CN110870056B - 基板收纳容器 - Google Patents

基板收纳容器 Download PDF

Info

Publication number
CN110870056B
CN110870056B CN201880046275.5A CN201880046275A CN110870056B CN 110870056 B CN110870056 B CN 110870056B CN 201880046275 A CN201880046275 A CN 201880046275A CN 110870056 B CN110870056 B CN 110870056B
Authority
CN
China
Prior art keywords
container
gas
cylinder
container body
tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201880046275.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110870056A (zh
Inventor
小川统
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
Publication of CN110870056A publication Critical patent/CN110870056A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110870056B publication Critical patent/CN110870056B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/18—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on either side
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
    • H01L21/67393—Closed carriers characterised by atmosphere control characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrierl
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/02—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K15/00—Check valves
    • F16K15/02—Check valves with guided rigid valve members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K24/00—Devices, e.g. valves, for venting or aerating enclosures

Abstract

本发明提供一种基板收纳容器，安装于基板收纳容器的阀体(40)具有：第一筒部(410)，其一端形成在与容器主体(10)的外部连通的固定筒(41)上；以及第二筒部(430)，其一端与容器主体(10)的内部连通，并且形成在从第一筒部(410)的另一端隔开而设置的中盖筒(43)上；以及栓部(431)，其位于第一筒部(410)的另一端与第二筒部(430)的另一端之间；以及弹性体(44)，其至少覆盖栓部(431)，具有等于或者小于栓部(431)的外径的内径；通过栓部(431)与弹性体(44)紧密接触，从而控制气体相对于容器主体(10)的流通。据此，能够提供一种具备不使用金属制的部件就能够控制气体的流通的阀体的基板收纳容器。

Description

基板收纳容器
技术领域
本发明涉及一种具备控制气体相对于容器主体的流通的阀体的基板收纳容器。
背景技术
收纳基板的基板收纳容器具备容器主体、封闭容器主体的开口的盖体、以及控制气体相对于容器主体的流通的阀体。该阀体具有止回阀功能，且具有阀主体和使阀主体开闭的金属制的弹性部件(例如，参照专利文献1以及专利文献2)。
由于阀体的止回阀功能是控制单向的气体的流通的功能，因此，可以根据气体的流通方向，来更换阀体本身，或者更换阀体和弹性部件。
现有技术
专利文献
专利文献1：日本特许公开JP 2008-066330号公报
专利文献2：日本特许公开JP 2004-179449号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，基板收纳容器为了以气密状态收纳基板，而从阀体供给气体，另外，且经由阀体排出，但在对收纳的基板进行加工时，存在附着在基板上的残留物质也与供给的气体一起排出。因此，存在阀体的金属制的弹性部件等有时会被残留物质腐蚀的情形。
因此，本发明是鉴于以上课题而完成的，其目的在于提供一种具备不使用金属制的部件就能够控制气体的流通的阀体的基板收纳容器。
另外，本发明的目的还在于提供一种具备阀体的基板收纳容器，该阀体能够控制气体的供给或者排气这样的气体向两个方向的流通。
解决技术问题的技术手段
(1)本发明所涉及的一个技术方案是一种基板收纳容器，其具备：容器主体，其收纳基板；以及盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及阀体，其控制气体相对于所述容器主体的流通；其中，所述阀体具有：第一筒部，其一端与所述容器主体的外部连通；以及第二筒部，其一端与所述容器主体的内部连通，并且与所述第一筒部的另一端隔开而设置；以及栓部，其位于所述第一筒部的另一端与所述第二筒部的另一端之间；以及弹性体，其至少覆盖所述栓部，具有等于或者小于所述栓部的外径的内径；通过所述栓部与所述弹性体紧密接触，从而控制所述气体相对于所述容器主体的流通。
(2)在上述(1)的技术方案中，也可以是，所述弹性体为具有内部通路的筒状，并且，以使所述气体仅在所述第一筒部的内部通路、所述弹性体的内部通路、以及所述第二筒部的内部通路中流动的方式，分别对所述第一筒部与所述栓部之间、以及所述栓部与所述第二筒部之间进行密封。
(3)在上述(1)或(2)的技术方案中，也可以是，其中，当对所述第一筒部或者所述第二筒部施加正压的情况时，所述弹性体通过膨胀而与所述栓部之间形成间隙，从而能够使所述气体相对于所述容器主体流通，并且，当对所述第一筒部以及所述第二筒部不施加正压的情况时，所述弹性体与所述栓部紧密接触，从而阻断所述气体相对于所述容器主体的流通。
(4)在上述(1)至(3)的任一技术方案中，也可以是，所述第一筒部形成在嵌入形成于所述容器主体的贯通孔中的固定筒；所述第二筒部形成在与所述固定筒组合的保持筒；所述栓部设置在所述固定筒或者所述保持筒。
(5)在上述(1)至(3)的任一技术方案中，也可以是，所述第一筒部形成在嵌入形成于所述容器主体的贯通孔中的固定筒；所述第二筒部形成在与组合于所述固定筒的保持筒连结的中盖筒；所述栓部设置在所述固定筒、所述保持筒或者所述中盖筒中的任一个。
(6)在上述(1)至(5)的任一技术方案中，所述阀体可以具有过滤所述气体的过滤器。
(7)在上述(1)至(3)的任一技术方案中，所述阀体也可以安装在设置于所述容器主体的气体流路的中途。
发明效果
根据本发明，可以提供一种具备不使用金属制的部件就能够控制气体的流通的阀体的基板收纳容器。
附图说明
图1是表示本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器的概略分解立体图。
图2的(a)是表示阀体的剖面立体图，图2的(b)是表示阀体的剖面图。
图3的(a)是表示安装在基板收纳容器上的阀体的阻断了气体流通的状态的概略剖视图，图3的(b)是表示安装在基板收纳容器上的阀体的能够进行气体流通的状态的概略剖视图。
图4的(a)是表示变形例1的弹性体的安装结构的概略剖视图，图4的(b)是表示变形例2的弹性体的安装结构的概略剖视图。
图5的(a)是表示变形例3中使双向的工作压力不同的阀体的概略剖视图，图5的(b)是表示变形例4中使双向的工作压力不同的阀体的概略剖视图。
图6的(a)是表示变形例5中使双向的工作压力不同的阀体的概略剖视图，图6的(b)是表示变形例6中使双向的工作压力不同的阀体的概略剖视图。
图7是表示第二实施方式的容器主体中的阀体的概略剖视图。
具体实施方式
以下，针对本发明的实施方式，参照附图进行详细说明。此外，在本说明书的整个实施方式中，对于相同的部件赋予相同的附图标记。
图1是表示本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器的概略分解立体图。
如图1所示，基板收纳容器1具备：收纳基板W的容器主体10；封闭容器主体10的开口11的盖体20；以及设置在容器主体10与盖体20之间的环状的密封件30。
容器主体10是在正面形成有开口11的前端开口型的箱状体。开口11以朝向外侧扩展的方式带有台阶地弯曲形成，该台阶部的面作为与密封件30接触的密封面12，形成在开口11的正面的内周缘。此外，从容易进行300mm直径或450mm直径的基板W的插入操作的观点出发，容器主体10优选为前端开口型，但也可以是在下表面形成有开口11的底部开口型。
在容器主体10的内部的左右两侧配置有支承体13。支承体13具有进行基板W的载置及定位的功能。在支承体13上沿高度方向形成有两个以上的槽，构成所谓的槽齿。而且，基板W载置在相同高度的左右两处的槽齿上。支承体13的材料可以是与容器主体10相同的材料，但为了提高清洗性或滑动性等，也可以使用不同的材料。
另外，在容器主体10的内部的后方(里侧)配置有后保持器(未图示)。在盖体20封闭的情况时，后保持器与后述的前保持器成对地保持基板W。但是，也可以不像本实施方式那样具备后保持器，而是支承体13在槽齿的里侧具有例如呈“く”状或直线状的基板保持部，据此，通过前保持器和基板保持部保持基板W。这些支承体13或者后保持器等通过嵌入成形或者嵌合等设置在容器主体10。
基板W被该支承体13支承而收纳在容器主体10中。此外，作为基板W的一例，可以举出硅晶圆，但没有特别限定，例如，也可以是石英晶圆、砷化镓晶圆等。
在容器主体10的顶棚中央部拆装自如地设置有机械凸缘14。在清洁的状态下，气密收纳有基板W的基板收纳容器1由工厂内的搬送机器人把持机械凸缘14，搬送到加工基板W的每个工序的加工装置。
另外，在容器主体10的两侧部的外表面中央部，分别拆装自如地安装有供作业者握持的手动把手15。
而且，在容器主体10的内部的底面设置有供气部16和排气部17，并且在容器主体10的外部的底面安装有后述的阀体40。它们从供气部16朝向由盖体20封闭的基板收纳容器1的内部供给氮气等的惰性气体或者干燥空气，并根据需要从排气部17排出，据此置换基板收纳容器1的内部的气体，或维持低湿度的气密状态，或吹掉基板W上的杂质，从而保持基板收纳容器1的内部的清洁性。此外，不仅从供气部16供给气体，还可将排气部17与负压(真空)发生装置连接，强制性地将气体从排气部17排出。
进而，通过检测从排气部17排出的气体，能够确认基板收纳容器1的内部是否被导入的气体置换。此外，供气部16以及排气部17优选位于从将基板W朝向底面投影的位置偏离的位置，但供气部16和排气部17的数量和位置不限于图示的位置，也可以位于容器主体10的底面的四个角部。另外，供气部16以及排气部17也可以安装在盖体20侧。
另一方面，盖体20被安装在容器主体10的开口11的正面，为大致矩形形状。盖体20具有未图示的锁定机构，通过卡止爪嵌入形成于容器主体10的卡止孔(未图示)中而进行锁定。另外，盖体20在中央部拆装自如地安装或一体地形成有将基板W的前部周缘保持为水平的弹性的前保持器(未图示)。
该前保持器与支承体13的槽齿及基板保持部等同样，由于是供晶圆直接接触的部位，因此使用清洗性或者滑动性等良好的材料。前保持器也可以通过嵌入成形或者嵌合等设置在盖体20上。
而且，在盖体20上形成有安装密封件30的安装槽21。更详细地说，在盖体20的容器主体10侧的面上，通过环状地形成比开口11的台阶部小的凸部22，从而环状地形成截面大致为U形的安装槽21。在将盖体20安装在容器主体10上时，该凸部22进入到比开口11的台阶部靠里侧的位置。
作为这些容器主体10以及盖体20的材料，例如可以举出聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚醚醚酮、以及液晶聚合物等的热塑性树脂。该热塑性树脂也可以进一步适当添加由导电性碳、导电纤维、金属纤维、导电性高分子等构成的导电剂、各种抗静电剂、以及紫外线吸收剂等。
接着，密封件30为与盖体20的正面形状(以及容器主体10的开口11的形状)对应的环状物，在本实施方式中为矩形框状物。但是，环状的密封件30在安装于盖体20之前的状态下，也可以为圆环(环)状。
密封件30被配置在容器主体10的密封面12与盖体20之间，在将盖体20安装在容器主体10上时，密接于密封面12和盖体20，从而确保基板收纳容器1的气密性，减少来自外部的尘埃、湿气等向基板收纳容器1的侵入，并且减少气体从内部向外部的泄漏。
作为密封件30的材料，可以使用由聚酯的弹性体、聚烯烃系的弹性体、氟系的弹性体、聚氨酯系的弹性体等构成的热塑性的弹性体、氟橡胶、乙烯丙烯橡胶、以及硅酮系的橡胶等的弹性体。从改善密接性的观点出发，在这些材料中可以选择性地添加规定量的由碳、玻璃纤维、云母、滑石、二氧化硅、碳酸钙等构成的填充剂、聚乙烯、聚酰胺、聚缩醛、氟系树脂、以及硅酮树脂等的树脂。
在此，对阀体40进行说明。图2的(a)是表示阀体40的剖面立体图、图2的(b)是表示阀体40的剖面图。图3的(a)是表示安装在基板收纳容器1上的阀体40的阻断了气体流通的状态的概略剖视图、图3的(b)是表示安装在基板收纳容器1上的阀体40的能够进行气体流通的状态的概略剖视图。
阀体40用于控制气体相对于容器主体10的流通，在安装于容器主体10时，经由未图示的气体流路与供气部16或者排气部17连通。
如图2所示，阀体40具有：固定筒41，其从下方嵌入到由容器主体10的肋180形成的贯通孔18(参照图3)中；以及保持筒42，其从上方经由密封部件45嵌入到贯通孔18中，并通过从上方螺合而与固定筒41拆装自如地组合。
固定筒41形成为朝容器主体10的内部侧开口的有底圆筒状，并且在固定筒41的内周面螺纹形成有用于安装保持筒42的安装用的螺纹槽412。另外，在固定筒41的外周面，周向设置有向半径外方向延伸的环状的凸缘413，与肋180的开口周缘部接触。
进而，一端与容器主体10的外部连通的第一筒部410与气体流通用的通气口411一起形成于固定筒41的底部中心。第一筒部410与通气口411连通，并且从通气口411的周缘立起，从而向保持筒42延伸。
另一方面，保持筒42形成为朝容器主体10的外部侧开口的有底圆筒状，并且在保持筒42的外周面，周向设置有向半径外方向延伸的环状的凸缘423，与贯通孔18的开口周缘接触。进而，在保持筒42的外周面上螺纹形成有用于向固定筒41安装的螺纹槽422，该螺纹槽422与固定筒41的螺纹槽412螺合。但是，固定筒41以及保持筒42也可以不用螺合，而用压入或卡止等其他方法彼此安装。
另外，保持筒42在容器主体10(底面)的内部侧呈格子状或者放射状地配设有区划气体流通用的两个以上的通气口421的区划肋424，在该区划肋424的背面形成有收纳后述的过滤器46的收纳空间。
此外，保持筒42在外周面安装有密封部件45，能够阻断从保持筒42与贯通孔18的内周面之间侵入容器主体10的内部的外部气体或者清洗液，并且能够阻断从容器主体10的内部泄漏的气体。
另外，阀体40还具有中盖筒43，该中盖筒43经由密封部件47安装在保持筒42的内周壁上，将过滤器46保持在该中盖筒43与保持筒42之间。
中盖筒43形成为朝容器主体10的外部侧开口的有底圆筒状，并且在容器主体10的内部侧载置有过滤器46。另外，在中盖筒43的外周面形成有突起，通过与形成在保持筒42的内周面侧的卡止槽卡止，中盖筒43与保持筒42连结安装。
该中盖筒43形成有第二筒部430，该第二筒部430的一端与容器主体10的内部连通，并且与第一筒部410的另一端隔开而设置。第二筒部430与通气口421连通，并从中央开口的周缘立起，向形成于固定筒41的第一筒部410延伸。
中盖筒43位于第一筒部410的另一端与第二筒部430的另一端之间，并且包含外径等于或者大于第一筒部410或者第二筒部430的外径的圆板状的栓部431。此外，在本实施方式中，第一筒部410的外径、第二筒部430的外径以及圆板状的栓部431的外径全部以相等的直径形成。
而且，该圆板状的栓部431从第二筒部430的内侧被支承，并且被设置在从第二筒部430的另一端突出的支柱432的前端。但是，支柱432也可以相反地从第一筒部410侧被支承，并从第一筒部410的另一端突出。
上述的固定筒41、保持筒42以及中盖筒43例如以聚碳酸酯、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、以及液晶聚合物等的热塑性树脂为材料而成形。另外，密封部件45、47例如使用由氟橡胶、NBR橡胶、聚氨酯橡胶、EPDM橡胶、硅橡胶等材料形成的O型环等。
进而，阀体40具有至少覆盖第一筒部410的另一端、栓部431、以及第二筒部430的另一端的弹性体44。弹性体44为具有内部通路4400的圆筒状，该内部通路4400的内径等于或者小于圆板状的栓部431的外径，并且以与栓部431紧密接触的方式跨越第一筒部410的另一端以及第二筒部430的另一端而安装。
即，被供给或者排出的气体以仅通过第一筒部410的内部通路4100(以下称为"第一通路4100")、弹性体44的内部通路4400、以及第二筒部430的内部通路4300(以下称为"第二通路4300")而流动的方式，切实地将第一筒部410与栓部431之间、以及栓部431与第二筒部430之间密封。此外，通过以拉伸的状态安装弹性体44，由于弹性体44的内径变小，因此即使为与栓部431的外径相等的内径，也能够提高相对于栓部431的密接性。
作为弹性体44的材料，可以使用各种橡胶或者热塑性弹性体树脂等。例如，可以使用包含聚酯系的弹性体、聚烯烃系的弹性体、氟系的弹性体、聚氨酯系的弹性体等的热塑性的弹性体、氟橡胶、乙烯丙烯橡胶、硅酮系的橡胶等。
而且，过滤器46用于过滤供给或者排出的气体，可以选自由包含四氟乙烯、聚酯纤维、氟树脂等的多孔质膜、包含玻璃纤维等的分子过滤过滤器、活性炭纤维等的过滤材料上担载有化学吸附剂的化学过滤器等。
过滤器46在保持筒42与中盖筒43之间保持有一片或者两片以上。此外，在使用两片以上的过滤器46的情况时，尽管可以是相同种类的过滤器，但是组合性质不同的过滤器的情况时，除了过滤颗粒以外，还可以防止有机物的污染等，因此更优选。例如，由于过滤器46在清洗容器主体10时，发挥以使水或者清洗液等的液体不滞留的方式抑制液体的通过的性能，因此也可以在过滤器46的一方使用疏水性或者亲水性的材料来进一步抑制液体的透过。
最后，对阀体40控制气体的流通的状态进行说明。
在图3的(a)中，如果不对第一筒部410以及第二筒部430施加正压，则弹性体44与栓部431紧密接触，从而在任一侧都阻断气体的流通。
例如，如图3的(b)中的箭头所示，当对第一筒部410施加所规定值以上的正压时，则由于弹性体44根据正压的大小发生弹性变形而膨胀，据此在与栓部431之间形成间隙C。然后，来自第一筒部410侧的气体通过该间隙C，向第二筒部430侧流通，供给到容器主体10的内部。
反之，即使对第二筒部430施加所规定值以上的正压时，弹性体44也同样地膨胀，据此在与栓部431之间形成间隙C。然后，来自第二筒部430侧的气体通过该间隙C，向第一筒部410侧流通，排出到容器主体10的外部。
这样，实施方式的阀体40不是阻断或者能够使来自任一侧的气体流通，而是能够阻断或者能够进行双向的气体流通。并且，能够使气体流通的压力的所规定值可通过改变弹性体44的材料、硬度或者厚度、以及第一筒部410的另一端与第二筒部430的另一端的间隔而进行调节。
如以上说明的那样，本发明的实施方式的基板收纳容器1具备：收纳基板W的容器主体10；以及封闭容器主体10的开口11的盖体20；以及控制气体相对于容器主体10的流通的阀体40；其中，阀体40具有：第一筒部410，其一端与容器主体10的外部连通；以及第二筒部430，其一端与容器主体10的内部连通并且从第一筒部410的另一端隔开而设置；以及栓部431，其位于第一筒部410的另一端与第二筒部430的另一端之间；以及弹性体44，其至少覆盖栓部431，且具有等于或者小于栓部431的外径的内径；通过由栓部431与弹性体44紧密接触从而控制气体相对于容器主体10的流通。
据此，气体从阀体40的一侧被导入(成为正压)，当成为所规定的压力值时，由于弹性体44膨胀，从而在与栓部431之间形成间隙C，因此被导入的气体向阀体40的另一侧供给。
另外，由于基板收纳容器1具备不使用金属性的部件的阀体40，因此即使在收纳的基板W上存在金属腐蚀性的残留物质，也不会引起金属腐蚀的问题，不易引起阀体40不工作的情况。
进而，由于基板收纳容器1具备控制双向的气体的流通的阀体40，因此，仅通过将相同的阀体40适当地安装在容器主体10的贯通孔18中，无关于供气部16、排气部17的位置以及个数，就能够对应所有的气体的供气以及排气路径。
除此之外，使用实施方式的基板收纳容器1进行了湿度保持试验，但与以往的基板收纳容器相比，并未发现经时的湿度降低有特别大的差异。
以上，对本发明的优选实施方式进行了详细说明，但本发明并不限定于上述的实施方式，在权利要求书所记载的本发明的主旨的范围内，能够进行各种变形、变更。
(变形例)
在上述实施方式中，弹性体44以覆盖第一筒部410的另一端以及第二筒部430的另一端的方式安装，但弹性体44的安装结构不限于此。
图4的(a)是表示变形例1的弹性体44的安装结构的概略剖视图，图4的(b)是表示变形例2的弹性体44的安装结构的概略剖视图。
在变形例1中，弹性体44以嵌入第一筒部410的另一端以及第二筒部430的另一端的各自的内侧的方式安装。此时，弹性体44也可以形成有台阶部，以便能够被卡止在对应于第一筒部410以及第二筒部430的端面的位置。
在变形例2中，也可以在第一筒部410以及第二筒部430的另一端侧的前端形成有环状槽410a、430a，通过将弹性体44的端部嵌入该环状槽410a、430a，从而安装弹性体44。另外，也可以分别组合使用实施方式以及变形例1以及变形例2中的弹性体44的安装结构。
另外，在上述实施方式中，尽管弹性体44构成为在双向上以大致相同的压力工作，但也可以构成为使双向的工作(开放)压力不同。
图5的(a)是表示变形例3中使双向的工作压力不同的阀体40的概略剖视图，图5的(b)是表示变形例4中使双向的工作压力不同的阀体40的概略剖视图。图6的(a)是表示变形例5中使双向的工作压力不同的阀体40的概略剖视图，图6的(b)是表示变形例6中使双向的工作压力不同的阀体40的概略剖视图。
在变形例3中，栓部431位于偏向第二筒部430侧的位置。据此，由于施加在弹性体44的压力的受压面积在第一筒部410侧比第二筒部430侧宽，因此与栓部431位于第一筒部410的另一端和第二筒部430的另一端的中间的情况相比，弹性体44的第一筒部410侧容易变形，相反，弹性体44的第二筒部430侧不易变形。
即，能够使从第一筒部410侧向容器主体10的内部供给的工作压力低于能够从第二筒部430侧向容器主体10的外部排出的工作压力。
在变形例4中，栓部431的第一筒部410侧被倒角。根据该结构，也能够使施加在弹性体44的压力的受压面积不同。
变形例5以及变形例6并非如变形例3以及变形例4那样在受压面积上赋予差别，而是通过在弹性模量上赋予差别，从而使工作压力不同。作为使弹性模量不同的方法，可以使硬度不同，也可以使厚度不同，也可以将它们并用。例如，在变形例5中，将弹性体44形成为锥状，并且在变形例6中，将弹性体44形成为2段以上的多段状，以使得弹性体44的厚度在第一筒部410侧变薄，而在第二筒部430侧变厚。此外，在变形例6中，栓部431的第一筒部410侧被倒角。
通过如变形例3至变形例6那样的构成，从而可以使能够从第一筒部410侧向容器主体10的内部供给的工作压力与能够从第二筒部430侧向容器主体10的外部排出的工作压力不同。此外，也可以适当组合变形例3至变形例6等。
另外，在上述实施方式中，第一筒部410的外径、第二筒部430的外径以及圆板状的栓部431的外径全部以相等的直径形成，但只要圆板状的栓部431的外径比第一筒部410的外径或者第二筒部430的外径的至少一者大，则也可以以不同的直径形成。另外，第一筒部410、第二筒部430以及弹性体44不限于圆筒状，只要能够通过栓部431与弹性体44紧密接触来控制气体相对于容器主体10的流通，则可以是任意形状，例如，若为多边形，则只要与弹性体44的圆形直径相对应的等效内径等于或者小于栓部431的等效外径即可。
进而，在上述实施方式中，保持筒42组合在嵌入贯通孔18的固定筒41的内侧，反之，固定筒41也可以组合在嵌入贯通孔18的保持筒42的内侧。另外，阀体40具有中盖筒43，但也可以不具有中盖筒43，而将第二筒部430直接形成在保持筒42上。在这种情况时，栓部431可以从固定筒41或者保持筒42经由支柱432而设置，另外，过滤器46可以直接粘附或者焊接到保持筒42上。
另外，在上述实施方式中，过滤器46也可以与阀体40分开地配置在从气体供给源到容器主体10的内部的气体放出口的气体流路中。
(第二实施方式)
然而，在上述实施方式中，阀体40构成为安装在形成于容器主体10以及盖体20的至少一者的贯通孔18，但也可以构成为安装在设置于容器主体10等的气体流路(配管)、例如安装在与供气部16或者排气部17的至少一者连通的气体流路的中途。
图7是表示第二实施方式的容器主体10中的阀体40的概略剖视图。
如图7所示，也可以将位于容器主体10的开口11侧、且与连结于来自外部的气体供给源的气体供给配管的气体导入部50连通的配管的一端作为第一筒部410，将位于容器主体10的背面侧、且与供气部16或者排气部17连通的配管的一端作为第二筒部430，在第一筒部410与第二筒部430之间设置圆板状的栓部431，并且以覆盖它们的方式设置弹性体44，从而形成为大致管状的结构。
此时，第一筒部410以及第二筒部430可以是刚性高的树脂制的配管，也可以是具有挠性的管。
即使是第二实施方式的基板收纳容器1，由于具备不使用金属性的部件的阀体40，所以即使在收纳的基板W上存在金属腐蚀性的残留物质，也不会引起金属腐蚀的问题，从而不易引起阀体40不工作的情况。
另外，由于从气体导入部50经由第一筒部410到阀体40的距离长，并且气体导入部50的内部通路5000和第一筒部410的第一通路4100向大致直角方向弯曲，因此，即使在用液体清洗容器主体10的情况时，液体也不易到达阀体40，从而能够防止容器主体10的干燥后的水分残留。而且，液体不会到达比阀体40(栓部431)靠里侧的供气部16以及排气部17。
附图标记说明
1基板收纳容
10容器主体
11开口
12密封面
13支承体
14机械凸缘
15手动把手
16供气部
17排气部
18贯通孔
180肋
20盖体
21安装槽
22凸部
30密封件
40阀体
41固定筒
410第一筒部
411通气口
412螺纹槽
413凸缘
4100第一通路(内部通路)
42保持筒
421通气口
422螺纹槽
423凸缘
423区划肋
43中盖筒
430第二筒部
431栓部
432支柱
4300第二通路(内部通路)
44弹性体
4400内部通路
45密封部件
46过滤器
47密封部件
50气体导入部
5000内部通路
W基板
C间隙

Claims (6)

1.一种基板收纳容器，其特征在于具备：
容器主体，其收纳基板；以及
盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及
阀体，其控制气体相对于所述容器主体的流通；
其中，所述阀体具有：
第一筒部，其一端与所述容器主体的外部连通；以及
第二筒部，其一端与所述容器主体的内部连通，并且与所述第一筒部的另一端隔开而设置；以及
栓部,其位于所述第一筒部的另一端与所述第二筒部的另一端之间；以及
弹性体,其至少覆盖所述栓部，具有等于或者小于所述栓部的外径的内径；
所述第一筒部形成在嵌入形成于所述容器主体的贯通孔中的固定筒；
所述第二筒部形成在与所述固定筒组合的保持筒；
所述栓部设置在所述固定筒或者所述保持筒；
通过所述栓部与所述弹性体紧密接触，从而控制所述气体相对于所述容器主体的流通。
2.一种基板收纳容器，其特征在于具备：
容器主体，其收纳基板；以及
盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及
阀体，其控制气体相对于所述容器主体的流通；
其中，所述阀体具有：
第一筒部，其一端与所述容器主体的外部连通；以及
第二筒部，其一端与所述容器主体的内部连通，并且与所述第一筒部的另一端隔开而设置；以及
栓部,其位于所述第一筒部的另一端与所述第二筒部的另一端之间；以及
弹性体,其至少覆盖所述栓部，具有等于或者小于所述栓部的外径的内径；
所述第一筒部形成在嵌入形成于所述容器主体的贯通孔中的固定筒；
所述第二筒部形成在与组合于所述固定筒的保持筒连结的中盖筒；
所述栓部设置在所述固定筒、所述保持筒或者所述中盖筒中的任意一个；
通过所述栓部与所述弹性体紧密接触，从而控制所述气体相对于所述容器主体的流通。
3.如权利要求1或者2所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，所述弹性体为具有内部通路的筒状，并且，以使所述气体仅在所述第一筒部的内部通路、所述弹性体的内部通路、以及所述第二筒部的内部通路中流动的方式，分别对所述第一筒部与所述栓部之间、以及所述栓部与所述第二筒部之间进行密封。
4.如权利要求1或者2所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，当对所述第一筒部或者所述第二筒部施加正压的情况时，所述弹性体通过膨胀而与所述栓部之间形成间隙，从而能够使所述气体相对于所述容器主体流通，并且，当对所述第一筒部以及所述第二筒部不施加正压的情况时，所述弹性体与所述栓部紧密接触，从而阻断所述气体相对于所述容器主体的流通。
5.如权利要求1或者2所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，所述阀体具有过滤所述气体的过滤器。
6.如权利要求1或者2所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，所述阀体安装在设置于所述容器主体的气体流路的中途。
CN201880046275.5A 2017-07-14 2018-06-19 基板收纳容器 Active CN110870056B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-138014 2017-07-14
JP2017138014 2017-07-14
PCT/JP2018/023312 WO2019012926A1 (ja) 2017-07-14 2018-06-19 基板収納容器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110870056A CN110870056A (zh) 2020-03-06
CN110870056B true CN110870056B (zh) 2023-07-07

Family

ID=65002422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201880046275.5A Active CN110870056B (zh) 2017-07-14 2018-06-19 基板收纳容器

Country Status (8)

Country Link
US (1) US11209093B2 (zh)
JP (1) JP6849180B2 (zh)
KR (1) KR102469954B1 (zh)
CN (1) CN110870056B (zh)
DE (1) DE112018003608T5 (zh)
SG (1) SG11201913051UA (zh)
TW (1) TWI760528B (zh)
WO (1) WO2019012926A1 (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114080666A (zh) * 2019-07-30 2022-02-22 未来儿股份有限公司 基板收纳容器及过滤部
JP7351681B2 (ja) * 2019-09-05 2023-09-27 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP7383712B2 (ja) * 2020-10-23 2023-11-20 ミライアル株式会社 基板収納容器及びその製造方法並びにフィルタ部
CN113937041A (zh) * 2021-06-30 2022-01-14 家登精密工业股份有限公司 基板容器系统
TWI782689B (zh) * 2021-09-02 2022-11-01 家登精密工業股份有限公司 快拆式氣閥、具有快拆式氣閥的基板容器及快拆式氣閥的安裝和拆卸方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3298391A (en) * 1967-01-17 Two way flow anti-siphon valve assembly
JP2009277687A (ja) * 2008-05-12 2009-11-26 Shin Etsu Polymer Co Ltd バルブ機構及び基板収納容器

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6319297B1 (en) * 1998-03-27 2001-11-20 Asyst Technologies, Inc. Modular SMIF pod breather, adsorbent, and purge cartridges
US6848471B2 (en) 2002-09-09 2005-02-01 Hercules Valve Inc. In-line check valve
US7455180B2 (en) * 2002-10-25 2008-11-25 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container
JP4201583B2 (ja) 2002-11-28 2008-12-24 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US7201276B2 (en) * 2003-11-07 2007-04-10 Entegris, Inc. Front opening substrate container with bottom plate
US7328727B2 (en) * 2004-04-18 2008-02-12 Entegris, Inc. Substrate container with fluid-sealing flow passageway
US7400383B2 (en) * 2005-04-04 2008-07-15 Entegris, Inc. Environmental control in a reticle SMIF pod
JP4800155B2 (ja) 2006-09-04 2011-10-26 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及び逆止弁
EP2122014A4 (en) * 2007-02-28 2014-09-17 Entegris Inc CLEANING SYSTEM FOR A SUBSTRATE CONTAINER
TWI346638B (en) * 2008-12-26 2011-08-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd A purging valve and a wafer container having the purging valve
JP5241607B2 (ja) 2009-05-21 2013-07-17 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
NL2003676C2 (en) * 2009-10-20 2011-04-21 Sara Lee De Nv Fluid packaging container.
JP5887719B2 (ja) * 2011-05-31 2016-03-16 シンフォニアテクノロジー株式会社 パージ装置、ロードポート、ボトムパージノズル本体、ボトムパージユニット
TWM449886U (zh) * 2012-09-26 2013-04-01 Gudeng Prec Ind Co Ltd 充氣逆止閥及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置
TWI610864B (zh) * 2012-11-20 2018-01-11 恩特葛瑞斯股份有限公司 具有清洗埠的基板收納盒
TWM482844U (zh) * 2013-08-23 2014-07-21 Gudeng Prec Ind Co Ltd 氣壓閥件結構及應用彼之充氣座以及充氣櫃
JP6217281B2 (ja) 2013-09-25 2017-10-25 村田機械株式会社 自動倉庫、及びガス供給方法
JP6807310B2 (ja) * 2014-12-01 2021-01-06 インテグリス・インコーポレーテッド 基板収納容器の弁アセンブリ
JP6455261B2 (ja) * 2015-03-20 2019-01-23 シンフォニアテクノロジー株式会社 ノズルの先端構造、パージ装置およびロードポート
JP6451453B2 (ja) * 2015-03-31 2019-01-16 Tdk株式会社 ガスパージ装置、ロードポート装置、パージ対象容器の設置台およびガスパージ方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3298391A (en) * 1967-01-17 Two way flow anti-siphon valve assembly
JP2009277687A (ja) * 2008-05-12 2009-11-26 Shin Etsu Polymer Co Ltd バルブ機構及び基板収納容器

Also Published As

Publication number Publication date
SG11201913051UA (en) 2020-01-30
KR20200028992A (ko) 2020-03-17
TWI760528B (zh) 2022-04-11
JPWO2019012926A1 (ja) 2020-05-07
WO2019012926A1 (ja) 2019-01-17
DE112018003608T5 (de) 2020-04-16
US11209093B2 (en) 2021-12-28
CN110870056A (zh) 2020-03-06
TW201909318A (zh) 2019-03-01
KR102469954B1 (ko) 2022-11-23
US20210148479A1 (en) 2021-05-20
JP6849180B2 (ja) 2021-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110870056B (zh) 基板收纳容器
CN110870055B (zh) 基板收纳容器
US11230427B2 (en) Substrate storage container with umbrella-shaped seal lip
JP2017147372A (ja) 基板収納容器用バルブ
US11075099B2 (en) Substrate storage container
CN111868908B (zh) 基板收纳容器
JP6915203B2 (ja) 基板収納容器
JP6922148B2 (ja) 基板収納容器
JP2020088278A (ja) 基板収納容器
JP7055949B2 (ja) 基板収納容器
US20230274960A1 (en) Substrate Storage Container
JP6870513B2 (ja) 基板収納容器
JP2022088279A (ja) 基板収納容器
JP7247440B2 (ja) 基板収納容器

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant