TW201909318A - 基板收納容器 - Google Patents

Abstract

本發明之基板收納容器，安裝於其之閥體(40)具有：第1筒部(410)，其一端連通於容器本體(10)之外部且形成於固定筒(41)；第2筒部(430)，其一端連通於容器本體(10)之內部，且與第1筒部(410)之另一端隔開而設置並形成於中蓋筒(43)；栓部(431)，其位於第1筒部(410)之另一端與第2筒部(430)之另一端之間；及彈性體(44)，其至少覆蓋栓部(431)，且具有等於或小於栓部(431)之外徑之內徑；且藉由栓部(431)與彈性體(44)密接而控制氣體相對於容器本體(10)之流通。藉此，提供一種具備可在不使用金屬製之構件下控制氣體之流通之閥體的基板收納容器。

Description

基板收納容器

本發明係關於一種具備控制氣體相對於容器本體之流通之閥體的基板收納容器。

收納基板之基板收納容器具備：容器本體；蓋體，其封閉容器本體之開口；及閥體，其控制氣體相對於容器本體之流通。該閥體具有止回閥功能，且具有閥主體及使閥主體開閉之金屬製之彈性構件(例如，參照專利文獻1及專利文獻2)。

由於閥體之止回閥功能係控制一方向之氣體之流通者，故相應於氣體之流通方向或者更換閥體本身，或者重新組合閥主體及彈性構件。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2008-066330號公報 [專利文獻2]日本特開2004-179449號公報

[發明所欲解決之問題]

然而，基板收納容器為了以氣密狀態收納基板，而自閥體供給有氣體且經由閥體將其排出，但在對收納之基板進行加工時，存在附著於基板上之殘留物質亦與供給之氣體一起排出之情形。因此，存在閥體之金屬製之彈性構件等被殘留物質腐蝕之情形。

因此，本發明係鑒於上述之課題而完成者，其目的在於提供一種具備可在不使用金屬製之構件下控制氣體之流通之閥體的基板收納容器。 又，本發明之目的在於提供一種具備可控制氣體之供給或排氣等氣體朝兩方向之流通之閥體的基板收納容器。 [解決問題之技術手段]

(1) 本發明之一個態樣之基板收納容器具備：容器本體，其收納基板；蓋體，其封閉前述容器本體之開口；及閥體，其控制氣體相對於前述容器本體之流通；且前述閥體具有：第1筒部，其一端連通於前述容器本體之外部；第2筒部，其一端連通於前述容器本體之內部，且與前述第1筒部之另一端隔開而設置；栓部，其位於前述第1筒部之另一端與前述第2筒部之另一端之間；及彈性體，其至少覆蓋前述栓部，且具有等於或小於前述栓部之外徑之內徑；且藉由前述栓部與前述彈性體密接而控制前述氣體相對於前述容器本體之流通。 (2) 如上述(1)之態樣者，其中前述彈性體可為具有內部通路之筒狀，且以前述氣體僅在前述第1筒部之內部通路、前述彈性體之內部通路、及前述第2筒部之內部通路內流動之方式，分別密封前述第1筒部與前述栓部之間、及前述栓部與前述第2筒部之間。 (3) 如上述(1)或(2)之態樣者，其中前述彈性體當於前述第1筒部或前述第2筒部被施加正壓時，可藉由膨起而在與前述栓部之間形成間隙，而可使前述氣體相對於前述容器本體流通，當於前述第1筒部及前述第2筒部未被施加正壓時，可與前述栓部密接而遮斷前述氣體相對於前述容器本體之流通。 (4) 如上述(1)至(3)中任一態樣者，其中可行的是，前述第1筒部形成於固定筒，該固定筒嵌於形成於前述容器本體之貫通孔，前述第2筒部形成於保持筒，該保持筒與前述固定筒組合，前述栓部設置於前述固定筒或前述保持筒。 (5) 如上述(1)至(3)中任一態樣者，其中可行的是，前述第1筒部形成於固定筒，該固定筒嵌於形成於前述容器本體之貫通孔，前述第2筒部形成於與組合於前述固定筒之保持筒連結之中蓋筒，前述栓部設置於前述固定筒、前述保持筒、或前述中蓋筒之任一者。 (6) 如上述(1)至(5)中任一態樣者，其中前述閥體可具有過濾前述氣體之過濾器。 (7) 如上述(1)至(3)中任一態樣者，其中前述閥體可安裝於設置於前述容器本體之氣體流路之中途。 [發明之效果]

根據本發明，可提供一種具備可在不使用金屬製之構件下控制氣體之流通之閥體的基板收納容器。

以下針對本發明之實施形態參照圖式進行詳細地說明。在本說明書之實施形態中，整體而言對於同一構件賦予同一符號。

圖1係顯示本發明之實施形態之基板收納容器1之概略分解立體圖。 如圖1所示般，基板收納容器1具備：容器本體10，其收納基板W；蓋體20，其封閉容器本體10之開口11；及環狀之襯墊30，其設置於容器本體10與蓋體20之間。

容器本體10為箱狀體，且為開口11形成於正面之前開口型。開口11以朝外側擴展之方式設有階差而彎曲形成，該階差部之面作為襯墊30所接觸之密封面12而形成於開口11之正面之內周緣。又，容器本體10從易於進行300 mm直徑或450 mm直徑之基板W之插入操作而言，較佳為前開口型，但亦可為開口11形成於下表面之底部開口型。

於容器本體10之內部的左右兩側配置有支持體13。支持體13具有進行基板W之載置及定位之功能。於支持體13在高度方向上形成有複數個槽，構成所謂之槽齒。如是，基板W載置於相同高度之左右兩個部位之槽齒上。支持體13之材料可為與容器本體10相同之材料，亦可為了提高洗浄性或滑動性而使用不同之材料。

又，於容器本體10之內部之後方(深處側)配置有後保持器(未圖示)。當封閉蓋體20時，後保持器與後述之前保持器成對而保持基板W。惟，亦可不如本實施形態般具備後保持器，而藉由支持體13在槽齒之深處側例如具有呈「く」字狀或直線狀之基板保持部，而由前保持器與基板保持部保持基板W。該等支持體13或後保持器藉由在容器本體10嵌入成形或嵌合等而設置。

基板W由該支持體13支持而收納於容器本體10。又，作為基板W之一例可舉出矽晶圓，但並無特別限定，例如，亦可為石英晶圓、砷化鎵晶圓等。

於容器本體10之頂面中央部拆裝自如地設置有機械凸緣14。在清潔之狀態下氣密地收納基板W之基板收納容器1由工廠內之搬送機器人固持機械凸緣14，而被搬送至每個加工基板W之步驟之加工裝置內。

又，於容器本體10之兩側部之外表面中央部，分別拆裝自如地安裝有供作業者握持之手動握把15。

而且，於容器本體10之內部之底面設置有供氣部16與排氣部17，且於容器本體10之外部之底面安裝有後述之閥體40。該等構件自供氣部16朝由蓋體20封閉之基板收納容器1之內部供給氮氣等之惰性氣體或乾燥空氣，且根據需要自排氣部17排出，藉此不時地進行置換基板收納容器1之內部之氣體、維持低濕度之氣密狀態、或吹走基板W上之雜質而保持基板收納容器1之內部之清潔性。再者，不僅是自供氣部16供給氣體，還可將排氣部17連接於負壓(真空)發生裝置，而強制性地將氣體自排氣部17排出。

進而，藉由檢測自排氣部17排出之氣體，可確認基板收納容器1之內部是否被導入之氣體置換。再者，供氣部16及排氣部17較佳的是位於偏離將基板W朝底面投影之位置的位置，但供氣部16及排氣部17之數量及位置並不限定於圖式者，亦可位於容器本體10之底面之四個角隅部。又，供氣部16及排氣部17亦可安裝於蓋體20之側。

另一方面，蓋體20係安裝於容器本體10之開口11之正面的大致矩形狀者。蓋體20具有未圖示之鎖定機構，藉由卡止爪嵌入形成於容器本體10之卡止孔(未圖示)而進行鎖定。又，蓋體20在中央部拆裝自如地安裝或一體地形成有水平地保持基板W之前部周緣的彈性之前保持器(未圖示)。

該前保持器與支持體13之槽齒及基板保持部等同樣，由於係供晶圓直接接觸之部位，故使用洗浄性及滑動性良好之材料。前保持器亦可藉由在蓋體20嵌入成形或嵌合等而設置。

而且，於蓋體20形成有供安裝襯墊30之安裝槽21。更詳細而言，藉由在蓋體20之容器本體10側之面環狀地形成有較開口11之階差部小之凸部22，而環狀地形成有剖面為大致U字狀之安裝槽21。該凸部22在將蓋體20安裝於容器本體10時較開口11之階差部進入更深處。

作為該等容器本體10及蓋體20之材料，例如可舉出：聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚碸、聚醚醚酮、及液晶聚合物等之熱塑性樹脂。該熱塑性樹脂亦可另外適宜添加包含有導電性碳、導電纖維、金屬纖維、導電性高分子等之導電劑、各種抗靜電劑、及紫外線吸收劑等。

其次，襯墊30係與蓋體20之正面形狀(及容器本體10之開口11之形狀)相對應之環狀之構件，在本實施形態中為矩形框狀。惟，環狀之襯墊30在安裝於蓋體20前之狀態下可為圓環(環)狀。

襯墊30配置於容器本體10之密封面12與蓋體20之間，在將蓋體20安裝於容器本體10時，密封面12與蓋體20密接而確保基板收納容器1之氣密性，降低來自外部之塵埃、濕氣等侵入基板收納容器1，且降低氣體自內部朝外部之漏出。

作為襯墊30之材料，可使用含有聚酯系之彈性體、聚烯烴系彈性體、氟系彈性體、胺基甲酸酯系彈性體等之熱塑性彈性體、氟橡膠、乙烯丙烯橡膠、及矽氧系橡膠等之彈性材。該等材料基於改善密接性之觀點，亦可以特定量選擇性地添加：含有碳、玻璃纖維、雲母、滑石、矽石、碳酸鈣等之填充劑、聚乙烯、聚醯胺、聚縮醛、氟系樹脂、及矽氧樹脂等之樹脂。

此處，針對閥體40進行說明。圖2(a)係顯示閥體40之剖面立體圖，圖2(b)係剖視圖。圖3(a)係顯示安裝於基板收納容器1之閥體40之遮斷氣體流通之狀態之概略剖視圖，圖3(b)係顯示可使氣體流通之狀態之概略剖視圖。

閥體40係控制氣體相對於容器本體10之流通者，當安裝於容器本體10時，經由未圖示之氣體流路與供氣部16或排氣部17連通。

如圖2所示般，閥體40具有：固定筒41，其自下方嵌入於由容器本體10之肋180形成之貫通孔18(參照圖3)；及保持筒42，其自上方經由密封構件45嵌入於貫通孔18，且藉由自上方螺合而與固定筒41拆裝自如地組合。

固定筒41形成為供容器本體10之內部側開口之有底圓筒狀，且於固定筒41之內周面螺刻而形成有用於安裝保持筒42之安裝用之螺紋槽412。又，朝半徑外方向延伸之環狀之凸緣413周設於固定筒41之外周面且與肋180之開口周緣部接觸。

再者，一端連通於容器本體10之外部之第1筒部410與氣體流通用之通氣口411一起形成於固定筒41之底部中心。第1筒部410與通氣口411連通，且自通氣口411之周緣立起而朝保持筒42延伸。

另一方面，保持筒42形成為供容器本體10之外部側開口之有底圓筒狀，且於保持筒42之外周面周設有朝半徑外方向延伸之環狀之凸緣423且與貫通孔18之開口周緣接觸。再者，於保持筒42之外周面螺刻形成有用於安裝於固定筒41之螺紋槽422，該螺紋槽422與固定筒41之螺紋槽412螺合。惟，固定筒41及保持筒42亦可不是螺合而是藉由壓入或卡止等其他之方法彼此安裝。

又，保持筒42於容器本體10(底面)之內部側呈格子狀或放射狀地配設有區劃氣體流通用之複數個通氣口421之區劃肋424，於該區劃肋424之背面形成有收納後述之過濾器46之收納空間。

再者，保持筒42於外周面安裝有密封構件45，可遮斷自保持筒42與貫通孔18之內周面之間朝容器本體10之內部侵入之外部空氣或洗淨液，且可遮斷自容器本體10之內部漏出之氣體。

另外，閥體40具有中蓋筒43，該中蓋筒43經由密封構件47安裝於保持筒42之內周壁，且將過濾器46保持在與保持筒42之間。

中蓋筒43形成為供容器本體10之外部側開口之有底圓筒狀，且於容器本體10之內部側載置有過濾器46。又，於中蓋筒43之外周面形成有突起，藉由與形成於保持筒42之內周面側之卡止槽卡止，而中蓋筒43連結於保持筒42而安裝。

該中蓋筒43形成有一端連通於容器本體10之內部，且與第1筒部410之另一端隔開而設置之第2筒部430。第2筒部430與通氣口421連通，且自中央開口之周緣立起而朝形成於固定筒41之第1筒部410延伸。

中蓋筒43位於第1筒部410之另一端與第2筒部430之另一端之間，且包含外徑等於或大於第1筒部410或第2筒部430之外徑的圓板狀之栓部431。再者，在本實施形態中，第1筒部410之外徑、第2筒部430之外徑、及圓板狀之栓部431之外徑皆以相等之直徑形成。

而且，該圓板狀之栓部431設置於自第2筒部430之內側被支持，且自第2筒部430從另一端突出之支柱432之前端。惟，反之，支柱432亦可自第1筒部410側被支持，且自第1筒部410從另一端突出。

上述之固定筒41、保持筒42、及中蓋筒43例如以聚碳酸酯、聚醚醯亞胺、聚醚醚酮、及液晶聚合物等之熱塑性樹脂為材料而成形。又，例如可將由氟橡膠、NBR橡膠、胺基甲酸酯橡膠、EPDM橡膠、矽橡膠等材料形成之O型環等用於密封構件45、47。

另外，閥體40具有至少覆蓋第1筒部410之另一端、栓部431、及第2筒部430之另一端之彈性體44。彈性體44為內徑等於或小於圓板狀之栓部431之外徑之具有內部通路4400之圓筒狀，且以與栓部431密接之方式遍及第1筒部410之另一端及第2筒部430之另一端而安裝。

亦即，被供給或排出之氣體以僅通過第1筒部410之內部通路4100(下文稱為「第1通路4100」)、彈性體44之內部通路4400、及第2筒部430之內部通路4300(下文稱為「第2通路4300」)而流動之方式，確實地將第1筒部410與栓部431之間、及栓部431與第2筒部430之間密封。再者，藉由將彈性體44以經拉伸之狀態安裝，由於彈性體44之內徑變小，故即便為與栓部431之外徑相等之內徑，亦可提高相對於栓部431之密接性。

作為彈性體44之材料，可使用各種橡膠或熱塑性彈性體樹脂等。例如，可使用包含聚酯系彈性體、聚烯烴系彈性體、氟系彈性體、胺基甲酸酯系彈性體等之熱塑性之彈性體、氟橡膠、乙烯丙烯橡膠、矽氧系橡膠等。

而且，過濾器46係過濾被供給或排出之氣體者，可選自包含四氟乙烯、聚酯纖維、氟樹脂等之多孔質膜，包含玻璃纖維等之分子過濾過濾器，使化學吸附劑擔載於活性炭繊維等之過濾材上之化學過濾器等。

過濾器46於保持筒42與中蓋筒43之間保持有1片或複數片。而且，當使用複數片過濾器46時，可為同種類之過濾器，但由於組合性質不同之過濾器除了顆粒以外還可防止有機物之污染等，故為更佳。例如，由於過濾器46發揮在洗淨容器本體10時，以水或洗淨液等之液體不會滯留之方式抑制液體之通過之功能，故可於過濾器46之一個面使用疏水性或親水性之材料而進一步抑制液體之透過。

最後，對閥體40控制氣體之流通之狀態進行說明。 在圖3(a)中，若不對第1筒部410及第2筒部430施加正壓，則彈性體44與栓部431密接而對任一側皆遮斷氣體之流通。

例如，如圖3(b)中以箭頭所示般，若對第1筒部410施加特定值以上之正壓，則由於彈性體44相應於正壓之大小發生彈性變形而膨起，而在與栓部431之間形成間隙C。而後，來自第1筒部410側之氣體通過該間隙C朝第2筒部430側流通而供給至容器本體10之內部。

反之，即便對第2筒部430施加特定值以上之正壓，彈性體44亦同樣地膨起而在與栓部431之間形成間隙C。而後，來自第2筒部430側之氣體通過該間隙C朝第1筒部410側流通而向容器本體10之外部排出。

如上述般，實施形態之閥體40不是遮斷或能夠使來自任一側之氣體流通，而是可遮斷或能夠使雙方向之氣體流通者。而且，能夠使氣體流通之壓力之特定值可藉由變更彈性體44之材料、硬度或厚度、及第1筒部410之另一端與第2筒部430之另一端之間隔而調節。

如以上說明般，本發明之實施形態之基板收納容器1具備：容器本體10，其收納基板W；蓋體20，其封閉容器本體10之開口11；及閥體40，其控制氣體相對於容器本體10之流通；且閥體40具有：第1筒部410，其一端連通於容器本體10之外部；第2筒部430，其一端連通於容器本體10之內部，且與第1筒部410之另一端隔開而設置；栓部431，其位於第1筒部410之另一端與第2筒部430之另一端之間；及彈性體44，其至少覆蓋栓部431，且具有等於或小於栓部431之外徑之內徑；且藉由栓部431與彈性體44密接而控制氣體相對於容器本體10之流通。

藉此，氣體自閥體40之一側被導入 (變為正壓)，若達到特定之壓力值，則由於彈性體44膨起而在與栓部431之間形成間隙C，故被導入之氣體朝閥體40之另一側供給。

又，由於基板收納容器1具備不使用金屬性之構件之閥體40，故即便在收納之基板W上存在金屬腐蝕性之殘留物質，亦不會引起金屬腐蝕之問題，而不易引起閥體40不作動之情形。

另外，由於基板收納容器1具備控制雙方向之氣體之流通之閥體40，故僅藉由將相同之閥體40適宜安裝於容器本體10之貫通孔18，無關於供氣部16或排氣部17之位置及個數，而可對應所有的氣體之供氣及排氣路徑。

除此之外，利用實施形態之基板收納容器1進行了濕度保持試驗，因時間經過而致之濕度下降相對於先前之基板收納容器未見特別大之差異。

以上，針對本發明之較佳之實施形態進行了詳細地敘述，但本發明並不限定於上述之實施形態者，可在申請專利之範圍中所記載之本發明之要旨之範圍內進行各種變化、變更。

(變化例) 在上述實施形態中，彈性體44係以覆蓋第1筒部410之另一端及第2筒部430之另一端之方式安裝，但彈性體44之安裝構造並不限定於此。 圖4係顯示彈性體44之安裝構造之概略剖視圖， (a)係變化例1，(b)係變化例2。

在變化例1中，彈性體44以嵌於第1筒部410之另一端及第2筒部430之另一端之各自之內側之方式安裝。此時，彈性體44亦可以在相當於第1筒部410及第2筒部430之端面之位置能夠卡止之方式形成有階差部。

在變化例2中，亦可於第1筒部410及第2筒部430之另一端側之前端形成有環狀槽410a、430a，藉由將彈性體44之端部嵌入於該環狀槽410a、430a而安裝彈性體44。另外，亦可分別組合實施形態、變化例1及2中彈性體44之安裝構造而使用。

又，在上述實施形態中，彈性體44構成為朝雙方向以大致相同之壓力作動，但亦可構成為使雙方向之作動(開放)壓力不同。 圖5係顯示使雙方向之作動壓力不同之閥體40之(a)變化例3、(b)變化例4之概略剖視圖。圖6係顯示使雙方向之作動壓力不同之閥體40之(a)變化例5、(b)變化例6之概略剖視圖。

在變化例3中，栓部431位於偏向第2筒部430側。藉此，由於施加於彈性體44之壓力之受壓面積在第1筒部410側較第2筒部430側更廣，故較之於栓部431位於第1筒部410之另一端與第2筒部430之另一端之中間之情形，彈性體44之第1筒部410側更易於變形，反之，彈性體44之第2筒部430側不易變形。

亦即，能夠自第1筒部410側朝容器本體10之內部供給之作動壓力可低於能夠自第2筒部430側朝容器本體10之外部排出之作動壓力。

在變化例4中，栓部431之第1筒部410側被倒角。藉由該構造亦可使施加於彈性體44之壓力之受壓面積不同。

變化例5及6並非如變化例3及4般在受壓面積上賦予差別，而是藉由在彈性係數上賦予差別而使作動壓力不同。作為使彈性係數不同之手段，可使硬度不同，亦可使厚度不同，還可並用該等手段。例如，以彈性體44之厚度在第1筒部410側變薄而在第2筒部430側變厚之方式在變化例5中將彈性體44形成為錐形狀，且在變化例6中，將彈性體44形成為2段以上之多段狀。而且，在變化例6中，栓部431之第1筒部410側被倒角。

藉由如變化例3至6般構成，而可使能夠自第1筒部410側朝容器本體10之內部供給之作動壓力與能夠自第2筒部430側朝容器本體10之外部排出之作動壓力不同。而且，亦可適宜組合變化例3至6等。

又，在上述實施形態中，第1筒部410之外徑、第2筒部430之外徑、及圓板狀之栓部431之外徑皆以相等之直徑形成，但只要圓板狀之栓部431之外徑大於第1筒部410之外徑或第2筒部430之外徑之至少一者，亦可以不同之直徑形成。又，第1筒部410、第2筒部430及彈性體44不限於圓筒狀，只要藉由栓部431與彈性體44密接，而能夠控制氣體相對於容器本體10之流通，任何形狀皆可，例如，若為多邊形，則只要相當於彈性體44之圓形之直徑之對應內徑等於或小於栓部431之對應外徑即可。

再者，在上述實施形態中，保持筒42組合於嵌於貫通孔18之固定筒41之內側，反之，固定筒41亦可組合於嵌於貫通孔18之保持筒42之內側。又，閥體40具有中蓋筒43，亦可不具有中蓋筒43而將第2筒部430直接形成於保持筒42。該情形下，栓部431自固定筒41或保持筒42經由支柱432而設置，又，過濾器46可直接接著或熔接於保持筒42。

又，在上述實施形態中，過濾器46亦可在閥體40之外另配置於自氣體供給源至容器本體10之內部之氣體放出口的氣體流路中。

(第2實施形態) 且說，在上述實施形態中，閥體40構成為安裝於形成於容器本體10及蓋體20之至少一者之貫通孔18，但亦可構成為安裝於容器本體10等之氣體流路(配管)，例如安裝於連通於供氣部16或排氣部17之至少一者之氣體流路之中途。

圖7係顯示第2實施形態之容器本體10中之閥體40之概略剖面圖。 如圖7所示般，亦可採用：將位於容器本體10之開口11側且連通於與來自外部之氣體供給源之氣體供給配管連結之氣體導入部50之配管之一端作為第1筒部410，將位於容器本體10之背面側且連通於供氣部16或排氣部17之配管之一端作為第2筒部430，於第1筒部410與第2筒部430之間設置圓板狀之栓部431，且以覆蓋該等構件之方式設置彈性體44而形成大致管狀之構成。

此時，第1筒部410及第2筒部430可為剛度高之樹脂製之配管，亦可為具有可撓曲性之管。

第2實施形態之基板收納容器1亦然，由於具備不使用金屬性之構件之閥體40，故即便在收納之基板W上存在金屬腐蝕性之殘留物質，亦不會引起金屬腐蝕之問題，而不易引起閥體40不作動之情形。

又，由於自氣體導入部50經由第1筒部410至閥體40之距離長，且氣體導入部50之內部通路5000與第1筒部410之第1通路4100朝大致直角方向彎曲，故即便在以液體洗淨容器本體10時，液體亦不易到達閥體40，而可防止容器本體10之乾燥後之水分殘留。而且，液體不會到達較閥體40(栓部431)更深處側之供氣部16及排氣部17。

1‧‧‧基板收納容器

10‧‧‧容器本體

11‧‧‧開口

12‧‧‧密封面

13‧‧‧支持體

14‧‧‧機械凸緣

15‧‧‧手動握把

16‧‧‧供氣部

17‧‧‧排氣部

18‧‧‧貫通孔

20‧‧‧蓋體

21‧‧‧安裝槽

22‧‧‧凸部

30‧‧‧襯墊

40‧‧‧閥體

41‧‧‧固定筒

42‧‧‧保持筒

43‧‧‧中蓋筒

44‧‧‧彈性體

45‧‧‧密封構件

46‧‧‧過濾器

47‧‧‧密封構件

50‧‧‧氣體導入部

180‧‧‧肋

410‧‧‧第1筒部

410a‧‧‧環狀槽

411‧‧‧通氣口

412‧‧‧螺紋槽

413‧‧‧凸緣

421‧‧‧通氣口

422‧‧‧螺紋槽

423‧‧‧凸緣

424‧‧‧區劃肋

430‧‧‧第2筒部

430a‧‧‧環狀槽

431‧‧‧栓部

432‧‧‧支柱

4100‧‧‧第1通路(內部通路)

4300‧‧‧第2通路(內部通路)

4400‧‧‧內部通路

5000‧‧‧內部通路

C‧‧‧間隙

W‧‧‧基板

圖1係顯示本發明之實施形態之基板收納容器之概略分解立體圖。 圖2(a)係顯示閥體之剖面立體圖；圖2(b)係剖視圖。 圖3(a)係顯示安裝於基板收納容器之閥體之遮斷氣體流通之狀態之概略剖視圖，圖3(b)係顯示可使氣體流通之狀態之概略剖視圖。 圖4(a)係顯示變化例1之彈性體之安裝構造之概略剖視圖； 圖4(b)係顯示變化例2之彈性體之安裝構造之概略剖視圖。 圖5(a)係顯示使雙方向之作動壓力不同之閥體之變化例3之概略剖視圖，圖5(b)係顯示使雙方向之作動壓力不同之閥體之變化例4之概略剖視圖。 圖6(a)係顯示使雙方向之作動壓力不同之閥體之變化例5之概略剖視圖，圖6(b)係顯示使雙方向之作動壓力不同之閥體之變化例6之概略剖視圖。 圖7係顯示第2實施形態之容器本體中之閥體之概略剖視圖。

Claims (7)

1. 一種基板收納容器，其特徵在於具備： 容器本體，其收納基板； 蓋體，其封閉前述容器本體之開口；及 閥體，其控制氣體相對於前述容器本體之流通；且 前述閥體具有： 第1筒部，其一端連通於前述容器本體之外部； 第2筒部，其一端連通於前述容器本體之內部，且與前述第1筒部之另一端隔開而設置； 栓部，其位於前述第1筒部之另一端與前述第2筒部之另一端之間；及 彈性體，其至少覆蓋前述栓部，且具有等於或小於前述栓部之外徑之內徑；且 藉由前述栓部與前述彈性體密接而控制前述氣體相對於前述容器本體之流通。
2. 如請求項1之基板收納容器，其中前述彈性體為具有內部通路之筒狀，且以前述氣體僅在前述第1筒部之內部通路、前述彈性體之內部通路、及前述第2筒部之內部通路內流動之方式，分別密封前述第1筒部與前述栓部之間、及前述栓部與前述第2筒部之間。
3. 如請求項1或2之基板收納容器，其中前述彈性體當於前述第1筒部或前述第2筒部被施加正壓時，可藉由膨起而在與前述栓部之間形成間隙，而可使前述氣體相對於前述容器本體流通，當於前述第1筒部及前述第2筒部未被施加正壓時，可與前述栓部密接而遮斷前述氣體相對於前述容器本體之流通。
4. 如請求項1至3中任一項之基板收納容器，其中前述第1筒部形成於嵌於形成於前述容器本體之貫通孔之固定筒， 前述第2筒部形成於與前述固定筒組合之保持筒， 前述栓部設置於前述固定筒或前述保持筒。
5. 如請求項1至3中任一項之基板收納容器，其中 前述第1筒部形成於固定筒，該固定筒嵌於形成於前述容器本體之貫通孔， 前述第2筒部形成於與組合於前述固定筒之保持筒連結之中蓋筒， 前述栓部設置於前述固定筒、前述保持筒、或前述中蓋筒之任一者。
6. 如請求項1至5中任一項之基板收納容器，其中前述閥體具有過濾前述氣體之過濾器。
7. 如請求項1至3中任一項之基板收納容器，其中前述閥體安裝於設置於前述容器本體之氣體流路之中途。