JP2002145311A - 容器とパッキン - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 パッキンを有する容器において、空輸等によ
り容器内外に気圧差を生じる環境で用いられる容器内に
負圧のとじ込みを防止する構成。 【解決手段】 パッキンの１カ所あるいは数カ所の表面
に微少な凹凸形状を設けた密着力に優れたパッキンを用
いることにより、容器内外気圧差がない環境下では気密
性を発揮し、例えば前述の空輸等の周囲気圧変動時には
容器内に負圧をとじ込みしない容器が得られること、さ
らには、パッキンが接する容器本体もしくは蓋の表面の
１カ所もしくは数カ所に微小な凹凸部を設けても同様の
効果を得ることができる。
り容器内外に気圧差を生じる環境で用いられる容器内に
負圧のとじ込みを防止する構成。 【解決手段】 パッキンの１カ所あるいは数カ所の表面
に微少な凹凸形状を設けた密着力に優れたパッキンを用
いることにより、容器内外気圧差がない環境下では気密
性を発揮し、例えば前述の空輸等の周囲気圧変動時には
容器内に負圧をとじ込みしない容器が得られること、さ
らには、パッキンが接する容器本体もしくは蓋の表面の
１カ所もしくは数カ所に微小な凹凸部を設けても同様の
効果を得ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、パッキンを装着
して周囲環境からの湿気、ゴミ、ガス、イオン等の製品
への汚染を防止する容器に関し、例えば空輸等により容
器内外に気圧差を生じる環境で用いられる容器内に負圧
のとじ込みを防止する容器とパッキンに関する。
して周囲環境からの湿気、ゴミ、ガス、イオン等の製品
への汚染を防止する容器に関し、例えば空輸等により容
器内外に気圧差を生じる環境で用いられる容器内に負圧
のとじ込みを防止する容器とパッキンに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、周囲環境からの湿気、ゴミ、ガ
ス、イオン等の汚染を嫌う製品を収納する容器には、容
器本体と蓋体との当接箇所で、容器本体または蓋体のい
ずれかに溝部を設けてその隙間にゴム弾性を有するパッ
キンを装着し、気密性を保つ構成が採用されている。
ス、イオン等の汚染を嫌う製品を収納する容器には、容
器本体と蓋体との当接箇所で、容器本体または蓋体のい
ずれかに溝部を設けてその隙間にゴム弾性を有するパッ
キンを装着し、気密性を保つ構成が採用されている。
【０００３】一例として、従来の半導体ウェーハ収納容
器の構成例を図１に示すと、容器本体１はカセット２を
収納し、カセット２は多数の収納溝を設けて各溝ごとに
１枚ずつ半導体ウェーハｗを収納し、容器本体１の上面
部に嵌合する蓋体３には、弾力性を有し蓋体３側より半
導体ウェーハｗをカセット２側へ押しつけて保持するた
めの押さえ具４が装着され、また内部を気密にして清浄
な状態を保つために容器本体１と蓋体３との嵌合部間、
ここでは容器本体１側の環状溝部１ａにパッキン５が装
入、配置される構成からなる。
器の構成例を図１に示すと、容器本体１はカセット２を
収納し、カセット２は多数の収納溝を設けて各溝ごとに
１枚ずつ半導体ウェーハｗを収納し、容器本体１の上面
部に嵌合する蓋体３には、弾力性を有し蓋体３側より半
導体ウェーハｗをカセット２側へ押しつけて保持するた
めの押さえ具４が装着され、また内部を気密にして清浄
な状態を保つために容器本体１と蓋体３との嵌合部間、
ここでは容器本体１側の環状溝部１ａにパッキン５が装
入、配置される構成からなる。
【０００４】前記構成例のパッキン５は、容器本体１と
蓋体３に対して密着性が高いほど、容器本体１と蓋体３
との間の隙間面積が小さくなり、湿気、ゴミ、ガス、イ
オン等の気体拡散による容器内への侵入を防止すること
ができる。
蓋体３に対して密着性が高いほど、容器本体１と蓋体３
との間の隙間面積が小さくなり、湿気、ゴミ、ガス、イ
オン等の気体拡散による容器内への侵入を防止すること
ができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記構成例の容器が空
輸された際の状態を説明すると、図２に示すごとく、容
器は上空で低圧環境下におかれ、容器内外に気圧差を生
じる。ここで密着性が高いパッキンを使用した場合、パ
ッキンの密着力が容器内外の気圧差に耐えられなくなっ
た時、気密破壊を起こして容器内より気体が外部に放出
される。
輸された際の状態を説明すると、図２に示すごとく、容
器は上空で低圧環境下におかれ、容器内外に気圧差を生
じる。ここで密着性が高いパッキンを使用した場合、パ
ッキンの密着力が容器内外の気圧差に耐えられなくなっ
た時、気密破壊を起こして容器内より気体が外部に放出
される。
【０００６】これにより容器内気圧が除々に低下して、
容器内外気圧差が小さくなっていくが、パッキンの密着
力と容器内外気圧差が釣り合った時点で容器内からの気
体の放出は止まる。その結果、容器内気圧は、（外気圧
＋パッキンの密着力）となる。
容器内外気圧差が小さくなっていくが、パッキンの密着
力と容器内外気圧差が釣り合った時点で容器内からの気
体の放出は止まる。その結果、容器内気圧は、（外気圧
＋パッキンの密着力）となる。
【０００７】飛行機が地上に降りると、今度は容器内よ
り周囲気圧の方が高くなり、先とは逆の容器内外気圧差
が発生する。この時もパッキンの密着力が容器内外気圧
差に耐えられなくなった時に、気密破壊を起こして周囲
より容器内に気体が流入してくる。そしてパッキンの密
着力と容器内外気圧差が釣り合った時点で周囲から容器
内への気体の流入が止まる。ここで、空輸後の容器内気
圧は、（１気圧−パッキンの密着力）となる。
り周囲気圧の方が高くなり、先とは逆の容器内外気圧差
が発生する。この時もパッキンの密着力が容器内外気圧
差に耐えられなくなった時に、気密破壊を起こして周囲
より容器内に気体が流入してくる。そしてパッキンの密
着力と容器内外気圧差が釣り合った時点で周囲から容器
内への気体の流入が止まる。ここで、空輸後の容器内気
圧は、（１気圧−パッキンの密着力）となる。
【０００８】このように容器内が外気に対して負圧状態
となった容器の蓋を開けるのは困難を極め、場合によっ
ては治具等を用いて蓋をこじ開けなければならない。つ
まり、従来のパッキンでは、密着力が高いパッキンほど
空輸のような周囲の気圧変動が生じる環境下で使用され
ると蓋が開け難くなり、蓋を開け易くしようと密着力を
抑えると通常環境下では湿気、ゴミ、ガス、イオン等の
容器内への拡散侵入を防止することができなくなる。従
って、その適度なバランス調整は大変困難である。
となった容器の蓋を開けるのは困難を極め、場合によっ
ては治具等を用いて蓋をこじ開けなければならない。つ
まり、従来のパッキンでは、密着力が高いパッキンほど
空輸のような周囲の気圧変動が生じる環境下で使用され
ると蓋が開け難くなり、蓋を開け易くしようと密着力を
抑えると通常環境下では湿気、ゴミ、ガス、イオン等の
容器内への拡散侵入を防止することができなくなる。従
って、その適度なバランス調整は大変困難である。
【０００９】そこで、特開平９−１３９４２１号に開示
されるごとく、容器にフィルターをつけて汚染されてい
ない気体の出入りをさせる方法がある。飛行機の貨物室
等で生じる気圧の変化の速度に追従させるのに十分なフ
ィルターを取り付けるには容器自体が小さすぎたり、フ
ィルターを取り付けるスペースがない等、容器にフィル
ターを取り付けることができない場合もある。またフィ
ルターを取り付ける場合は、コストが高くなる問題もあ
る。
されるごとく、容器にフィルターをつけて汚染されてい
ない気体の出入りをさせる方法がある。飛行機の貨物室
等で生じる気圧の変化の速度に追従させるのに十分なフ
ィルターを取り付けるには容器自体が小さすぎたり、フ
ィルターを取り付けるスペースがない等、容器にフィル
ターを取り付けることができない場合もある。またフィ
ルターを取り付ける場合は、コストが高くなる問題もあ
る。
【００１０】この発明は、パッキンを有する容器におい
て、空輸等により容器内外に気圧差を生じる環境で用い
られる容器内に負圧のとじ込みを防止する容器とパッキ
ンの提供を目的としている。
て、空輸等により容器内外に気圧差を生じる環境で用い
られる容器内に負圧のとじ込みを防止する容器とパッキ
ンの提供を目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】発明者は、容器内に負圧
のとじ込みが起こらない構成からなる容器、特にパッキ
ンについて種々検討した結果、パッキンの１カ所あるい
は数カ所の表面に微小な凹凸形状を設けた密着力に優れ
たパッキンを用いることにより、容器内外気圧差がない
環境下では優れた密着力により気密性を発揮し、例えば
前述の空輸等の周囲気圧変動時には、微小な凹凸形状部
にて僅かに気密を損なうことで容器内に負圧をとじ込み
しない容器が得られること、さらには、パッキンが接す
る容器本体もしくは蓋の表面の１カ所もしくは数カ所に
微小な凹凸部を設けても同様の効果を得ることができる
ことを知見し、この発明を完成した。
のとじ込みが起こらない構成からなる容器、特にパッキ
ンについて種々検討した結果、パッキンの１カ所あるい
は数カ所の表面に微小な凹凸形状を設けた密着力に優れ
たパッキンを用いることにより、容器内外気圧差がない
環境下では優れた密着力により気密性を発揮し、例えば
前述の空輸等の周囲気圧変動時には、微小な凹凸形状部
にて僅かに気密を損なうことで容器内に負圧をとじ込み
しない容器が得られること、さらには、パッキンが接す
る容器本体もしくは蓋の表面の１カ所もしくは数カ所に
微小な凹凸部を設けても同様の効果を得ることができる
ことを知見し、この発明を完成した。
【００１２】すなわち、この発明は、パッキンを介在し
て容器本体と蓋とが密閉可能になる容器において、パッ
キンが接する容器本体又は蓋表面の１カ所あるいは数カ
所に微小凹凸部を設け、容器内の負圧とじ込みを防止し
たことを特徴とする容器である。
て容器本体と蓋とが密閉可能になる容器において、パッ
キンが接する容器本体又は蓋表面の１カ所あるいは数カ
所に微小凹凸部を設け、容器内の負圧とじ込みを防止し
たことを特徴とする容器である。
【００１３】また、この発明は、容器本体と蓋とを密閉
可能にするパッキンにおいて、容器本体または蓋に接触
するパッキンの１カ所もしくは数カ所に微小凹凸部を設
け、容器内の負圧とじ込みを防止したことを特徴とする
パッキンである。
可能にするパッキンにおいて、容器本体または蓋に接触
するパッキンの１カ所もしくは数カ所に微小凹凸部を設
け、容器内の負圧とじ込みを防止したことを特徴とする
パッキンである。
【００１４】
【発明の実施の形態】この発明によるパッキンと容器の
構成を図面に基づいて詳述する。図１の容器におけるパ
ッキン５を例に説明すると、図３Ａに示す例は、パッキ
ン５の内周面側、容器本体１に接触する面に浅く幅の狭
い溝部５ａを設けてある。また、図３Ｂに示す例は、パ
ッキン５の内周面側に低く幅の狭い条部５ｂを平行に２
本設けてある。
構成を図面に基づいて詳述する。図１の容器におけるパ
ッキン５を例に説明すると、図３Ａに示す例は、パッキ
ン５の内周面側、容器本体１に接触する面に浅く幅の狭
い溝部５ａを設けてある。また、図３Ｂに示す例は、パ
ッキン５の内周面側に低く幅の狭い条部５ｂを平行に２
本設けてある。
【００１５】上記構成のパッキン５を図１の容器に用い
ると、内外に気圧差がない環境下において、パッキン５
の溝部５ａ又は条部５ｂからなる微小凹凸部以外の部分
は容器本体１と蓋体３に強力に密着し、パッキン５につ
けた微小凹凸部はそれ以外の部分より密着性は低いなが
らも、ゴム弾性力によって隙間はほとんど生じない。こ
れにより、周囲環境からの湿気、ゴミ、ガス、イオン等
の容器内への拡散侵入を防ぐことができる。
ると、内外に気圧差がない環境下において、パッキン５
の溝部５ａ又は条部５ｂからなる微小凹凸部以外の部分
は容器本体１と蓋体３に強力に密着し、パッキン５につ
けた微小凹凸部はそれ以外の部分より密着性は低いなが
らも、ゴム弾性力によって隙間はほとんど生じない。こ
れにより、周囲環境からの湿気、ゴミ、ガス、イオン等
の容器内への拡散侵入を防ぐことができる。
【００１６】次に、この容器が空輸された際には、パッ
キン５の微小凹凸部の密着力がこれ以外の箇所と比べて
弱いため、極僅かな気圧差で気密破壊を起こして、この
溝部５ａ又は条部５ｂよりごく僅かずつ気体の出入りを
生じ、若干の時間をかけて容器内気圧は容器外とほぼ等
しくなる。そして飛行機が地上に戻った後、最終的に容
器内はほぼ１気圧に戻る。これにより蓋を開け難くなる
という、容器内の負圧とじ込み現象は発生しなくなる。
キン５の微小凹凸部の密着力がこれ以外の箇所と比べて
弱いため、極僅かな気圧差で気密破壊を起こして、この
溝部５ａ又は条部５ｂよりごく僅かずつ気体の出入りを
生じ、若干の時間をかけて容器内気圧は容器外とほぼ等
しくなる。そして飛行機が地上に戻った後、最終的に容
器内はほぼ１気圧に戻る。これにより蓋を開け難くなる
という、容器内の負圧とじ込み現象は発生しなくなる。
【００１７】従来のパッキンにおいて難しかった、通常
の気圧差がない環境下での外気の拡散侵入を遮断する能
力と、気圧差が生した際に気密破壊を起こさせて容器内
外気圧差をなくすというパッキンの気密性の両立という
問題は、パッキン５の基本部分は極力密着性を高めてお
いて、パッキン５に設けた微小凹凸部の形状、大きさ、
数などを適宜選定し、気密破壊性を調整することで、容
易に可能となる。
の気圧差がない環境下での外気の拡散侵入を遮断する能
力と、気圧差が生した際に気密破壊を起こさせて容器内
外気圧差をなくすというパッキンの気密性の両立という
問題は、パッキン５の基本部分は極力密着性を高めてお
いて、パッキン５に設けた微小凹凸部の形状、大きさ、
数などを適宜選定し、気密破壊性を調整することで、容
易に可能となる。
【００１８】この発明において、パッキンの微小凹凸部
は、図３Ａ、図３Ｂに示す溝部５ａ又は条部５ｂのほ
か、図３Ｃに示すような小突起部５ｃであってもよく、
さらにこの小突起部５ｃよりも小さな極微小突起を複数
個並べた構成なども採用でき、前述のごとく、パッキン
自体の基本性能、容器の構造、使用雰囲気環境等の諸条
件に応じて、微小凹凸部の形状、大きさ、数、並びに配
置箇所などを適宜選定し、所望の気密破壊性となるよう
制御することができる。
は、図３Ａ、図３Ｂに示す溝部５ａ又は条部５ｂのほ
か、図３Ｃに示すような小突起部５ｃであってもよく、
さらにこの小突起部５ｃよりも小さな極微小突起を複数
個並べた構成なども採用でき、前述のごとく、パッキン
自体の基本性能、容器の構造、使用雰囲気環境等の諸条
件に応じて、微小凹凸部の形状、大きさ、数、並びに配
置箇所などを適宜選定し、所望の気密破壊性となるよう
制御することができる。
【００１９】以上、詳述した微小凹凸部は、パッキン自
身に設けても、図４に示すごとくパッキンが装着される
容器本体１もしくは蓋体３の所要表面に設けても、上述
の作用効果は全く同様である。すなわち、パッキンには
基本的に優れた気密性を得るために密着性に優れたもの
を採用し、気圧差が生した際に気密破壊を起こさせるに
必要な微小凹凸部は、パッキンと容器側のいずれに設け
ても同様に作用するものであり、微小凹凸部の形状、寸
法はパッキンの密着性に応じて上述の条件のごとく選定
される。
身に設けても、図４に示すごとくパッキンが装着される
容器本体１もしくは蓋体３の所要表面に設けても、上述
の作用効果は全く同様である。すなわち、パッキンには
基本的に優れた気密性を得るために密着性に優れたもの
を採用し、気圧差が生した際に気密破壊を起こさせるに
必要な微小凹凸部は、パッキンと容器側のいずれに設け
ても同様に作用するものであり、微小凹凸部の形状、寸
法はパッキンの密着性に応じて上述の条件のごとく選定
される。
【００２０】この発明において、気密破壊時に容器外雰
囲気の流入による収納製品に対する汚染の懸念もある
が、パッキン又は容器側に設ける微小凹凸部の配置位置
が、容器内収納製品への影響が最も少ない場所となるよ
うに選定することで、当該製品汚染を最小限にコントロ
ールすることもできる。さらに、内表面の付着不純物、
発ガス、発イオンの少ないプラスチック製の包装袋等
で、空輸前にクリーンルーム内にて当該容器自体を包装
しておくと、この容器外雰囲気も汚染がないため、製品
汚染の心配がなくなる。
囲気の流入による収納製品に対する汚染の懸念もある
が、パッキン又は容器側に設ける微小凹凸部の配置位置
が、容器内収納製品への影響が最も少ない場所となるよ
うに選定することで、当該製品汚染を最小限にコントロ
ールすることもできる。さらに、内表面の付着不純物、
発ガス、発イオンの少ないプラスチック製の包装袋等
で、空輸前にクリーンルーム内にて当該容器自体を包装
しておくと、この容器外雰囲気も汚染がないため、製品
汚染の心配がなくなる。
【００２１】
【実施例】この発明の実施例として、図１の半導体ウェ
ーハ容器において、図３に示すようにパッキン５の容器
本体に当接する側の所要表面に、パッキン５の周方向に
垂直の向きに１本の溝部５ａ、また同方向に並列配置し
た２本の条部５ｂ、小突起部５ｃを設けた３種のパッキ
ンを作製した。このパッキンを用いた３種のウェーハ容
器を用意した。
ーハ容器において、図３に示すようにパッキン５の容器
本体に当接する側の所要表面に、パッキン５の周方向に
垂直の向きに１本の溝部５ａ、また同方向に並列配置し
た２本の条部５ｂ、小突起部５ｃを設けた３種のパッキ
ンを作製した。このパッキンを用いた３種のウェーハ容
器を用意した。
【００２２】また、図１の容器本体１の環状溝部１ａの
立壁部に図４に示すごとく、周方向に垂直に配置する微
小な凸条部１ｂを設けた。この環状溝部１ａに図１の何
ら加工しないパッキンを用いたウェーハ容器を用意し
た。
立壁部に図４に示すごとく、周方向に垂直に配置する微
小な凸条部１ｂを設けた。この環状溝部１ａに図１の何
ら加工しないパッキンを用いたウェーハ容器を用意し
た。
【００２３】図１の従来の容器と以上の４種のこの発明
によるウェーハ容器とを、実際に使って空輸を行ってみ
たところ、従来容器は空輸後に負圧とじ込みを起こして
いたのに対し、この発明の容器は負圧とじ込みを起こし
ておらず、容易に蓋を開けることができた。
によるウェーハ容器とを、実際に使って空輸を行ってみ
たところ、従来容器は空輸後に負圧とじ込みを起こして
いたのに対し、この発明の容器は負圧とじ込みを起こし
ておらず、容易に蓋を開けることができた。
【００２４】また、各容器内に、一定時間間隔で相対湿
度を計測、記録できる計測器を投入し高湿度環境下に長
期間保管してみたところ、従来の容器と上記の４種の容
器とも僅かな容器内の湿度上昇があったものの、その上
昇速度に差はみられなかった。よって外気の拡散侵入を
防ぐ能力は、従来品と同等であることが分かる。
度を計測、記録できる計測器を投入し高湿度環境下に長
期間保管してみたところ、従来の容器と上記の４種の容
器とも僅かな容器内の湿度上昇があったものの、その上
昇速度に差はみられなかった。よって外気の拡散侵入を
防ぐ能力は、従来品と同等であることが分かる。
【００２５】さらに、容器本体１のカセット２の側面
側、環状溝部１ａに凸条部１ｂを設けた構成では、気圧
変動を生じて凸条部１ｂより外気が容器内に侵入した場
合でも、カセット２の樹脂が静電気を帯びていれば、外
気のゴミが製品ウェーハに到達する前にカセット２の側
面で外気のゴミは吸着されてしまい、製品ウェーハヘの
ゴミ付着は低減できた。
側、環状溝部１ａに凸条部１ｂを設けた構成では、気圧
変動を生じて凸条部１ｂより外気が容器内に侵入した場
合でも、カセット２の樹脂が静電気を帯びていれば、外
気のゴミが製品ウェーハに到達する前にカセット２の側
面で外気のゴミは吸着されてしまい、製品ウェーハヘの
ゴミ付着は低減できた。
【００２６】
【発明の効果】この発明によると、周囲環境からの湿
気、ゴミ、ガス、イオン等の製品への汚染を嫌う半導体
ウェーハなどの製品の収納容器において、パッキンまた
はパッキンを装着する本体または蓋体の表面に微小凹凸
部を設けることによって、気圧差がない環境下での周囲
環境からの汚染源の容器内への侵入を遮蔽し、かつ気圧
差が生じる空輸などの場合には必要な空気の流入出を確
保でき、容器の負圧とじ込みを起こさない容器を提供で
きる。
気、ゴミ、ガス、イオン等の製品への汚染を嫌う半導体
ウェーハなどの製品の収納容器において、パッキンまた
はパッキンを装着する本体または蓋体の表面に微小凹凸
部を設けることによって、気圧差がない環境下での周囲
環境からの汚染源の容器内への侵入を遮蔽し、かつ気圧
差が生じる空輸などの場合には必要な空気の流入出を確
保でき、容器の負圧とじ込みを起こさない容器を提供で
きる。
【図１】従来のパッキンを装着した製品容器の分解斜視
説明図である。
説明図である。
【図２】気密力が高いパッキンを装着した従来の製品容
器を空輸した場合における、容器の位置高度と容器周囲
及び容器内気圧変化を示すグラフである。
器を空輸した場合における、容器の位置高度と容器周囲
及び容器内気圧変化を示すグラフである。
【図３】Ａ，Ｂ，Ｃはパッキンの表面に設けた微小凹凸
部の構成を示す斜視説明図である。
部の構成を示す斜視説明図である。
【図４】パッキンが取り付けられる容器本体に設けた微
小凹凸部の構成を示す斜視説明図である。
小凹凸部の構成を示す斜視説明図である。
ｗ ウェーハ １ 容器本体 １ａ 環状溝部 １ｂ 凸条部 ２ カセット ３ 蓋体 ４ 押さえ具 ５ パッキン ５ａ 溝部 ５ｂ 条部 ５ｃ 小突起部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E084 AA05 AA14 AB10 BA01 CA03 DA03 FA09 GA08 GB12 HA03 HC03 HD01 3F022 AA08 BB08 CC02 EE05 3J040 BA01 EA01 EA15 HA15 5F031 CA02 DA09 EA12 EA14 PA26
Claims (2)
- 【請求項１】 パッキンを介在して容器本体と蓋とが密
閉可能になる容器において、パッキンが接する容器本体
又は蓋表面の１カ所あるいは数カ所に微小凹凸部を設け
た容器。 - 【請求項２】 容器本体と蓋とを密閉可能にするパッキ
ンにおいて、容器本体または蓋に接触するパッキンの１
カ所あるいは数カ所に微小凹凸部を設けたパッキン。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000335648A JP2002145311A (ja) | 2000-11-02 | 2000-11-02 | 容器とパッキン |
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