けられる、請求項1〜5のうちのいずれか1項に記載の基板収納容器。
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